JP2001156159A - ウェーハ保護テープ貼付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 皺や気泡の発生無しに、また、ウェーハ全面
に亘って均一な且つ低いテンションで保護テープを貼付
することができ、貼付後に保護テープによるストレスが
ウェーハにかからないようにすることを課題とする。 【解決手段】 一定の方向に走行される保護テープ２を
ウェーハ９に貼り付けると共に保護テープをウェーハの
周囲に沿って切断するウェーハ保護テープ貼付装置１で
あって、ウェーハを支持する支持台１３と、上記支持台
に支持されたウェーハの上方に保護テープを間欠的に供
給するテープ引出チャック１４と、ウェーハの上方に供
給された保護テープとウェーハとの間に気体を供給して
ウェーハの上方で保護テープを浮遊させる気体供給ノズ
ル１８と、上記浮遊している保護テープをウェーハに押
圧しながら走行することによって保護テープをウェーハ
に貼り付ける貼付ローラ１５と、ウェーハに貼り付けら
れた保護テープをウェーハの周囲に沿って切断するサブ
カッター１７及び外周カッター１９とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は新規なウェーハ保護
テープ貼付装置に関する。詳しくは、貼付後に保護テー
プによるストレスがウェーハにかからないようにする技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】回路構成の工程が終わっているウェーハ
の裏面を水流を利用して研磨する等の作業を行う前に、
ウェーハの回路構成面に保護テープを貼り付けることが
必要がある。

【０００３】ウェーハに保護テープを貼り付ける装置の
従来の例を図１３に示す。

【０００４】保護テープａは粘着材が付与されると共に
剥離フィルムｂを貼付された粘着面ａ′を下方に向けて
テープロールｃからカス巻取ロールｄへと走行される。
すなわち、保護テープａはテープロールｃに巻装されて
おり、テープ送りローラｅによってテープロールｃから
引き出され、剥離ローラｆによって剥離フィルムｂが剥
離されて粘着面ａ′が露出され、さらに、カス巻取ロー
ラｇによって引っ張られてカス巻取ロールｄに巻き取ら
れていく。そして、剥離ローラｆからカス巻取ローラｇ
まで走行する間にウェーハｈに貼り付けられる。

【０００５】剥離ローラｆからカス巻取ローラｇまでの
保護テープａの走行経路の下方にウェーハｈを支持する
支持台ｉが配設され、該支持台ｉの上方を保護テープａ
の走行方向に移動するテープ引出チャックｊが配置さ
れ、該テープ引出チャックｊの手前側、すなわち、保護
テープａの走行に関し上流側（以下、単に「上流側」と
いう。）に貼付ローラｋが配設されている。さらに、保
護テープａを挟んで支持台ｉの上方に外周カッターｌが
上下方向及び回転方向に移動自在に配設されている。

【０００６】上記保護テープ貼付装置ｍによるウェーハ
ｈへの保護テープａの貼付は図１４乃至図２１に示すよ
うに為される。

【０００７】先ず、支持台ｉ上にウェーハｈが所定の向
きで載置され、テープ引出チャックｊが支持台ｉの手
前、すなわち、上流側において保護テープａを挟持し、
そのまま支持台ｉの上方を保護テープａの走行に関する
下流側（以下、単に「下流側」という。）、すなわち、
図１４中矢印の方向に移動し、これによって、保護テー
プａを必要分だけ引き出す（図１４、図１５参照）。

【０００８】次いで、テープ引出チャックｊを僅かに上
流側、すなわち、図１５中矢印の方向に戻し、保護テー
プａに弛みをつける（図１５、図１６参照）。

【０００９】それから、貼付ローラｋを保護テープａを
挟んでウェーハｈの上を下流側、すなわち、図１６中矢
印方向に走行させて、保護テープａをウェーハｈの上面
に貼り付ける（図１６参照）。

【００１０】次いで、貼付ローラｋを元の位置に、すな
わち、図１７中矢印方向に戻し（図１７、図１８参
照）、外周カッターｌを下降させる（図１８、図１９参
照）。

【００１１】そして、下降した外周カッターｌを回転さ
せて、保護テープａをウェーハｈの外周に沿って切断
し、外周カッターｌを上昇させる（図１９、図２０参
照）。

【００１２】それから、テープ引出チャックｊを元の位
置へ、すなわち、図２０中矢印方向へ戻して、保護テー
プａのウェーハｈに貼り付けられた残りのカス部分をウ
ェーハｈの上方に位置させ（図２０、図２１参照）、次
いで、支持台ｉを下降させる（図２１参照）。

【００１３】以上のようにして、保護テープａのウェー
ハｈへの貼付が為される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ウェーハｈへの保護テ
ープａの貼付に際しては、貼付後に、保護テープａに残
っているテンションによってウェーハｈにストレスがか
かることを極力避けなければならない。

【００１５】そのため、貼付時の保護テープａのテンシ
ョンを低くするために、上記した従来の保護テープ貼付
装置ｍにあっては、テープ引出チャックｊによって保護
テープａを所定量引き出した後、該テープ引出チャック
ｊを上流側に僅かに戻し（図１５、図１６参照）、これ
によって、保護テープａを弛ませて、テンションを低く
するようにしている。

【００１６】しかしながら、保護テープａを弛ませると
言っても、保護テープａの材質によって収縮状態が異な
るため、テープ毎に弛ませる量を調整する必要があり、
作業が面倒である。

【００１７】また、保護テープａを単に弛ませるだけで
は、ウェーハｈ全面に亘って均一なテンションで貼り付
けることができず、また、皺、空気の混入による気泡な
どが発生してしまうという問題がある。

【００１８】そこで、本発明は、上記した事情に鑑み、
皺や気泡の発生無しに、また、ウェーハ全面に亘って均
一な且つ低いテンションで保護テープを貼付することが
でき、貼付後に保護テープによるストレスがウェーハに
かからないようにすることを課題とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明ウェーハ保護テー
プ貼付装置は、上記した課題を解決するために、ウェー
ハを支持する支持台と、上記支持台に支持されたウェー
ハの上方に保護テープを間欠的に供給する保護テープ供
給手段と、ウェーハの上方に供給された保護テープとウ
ェーハとの間に気体を供給してウェーハの上方で保護テ
ープを浮遊させる気体供給手段と、上記浮遊している保
護テープをウェーハに押圧しながら走行することによっ
て保護テープをウェーハに貼り付ける貼付ローラと、ウ
ェーハに貼り付けられた保護テープをウェーハの周囲に
沿って切断するテープ切断手段とを備えたものである。

【００２０】従って、本発明ウェーハ保護テープ貼付装
置にあっては、保護テープを気体によって浮遊した状態
にして貼り付けるので、ウェーハの全面に亘って均一且
つ低テンションでの貼付ができ、また、皺や気泡の発生
もなく、さらに、異なる保護テープ毎に調整を行う必要
もない。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明ウェーハ保護テー
プ貼付装置の実施の形態について添付図面を参照して説
明する。

【００２２】図１は本発明ウェーハ保護テープ貼付装置
の実施の形態１の概略を示すものである。

【００２３】保護テープ２は粘着材が付与されると共に
剥離フィルム３を貼付された粘着面面２′を下方に向け
てテープロール４からカス巻取ロール５へと走行され
る。すなわち、保護テープ２はテープロール４に巻装さ
れており、テープ送りローラ６によってテープロール４
から引き出され、剥離ローラ７によって剥離フィルム３
が剥離されて粘着面２′が露出され、さらに、カス巻取
ローラ８によって引っ張られてカス巻取ロール５に巻き
取られていく。そして、剥離ローラ７からカス巻取ロー
ラ８まで走行する間にウェーハ９に貼り付けられる。な
お、剥離フィルム３は剥離フィルム巻取ローラ１０によ
って送られて剥離フィルム巻取ロール１１に巻き取られ
ていく。また、保護テープ２及び剥離フィルム３は上記
した各走行経路中に設けられた複数の案内ローラ１２、
１２、・・・によって走行を案内される。

【００２４】剥離ローラ７からカス巻取ローラ８までの
保護テープ２の走行経路の下方にウェーハ９を支持する
支持台１３が昇降自在に配設され、該支持台１３の上方
を保護テープ２の走行方向に移動するテープ引出チャッ
ク１４が配置され、該テープ引出チャック１４の手前
側、すなわち、保護テープ２の走行に関し上流側（以
下、単に「上流側」という。）に貼付ローラ１５が配設
されている。

【００２５】また、貼付ローラ１５の前方、すなわち、
保護テープ２の走行に関する下流側（以下、単に「下流
側」という。）にほぼ接して吸引チャック１６が配設さ
れる。吸引チャック１６は、図２に詳細に示すように、
走行する保護テープ２の幅方向に長い筒状をしており、
下面に開口した吸引スリット１６ａを有する。上記吸引
スリット１６ａは両側端面に形成された吸引孔１６ｂ、
１６ｂに連通されており、該吸引孔１６ｂ、１６ｂは図
示しない真空吸引装置に連結されている。従って、真空
吸引装置が駆動されることによって、上記吸引スリット
１６ａに負圧が生じるようになっている。具体的には、
外径約１０ｍｍのＳＵＳ鋼管に幅約０．５ｍｍのスリッ
トを形成して成る。このような吸引チャック１６は貼付
ローラ１５と一体に移動するように構成されると共に図
示しないエアシリンダによって上下に移動されるように
なっている。

【００２６】さらに、サブカッター１７が貼付ローラ１
５と一体に移動するように設けられる。

【００２７】支持台１３が上昇した位置における下流側
に接して気体供給ノズル１８が配置されている。気体供
給ノズル１８は、図３に示すように、走行する保護テー
プ２の幅方向に長い筒状をしており、長手方向に沿って
配列され上斜め上流側を向いた複数の噴射口１８ａ、１
８ａ、・・・を有し、一方の端面に設けられた連結管１
８ｂが図示しない気体供給装置に接続され、該気体供給
装置が駆動されることによって上記噴射口１８ａ、１８
ａ、・・・から気体が上斜め上流方向に向かって噴射さ
れる。具体的には、外径約６．３５ｍｍのＳＵＳ鋼管に
直径約０．５ｍｍの孔を複数個形成した構造を有する。
なお、気体噴射ノズル１８から噴射する気体の種類は特
に問うものでないが、粘着材にＵＶ（紫外線）硬化型の
ものを使用した保護テープ、いわゆるＵＶテープを使用
する場合には、酸素の混入による粘着材の硬化を避ける
ため、窒素等の不活性ガスを使用することが望ましい。

【００２８】保護テープ２を挟んで支持台１３の上方に
外周カッター１９が昇降及び回転自在に配設されてい
る。

【００２９】上記保護テープ貼付装置１によるウェーハ
９への保護テープ２の貼付は図４乃至図１２に示すよう
に為される。

【００３０】先ず、下降位置にある支持台１３上にウェ
ーハ９が所定の向きで載置される。この時、ウェーハ９
のオリエンテーションフラット（以下、「オリフラ」と
いう。）９ａの延びる方向が保護テープ２の走行方向に
沿うようにされる（図１０参照）。そして、支持台１３
が上昇され（図４に示す位置）、テープ引出チャック１
４が支持台１３の手前、すなわち、上流側において保護
テープ２を挟持し、そのまま支持台１３の上方を下流
側、すなわち、図４中矢印の方向に移動し、これによっ
て、保護テープ２を必要分だけ引き出す（図４、図５参
照）。

【００３１】次いで、テープ引出チャック１４を僅かに
上流側、すなわち、図５中矢印の方向に戻し、保護テー
プ２に弛みをつける（図５、図６参照）。また、気体供
給ノズル１８から気体２０、例えば、窒素ガス等の不活
性ガスを噴射し、弛んだ保護テープ２を浮遊した状態と
し、支持台１３の上方に位置している保護テープ２がほ
ぼテンションがない状態とする。また、保護テープ２を
気体供給ノズル１８から噴射される気体によって浮遊さ
せただけでは、保護テープ２の位置が不安定でウェーハ
９への貼付精度が良くないので、上記吸引チャック１６
によって保護テープ２を吸着し、保護テープ２を貼付ロ
ーラ１５の前に確実に位置させると共にその姿勢を水平
に保つ（図６参照）。

【００３２】それから、貼付ローラ１５を保護テープ２
を挟んでウェーハ９の上を下流側、すなわち、図６中矢
印方向に走行させて、保護テープ２をウェーハ９の上面
に貼り付ける（図６、図７参照）。この時、貼付ローラ
１５と共に移動するサブカッター１７によって、保護テ
ープ２のうちウェーハ９のオリフラ９ａに沿った部分が
切断される。ここで、気体供給ノズル１８による気体の
噴射及び吸引チャック１６による保護テープ２の吸引が
停止される。

【００３３】次いで、貼付ローラ１５を元の位置に、す
なわち、図７中矢印方向に戻し（図７、図８参照）、外
周カッター１９を下降させる（図８、図９参照）。

【００３４】そして、下降した外周カッター１９を回転
させて、保護テープ２をウェーハ９のオリフラ９ａ部分
を除く円弧を為す外周部分９ｂに沿って切断してから、
外周カッター１９を上昇させる（図９、図１１参照）。

【００３５】それから、テープ引出チャック１４を元の
位置へ、すなわち、図１１中矢印方向へ戻して、保護テ
ープ２のウェーハ９に貼り付けられた残りのカス部分２
ａ（図１０参照）をウェーハ９の上方に位置させ（図１
１、図１２参照）、次いで、支持台１３を下降させて
（図１２参照）、保護テープ２が貼り付けられたウェー
ハ９を排出する。

【００３６】以上のようにして、保護テープ２のウェー
ハ９への貼付が為される。

【００３７】上記したウェーハ保護テープ貼付装置１に
よって、ウェーハ９に保護テープ２を貼り付けると、貼
付後の保護テープ２のテンションが低く、ウェーハ９に
過度のストレスがかかることがない。また、保護テープ
２に皺ができたり、保護テープ２とウェーハ９との間に
気泡ができたりすることがない。

【００３８】ちなみに、従来装置によって保護テープを
貼り付けたウェーハにおける外周部と中心部との間の反
りがＸ（横）方向で３０μｍ、Ｙ（縦）方向で１０μｍ
であったものが、上記装置１によって保護テープを貼り
付けたウェーハにあってはＸ（横）方向で７μｍ、Ｙ
（縦）方向で４μｍと、著しく改善された。

【００３９】そして、上記ウェーハ保護テープ貼付装置
１にあっては、保護テープ２の種類が替わっても、調整
のし直しをする必要がない。

【００４０】なお、上記した実施の形態において示した
各部の形状乃至構造は、何れも本発明を実施するに際し
て行う具体化のほんの一例を示したものに過ぎず、これ
らによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されるよ
うなことがあってはならないものである。

【００４１】

【発明の効果】以上に記載したところから明らかなよう
に、本発明ウェーハ保護テープ貼付装置は、一定の方向
に走行される保護テープをウェーハに貼り付けると共に
保護テープをウェーハの周囲に沿って切断するウェーハ
保護テープ貼付装置であって、ウェーハを支持する支持
台と、上記支持台に支持されたウェーハの上方に保護テ
ープを間欠的に供給する保護テープ供給手段と、ウェー
ハの上方に供給された保護テープとウェーハとの間に気
体を供給してウェーハの上方で保護テープを浮遊させる
気体供給手段と、上記浮遊している保護テープをウェー
ハに押圧しながら走行することによって保護テープをウ
ェーハに貼り付ける貼付ローラと、ウェーハに貼り付け
られた保護テープをウェーハの周囲に沿って切断するテ
ープ切断手段とを備えたことを特徴とする。

【００４２】従って、本発明ウェーハ保護テープ貼付装
置にあっては、保護テープを気体によって浮遊した状態
にして貼り付けるので、ウェーハの全面に亘って均一且
つ低テンションでの貼付ができ、また、皺や気泡の発生
もなく、さらに、異なる保護テープ毎に調整を行う必要
もない。

【００４３】請求項２に記載した発明にあっては、上記
気体を不活性ガスとしたので、粘着材にＵＶ硬化型のも
のを使用した保護テープを用いる場合でも、酸素の混入
による粘着材の硬化を防止することができる。

【００４４】請求項３及び請求項４に記載した発明にあ
っては、上記貼付ローラの走行前面に吸引チャックを設
け、貼付ローラがウェーハ上を走行するときに上記吸引
チャックが保護テープを吸引して保護テープを貼り付け
ローラの走行面に沿って位置させるようにしたので、上
記気体の噴射によって浮遊させた保護テープの位置及び
姿勢を安定に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明ウェーハ保護テープ貼付装置の実施の形
態を示す概略側面図である。

【図２】吸引チャックの概略斜視図である。

【図３】気体供給手段の概略斜視図である。

【図４】図５乃至図１２と共にウェーハへの保護テープ
の貼付の工程を順を追って示すものであり、本図は保護
テープを所定量引き出す工程を示す概略側面図である。

【図５】所定量引き出した保護テープに弛みを設ける工
程を示す概略側面図である。

【図６】弛みを設けた保護テープを気体噴射によって浮
遊させると共に吸引チャックによって吸引する工程を示
す概略側面図である。

【図７】貼付ローラによって保護テープをウェーハに貼
り付ける工程を示す概略側面図である。

【図８】貼付ローラが元の位置に戻った状態を示す概略
側面図である。

【図９】外周カッターによって保護テープをウェーハの
円弧部に沿って切断する工程を示す概略側面図である。

【図１０】保護テープをウェーハの外周に沿って切断し
た後の状態を示す概略平面図である。

【図１１】切断を終了した外周カッターが上方へ移動し
た状態を示す概略側面図である。

【図１２】保護テープのウェーハへの貼付が終了した状
態を示す概略側面図である。

【図１３】従来のウェーハ保護テープ貼付装置の一例を
示す概略側面図である。

【図１４】図１５乃至図２１と共にウェーハへの保護テ
ープの貼付の工程を順を追って示すものであり、本図は
保護テープを所定量引き出す工程を示す概略側面図であ
る。

【図１５】所定量引き出した保護テープに弛みを設ける
工程を示す概略側面図である。

【図１６】保護テープに弛みを設けた状態示す概略側面
図である。

【図１７】貼付ローラによって保護テープをウェーハに
貼り付ける工程を示す概略側面図である。

【図１８】貼付ローラが元の位置に戻った状態を示す概
略側面図である。

【図１９】外周カッターによって保護テープをウェーハ
の円弧部に沿って切断する工程を示す概略側面図であ
る。

【図２０】切断を終了した外周カッターが上方へ移動し
た状態を示す概略側面図である。

【図２１】保護テープのウェーハへの貼付が終了した状
態を示す概略側面図である。

【符号の説明】

１…ウェーハ保護テープ貼付装置、２…保護テープ、９
…ウェーハ、１３…支持台、１４…テープ引出チャック
（テープ供給手段）、１５…テープ貼付ローラ、１６…
吸引チャック、１７…サブカッター（テープ切断手
段）、１８…気体供給ノズル（気体供給手段）、１９…
外周カッター（テープ切断手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一定の方向に走行される保護テープをウ
   ェーハに貼り付けると共に保護テープをウェーハの周囲
   に沿って切断するウェーハ保護テープ貼付装置であっ
   て、 ウェーハを支持する支持台と、 上記支持台に支持されたウェーハの上方に保護テープを
   間欠的に供給する保護テープ供給手段と、 ウェーハの上方に供給された保護テープとウェーハとの
   間に気体を供給してウェーハの上方で保護テープを浮遊
   させる気体供給手段と、 上記浮遊している保護テープをウェーハに押圧しながら
   走行することによって保護テープをウェーハに貼り付け
   る貼付ローラと、 ウェーハに貼り付けられた保護テープをウェーハの周囲
   に沿って切断するテープ切断手段とを備えたことを特徴
   とするウェーハ保護テープ貼付装置。
2. 【請求項２】 上記気体が不活性ガスであることを特徴
   とする請求項１に記載のウェーハ保護テープ貼付装置。
3. 【請求項３】 上記貼付ローラの走行前面に吸引チャッ
   クを設け、 貼付ローラがウェーハ上を走行するときに上記吸引チャ
   ックが保護テープを吸引して保護テープを貼り付けロー
   ラの走行面に沿って位置させることを特徴とする請求項
   １に記載のウェーハ保護テープ貼付装置。
4. 【請求項４】 上記貼付ローラの走行前面に吸引チャッ
   クを設け、 貼付ローラがウェーハ上を走行するときに上記吸引チャ
   ックが保護テープを吸引して保護テープを貼り付けロー
   ラの走行面に沿って位置させることを特徴とする請求項
   ２に記載のウェーハ保護テープ貼付装置。