JP6823921B2 - シート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

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本発明は、シート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法に関する。
従来、仮着した剥離シートから剥離され、被着体に貼付される接着シートを製造するシート製造装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2014−17357号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のシート製造装置で製造された接着シートは、剥離シートから剥離が開始される剥離開始端縁が直線形状を有しているため、接着シートが剥離シートから剥離され難く、剥離シートから接着シートを確実に剥離することができないという不都合がある。
一方、接着シートの剥離開始端縁を円弧形状にすると、当該剥離開始端縁を被着体に貼付した際、接着シートに付与される張力によって当該接着シートに皺が生じてしまうという不都合がある。
本発明の目的は、剥離シートから確実に剥離することができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができるシート製造装置および製造方法並びにシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
本発明のシート製造装置は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段とを備え、前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とする。
本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段と、前記切断手段で切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とする。
本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、変形可能な外周面を有する押圧部材を備え、前記押圧部材は、前記接着シートを前記被着体に押圧したときに、当該押圧部材の外周面が前記第1頂点部と複数の第2頂点部とを同時に押圧可能に設けられていることが好ましい。
本発明のシート製造方法は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程とを備え、前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とする。
本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、繰り出された原反の接着シート基材に切断刃で所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程と、切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程と、剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とする。
以上のような本発明によれば、接着シートの外縁部に第1頂点部を形成するため、第1頂点部をきっかけとして剥離することができ、剥離シートから確実に剥離することができる接着シートを製造することができる。
また、接着シートの外縁部に第2頂点部を形成することにより、第1頂点部で第1線部が成す角度を大きくすることができるので、第1頂点部を直線形状に近付けることができ、被着体に貼付する際に皺が生じにくい接着シートを製造することができる。
また、押圧部材の外周面を第1頂点部と複数の第2頂点部とを同時に押圧可能にすれば、被着体に第1頂点部を押圧しつつ第2頂点部を押圧することができるので、接着シートに皺が生じることを確実に防止することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 シート貼付装置の切断刃の展開図。 接着シートを被着体に貼付した状態の平面図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がY軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート貼付装置10は、帯状の剥離シートRLに帯状の接着シート基材ABが仮着された原反RSを繰り出す繰出手段20と、繰出手段20で繰り出された原反RSの接着シート基材ABに所定形状の切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成する切断手段30と、切断手段30で切断された接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離手段としての剥離板40と、剥離板40で剥離された接着シートASを被着体としてのリングフレームRFおよび被着体としてのウエハWFに押圧して貼付する押圧手段50とを備え、ウエハWFおよびリングフレームRFを支持する支持手段60の上方に配置されている。ここで、繰出手段20と切断手段30とで本発明のシート製造装置10Aが構成される。
繰出手段20は、原反RSを支持する支持ローラ21と、駆動機器としての回動モータ22Aによって駆動される駆動ローラ22と、駆動ローラ22との間に原反RSを挟み込むピンチローラ23と、接着シート基材ABにおける切込CUの外側に形成された不要接着シートUSを折り返して剥離シートRLから剥離する剥離ローラ24と、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動され、不要接着シートUSを回収する回収ローラ25と、駆動機器としての回動モータ26Aによって駆動される駆動ローラ26と、駆動ローラ26との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ27と、剥離シートRLを回収する回収ローラ28とを備えている。
切断手段30は、閉ループ状の切断刃31と、駆動機器としての回動モータ32によって駆動され、切断刃31を支持する円筒面33Aを有する切断刃支持部材としてのカッターローラ33と、原反RSを挟んでカッターローラ33に対向配置されたプラテンローラ34とを備え、接着シートASの外縁部EDに剥離シートRLから剥離が開始される第1頂点部TP1と、第1頂点部TP1からのびる複数の第1線部としての第1直線部LP1と、第1直線部LP1に連なり、当該第1直線部LP1とで第2頂点部TP2を形成する複数の第2線部としての第2直線部LP2と、第2直線部LP2に連なる第3線部としての円弧部LP3とを形成可能に設けられている。
切断刃31は、図2中実線で示すように、接着シート基材ABに第1頂点部TP1及び複数の第1直線部LP1の切込を形成する略L字形状の第1刃部31Aと、接着シート基材ABに第2直線部LP2の切込を形成するとともに、第1刃部31Aとで接着シート基材ABに第2頂点部TP2を形成する直線形状の複数の第2刃部31Bと、第2刃部31Bに連なり、接着シート基材ABに円弧部LP3の切込を形成する円弧形状の第3刃部31Cとを備えている。
第1頂点部TP1は、図1に示すように、原反RSの繰出方向下流側に設けられ、2つの第1直線部LP1の交点部分であり、円弧部LP3を形成する仮想円CRの内側の位置に設けられている。
第1直線部LP1は、第1頂点部TP1から仮想円CRの外側にのびる直線形状を有している。第1直線部LP1の夾角θ1は、鈍角とされ、第2直線部LP2の夾角θ2よりも大きく形成されている。第2頂点部TP2は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側であって、仮想円CRの外側の位置に設けられている。
第2直線部LP2は、第2頂点部TP2から仮想円CRの接線方向にのびる直線形状を有し、当該仮想円CR上で円弧部LP3に連なっている。本実施形態の場合、第2直線部LP2の夾角θ2は、鈍角とされている。
円弧部LP3は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側に一端と他端とを有し、中心CPを囲うように連なった円弧形状を有している。
押圧手段50は、変形可能な外周面51Aを有する押圧部材としての押圧ローラ51を備えている。押圧ローラ51は、接着シートASをリングフレームRFに押圧したときに、当該押圧ローラ51の外周面51Aが第1頂点部TP1と複数の第2頂点部TP2とを同時に押圧可能に設けられている。すなわち、押圧ローラ51は、図3に示すように、原反RSの繰出方向長さが第1頂点部TP1および第2頂点部TP2間の長さPL以上の押圧面に変形し、第1頂点部TP1と複数の第2頂点部TP2とを同時に押圧できるようになっている。
支持手段60は、駆動機器としてのリニアモータ61と、リニアモータ61のスライダ61Aに支持されたテーブル62とを備えている。
テーブル62は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームRFを吸着保持可能な支持面62Aと、支持面62Aの内側に設けられ、図示しない減圧手段によってウエハWFを吸着保持可能な支持面62Bとを備えている。
以上のシート貼付装置10において、接着シートASを製造し、当該接着シートASをリングフレームRFおよびウエハWFに貼付する手順について説明する。
先ず、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20および切断手段30が回動モータ22A、25A、26A、32を駆動し、原反RSを繰り出す。これにより、切断刃31で接着シート基材ABに閉ループ状の切込CUが形成されて当該切込CUの内側に接着シートASが形成され、当該接着シートASの外縁部EDに第1頂点部TP1、第1直線部LP1、第2直線部LP2および円弧部LP3が形成される。そして、図1に示すように、剥離板40上に位置する先頭の接着シートASが第1頂点部TP1を剥離開始端縁として剥離板40で剥離シートRLから所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および切断手段30が回動モータ22A、25A、26A、32の駆動を停止させ、スタンバイ状態となる。
その後、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図1中実線で示す初期位置にあるテーブル62の支持面62A、62B上にリングフレームRFおよびウエハWFを載置すると、支持手段60が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームRFおよびウエハWFを吸着保持した後、リニアモータ61を駆動し、テーブル62を左方向に移動させる。そして、ウエハWFが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20および切断手段30が回動モータ22A、25A、26A、32を駆動し、テーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、先頭の接着シートASが剥離板40で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ51でリングフレームRFおよびウエハWFに押圧されて貼付される。なお、接着シートASは、貼付初期において押圧ローラ51により第1頂点部TP1と複数の第2頂点部TP2とが同時に押圧された後、その全体が当該押圧ローラ51により押圧されてリングフレームRFおよびウエハWFに貼付される。
ウエハWFおよびリングフレームRFに接着シートASの貼付が完了すると、支持手段60がリニアモータ61および図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段が、接着シートASを介してウエハWFとリングフレームRFとが一体化された一体物WKを次工程に搬送する。そして、支持手段60がリニアモータ61を駆動し、テーブル62を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、接着シートASの外縁部EDに第1頂点部TP1を形成するため、第1頂点部TP1をきっかけとして剥離することができ、剥離シートRLから確実に剥離することができる接着シートASを製造することができる。また、接着シートASの外縁部EDに第2頂点部TP2を形成することにより、第1頂点部TP1で第1直線部LP1が成す角度を大きくすることができるので、第1頂点部TP1を直線形状に近付けることができ、リングフレームRFおよびウエハWFに貼付する際に皺が生じにくい接着シートASを製造することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
例えば、シート製造装置10Aは、接着シート基材ABに切込CUが形成された原反RSや、不要接着シートUSを剥離した後の原反RSを他の装置に供給してもよいし、これらの原反RSを回収ローラや回収箱等の回収手段で回収してもよい。
繰出手段20は、枚葉の原反を繰り出してもよく、この場合、切断手段30は、上記と同様にして枚葉の接着シート基材ABに切込CUを形成すればよい。
切断手段30は、平坦な支持面に支持された切断刃を有する切断刃支持部材としてのカッタ板を接着シート基材ABに押圧して、当該接着シート基材ABに切込CUを形成してもよい。
切断刃31は、接着シートASの外縁部EDに第1頂点部TP1、第1線部、第2線部および第3線部を形成可能であればよく、接着シートASの外縁部EDの形状に合わせて第1刃部31Aを三角波形や直線形状としたり、第2刃部31Bを円弧形状としたり、第3刃部31Cを2つの第2刃部31Bに連なる2つの独立した円弧形状としたり、図2中二鎖線で示すように、第1刃部31Aおよび第2刃部31Bを他の位置にも設けたりしてもよい。
切断手段30は、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等を採用することができる。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段50は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、金属や硬質樹脂等の変形しない部材で構成してもよい。
押圧部材は、第1頂点部TP1および複数の第2頂点部TP2の何れか一方から接着シートASを被着体に押圧するものであってもよい。
支持手段60は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被着体やフレーム部材を支持する構成でもよい。
支持手段60は、テーブル62の位置を固定しておきシート貼付装置10を移動させてもよいし、テーブル62およびシート貼付装置10の両方を移動させてもよい。
シート貼付装置10に対し、他の装置でウエハWFおよびリングフレームRFを相対移動させる場合、支持手段60はなくてもよい。
接着シートASは、第1頂点部TP1が仮想円CRの外側に設けられてもよい。
接着シートASは、図1中二点鎖線で示すように、第1頂点部TP1、第2頂点部TP2、第1直線部LP1および第2直線部LP2を原反RSの繰出方向下流側にも設けたり、前後の一方または両方その他の位置にも設けたりしてもよい。
接着シートASは、前後対称に形成されていなくてもよく、例えば、第2頂点部TP2の位置が前後で異なっていてもよい。
第1線部は、第1直線部LP1を4つ以上連ねて、複数の第1頂点部TP1を有する三角波形を形成してもよいし、2つの第1直線部LP1を一直線上に連ねて、第1頂点部TP1を内在させた1本の直線形状としてもよい。
第2線部は、円弧形状であってもよい。
第2直線部LP2は、円弧部LP3にその接線方向に連なっていなくてもよい。
第2、第3線部は、円弧形状と直線形状を組み合わせた形状であってもよい。
円弧部LP3は、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1側に一端を有し、中心CPよりも第1頂点部TP1の反対側に他端を有していてもよいし、仮想円CRの中心CPよりも第1頂点部TP1の反対側に一端と他端とを有していてもよいし、仮想円CRの中心CPと前後方向一直線上となる位置に一端と他端とを有していてもよい。
夾角θ1、θ2は、鋭角であってもよい。
リングフレームRFは、環状でない(外周が繋がっていない)フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、リングフレームRFだけでもよいし、ウエハWFだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰出可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 繰出手段
30 切断手段
40 剥離板(剥離手段)
50 押圧手段
AB 接着シート基材
AS 接着シート
CU 切込
ED 外縁部
LP1 第1直線部(第1線部)
LP2 第2直線部(第2線部)
LP3 円弧部(第3線部)
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
TP1 第1頂点部
TP2 第2頂点部
WF ウエハ(被着体)

Claims (5)

  1. 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
    前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段とを備え、
    前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート製造装置。
  2. 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
    前記繰出手段で繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断手段と、
    前記切断手段で切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
    前記剥離手段で剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
    前記切断手段は、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート貼付装置。
  3. 前記押圧手段は、変形可能な外周面を有する押圧部材を備え、
    前記押圧部材は、前記接着シートを前記被着体に押圧したときに、当該押圧部材の外周面が前記第1頂点部と複数の第2頂点部とを同時に押圧可能に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
  4. 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
    繰り出された原反の接着シート基材に所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程とを備え、
    前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート製造方法。
  5. 帯状の剥離シートに帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
    繰り出された原反の接着シート基材に切断刃で所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成する切断工程と、
    切断された接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離工程と、
    剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
    前記切断工程において、前記接着シートの外縁部に前記剥離シートから剥離が開始される第1頂点部と、前記第1頂点部からのびる複数の第1線部と、前記第1線部に連なり、当該第1線部とで第2頂点部を形成する複数の第2線部と、前記第2線部に連なり、円弧形状を有する第3線部とを形成し、且つ、前記第3線部を形成する仮想円の内側に前記第1頂点部が位置するように前記切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP5651051B2 (ja) * 2011-03-11 2015-01-07 積水化学工業株式会社 ダイシング−ダイボンディングテープ及び粘接着剤層付き半導体チップの製造方法
JP5881357B2 (ja) * 2011-09-28 2016-03-09 リンテック株式会社 シート貼付装置及びシート製造装置
JP5912022B2 (ja) * 2011-09-28 2016-04-27 リンテック株式会社 シート製造装置及び製造方法
JP6050936B2 (ja) * 2011-11-30 2016-12-21 リンテック株式会社 長尺体の支持装置
JP2014017357A (ja) * 2012-07-09 2014-01-30 Nitto Denko Corp 粘着テープ、粘着テープの貼付け方法および粘着テープ貼付け装置
JP5945493B2 (ja) * 2012-10-31 2016-07-05 リンテック株式会社 シート貼付装置および貼付方法
JP2015053473A (ja) * 2013-08-07 2015-03-19 日東電工株式会社 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置

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