JP4963613B2 - シート貼付装置、シート貼付方法 - Google Patents

シート貼付装置、シート貼付方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4963613B2
JP4963613B2 JP2007046945A JP2007046945A JP4963613B2 JP 4963613 B2 JP4963613 B2 JP 4963613B2 JP 2007046945 A JP2007046945 A JP 2007046945A JP 2007046945 A JP2007046945 A JP 2007046945A JP 4963613 B2 JP4963613 B2 JP 4963613B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive sheet
sheet
tension
adjusting
peeling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007046945A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008211024A (ja
Inventor
厚史 上道
孝久 吉岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lintec Corp
Original Assignee
Lintec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lintec Corp filed Critical Lintec Corp
Priority to JP2007046945A priority Critical patent/JP4963613B2/ja
Publication of JP2008211024A publication Critical patent/JP2008211024A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4963613B2 publication Critical patent/JP4963613B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、例えば半導体ウエハ等に接着シートを貼付したり、各種製品にラベルを貼付する装置や方法として利用されるシート貼付装置とシート貼付方法に係り、特に、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、その剥離シートから接着シートを剥離し貼付するシート貼付装置とシート貼付方法に関する。
従来より、半導体製造過程では、半導体ウエハの回路面を保護するため、その回路面に保護シートを貼付したり、半導体ウエハの裏面にダイボンディングシートを貼付したりすることが行われている。また、リングフレームに半導体ウエハをマウントするため、リングフレームと半導体ウエハとにシートを貼付することも行われており、このようなシートの貼付装置については、例えば特許文献1に記載されている。
特許文献1に記載のシート貼付装置では、帯状の剥離シート(広幅フイルム2)上に接着シート(プリカット粘着テープ1)が所定間隔を隔てて仮着された原反を用い、その剥離シートをピールプレート(剥離板33)で急激に折り返すことにより、剥離シートから接着シートを剥離し、剥離した接着シートを押圧ローラ(小径ローラ40、大径ローラ41)で押圧し、被着体(リングフレーム)に貼付するようにしている。
しかしながら、前記特許文献1のシート貼付装置では、貼付される接着シートの張力が調整されていない。このため、接着シートが強く張られた状態で貼付されたり、緩んで貼られることがある。また、被着体が円形のような場合は、シート貼付が進むに連れ、その貼付長さLが変動する(図4参照)。このような場合、接着シートの張力Fが一定だとすると、接着シートの張力Fをその貼付長さLで割った値(単位長さあたりの張力F/Lという)が異なり、被着体上の貼付位置によって異なる張力で接着シートが貼付されてしまい、例えば、その内部応力の差によって被着体に歪が生じる等、後の処理工程において支障をきたす。このような不具合は被着体が半導体ウエハのように極薄のものである場合に顕著に現れる。
特開2005−159044号公報
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、均一な張力で接着シートを被着体に貼付できるようにしたシート貼付装置、シート貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明に係るシート貼付装置は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、前記剥離手段は、先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートを備え、前記張力調整手段は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とする。
また、本発明に係るシート貼付装置は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、前記張力調整手段は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とする
前記張力調整手段は、接着シートの単位長さあたりの張力が一定となるように当該接着シートの張力を調整するように構成することもできる。
本発明に係るシート貼付方法は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記原反を繰り出す繰出工程と、先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートによって、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、前記張力調整工程は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とする。
また、本発明に係るシート貼付方法は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記原反を繰り出す繰出工程と、剥離手段によって前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、押圧手段によって前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、前記張力調整工程は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整することにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とする。
本発明にあっては、前記のように接着シートの張力を張力調整手段によって調整しながら当該接着シートを被着体に貼付する構成を採用したため、単位長さあたりの張力が一定となる張力で接着シートを被着体に貼付することが可能となり、張力の不均一性によって生じる後工程での支障、例えば被着体の歪等を回避することができる等の作用効果が得られる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明の一実施形態であるシート貼付装置の正面図、図2はその動作説明図である。
本シート貼付装置1は、図1のように、帯状の剥離シートRL上に所定間隔を隔てて複数の接着シートS(例えば半導体ウエハのダイボンディング用シート)を仮着した原反Rを用い、この原反Rを構成する剥離シートRLから接着シートSを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置である。
原反Rは支持軸2で支持され、ニップローラ3A、3Bによって挟み込まれた後、ガイドローラ4を介して剥離手段としてのピールプレート5上に導かれ、原反Rの剥離シートRLがピールプレート5で折り返された後、繰出手段としての繰出ローラ6とピンチローラ7とで挟み込まれ、最後に巻取軸8で巻き取られるように掛け回されている。
そして、ニップローラ3A及び繰出ローラ6は、それぞれ出力軸のトルク制御が可能なモータM1、M2によって回転力が付与されるようになっており、これにより、原反Rは支持軸2から巻取軸8の方向へ間欠的に繰り出されるようになっている。
前記ピールプレート5は、その先端部5Aで剥離シートRLを急激に折り返すことにより、剥離シートRLから接着シートSを剥離するように構成されており、接着シートSが剥離された後の剥離シートRLのみが、繰出ローラ6とピンチローラ7の間を通って、モータM3によって回転力が付与される巻取軸8に巻き取られる。一方、剥離シートRLから剥離された接着シートSは、ピールプレート5の前方に配置された押圧手段としての押圧ローラ9の下方へ繰り出され、押圧ローラ9で押圧され、被着体に貼付される。
本シート貼付装置1は、接着シートSの張力Fを調整する張力調整手段として、ピールプレート5の先端位置を変位させる変位機構10を有している。
かかる変位機構10の具体的な構成例として、本実施形態では、フレームFRに図示しない軸受を介して取り付けられている軸部11の一端に前記ピールプレート5の後端部5Bを固定し、その軸部11の他端に操作レバー12を固定する。更に、操作レバー12の先端部12Aとトルク制御可能なモータM4によって駆動される単軸ロボット13の可動部13Aとは、ピン13Bによって回転可能に連結し、当該単軸ロボット13の可動部13Aが矢印D1方向に移動することによって、操作レバー12を介してピールプレート5が矢印D2方向へ揺動する構成を採用した。なお、単軸ロボット13は固定具13CによってフレームFRに回転可能に支持されている。
このような構成の採用により、ピールプレート5は軸部11を基点として所定角度範囲内で揺動でき、この揺動量に応じてピールプレート5先端位置は所定方向へ変位し、これにより貼付される接着シートSが引っ張られ、その接着シートSの張力Fが調整される。
被着体としての半導体ウエハ(以下「ウエハW」と略称する)は、支持手段としての支持テーブル14の上面に吸着支持される。かかる支持テーブル14は、その下面に取り付けられたスライダ15を介してレール16上をスライド可能に設置され、図示しないモータにより回転駆動されるネジ軸と該ネジ軸に係合するナット部材とを介して、図1左右方向へ移動できるようになっている。このような構成により、支持テーブル14が矢印D3方向へ移動する移動速度に同期して、接着シートSが繰り出され、押圧ローラ9がその接着シートSを押圧し、ウエハWの上面に貼付するようになっている。なお、押圧ローラ9には、図示しない加熱手段が設けられ、接着シートSを加熱しながら貼付できるようになっている。
次に、上記の如く構成されたシート貼付装置の動作について説明する。
初めに、図示しない搬送装置が図1のように支持テーブル14の上面にウエハWを配置し、図示しない吸着手段が当該ウエハWを吸着保持する。そして、支持テーブル14が矢印D3方向へ所定の速度で前進し、ウエハWの先端部が図1のように押圧ローラ9の下方まで移動したことを図示しないセンサが検知する。
そうすると、ニップローラ3A、繰出ローラ6、巻取軸8がそれぞれのモータM1、M2、M3によって回転し、支持軸2から原反Rが繰り出され、支持テーブル14の移動速度に同期して接着シートSがピールプレート5によって剥離シートRLから剥離される。そして、接着シートSは、押圧ローラ9の下方に繰り出され、この繰り出された接着シートSの先端部が最初に押圧ローラ9によってウエハWに貼付される。
接着シートSの先端部が貼付された直後から、単軸ロボット13の可動部13Aが矢印D1方向に移動し、操作レバー12を介してピールプレート5の先端位置が図1の状態から図2のように矢印D2の方向へ変位し、貼付途中の接着シートSを上方に引き上げることによって、その接着シートSの張力Fを調整しながら当該接着シートSの貼付が行われる。接着シートSは、ピールプレート5が上方に上がることによって、その張力が増大し、ピールプレート5が下方に下がることによってその張力が減少する。
ところで、本実施形態の場合、図4に示すように、貼付される接着シートSの外形は被着体であるウエハWの形状に合わせて円形になっているため、シート貼付が進むにつれ、その貼付長さLが変動する。すなわち、ウエハW上の貼付開始位置から約半分の貼付完了位置までの間、接着シートSの貼付長さLは増加し、その後は減少する。このような接着シートSの貼付長さLの増減に合わせて、張力調整手段としての前記変位機構10がピールプレート5の先端位置を上下動させる。具体的には、単位長さあたりの張力F/Lが一定になるように、図示しない制御装置に設定値が入力されており、支持テーブル14の移動する位置に合わせて単軸ロボット13がピールプレート5の先端位置を上下方向へ変位させることにより張力Fを増減させる。これにより、貼付される接着シートSが円形であっても、接着シートSがウエハWへ貼付された後の内部応力を一定とすることが可能となる。
前記実施形態では、ピールプレート5の先端位置を変位させることにより、接着シートSの張力Fを調整するようにしたが、例えば、図3のように、ピールプレート5と押圧ローラ9との間に、トルク制御可能な直動式モータM5によって進退可能な張力調整ローラ20を配置し、その間で張力調整ローラ20が接着シートSを押圧することにより当該接着シートSの張力Fを調整するように構成してもよい。
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記実施形態では、接着シートとしてダイボンディングシートを例示したが、これに替えて保護シートやダイシングテープ等の接着シートを貼付することも可能である。また、被着体の面を保護するための感熱接着性の保護シートであってもよい。更に、特開2002−280329号に開示された保護膜形成用のシートや、ドライレジストフイルムを対象とすることもできる。
また、被着体としてウエハWを対象としたが、これに替えて、ガラス、鋼板、樹脂板その他の板状部材や、それ以外の他の形状の部材も対象とすることができ、ウエハはシリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
更に、接着シートSは、帯状の剥離シートRL上に所定間隔を隔てて仮着されたものに限定されることなく、帯状の剥離シートRL上に帯状の接着シートSが仮着されたものであってよい。
また、剥離手段は、接着シートSを剥離できるものであれば限定されることなく、ピールプレート5に替えて、剥離シートRLをローラに巻き回して剥離を行うローラタイプの剥離機構でもよい。
更に、押圧手段は、接着シートSを押圧できるものであれば何でも採用ができる。
また、張力調整手段は、上記実施例以外に接着シートSの貼付張力を調整できるものを妨げることはない。
更に、ピールプレート5の先端に張力Fを測定する測定手段を設け、支持テーブル14の移動する位置に合わせてリアルタイムで張力Fを測定しつつ、単軸ロボット13がピールプレート5の先端位置を上下方へ変位させ、単位長さあたりの張力F/Lが一定になるように構成してもよい。
本発明の一実施形態であるシート貼付装置の正面図。 図1のシート貼付装置の動作説明図。 本発明の要部についての他の実施形態の説明図。 図3のA矢視図。
符号の説明
1 シート貼付装置
3A、3B ニップローラ
5 ピールプレート(剥離手段)
6 繰出ローラ(繰出手段)
9 押圧ローラ(押圧手段)
10 変位機構(張力調整手段)
F 張力
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
W ウエハ(被着体)

Claims (5)

  1. 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、
    前記原反を繰り出す繰出手段と、
    前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
    前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、
    前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、
    前記剥離手段は、先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートを備え、
    前記張力調整手段は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
    を特徴とするシート貼付装置。
  2. 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付装置であって、
    前記原反を繰り出す繰出手段と、
    前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
    前記接着シートの張力を調整する張力調整手段と、
    前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを具備し、
    前記張力調整手段は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整可能に設けられ、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
    を特徴とするシート貼付装置。
  3. 前記張力調整手段は、接着シートの単位長さあたりの張力が一定となるように当該接着シートの張力を調整すること
    を特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。
  4. 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、
    前記原反を繰り出す繰出工程と、
    先端部で前記剥離シートを折り返すことにより、前記剥離シートから前記接着シートを剥離可能なピールプレートによって、前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、
    前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、
    前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、
    前記張力調整工程は、前記ピールプレートの後端部を基点とした当該ピールプレートの回転移動で当該ピールプレートの先端部を所定方向に変位させることにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
    を特徴とするシート貼付方法。
  5. 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから前記接着シートを剥離し、被着体に貼付するシート貼付方法であって、
    前記原反を繰り出す繰出工程と、
    剥離手段によって前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離工程と、
    前記接着シートの張力を調整する張力調整工程と、
    押圧手段によって前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを具備し、
    前記張力調整工程は、前記剥離手段と押圧手段との間で前記接着シートを押圧することにより当該接着シートの張力を調整することにより、前記接着シートの張力を調整する工程を含み、前記接着シートの張力を調整しながら当該接着シートを被着体に貼付すること
    を特徴とするシート貼付方法。
JP2007046945A 2007-02-27 2007-02-27 シート貼付装置、シート貼付方法 Expired - Fee Related JP4963613B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007046945A JP4963613B2 (ja) 2007-02-27 2007-02-27 シート貼付装置、シート貼付方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007046945A JP4963613B2 (ja) 2007-02-27 2007-02-27 シート貼付装置、シート貼付方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008211024A JP2008211024A (ja) 2008-09-11
JP4963613B2 true JP4963613B2 (ja) 2012-06-27

Family

ID=39787068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007046945A Expired - Fee Related JP4963613B2 (ja) 2007-02-27 2007-02-27 シート貼付装置、シート貼付方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4963613B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010087265A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Takatori Corp 基板への接着テープ貼付装置
JP5296497B2 (ja) * 2008-11-06 2013-09-25 リンテック株式会社 板状部材の支持体貼付装置及び支持体貼替装置
JP5596446B2 (ja) * 2010-07-12 2014-09-24 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法
JP5554166B2 (ja) * 2010-07-12 2014-07-23 リンテック株式会社 シート貼付装置
JP5893500B2 (ja) * 2012-04-27 2016-03-23 リンテック株式会社 シート貼付装置
JP6211393B2 (ja) * 2013-11-06 2017-10-11 リンテック株式会社 シート貼付装置
JP7067951B2 (ja) * 2018-02-16 2022-05-16 リンテック株式会社 シート貼付装置およびシート貼付方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159044A (ja) * 2003-11-26 2005-06-16 Takatori Corp リングフレームへの粘着テープ貼り付け方法とその装置及びリングフレームへの基板マウント装置
JP4441450B2 (ja) * 2005-07-07 2010-03-31 リンテック株式会社 シート貼付装置及び貼付方法
JP2007043057A (ja) * 2005-07-07 2007-02-15 Lintec Corp シート貼付用テーブル
JP4360684B2 (ja) * 2006-02-22 2009-11-11 日東電工株式会社 半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法およびこれを用いた装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008211024A (ja) 2008-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4963613B2 (ja) シート貼付装置、シート貼付方法
JP4444619B2 (ja) マウント装置及びマウント方法
JP5112984B2 (ja) シート貼付装置及び貼付方法
JP2007158037A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
WO2009125651A1 (ja) シート剥離装置及び剥離方法
JP2007307866A (ja) テープ貼付方法およびテープ貼付装置
KR20110079818A (ko) 시트 박리 장치 및 박리 방법
JP5242947B2 (ja) シート貼付装置及び貼付方法
JP4861917B2 (ja) シート貼付装置及びシート貼付方法
JP2017059582A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP4922140B2 (ja) シート貼付装置及び貼付方法
JP6539523B2 (ja) シート供給装置および供給方法
JP4637057B2 (ja) シート貼付装置及び貼付方法
JP2012035888A (ja) シート剥離装置および剥離方法ならびにシート貼付装置および貼付方法
JP5185868B2 (ja) シート剥離装置および剥離方法
JP2017059581A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP6543118B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP6573802B2 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2005136306A (ja) 貼合装置及び貼合方法
JP6383285B2 (ja) シート供給装置および供給方法
JP2016117520A (ja) シート供給装置および供給方法
JP3186062U (ja) シート剥離装置
JP6226660B2 (ja) シート供給装置および供給方法
WO2023085074A1 (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP7129447B2 (ja) シート供給装置およびシート供給方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20091001

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101228

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110915

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111024

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120322

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120326

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4963613

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150406

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees