JP5596446B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、剥離手段によって接着シートが折り曲げられることによって、当該接着シートが貼付された被着体に反りが生じることを防止することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記接着シートは、前記剥離手段で剥離シートが剥離される剥離縁と当該剥離縁に対して前記接着シートの繰出方向上流側に位置し前記回動手段の軸に支持されたローラとの間が剥離待機面とされる一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面とされ、
前記制御手段は、前記押圧手段が被着面に沿って移動して前記剥離済面を被着体に貼付する際に、前記剥離待機面と前記剥離済面とが剥離手段で折り曲げられることなく同一平面内に位置するように、前記回動手段と前記移動手段とを制御可能に設けられる、という構成を採っている。
前記接着シートは、前記案内面で案内される前記剥離縁までの間が剥離待機面として形成される一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面として形成される、という構成を採ることができる。
前記制御手段は、前記検知手段の検知結果によって前記回動手段と前記移動手段とを制御可能に設けられる、という構成を採ってもよい。
前記剥離シートを接着シートから剥離する工程と、
前記剥離シートが剥離される剥離縁と当該剥離縁に対して前記接着シートの繰出方向上流側に位置し前記回動手段の軸に支持されたローラとの間を接着シートの剥離待機面とし、前記剥離縁と被着面との間を接着シートの剥離済面としたときに、前記押圧手段が被着面に沿って移動して前記剥離済面を被着体に貼付する際に、前記剥離待機面と前記剥離済面とが剥離手段で折り曲げられることなく前記剥離待機面と前記剥離済面とを同一平面内に位置させた状態で前記接着シートを被着体の被着面に押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、図3(B)に示されるように、剥離手段をローラ58で構成してもよい。
更に、前記制御手段26は、接着シートSの剥離待機面SAと剥離済面SBとを同一平面内に位置させることができる限りにおいて、上記制御方法以外の制御を行ってもよく、例えば、回動モータ18を制御して剥離板16を図1中左回転方向に回転させた瞬間、剥離済面SBが検出手段44に近付くことを当該検出手段44が検知したときに、押圧ローラ20を図1中右方向へ移動する制御としてもよい。
また、剥離待機面SAと剥離済面SBとを同一平面内に位置できるように、回動モータ18の回転速度とスライダ22Aの動作速度を予め決定しておいてもよい。これによれば、検知手段44を省略することが可能となる。
14 繰出手段
16 剥離板(剥離手段)
16A 案内面
18 回動モータ(回動手段)
20 押圧ローラ(押圧手段)
22 リニアモータ(移動手段)
26 制御手段
44 検知手段
46 案内ローラ(剥離角度維持手段)
48 摩擦抑制手段
58 ローラ(剥離手段)
RL 剥離シート
RL1 剥離縁
S 接着シート
SA 剥離待機面
SB 剥離済面
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 剥離シートの一方の面に仮着された接着シートを繰り出す繰出手段と、前記剥離シートを接着シートから剥離する剥離手段と、この剥離手段を回動させる回動手段と、前記接着シートを被着体の被着面に押圧して貼付する押圧手段と、前記被着面に沿って前記押圧手段を移動させる移動手段と、前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記接着シートは、前記剥離手段で剥離シートが剥離される剥離縁と当該剥離縁に対して前記接着シートの繰出方向上流側に位置し前記回動手段の軸に支持されたローラとの間が剥離待機面とされる一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面とされ、
前記制御手段は、前記押圧手段が被着面に沿って移動して前記剥離済面を被着体に貼付する際に、前記剥離待機面と前記剥離済面とが剥離手段で折り曲げられることなく同一平面内に位置するように、前記回動手段と前記移動手段とを制御可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記剥離待機面と前記剥離済面とが同一平面内に位置することを検知する検知手段を備え、
前記制御手段は、前記検知手段の検知結果によって前記回動手段と前記移動手段とを制御可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。 - 前記剥離手段での剥離シートの剥離角度を一定に維持する剥離角度維持手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記剥離手段は、その回動中心に前記剥離シートに接着シートが仮着された原反の擦れを抑制する摩擦抑制手段が設けられていることを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載のシート貼付装置。
- 剥離シートの一方の面に仮着された接着シートを繰り出す工程と、
前記剥離シートを接着シートから剥離する工程と、
前記剥離シートが剥離される剥離縁と当該剥離縁に対して前記接着シートの繰出方向上流側に位置し前記回動手段の軸に支持されたローラとの間を接着シートの剥離待機面とし、前記剥離縁と被着面との間を接着シートの剥離済面としたときに、前記押圧手段が被着面に沿って移動して前記剥離済面を被着体に貼付する際に、前記剥離待機面と前記剥離済面とが剥離手段で折り曲げられることなく前記剥離待機面と前記剥離済面とを同一平面内に位置させた状態で前記接着シートを被着体の被着面に押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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