JP5203856B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
前記接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献1及び2に記載されているように、接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープをウエハに対して引っ張り、これらを相対移動することで剥離可能とした構成が知られている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを剥離する際の損傷等を回避することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、当該繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段とを備え、
前記接着シートに貼付された剥離用テープを、繰出手段を介して繰り出すことで前記相対移動が可能とされ、前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持し、当該被着体から接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離可能に設けられ、
前記貼付手段は、前記支持手段で支持された被着体に対して離間した位置から当該被着体に接近することで、前記剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付可能に設けられる、という構成を採っている。
前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持する工程と、
前記支持手段で支持された被着体に対し、貼付手段が離間した位置から当該被着体に接近することで、剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付する工程と、
接着シートに貼付された剥離用テープを繰り出すことで当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させ、前記被着体から前記接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
また、接着シートSの図3(A)中右端側領域を加熱手段30で加熱するので、接着シートSの剥離において剥離切っ掛けとなる部分の貼付力を高めることができ、接着シートSの確実な剥離を実現することが可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 支持手段
12 繰出手段
13 貼付手段
17A 載置面
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、当該繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段とを備え、
前記接着シートに貼付された剥離用テープを、繰出手段を介して繰り出すことで前記相対移動が可能とされ、前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持し、当該被着体から接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離可能に設けられ、
前記貼付手段は、前記支持手段で支持された被着体に対して離間した位置から当該被着体に接近することで、前記剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記支持手段は、被着体に貼付された接着シートを吸着して載置可能な載置面を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持する工程と、
前記支持手段で支持された被着体に対し、貼付手段が離間した位置から当該被着体に接近することで、剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付する工程と、
接着シートに貼付された剥離用テープを繰り出すことで当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させ、前記被着体から前記接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
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