JP5203856B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents

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本発明は、シート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、剥離用テープを介して半導体ウエハ等の被着体に貼付された接着シートを剥離するシート剥離装置及び剥離方法に関する。
半導体ウエハ(以下、単に、「ウエハ」と称する)には、回路面を保護するための接着シートが貼付され、ウエハの裏面研削等の処理を行った後の段階で、前記接着シートを剥離することが行われている。
前記接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献1及び2に記載されているように、接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープをウエハに対して引っ張り、これらを相対移動することで剥離可能とした構成が知られている。
特開平6−140318号公報 特開2002−124494号公報
特許文献1及び2にあっては、所定のテーブル上にウエハの面が直接載置される。すなわち、テーブルにウエハが接触して支持されるため、接着シートを剥離するときに、ウエハに割れや損傷が生じ易くなる、という不都合がある。特に、近時の極薄化や大径化が求められるウエハでは、剥離時に細心の注意が必要となり、場合によっては接着シートの剥離が行えなくなる、という不都合を招来する。
[発明の目的]
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを剥離する際の損傷等を回避することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、当該繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段とを備え、
前記接着シートに貼付された剥離用テープを、繰出手段を介して繰り出すことで前記相対移動が可能とされ、前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持し、当該被着体から接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離可能に設けられ、
前記貼付手段は、前記支持手段で支持された被着体に対して離間した位置から当該被着体に接近することで、前記剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付可能に設けられる、という構成を採っている。
本発明において、前記支持手段は、被着体に貼付された接着シートを吸着して載置可能な載置面を備える、という構成を採ることが好ましい。
また、本発明の剥離方法は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持する工程と、
前記支持手段で支持された被着体に対し、貼付手段が離間した位置から当該被着体に接近することで、剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付する工程と、
接着シートに貼付された剥離用テープを繰り出すことで当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させ、前記被着体から前記接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
本発明によれば、支持手段が接着シートにだけ接触するので、剥離テープを用いて剥離するときに、支持手段と被着体とを非接触とすることができる。これにより、接着シートの剥離時に、支持手段が被着体に接触することに起因する被着体の損傷等を回避することができる。特に、被着体がウエハ等の取り扱いに注意が必要となるものであっても、接着シートを安定して剥離でき、歩留まり向上を図ることが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1には、実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示され、図2には、図1の部分平面図が示されている。これらの図において、シート剥離装置10は、略円形の被着体としてのウエハWを支持する支持手段11と、ウエハWの回路面に貼付された保護用の接着シートSに接着される帯状の剥離用テープPTを繰り出し、巻き取り可能に設けられた繰出手段12と、この繰出手段12から繰り出された剥離用テープPTを接着シートSに貼付する貼付手段13とを備えて構成されている。なお、剥離用テープPTは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープとされる。
前記ウエハWは、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで形成される凹部W1を備え、その外縁が相対的に肉厚となって補強材の役目をし、ウエハWが損傷することを防止できるようになっている。
前記支持手段11は、図示しないブラケットを介して支持されるとともに、図1中紙面直交方向(図2中上下方向)に並設された2本の支持バー17を備えている。各支持バー17は、その上面がウエハWが載置される載置面17Aとされ、当該載置面17Aには、ウエハWが載置される領域に多数の吸着孔18が設けられている。各吸着孔18は、図示しない減圧ポンプに接続されており、これにより、載置面17AでウエハWに貼付された接着シートSを吸着保持可能となっている。
前記繰出手段12は、図示しないフレームに回転可能に支持され、巻回された剥離用テープPTを支持する支持軸20と、正逆回転可能なモータM1を介して回転可能に設けられた繰出ローラ21と、当該繰出ローラ21との間に剥離用テープPTを挟み込むピンチローラ22と、複数のガイドローラ24と、正逆回転可能なモータM2を介して回転可能に設けられ巻取ローラ32及びピンチローラ33と、剥離用テープPTを巻き取る巻取軸34とを備えている。
前記貼付手段13は、各支持バー17の間に位置するとともに、ガイドローラ24に案内される剥離用テープPTが先端に掛け回されるピールプレート25と、このピールプレート25の基部を支持し、当該ピールプレート25を図1中左右に移動させるリニアモータ26及びそのスライダ27と、このリニアモータ26を介してピールプレート25を右方向に移動し、支持バー17とピールプレート25との各先端を一致させたときに、ウエハWの上方に位置する押圧手段29とを備えて構成されている。押圧手段29は、温風等を吹き出すことで、ウエハWを下方に向かって押圧し、当該ウエハWを加熱しつつ剥離用テープPTに向かって非接触で押さえ付け可能に設けられている。ここで、ピールプレート25には、ヒータ等からなる加熱手段30が内蔵されている。この加熱手段30は、前記支持バー17とピールプレート25との各先端を一致させたときに、ウエハWの図2中右端部領域に重なる位置に設けられている。
次に、シート剥離装置10による接着シートSの剥離方法について説明する。
まず、支持軸20から引き出された剥離用テープPTは、繰出ローラ21及びピンチローラ22の間を経てピールプレート25の先端で折り返された後、巻取ローラ32及びピンチローラ33の間を経て巻取軸34にそのリード端が接続される。
次に、図示しない搬送アーム等を介して、吸着孔18が形成された載置面17A上に接着シートSが貼付されたウエハWを載置する。このとき、接着シートSだけが載置面17Aに接触し、ウエハWが載置面17Aを含む支持手段11の何れの領域に対しても非接触となって支持される。載置面17A上にウエハWが載置されると、吸着孔18により吸気が行われて接着シートSが吸着され、ウエハWが支持される。
次いで、リニアモータ26を介してピールプレート25を図1中右方向に移動するとともに、繰出ローラ21が回転ロックされた状態で、巻取ローラ32が回転されて剥離用テープPTを巻取軸34側から繰り出しつつ、図3(A)に示されるように、接着シートSの下方にピールプレート25及び剥離用テープPTを対向配置させる。この動作によって、接着シートSの下面に剥離用テープが当接するように繰り出される。そして、ピールプレート25の先端と各支持バー17の先端とが、略同一直線上に位置したときに、ピールプレート25の移動と巻取ローラ32の回転が停止して待機状態となる。
次に、押圧手段29によりウエハW上面に向かって温風を吹き付け、接着シートSを剥離用テープPTに押さえ付けるとともに、ウエハWを介して剥離用テープPTを加熱する。これにより、図3(A)に示される状態で、接着シートSに剥離用テープPTが貼付される。このとき、接着シートSの同図中右端側領域は、加熱手段30によっても加熱されるので、当該領域の剥離用テープPTとの貼付力を増大させることができる。
剥離用テープPTの貼付後、吸着孔18による吸気を解除し、繰出ローラ21と巻取ローラ32とを回転し、剥離用テープPTを巻取軸34に向かって繰り出す。この繰り出しによって、接着シートSが貼付されたウエハWも剥離用テープPTと共に図3(A)中右方向に進行する。そして、図3(B)に示されるように、ピールプレート25及び支持バー17の各先端を通過するときに、剥離用テープPTと共に接着シートSが折り返され、ウエハWと剥離用テープPTとが相対移動してウエハWから接着シートSが剥離される。これにより、支持バー17等がウエハWに非接触の状態を維持したまま、相対移動を許容してウエハWから接着シートSを剥離可能となる。剥離された接着シートSは、剥離用テープPTと一緒に巻取軸34に巻き取られて回収される。その後、繰出ローラ21が回転をロックされた状態で、巻取ローラ32が回転されてピールプレート25が初期位置に復帰した後、繰出ローラ21と巻取ローラ32とが次の剥離動作に備えて剥離用テープPTを接着シートSの直径長さ以上繰り出して停止し、以降上記同様の動作が繰り返されることとなる。
ここで、図4及び図5に示されるように、搬送手段38、40を介してピールプレート25及び支持バー17の各先端を通過するウエハWを保持することが好ましい。図4の搬送手段38は、ウエハWに向かって気体を噴出して負圧を発生させるベルヌーイチャックであって、ウエハWを非接触の状態で保持して搬送できるようになっている。図5の搬送手段40は、ウエハWに形成された凹部W1の外側の外縁部を吸着する複数の吸着パッド41を備え、凹部W1の底部と非接触状態でウエハWを保持可能に設けられている。何れの搬送手段38、40も接着シートSの剥離に伴うウエハWの移動に同期して矢印AS方向に移動可能に構成されている。
従って、このような実施形態によれば、接着シートSの剥離に際し、ウエハWを支持する支持手段11が当該ウエハWに接触しないようにすることができる。これにより、支持手段11とウエハWとの接触が原因となるウエハWの割れや損傷を回避することができ、取り扱いに細心の注意を要するウエハWであっても、接着シートSの剥離を行えるようになる。
また、接着シートSの図3(A)中右端側領域を加熱手段30で加熱するので、接着シートSの剥離において剥離切っ掛けとなる部分の貼付力を高めることができ、接着シートSの確実な剥離を実現することが可能となる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
例えば、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、前記凹部の形成を省略した半導体ウエハとしてもよい。
更に、剥離用テープPTを感圧接着性の接着テープとすることもできる。
実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。 図1の部分平面図。 (A)及び(B)は、接着シートの剥離要領の説明図。 搬送手段の一例を示す部分正面図。 搬送手段の他の一例を示す部分正面図。
符号の説明
10 シート剥離装置
11 支持手段
12 繰出手段
13 貼付手段
17A 載置面
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)

Claims (3)

  1. 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
    前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、当該繰出手段から繰り出された剥離用テープを接着シートに貼付する貼付手段とを備え、
    前記接着シートに貼付された剥離用テープを、繰出手段を介して繰り出すことで前記相対移動が可能とされ、前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持し、当該被着体から接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離可能に設けられ、
    前記貼付手段は、前記支持手段で支持された被着体に対して離間した位置から当該被着体に接近することで、前記剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。
  2. 前記支持手段は、被着体に貼付された接着シートを吸着して載置可能な載置面を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
  3. 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと被着体との相対移動によって接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
    前記接着シートを間に挟んで前記支持手段で前記被着体を支持する工程と、
    前記支持手段で支持された被着体に対し、貼付手段が離間した位置から当該被着体に接近することで、剥離用テープを前記接着シートにおける剥離終端部から剥離始端部へ徐々に貼付する工程と、
    接着シートに貼付された剥離用テープを繰り出すことで当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させ、前記被着体から前記接着シートを剥離始端部から剥離終端部に向けて剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
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