JP6412442B2 - シート供給装置および供給方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図1中手前方向であるY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、繰出手段20が回動モータ23Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、原反RSを繰り出す。次いで、繋ぎ部材付設手段40が直動モータ41を駆動し、時間的または距離的な所定の間隔で不要シートUSと剥離シートRLとに針STを突き刺し、それらを貫通した針ST部分を折曲部材44で折り曲げる。これにより、不要シートUSと剥離シートRLとに針STが付設され、それらの仮着状態が強制的に維持されることとなる。そして、剥離板30上に位置する先頭の貼付用シートSSの繰出方向先端部が折曲部31によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20が回動モータ23Aおよび図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。なお、繋ぎ部材付設手段40で針STを付設する所定の間隔は、作業者が任意に決定することができる。
ウエハWFに貼付用シートSSが貼付され、テーブル72が所定の位置に到達すると、支持手段70がリニアモータ71および図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段によってウエハWFが次工程へ搬送され、テーブル72を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
繋ぎ部材付設手段40は、1体でもよいし、3体以上でもよく、繋ぎ部材を付設する位置は、不要シートUSと剥離シートRLとを繋ぐことができる位置であればどこでもよく、例えば、繋ぎ部材の一端側が不要シートUSと剥離シートRLとが重なった位置とし、他端側が剥離シートRLのみの位置となるように当該繋ぎ部材を付設してもよい。
繋ぎ部材付設手段40は、繋ぎ部材として接着シートASと同様または異なる接着シートを採用した繋ぎ用接着シートを用い、当該繋ぎ用接着シートを不要シートUSと剥離シートRLとに付設する所謂シート貼付装置を採用したり、リベットを繋ぎ部材とし、当該リベットを不要シートUSと剥離シートRLとに付設する機器を採用したり、その他、接着剤、粘着剤、ホットメルト、熱や超音波等による溶着等を繋ぎ部材として採用し、それらを不要シートUSと剥離シートRLとに付設可能な適宜な装置や機器を採用してもよい。
繋ぎ部材付設手段40は、上記実施形態における直動モータ41、針押圧部材42および針保持部材43の位置と、折曲部材44との位置を入れ替えてもよい。
繋ぎ部材付設手段40は、折曲部材44側に駆動機器を設け、針STに対して折曲部材44を離間接近させてもよいし、針STおよび折曲部材44の両方を移動させて離間接近させてもよい。
繋ぎ部材付設手段40は、針STを実施形態のように原反RSの繰出方向に延びるように付設してもよいし、原反RSの繰出方向に交差する方向に延びるように付設してもよい。
繋ぎ部材付設手段40を設ける位置は、支持ローラ21と折曲部31との間であればどこでもよいし、折曲部31と回収ローラ25との間でもよいし、支持ローラ21と回収ローラ25との間の原反繰出方向に沿う複数の位置に配置してもよく、トンネリング現象TPを防止できるのであれば(不要シートUSと剥離シートRLとの仮着状態を維持できるのであれば)どの位置に設けてもよい。
検知手段50は、なくてもよく、この場合、トンネリング現象TPが発生したことを認識した作業者が繋ぎ部材付設手段40を操作して、繋ぎ部材を付設してもよい。
押圧手段は、ウエハWFの全面または一部に貼付用シートSSを貼付してもよい。
他の装置でウエハWFと繰出手段20および押圧ローラ60とを相対移動させる場合、本発明において支持手段70はなくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
30…剥離板(剥離手段)
40…繋ぎ部材付設手段
50…検知手段
AS…接着シート
AS1…一方の面
CU…切込
RL…剥離シート
RS…原反
SS…貼付用シート
ST…針(繋ぎ部材)
TP…トンネリング現象
US…不要シート
Claims (3)
- 閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出し可能な繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記不要シートと剥離シートとの仮着状態を維持可能な繋ぎ部材を付設する繋ぎ部材付設手段を有することを特徴とするシート供給装置。 - 前記不要シートが前記剥離シートから剥がれるトンネリング現象を検知可能な検知手段を有することを特徴とする請求項1に記載のシート供給装置。
- 閉ループ状の切込の内側が貼付用シートとされ、当該切込の外側が帯状の不要シートとされた接着シートの一方の面に、帯状の剥離シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記不要シートと剥離シートとの仮着状態を維持可能な繋ぎ部材を付設する工程と、
前記繰り出される原反から前記貼付用シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート供給方法。
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JP2015032238A JP6412442B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート供給装置および供給方法 |
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