JP4963613B2 - シート貼付装置、シート貼付方法 - Google Patents
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Description
また、本発明に係るシート貼付方法は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記原反を繰り出す繰出工程と、剥離手段によって前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、押圧手段によって前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、前記張力調整工程は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整することにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とする。
3A、3B ニップローラ
5 ピールプレート(剥離手段)
6 繰出ローラ(繰出手段)
9 押圧ローラ(押圧手段)
10 変位機構(張力調整手段)
F 張力
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
W ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、
前記剥離手段は、先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートを備え、
前記張力調整手段は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
を特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、
前記張力調整手段は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
を特徴とするシート貼付装置。 - 前記張力調整手段は、接着シートの単位長さあたりの張力が一定となるように当該接着シートの張力を調整すること
を特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。 - 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す繰出工程と、
先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートによって、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、
前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、
前記張力調整工程は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
を特徴とするシート貼付方法。 - 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出す繰出工程と、
剥離手段によって前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、
前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、
押圧手段によって前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、
前記張力調整工程は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整することにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
を特徴とするシート貼付方法。
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