JP6823921B2 - シート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
一方、接着シートの剥離開始端縁を円弧形状にすると、当該剥離開始端縁を被着体に貼付した際、接着シートに付与される張力によって当該接着シートに皺が生じてしまうという不都合がある。
また、接着シートの外縁部に第2頂点部を形成することにより、第1頂点部で第1線部が成す角度を大きくすることができるので、第1頂点部を直線形状に近付けることができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がY軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
切断刃31は、図2中実線で示すように、接着シート基材ABに第1頂点部TP1及び複数の第1直線部LP1の切込を形成する略L字形状の第1刃部31Aと、接着シート基材ABに第2直線部LP2の切込を形成するとともに、第1刃部31Aとで接着シート基材ABに第2頂点部TP2を形成する直線形状の複数の第2刃部31Bと、第2刃部31Bに連なり、接着シート基材ABに円弧部LP3の切込を形成する円弧形状の第3刃部31Cとを備えている。
第1直線部LP1は、第1頂点部TP1から仮想円CRの外側にのびる直線形状を有している。第1直線部LP1の夾角θ1は、鈍角とされ、第2直線部LP2の夾角θ2よりも大きく形成されている。第2頂点部TP2は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側であって、仮想円CRの外側の位置に設けられている。
第2直線部LP2は、第2頂点部TP2から仮想円CRの接線方向にのびる直線形状を有し、当該仮想円CR上で円弧部LP3に連なっている。本実施形態の場合、第2直線部LP2の夾角θ2は、鈍角とされている。
円弧部LP3は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側に一端と他端とを有し、中心CPを囲うように連なった円弧形状を有している。
テーブル62は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームRFを吸着保持可能な支持面62Aと、支持面62Aの内側に設けられ、図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面62Bとを備えている。
先ず、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20および切断手段30が回動モータ22A、25A、26A、32を駆動し、原反RSを繰り出す。これにより、切断刃31で接着シート基材ABに閉ループ状の切込CUが形成されて当該切込CUの内側に接着シートASが形成され、当該接着シートASの外縁部EDに第1頂点部TP1、第1直線部LP1、第2直線部LP2および円弧部LP3が形成される。そして、図1に示すように、剥離板40上に位置する先頭の接着シートASが第1頂点部TP1を剥離開始端縁として剥離板40で剥離シートRLから所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および切断手段30が回動モータ22A、25A、26A、32の駆動を停止させ、スタンバイ状態となる。
繰出手段20は、枚葉の原反を繰り出してもよく、この場合、切断手段30は、上記と同様にして枚葉の接着シート基材ABに切込CUを形成すればよい。
切断刃31は、接着シートASの外縁部EDに第1頂点部TP1、第1線部、第2線部および第3線部を形成可能であればよく、接着シートASの外縁部EDの形状に合わせて第1刃部31Aを三角波形や直線形状としたり、第2刃部31Bを円弧形状としたり、第3刃部31Cを2つの第2刃部31Bに連なる2つの独立した円弧形状としたり、図2中二鎖線で示すように、第1刃部31Aおよび第2刃部31Bを他の位置にも設けたりしてもよい。
切断手段30は、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等を採用することができる。
押圧部材は、第1頂点部TP1および複数の第2頂点部TP2の何れか一方から接着シートASを被着体に押圧するものであってもよい。
支持手段60は、テーブル62の位置を固定しておきシート貼付装置10を移動させてもよいし、テーブル62およびシート貼付装置10の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置10に対し、他の装置でウエハWFおよびリングフレームRFを相対移動させる場合、支持手段60はなくてもよい。
接着シートASは、図1中二点鎖線で示すように、第1頂点部TP1、第2頂点部TP2、第1直線部LP1および第2直線部LP2を原反RSの繰出方向下流側にも設けたり、前後の一方または両方その他の位置にも設けたりしてもよい。
接着シートASは、前後対称に形成されていなくてもよく、例えば、第2頂点部TP2の位置が前後で異なっていてもよい。
第2線部は、円弧形状であってもよい。
第2直線部LP2は、円弧部LP3にその接線方向に連なっていなくてもよい。
第2、第3線部は、円弧形状と直線形状を組み合わせた形状であってもよい。
円弧部LP3は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側に一端を有し、中心CPよりも第1頂点部TP1の反対側に他端を有していてもよいし、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1の反対側に一端と他端とを有していてもよいし、仮想円CRの中心CPと前後方向一直線上となる位置に一端と他端とを有していてもよい。
夾角θ1、θ2は、鋭角であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
30 切断手段
40 剥離板(剥離手段)
50 押圧手段
AB 接着シート基材
AS 接着シート
CU 切込
ED 外縁部
LP1 第1直線部(第1線部)
LP2 第2直線部(第2線部)
LP3 円弧部(第3線部)
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
TP1 第1頂点部
TP2 第2頂点部
WF ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート製造装置。 - 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段と、
前記切断手段で切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記押圧手段は、変形可能な外周面を有する押圧部材を備え、
前記押圧部材は、前記接着シートを前記被着体に押圧したときに、当該押圧部材の外周面が前記第1頂点部と複数の第2頂点部とを同時に押圧可能に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート製造方法。 - 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
繰り出された原反の接着シート基材に切断刃で所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程と、
切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程と、
剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。
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