JP5296604B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
このような接着シートの貼付装置としては、例えば、特許文献1、2に開示されたものが知られている。特許文献1は、剥離シートに仮着された接着シート(転写テープ)をピールプレートで剥離し、剥離された接着シートをリングフレーム及びウエハに貼付してこれらを一体化させる構成が開示されている。また、特許文献2には、ピールプレートを介して剥離シートから剥離された接着シートをサクションローラで吸着保持し、この接着シートにウエハを貼付した状態で接着シートの外周側をリングフレームに貼付することでウエハとリングフレームとを一体化させる構成が開示されている。
また、特許文献2の構成にあっては、サクションローラが接着シートを全面的に吸着する構成であるため、吸引用の動力が大がかりになる、という不都合がある。なお、特許文献2は、サクションローラの外周面に粘着ラベルの外径より少し小さい面積エリアに多数の吸引口を設けるとともに、当該面積エリア内に小面積部分を設けて独立した吸引系を設けているが、粘着ラベルは、その外周側を除いて略全面的に吸引される構成であり、吸引用の動力が大がかりになる、という不都合は依然として解消されないものとなっている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離シートから剥離された接着シートの貼付開始端領域を保持し、その状態で接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
特に、押圧ローラが貼付開始端領域のみを吸着する構成であれば、小さな動力によって貼付開始端領域の吸着保持を行うことができる。
また、回転不能で開口部を備えた中心軸と多孔質のローラ部材とにより押圧ローラを構成した場合には、開口部が常に貼付開始端領域に対向した位置になるように中心軸を固定可能であるため、開口部に対応した位置であって、ローラ部材の外周部分で接着シートの吸着力を生じさせることができる。
次いで、テーブル13が図1中左側に移動する動作に同期し、駆動ローラ27が駆動して接着シートSの剥離を行うことで、ローラ部材42が中心軸41に対して回転しつつ接着シートSをリングフレームRFとウエハWに貼付し、これらを一体化させることとなる。
また、貼付開始縁SEが押圧ローラ31の中心軸線に直交する中心線Lに一致する状態で吸着保持される構成であるため、被着体に貼付すべき位置が厳格に要求される精密貼合に適用させることが可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 繰出手段
12 ピールプレート(剥離手段)
13 テーブル
15 押圧手段
16 移動手段
31 押圧ローラ
40 開口部
41 中心軸
42 ローラ部材
A 貼付開始端領域
R 原反
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが所定間隔を隔てて仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、
被着体に対して相対移動することで、前記接着シートを押圧して貼付する押圧ローラを含む押圧手段とを備え、
前記被着体と押圧手段とを相対移動させて前記被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記押圧ローラは、外周面に開口部を備えた回転不能な中心軸と、当該中心軸の外周に回転可能に支持された多孔質のローラ部材とからなり、前記接着シートが被着体に貼付される前の段階で、前記中心軸内を減圧することで前記開口部及びローラ部材を介して前記接着シートの貼付開始端領域を吸着して保持可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが所定間隔を隔てて仮着された原反を繰り出す過程で前記剥離シートから接着シートを剥離し、
被着体に対して相対移動することで、前記接着シートを押圧ローラで押圧して貼付するシート貼付方法において、
外周面に開口部を備えた回転不能な中心軸と当該中心軸の外周に回転可能に支持された多孔質のローラ部材とからなる押圧ローラを用い、前記接着シートが被着体に貼付される前の段階で前記中心軸内を減圧し、前記開口部及びローラ部材を介して前記接着シートの貼付開始端領域を吸着して保持した状態で当該接着シートを被着体に貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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