JP5554166B2 - シート貼付装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、剥離手段によって接着シートが折り曲げられることによって、当該接着シートが貼付された被着体に反りが生じることを防止することができるシート貼付装置を提供することにある。
前記接着シートは、前記剥離手段で剥離シートが剥離される剥離縁の前段の所定領域が剥離待機面として形成される一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面として形成され、
前記連結手段は、前記剥離待機面と前記剥離済面とが同一平面内に位置するように、前記移動手段による押圧手段の移動に合わせて剥離板を回動可能に設けられる、という構成を採っている。
前記接着シートは、前記案内面で案内される前記剥離縁までの間が剥離待機面として形成される一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面として形成される、という構成を採ることができる。
前記剥離シートを接着シートから剥離する工程と、
前記剥離シートが剥離される剥離縁の前段の所定領域を接着シートの剥離待機面とし、前記剥離縁と被着面との間を接着シートの剥離済面としたときに、前記剥離待機面と前記剥離済面とが同一平面内に位置するように、剥離手段と押圧手段とを連結した状態で前記接着シートを被着体の被着面に押圧して貼付する工程とを備える、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、図5(B)に示されるように、剥離手段をローラ63で構成してもよい。
更に、前記繰出手段12は、接着シートSを繰り出しできる限りにおいて、種々の設計変更が可能である。
14 繰出手段
16 剥離板(剥離手段)
16A 案内面
18 支持軸(支持手段)
20 押圧ローラ(押圧手段)
22 リニアモータ(移動手段)
25 連結手段
46 案内ローラ(剥離角度維持手段)
48 摩擦抑制手段
57 連結アーム
63 ローラ(剥離手段)
RL 剥離シート
RL1 剥離縁
S 接着シート
SA 剥離待機面
SB 剥離済面
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (1)
- 剥離シートの一方の面に仮着された接着シートを繰り出す繰出手段と、前記剥離シート
を接着シートから剥離する剥離手段と、この剥離手段を回動可能に支持する支持手段と、
前記接着シートを被着体の被着面に押圧して貼付する押圧手段と、前記被着面に沿って前
記押圧手段を移動させる移動手段と、前記剥離手段と押圧手段とを連結する連結手段とを
備えたシート貼付装置であって、
前記接着シートは、前記剥離手段で剥離シートが剥離される剥離縁の前段の所定領域が
剥離待機面として形成される一方、前記剥離縁と押圧手段との間が剥離済面として形成さ
れ、
前記連結手段は、前記剥離待機面と前記剥離済面とが同一平面内に位置するように、前
記移動手段による押圧手段の移動に合わせて剥離板を回動可能に設けられていることを特
徴とするシート貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010157784A JP5554166B2 (ja) | 2010-07-12 | 2010-07-12 | シート貼付装置 |
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JP2012023087A JP2012023087A (ja) | 2012-02-02 |
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Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004128147A (ja) * | 2002-10-01 | 2004-04-22 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハからの保護テープ除去方法およびその装置 |
JP4441450B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2010-03-31 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP4921999B2 (ja) * | 2007-02-06 | 2012-04-25 | リンテック株式会社 | ラベル貼付装置 |
JP5015629B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2012-08-29 | リンテック株式会社 | ラベル貼付装置及びラベル貼付方法 |
JP4963613B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-06-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置、シート貼付方法 |
JP2008227242A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Lintec Corp | シート貼付装置 |
JP5234755B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2013-07-10 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2012023087A (ja) | 2012-02-02 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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