JP6967272B2 - フィルム部材貼り付け装置及びフィルム部材貼り付け方法 - Google Patents

Description

本発明は、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けるフィルム部材貼り付け装置及びフィルム部材貼り付け方法に関する。

リリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥がした後に、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けるフィルム部材貼り付け装置は種々提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

図７は、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００の要部を取り出して示す図である。なお、特許文献１においては「プラスチックフィルム貼り合わせ装置」としているが、この明細書においては、「フィルム部材貼り付け装置」として説明する。

特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００には、図７に示すように、リリースフィルム８１０が剥離可能に貼付されているフィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥がす剥がしユニット８３０が備えられている。当該剥がしユニット８３０には、剥がし部８４０が設けられており、当該剥がし部８４０の先端部には折り返し部８４１が形成されており、当該折り返し部８４１は角部（くさび状の角部）となっている。そして、リリースフィルム８１０は、剥がし部８４０の折り返し部８４１で折り返されたのちにロール８５０によって進行方向を変えて矢印ｘ’方向に進行するように構成されている。

このような剥がしユニット８３０において、リリースフィルム８１０をフィルム部材８２０から剥がす際には、剥がしユニット８３０の上面において、フィルム部材８２０を吸着装置（図示せず。）によって吸着した状態として、剥がしユニット８３０を矢印ｘ方向にスライドさせる。これにより、フィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥がすことができる。

一方、吸着装置によって吸着されたフィルム部材８２０は、被貼り付け部材（図示せず。）の所定の貼り付け位置に移送されて当該貼り付け位置に貼り付けられる。

特開２０１１−２５１８０５号公報

特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００においては、リリースフィルム８１０が剥離可能に貼付されているフィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥がして、リリースフィルム８１０が剥がされたフィルム部材８２０を被貼り付け部材に貼り付けることができるが、フィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥がすための剥がし部８４０においては改善すべき課題も残る。

すなわち、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００に用いられている剥がし部８４０は、折り返し部８４１が角部となっていて、当該折り返し部８４１においてリリースフィルム８１０を折り返すようにしている。このようなフィルム部材貼り付け装置８００においては、リリースフィルムには、ダンサーロールなどのテンション付与部により、当該リリースフィルムの長手方向に沿ってテンション（張力）が付与されており、テンションが付与されている状態でリリースフィルムを進行させることによってフィルム部材を剥がすことが一般的に行われている。このため、リリースフィルム８１０の材質によっては、折り返し部８４１による擦れによって、リリースフィルム８１０が破れたり、切れたりして、リリースフィルムが破損してしまうといった問題がある。リリースフィルム８１０が破損すると、フィルム部材の進行動作及びリリースフィルム４０の剥がし動作に支障が生じてしまうことにもつながる。

また、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００に用いられている剥がし部８４０に類似した剥がし部を有する他のフィルム部材貼り付け装置においても、同様の問題が生じる。

図８は、従来の他のフィルム部材貼り付け装置９００の一例を説明するために示す図である。以下、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００（図７参照）を「従来の第１フィルム部材貼り付け装置８００」とし、図８に示す他のフィルム部材貼り付け装置９００を「従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００」とする。なお、図８は従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００に用いられている剥がし部を簡略化して模式的に示している。

図８に示すように、従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においても、リリースフィルム９１０が剥離可能に添付されているフィルム部材９２０からリリースフィルム９１０を剥がす剥がし部９３０が備えられている。当該剥がし部９３０においても、折り返し部９３１が角部（くさび状の角部）となっており、リリースフィルム９１０を折り返し部９３１で折り返したのちに、当該リリースフィルム９１０を矢印ｘ方向に進行させることによって、リリースフィルム９１０が剥離可能に添付されているフィルム部材９２０からリリースフィルム９１０を剥がす。

但し、従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においては、リリースフィルム９１０を剥がす際には、フィルム部材９２０を吸着装置によって吸着する構成ではなく、リリースフィルム９１０を剥がしながらフィルム部材９２０をわずかに進行させて、当該フィルム部材９２０の進行方向先端部９２０ａ（先端部９２０ａと略記する場合もある。）を被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに到達させた後に、当該フィルム部材９２０の先端部９２０ａを押さえロール９５０などで押さえ付けて、テーブル９６０をガイドレール９７０に沿って矢印ｘ’方向に移動させるとともに、折り返し部９３１で折り返されたリリースフィルムを矢印ｘ方向に引っ張って行く。これにより、フィルム部材９２０は、被貼り付け部材９４０に貼り付けられて行く。

従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においても、従来の第１フィルム部材貼り付け装置８００と同様に、リリースフィルム９１０をくさび状の折り返し部９３１で折り返しているとともに、当該リリースフィルムにはテンションが付与されているため、リリースフィルム９１０の材質によっては、折り返し部８４１による擦れによって、リリースフィルム９１０が破れたり、切れたりして、リリースフィルムが破損してしまうといった問題がある。

このような問題を解消するには、折り返し部９３１を角部とするのではなく、図８における破線枠Ｃ内に示すように、折り返し部９３１を、丸みを有する折り返し部９３１ａとすることも考えられるが、従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においては、折り返し部と被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａとの関係が重要なものとなる。

その理由は、従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においては、折り返し部９３１によってリリースフィルム９１０が剥がされたフィルム部材９２０の先端部９２０ａを、被貼り付け部材に到達させる際の到達位置の精度は、高い精度が要求されるからである。

すなわち、従来の第２フィルム部材貼り付け装置９００においては、剥がし部９３０の折り返し部９３１でリリースフィルム９１０が剥がされたフィルム部材９２０は、剥がし部９３０の傾斜面９３２の延長上を進んで、当該フィルム部材９２０の先端部９２０ａが被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに到達した後に、当該フィルム部材９２０の先端部９２０ａを押さえロール９５０などにより押さえ付けた状態で、テーブル９６０をガイドレール９７０に沿って矢印ｘ’方向に移動させるとともに、折り返し部９３１で折り返されたリリースフィルム９１０を矢印ｘ方向に進行させて行くといった動作を行うためである。

このため、フィルム部材９２０の先端部９２０ａを被貼り付け部材９４０に到達させる際の到達位置の精度が低いと、フィルム部材９２０が被貼り付け部材９４０の正しい位置に貼り付けられないこととなる。具体的には、例えば、図８における破線枠Ｃ内に示すように、折り返し部９３１を、丸みを有する折り返し部９３１ａとすると、当該折り返し部９３１ａでリリースフィルムが剥がされたフィルム部材９２０は、剥がし部９３０の傾斜面９３２の延長上を進む際に、フィルム部材９２０の先端部９２０ａが被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに到達するまでの距離が長くなり、貼り付け始端９４０ａに到達するまでの間において、自重によって撓んでしまう場合もある。このため、フィルム部材９２０先端部９２０ａが被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに高い精度で到達できずに、フィルム部材９２０を被貼り付け部材９４０に正確に貼り付けできないといった問題が生じる。丸みの径を大きくすると、このような傾向はより顕著なものとなる。

このような問題、すなわち、フィルム部材９２０の先端部９２０ａが被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに高い精度で到達できずに、フィルム部材９２０を被貼り付け部材９４０に正確に貼り付けできないといった問題は、折り返し部９３１を、丸みを有する折り返し部９３１ａとする場合だけでなく、例えば、折り返し部９３１をロール（図示せず。）とした場合にも同様に発生する。

すなわち、折り返し部９３１をロールとした場合であっても、丸みを有する折り返し部９３１ａとした場合と同様に、リリースフィルム９１０が剥がされたフィルム部材９２０は、剥がし部９３０の傾斜面９３２の延長上を進む際に、被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに到達するまでの距離が長くなるため、フィルム部材９２０の先端部９２０ａが被貼り付け部材９４０の貼り付け始端９４０ａに高い精度で到達できないといった問題が生じることとなる。このため、折り返し部は角部（特にくさび状の角部）とすることが好ましいが、折り返し部をくさび状の角部とすると、上記したようにリリースフィルムが破損し易くなるといった問題が生じる。

なお、リリースフィルムが破損し易くなる問題は、剥がし部の折り返し部が、くさび状などの角部となっていることによって生じるだけではなく、折り返し部が多少の丸みを有していても、長期間の使用などによって生じる可能性はある。このため、このような問題は、リリースフィルムを剥がし部の折り返し部で折り返すことによってリリースフィルムを剥がしながらフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け装置においては共通して存在する。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、リリースフィルムを剥がし部の折り返し部で折り返すことによってリリースフィルムを剥がしながらフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けて行く際に、リリースフィルムに加わるテンション（張力）を小さくすることにより、リリースフィルムの破損を抑制することができるフィルム部材貼り付け装置及びフィルム部材貼り付け方法を提供することを目的とする。

［１］本発明のフィルム部材貼り付け装置は、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させるための「フィルム部材の頭出し動作」を行った後に、前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえ付けた状態で前記貼り付け始端を起点に前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行く「フィルム部材の貼り付け動作」を行うフィルム部材貼り付け装置であって、前記被貼り付け部材を載置するテーブルと、前記フィルム部材を供給するフィルム部材供給機構部と、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部を制御するフィルム部材頭出し制御機能と、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方を相対的に移動させる貼り付け制御機能とを有する制御装置と、を備え、前記フィルム部材供給機構部は、前記リリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とはほぼ反対方向に折り返す折り返し部を有し、当該折り返し部でリリースフィルムを折り返した状態で前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方が相対的に移動することによって前記フィルム部材からリリースフィルムを剥がす剥がし部と、前記折り返し部で折り返された前記リリースフィルムを進行させるリリースフィルム進行機構部と、を有し、前記リリースフィルム進行機構部には、前記折り返された前記リリースフィルムに対して前記リリースフィルムが進行する方向に沿ったテンションを付与するテンション付与部と、当該テンション付与部と前記剥がし部との間に配置され、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う貼り付け／剥がし同期機構部と、が設けられていることを特徴とする。

このように、本発明においては、リリースフィルム進行機構部には、「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、リリースフィルムをテンション付与部と剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と剥がし部との間で、「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させてフィルム部材からリリースフィルムを剥がす動作を行う貼り付け／剥がし同期機構部が設けられている。このため、フィルム部材の貼り付け動作を行う際においては、「フィルム部材の貼り付け動作」に同期してフィルム部材からリリースフィルムを剥がす動作を行わせることができる。

具体的には、「フィルム部材貼り付け動作」を行う際においては、リリースフィルムがクランプされた状態となっているため、リリースフィルムは、テンション付与部によるテンションから解放された状態となり、リリースフィルムに加わるテンションはクランパーと剥がし部との間のテンションのみとなる。そして、この状態で、フィルム部材の貼り付け動作に同期してフィルム部材からリリースフィルムを剥がす動作が行われるため、リリースフィルムに加わるテンションはわずかなものとなる。このため、テション付与部によってリリースフィルムに大きなテンションンが加わっているような構成であったとしても、リリースフィルムは、テンション付与部によるテンションから解放された状態となり、リリースフィルムにはそれほど大きなテンションは加わらないこととなる。

これにより、本発明のフィルム部材貼り付け装置によれば、フィルム部材の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルムに加わるテンションを小さくすることができる。これによって、リリースフィルムが剥がし部の折り返し部で擦れてしまうことにより、リリースフィルムが破損してしまうことを抑制できる。また、フィルム部材貼り付け装置を長期間使用すると、リリースフィルムとの間の摩擦によって剥がし部の折り返し部も擦り減ってしまうといった問題もあるが、本発明のフィルム部材貼り付け装置によれば、折り返し部の擦り減りをも抑制できる。

なお、能動的に同期させて」の「能動的に」というのは、例えば、「積極的に」にといった意味を有している。従って、「能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う」というのは、例えば、「積極的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う」と言い換えることもできる。

[２]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記貼り付け／剥がし同期機構部は、前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置に設けられ、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプするクランパーと、前記クランパーと前記剥がし部との間に位置し、かつ、前記フィルム部材供給機構部の側に取り付けられており、前記剥がし部で剥がされたリリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とほぼ同方向に進行させるように折り返す第１折り返しロールと、前記クランパーと前記第１折り返しロールとの間に位置し、かつ、前記テーブルの側に取り付けられており、前記第１折り返しロールで折り返されたリリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とほぼ反対方向に進行させるように折り返す第２折り返しロールと、 有することが好ましい。

貼り付け／剥がし同期機構部がこのような構成となっていることにより、フィルム部材の貼り付け動作を行う際においては、クランパーでクランプした位置と剥がし部との間で、「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させてフィルム部材からリリースフィルムを剥がす動作を行わせることができる。

［３］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記テーブルには、当該テーブルを上下方向に昇降させるための昇降機構が設けられており、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際の前記テーブルの上下方向の位置を上下方向基準位置としたとき、前記制御装置は、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行う際においては、前記テーブルを前記上下方向基準位置よりも下方向に一時的に下降させるように前記昇降機構を制御して、前記フィルム部材頭出し制御機能によって前記「フィルム部材の頭出し動作」を行い、前記フィルム部材の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミングで前記テーブルを前記上下方向基準位置にまで上昇させるように前記昇降機構を制御するテーブル昇降制御機能をさらに有することが好ましい。

このように、フィルム部材の頭出し動作を行う際においては、テーブルを上下方向基準位置よりも下方向に一時的に下降（退避）させた状態としてフィルム部材の頭出し動作を行い、フィルム部材の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミングでテーブルを上下方向基準位置にまで上昇（復帰）させるように昇降機構を制御する。このような制御を行うことによって、フィルム部材を高い精度で頭出しすることができ、それによって、フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に高精度に到達させることができる。

すなわち、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材には接着剤が塗布されているため、テーブルが上下方向基準位置にある状態でフィルム部材の頭出し動作を行うと、接着剤が被貼り付け部材に付着してフィルム部材の進行が妨げられてしまい、フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に高精度に到達させることができないといった不具合が生じる可能性がある。このような不具合を防止するために、フィルム部材の頭出し動作を行う際においては、テーブルを上下方向基準位置よりも下方向に一時的に下降（退避）させた状態とする。なお、フィルム部材の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミングとしては、フィルム部材の頭出し動作が終了した直後又はフィルム部材の頭出し動作が終了するのとほぼ同じタイミングとすることが好ましい。

［４］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記剥がし部の前記折り返し部は角部となっていることが好ましい。

このように、剥がし部の折り返し部が角部となっていることにより、フィルム部材からリリースフィルムを剥がすときの剥がし動作を確実に行うことができる。なお、剥がし部の折り返し部が角部となっている場合には、リリースフィルムは、より破損しやすくなるとともに、剥がし部の折り返し部も擦り減りやすくなるが、剥がし部の折り返し部が角部となっている場合であっても、リリースフィルムに加わるテンションを小さくすることによって、リリースフィルムの破損を抑制できる。また、リリースフィルムが剥がし部の折り返し部で擦れることによる折り返し部の擦り減りをも抑制できる。なお、角部というのは、例えば、くさび状の角部を例示できる。

［５］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記クランパーと前記テンション付与部との間には、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行わせるためのフィーダーが設けられていることが好ましい。

このようなフィーダーが設けられていることにより、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の頭出し動作を行うことができる。それによって、フィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させることができる。

［６］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材供給機構部は、前記フィルム部材の所定部分を撮像可能に設置されたカメラをさらに有し、前記制御装置は、前記カメラからの撮影データに基づいて前記フィルム部材の前記所定部分の位置を監視して、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うように前記フィーダーを制御するフィーダー制御機能をさらに有することが好ましい。

これにより、フィルム部材の頭出し動作を高い精度で行うことができる。それによって、フィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に高い精度で到達させることができる。

［７］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材の所定部分は、当該フィルム部材の進行方向後端部であることが好ましい。

このように、カメラをフィルム部材（現時点において貼り付け対象となっているフィルム部材）の進行方向後端部を撮像可能に設置することにより、カメラを設置するためのスペースに余裕を持たせることができる。これは、現時点において貼り付け対象となっているフィルム部材の進行方向先端部を撮影しようとすると、当該フィルム部材の進行方向先端部の付近は、押さえロールなどが存在するために、カメラを設置するためのスペースに余裕がないためである。

［８］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材供給機構部は、前記剥がし部によってリリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面が存在し当該ガイド面には接着剤の付着を防ぐ非粘着性表面加工が施されているガイド部材をさらに有し、前記ガイド部材は、当該ガイド部材の先端部がエッジとなっているとともに、前記ガイド面が前記被貼り付け部材に対して鋭角をなし、かつ、当該ガイド面の延長上に前記被貼り付け部材の貼り付け始端が位置するように設置されていることが好ましい。

このように、剥がし部の前方側には、フィルム部材の進行をガイドするガイド部材が設けられている。そして、当該ガイド部材のガイド面には、非粘着性表面加工が施されているため、フィルム部材の接着面がガイド部材のガイド面に付着してしまうことを防止でき、フィルム部材をガイド部材のガイド面でスムーズに進行させることができる。

また、ガイド部材は、当該ガイド部材の先端部がエッジとなっているとともに、ガイド面が被貼り付け部材に対して鋭角をなし、かつ、当該ガイド面の延長上に被貼り付け部材の貼り付け始端が位置するように設置されているため、当該ガイド部材の先端部と被貼り付け部材の貼り付け始端との間隔を可能な限り狭くすることができるとともに、ガイド部材の先端部と被貼り付け部材の貼り付け始端との間の段差を可能な限り小さくできる。これにより、フィルム部材の進行方向先端部が被貼り付け部材の貼り付け始端に到達するまでの距離を短くすることができ、フィルム部材が貼り付け始端に到達するまでの間において、自重によって撓んでしまうといったことを防止できる。それによって、ガイド面を進行するフィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に高い精度で到達させることができる。

また、ガイド部材は、当該ガイド面の延長上に被貼り付け部材の貼り付け始端が位置するように設置されているため、これによっても、ガイド面を進行するフィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に高い精度で到達させることができる。なお、「ガイド部材の先端部がエッジとなっている」というのは、例えば、先端部が鋭角をなしていてもよく、また、先端部が薄板状となっていてもよいことを意味している。

[９]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記ガイド面は、導電性を有するとともに電気的に接地されていることが好ましい。

このように、ガイド面は、導電性をも有するとともに電気的に接地されているため、フィルム部材に静電気が帯電した場合であっても、当該フィルム部材に帯電した静電気を除去できる。これにより、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付ける動作を行う際に、高い精度でフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることができる。また、フィルム部材が貼り付けられた被貼り付け部材を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

特に、フィルム部材の接着面（接着材が塗布されている面）に静電気が帯電した場合でも、フィルム部材の接着面が導電性を有するガイド面に接触することによって、接着面に帯電した静電気を確実に除去できる。これにより、フィルム部材が貼り付けられた被貼り付け部材を次の工程に送る際に、被貼り付け部材とフィルム部材との間に静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。被貼り付け部材とフィルム部材との間に静電気が帯電すると、容易には、静電気を除去することができない。このため、フィルム部材の接着面が導電性を有するガイド面に接触するだけで、接着面に帯電した静電気を確実に除去できることは、静電気対策として極めて有効なものとなる。

[１０]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材供給機構部は、前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえるための押さえロールをさらに有し、前記押さえロールは、複数個の押さえロールが複数段に重ねられた構成となっていて、当該複数個の押さえロールのそれぞれの回転軸が、前記フィルム部材の進行方向先端部の辺に沿う方向となるように設置されていることが好ましい。

フィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえ付ける押さえロールを有するため、フィルム部材を確実に被貼り付け部材の貼り付け始端に位置決めすることができる。また、押さえロールがこのような構成となっていることにより、フィルム部材の進行方向先端部を当該進行方向先端部の辺に沿って確実に押さえ付けることができる。特に、フィルム部材の幅方向の長さ（押さえロールの回転軸に沿った長さ）が長い場合には、フィルム部材の進行方向先端部を幅方向全体に渡って均一な押圧力で押さえ付けることができ、フィルム部材の進行方向先端部を確実に押さえ付けることができる。

[１１]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記複数個の押さえロールのうち、前記フィルム部材に接触する側に位置する押さえロールの径は、他の押さえロールの径よりも小径に設定されていることが好ましい。

フィルム部材に接触する側に位置する押さえロールの径がこのように設定されていることにより、ガイド部材の先端部と被貼り付け部材の貼り付け始端との間隔が狭くても、当該押さえロールが小径であることからガイド部材に接触することなく、フィルム部材の進行方向先端部を確実に押さえ付けることができる。また、小径となっている押さえロールの反りを防ぐこともできることから、フィルム部材の進行方向先端部を当該フィルム部材の幅方向全体に渡って均一な押圧力で押さえ付けることができる。

［１２］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記テンション付与部は、ダンサーロールであることが好ましい。

前記テンション付与部がダンサーロールであることにより、リリースフィルムに対してテンション付与を行えることができるとともにフィルム部材の頭出し時及びフィルム部材の貼り付け動作時のそれぞれにおいて、フィルム部材の頭出し動作又はフィルム部材貼り付け動作と、巻き取りロールによるリリースフィルムの巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。

[１３]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材は、長尺シート状をなし、当該長尺シート状のフィルム部材の長手方向に沿って所定長さごとに前記リリースフィルムを残して切れ目が設けられており、前記剥がし部によってリリースフィルムが剥がされることにより、個片化されたフィルム部材となり、当該個片化されたフィルム部材が前記被貼り付け部材に貼り付けられることが好ましい。

フィルム部材がこのような構成となっていることにより、個々の被貼り付け部材にフィルム部材を貼り付ける動作を連続的に行うことができる。

[１４]本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板である、ことが好ましい。

本態様のフィルム部材貼り付け装置によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルム又は保護フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板又は合成樹脂基板に精度よく貼り付けたり、電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムを電子機器に用いられる電子回路基板に精度よく貼り付けたりすることができるため、高品質な液晶パネルや電子機器を製造することができる。

[１５]本発明のフィルム部材貼り付け方法は、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させるための「フィルム部材の頭出し動作」を行った後に、前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえ付けた状態で前記貼り付け始端を起点に前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行く「フィルム部材の貼り付け動作」を行うフィルム部材貼り付け方法であって、前記被貼り付け部材を載置するテーブルと、前記フィルム部材を供給するフィルム部材供給機構部と、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部を制御するフィルム部材頭出し制御機能と、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方を相対的に移動させる貼り付け制御機能とを有する制御装置と、を備え、前記フィルム部材供給機構部は、前記リリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とはほぼ反対方向に折り返す折り返し部を有し、当該折り返し部でリリースフィルムを折り返した状態で前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方が相対的に移動することによって前記フィルム部材からリリースフィルムを剥がす剥がし部と、前記折り返し部で折り返された前記リリースフィルムを進行させるリリースフィルム進行機構部と、を有し、前記リリースフィルム進行機構部には、前記折り返された前記リリースフィルムに対して前記リリースフィルムが進行する方向に沿ったテンションを付与するテンション付与部と、当該テンション付与部と前記剥がし部との間に配置され、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う貼り付け／剥がし同期機構部と、が設けられており、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行うことを特徴とする。

本発明のフィルム部材貼り付け方法によれば、前記［１］に記載の本発明のフィルム部材貼り付け装置と同様の効果が得られる。また、本発明のフィルム部材貼り付け方法においても、前記［２］〜［１４］に記載の本発明のフィルム部材貼り付け装置と同様の特徴を有することが好ましい。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を説明するために示す図である。 偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を説明するために示す図である。 ガイド部材２３０及び押さえロール２４０を説明するために示す図である。 実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の動作を説明するために示す図である。 実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１動作（図４の続きの動作）を説明するために示す図である。 ガイド部材２３０を板状とした場合を説明するために示す図である。 特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置８００の要部を取り出して示す図である。 従来の他のフィルム部材貼り付け装置９００の一例を説明するために示す図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１は、接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥がしながらフィルム部材を進行させて行き、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させるための「フィルム部材の頭出し動作」を行った後に、フィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえた状態で貼り付け始端を起点にリリースフィルムを剥がしながらフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けて行く「フィルム部材の貼り付け動作」を行うフィルム部材貼り付け装置である。

なお、フィルム部材は、被貼り付け部材のフィルム部材貼り付け面における貼り付け始端を起点に当該フィルム部材貼り付け面に貼り付けられて行くものであるが、この明細書においては、「フィルム部材貼り付け面」を省略して、例えば、「フィルム部材は、被貼り付け部材の貼り付け始端を起点に貼り付けられて行く」と表記したり、単に「フィルム部材は、被貼り付け部材に貼り付けられて行く」と表記したりする。

また、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルムであるとし、また、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板であるとする。ここで、フィルム部材（偏光フィルム）のサイズは特に限定されるものではないが、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、被貼り付け部材（ガラス基板）が、例えば、長辺（縦）１５００ｍｍ×短辺（横）９００ｍｍ程度の比較的大きいサイズであるとし、このようなサイズを有する被貼り付け部材の横方向の辺及び縦方向の辺からそれぞれ５ｍｍ程度の余白を有して貼り付けることができるサイズ（例えば、長辺（縦）１４９０ｍｍ×短辺（横）８９０ｍｍ程度）を有するものであるとする。

液晶パネルは、一般的には、液晶層の表側及び裏側に設けられる２枚のガラス基板（表側のガラス基板及び裏側のガラス基板）に、偏光方向が直交する偏光フィルムを貼付した構成となっているが、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、表側のガラス基板及び裏側のガラス基板のうちの一方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合について説明する。以下、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１について詳細に説明する。

なお、以下の説明においては、「フィルム部材」を「偏光フィルム」と表記する場合もあり、「被貼り付け部材」を「ガラス基板」と表記する場合もある。このため、以下の説明において「偏光フィルム」と表記されている場合には、当該偏光フィルムは「フィルム部材」を指すものであり、「ガラス基板」と表記されている場合には、当該ガラス基板は「被貼り付け部材」を指すものである。

図１は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を説明するために示す図である。なお、図１は実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を模式的に示す図である。実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１は、図１に示すように、ガラス基板１０を載置するテーブル１００と、偏光フィルム３０（フィルム部材）を供給するフィルム部材供給機構部２００と、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の各構成要素を制御するための制御機能を有する制御装置３００と、備えている。なお、これらテーブル１００、フィルム部材供給機構部２００の詳細な構成及び動作については後述する。また、制御装置３００が有する制御機能についても後述する。

また、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、フィルム部材供給機構部２００を固定として、テーブル１００を移動（ｘ軸に沿ってｘ−ｘ’方向に移動）させることにより、偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付ける動作を行うものとして説明する。

フィルム部材供給機構部２００は、リリースフィルム４０を偏光フィルム３０の進行方向とはほぼ反対方向に折り返す折り返し部２１１を有する剥がし部２１０と、剥がし部２１０の折り返し部２１１で折り返されたリリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させるリリースフィルム進行機構部２２０とを有している。なお、「リリースフィルム進行方向」というのは、剥がし部２１０で折り返されたリリースフィルム４０が進行する方向（矢印ｘ方向）方向である。また、折り返し部２１１は、角部となっており、当該角部は、先端にわずかな丸みを有していてもよい。

剥がし部２１０は、折り返し部２１１によってリリースフィルム４０を偏光フィルム３０が進行する方向とはほぼ反対方向に折り返した状態で、この場合、テーブル１００が移動することによって、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすように動作する。

また、フィルム部材供給機構部２００は、剥がし部２１０によってリリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド面２３１が存在するガイド部材２３０と、偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａ（以下、先端部３０ａと略記する場合もある。）が、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達すると、当該貼り付け始端１０ａにおいて当該偏光フィルム３０の先端部３０ａを貼り付け始端１０ａに押さえ付ける押さえロール２４０と、偏光フィルム３０の所定部分（後述する。）を撮像可能に設置されたカメラ２５０と、を有している。

また、フィルム部材供給機構部２００には、上記した構成要素の他に、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を屈曲させて進行させる進行補助ロール２６１，２６２が設けられている。また、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を送り出す送り出し機構部及び進行路の中途部に設けられているダンサーロールなども存在するが、これらの図示は省略する。

ところで、図１においては、偏光フィルム３０は、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達した状態（頭出しされている状態）となっているとともに、テーブル１００は、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａを起点に偏光フィルム３０を貼り付ける動作を行う位置に移動した状態となった場合を示している。

なお、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１を説明する際においては、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａを、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達させるための動作を「偏光フィルム３０の頭出し動作」と表記する場合もある。また、当該偏光フィルム３０の頭出し動作を行った後に、偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえた状態で貼り付け始端１０ａを起点にリリースフィルム４０を剥がしながら偏光フィルム３０をガラス基板１０貼り付けて行く動作を「偏光フィルム３０の貼り付け動作」と表記する場合もある。

また、図１においては、押さえロール２４０は、当該偏光フィルム３０の先端部３０ａから離脱した位置となっている場合が示されているが、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際には、当該押さえロール２４０は、偏光フィルム３０の先端部３０ａ押さえた状態となる。そして、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際のテーブルの１００のｚ軸に沿った上下方向位置を「上下方向基準位置」とする。当該上下方向基準位置は、ステージ５０の表面からの高さｈとして示されている。このため、以下、上下方向基準位置を「上下方向基準位置ｈ」と表記する。

また、図１においては、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）は、進行補助ロール２６１によって、大きな角度で下方向に屈曲したのちに、進行補助ロール２６２によってｘｙ平面に対して所定角度（実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては３０度とする。）となるように屈曲して剥がし部２１０に到達する。なお、当該角度は３０度に限定されるものではなく、適宜、最適な角度に設定可能である。

このように、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）は、当該偏光フィルム３０の進行路上において、進行補助ロール２６１，２６２などにより、進行方向が下方向に屈曲したり斜め方向となったりするが、当該偏光フィルム３０の進行方向は、全体的には、ｘ軸に沿って図示の右から左に向かう方向（矢印ｘ’方向）であるとする。このため、この明細書においては、偏光フィルム３０の進行方向について述べる場合には、「ｘ軸に沿った矢印ｘ’方向」又は「図示の右から左方向」というように表記する。

なお、図１における破線枠Ａ内は、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）の拡大断面図である。当該偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）の構成については図２により説明する。

図２は、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を説明するために示す図である。図２において、図２（ａ）は平面図であり、図２（ｂ）は側断面図である。なお、図２は模式的に示す図であり、厚みなどが誇張されて描かれている。

偏光フィルム３０には、図２に示すように、長尺状となっており、長尺のリリースフィルム４０が剥離可能に貼付されている。当該偏光フィルム３０は、貼り付け対象となる個々のガラス基板１０（図１参照。）に対応したサイズに個片化できるように、リリースフィルム４０を残して所定の長さごとに切れ目が設けられている。例えば、ガラス基板１０の長辺（１５００ｍｍとする。）がｘ軸に沿うようにテーブル１００上に載置される場合においては、偏光フィルム３０の長辺（１４９０ｍｍとする。）ごとに、リリースフィルム４０を残して切れ目Ｃ１，Ｃ２，・・・が設けられている。

また、偏光フィルム３０には接着剤３１が塗布されているため、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすと、偏光フィルム３０の一方の面（下面とする。）には、接着剤３１が露出することとなる。なお、偏光フィルム３０において接着剤３１が塗布されている側の面を「接着面」という。

なお、図２に示す長尺状の偏光フィルム３０において、個々のガラス基板に対応した偏光フィルムを個々に説明する場合には、個々の偏光フィルムを、図２における左側から順に、第１偏光フィルム３０、第２偏光フィルム３０、・・・というように説明する。なお、切れ目Ｃ１，Ｃ２，・・・は、個々の偏光フィルム３０においては進行方向後端部（以下、後端部と略記する。）となる場合もあり、また、先端部となる場合もある。例えば、第１偏光フィルム３０に注目した場合には、切れ目Ｃ１は、当該第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂとなり、また、第２偏光フィルム３０に注目した場合には、切れ目Ｃ１は、当該第２偏光フィルム３０の先端部３０ａとなる。

図１に戻って、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の個々の構成要素についてさらに詳細に説明する。

テーブル１００は、ステージ５０に敷設されているガイドレール６０上をｘ軸に沿って矢印ｘ−ｘ’方向に往復動可能となっている。なお、テーブル１００は、ガイドレール６０を走行可能なスライダー１１０と、当該スライダー１１０上に取り付けられているテーブル本体部１２０と、を有している。テーブル本体部１２０は、ガラス基板１０（被貼り付け部材）を載置するものである。当該テーブル本体部１２０は、スライダー１１０とともにｘ軸に沿った往復動が可能となっているとともに、スライダー１１０に対して、ｙ軸に沿った移動、ｘｙ平面上での回転及びｚ軸に沿った昇降が可能となっている。

このため、テーブル１００には、テーブル本体部１２０のｙ軸に沿った位置調整を可能とするｙ軸方向位置調整機構と、テーブル本体部１２０のｘｙ平面上での回転角度調整を可能とする回転角度調整機構と、テーブル本体部１２０のｚ軸に沿った昇降を可能とする昇降機構とが設けられている。これら、ｙ軸方向位置調整機構、回転角度調整機構及び昇降機構については、種々の機構を採用することができるため、これら各機構の図示及び説明は省略する。また、スライダー１１０のｘ軸に沿った往復動制御、テーブル本体部１２０のｙ軸方向位置調整制御、回転角度調整制御及び昇降制御は、制御装置３００が有する制御機能として行われる。

なお、上記したようにテーブル１００は、スライダー１１０とテーブル本体部１２０とを有するものであるが、この明細書においては、これらをまとめて「テーブル１００」として説明する場合もある。従って、例えば、テーブル１００がｘ軸に沿って移動するというのは、実際には、スライダー１１０とテーブル本体部１２０とが一体的にｘ軸に沿って移動することであり、テーブル１００がｚ軸に沿って昇降するというのは、実際には、テーブル本体部１２０がスライダー１１０に対してｚ軸に沿って昇降することである。
また、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、スライダー１１０、テーブル本体部１２０、ステージ５０及びガイドレール６０は、例えば、鉄などの金属でなるものとする。

次に、リリースフィルム進行機構部２２０について説明する。
リリースフィルム進行機構部２２０は、剥がし部２１０で折り返されたリリースフィルム４０を偏光フィルム３０の進行方向とほぼ反対方向（リリースフィルム進行方向）に進行させるものである。
当該リリースフィルム進行機構部２２０は、貼り付け／剥がし同期機構部２２１（詳細は後述する。）と、剥がし部２１０の折り返し部２１１で折り返されたリリースフィルム４０に対して当該リリースフィルム４０が進行する方向（リリースフィルム進行方向）に沿ったテンションを付与するテンション付与部（実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においてはダンサーロール２２２とする。）と、複数の進行補助ロール（例えば、進行補助ロール２２３，２２４と、偏光フィルム３０の頭出し動作を行うフィーダー２２５と、ダンサーロール２２２のさらに下流側（リリースフィルム進行方向の前方側）に設けられ、リリースフィルム４０を巻き取るための巻き取りロール（図示せず。）などが設けられている。

貼り付け／剥がし同期機構部２２１は、テンション付与部としてのダンサーロール２２２と剥がし部２１０との間に配置されている。そして、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０をダンサーロール２２２と剥がし部２１０との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と剥がし部２１０との間で、偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期させて偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす動作を行う。なお、以下の説明においては、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす動作を「リリースフィルム４０の剥がし動作」と略記する場合もある。

当該貼り付け／剥がし同期機構部２２１の具体的な構成要素としては、ダンサーロール２２２と剥がし部２１０との間の所定位置に設けられ、リリースフィルム４０をダンサーロール２２２と剥がし部２１０との間の所定位置でクランプするクランパー２２１ｃと、当該クランパー２２１ｃと剥がし部２１０との間に位置し、かつ、フィルム部材供給機構部２００の側に取り付けられており、剥がし部２１０で剥がされたリリースフィルム４０を偏光フィルム３０の進行方向とほぼ同方向に進行させるように折り返す第１折り返しロール２２１ａと、クランパー２２１ｃと第１折り返しロール２２１ａとの間に位置し、かつ、テーブル１００の側に取り付けられており、第１折り返しロール２２１ａで折り返されたリリースフィルム４０を偏光フィルム３０の進行方向とほぼ反対方向に進行させるように折り返す第２折り返しロール２２１ｂとを有している。

第１折り返しロール２２１ａは、フィルム部材供給機構部２００の側に取り付けられているため、テーブル１００が移動したとしても位置は変化しない。一方、第２折り返しロール２２１ｂは、テーブル１００の側（具体的には、テーブル１００のスライダー１１０）に取り付けられているため、テーブル１００（スライダー１１０）のｘ−ｘ’方向の移動とともに移動する。

また、クランパー２２１ｃは、偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付けて行く動作を行う際においては、リリースフィルム４０をクランプするが、フィーダー２２５によって偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際には、リリースフィルム４０のクランプを解除する。このように構成されている貼り付け／剥がし同期機構部２２１の具体的な動作については後述する。なお、クランパー２２１ｃによるリリースフィルム４０のクランプ／クランプ解除動作及びフィーダー２２５による偏光フィルム３０の頭出し動作は、制御装置３００が有する制御機能の１つとして行われる。

フィーダー２２５は、クランパー２２１ｃと進行補助ロール２２３との間に設けられており、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達させるための機能、すなわち偏光フィルム３０の頭出し動作を行う機能を有している。なお、フィーダー２２５は、リリースフィルム４０をクランプするための複数のクランパー２２６を有し、ｘ軸に沿って矢印ｘ−ｘ’方向に往復動可能となっている。

フィーダー２２５に対する制御は、制御装置３００が有する制御機能の１つとして行われる。この場合、制御装置３００は、カメラ２５０からの撮影データに基づいて偏光フィルム３０の所定部分（例えば後端部３０ｂ）の位置（ｘ軸に沿った位置）を監視して、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するようにフィーダー２２５を制御する。

制御装置３００によるフィーダー２２５に対する制御の一例としては、例えば、制御装置３００は、カメラ２５０からの撮影データに基づいて、現時点において貼り付け対象となっている偏光フィルム（第１偏光フィルム３０とする。）の後端部３０ｂ（当該第１偏光フィルム３０と第２偏光フィルム３０との間の切れ目Ｃ１）の位置を監視し、当該後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達するまで、フィーダー２２５を動作させる。

具体的には、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに正しく到達しているときの当該偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置を「目標位置」として予め求めておき、制御装置３００は、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に達するまで、リリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させる。これにより、当該第１偏光フィルム３０の頭出しを高い精度で行うことができる。すなわち、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。

そして、偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達すると、リリースフィルム４０に対するフィーダー２２５のクランプ動作を解除して、フィーダー２２５を元の位置に復帰させるように制御する。

なお、カメラ２５０は、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置を監視するようにしているが、これは、カメラ２５０を、仮に、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の先端部３０ａの位置を監視する位置に設置しようとすると、押さえロール２４０の存在（図１参照。）などにより、カメラ２５０を設置するためのスペースに余裕がないためである。但し、カメラ２５０を設置するためのスペースに余裕があれば、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の先端部３０ａの位置を監視するようにしてもよい。

続いて、ガイド部材２３０及び押さえロール２４０について図３を参照して説明する。
図３は、ガイド部材２３０及び押さえロール２４０を説明するために示す図である。図３（ａ）は図１の押さえロール２４０及び図１において破線枠Ｂで囲った範囲をそれぞれ拡大して示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）をｚ軸に沿って上から見た図（平面図）である。なお、図３（ｂ）においては、図３（ａ）で示されている押さえロール２４０などは図示が省略されている。

まずは、ガイド部材２３０について説明する。ガイド部材２３０には、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド面２３１が存在している。なお、図３も図１と同様に模式図であるため、当該ガイド部材２３０の取り付け構造は図示が省略されているが、当該ガイド部材２３０は、ステージ５０から立設されている支持部材（図示せず。）に取り付けられている。当該支持部材も例えば鉄などの金属でなる。また、ガイド部材２３０は、例えば、ステンレス鋼などの金属によって形成されており、当該ガイド部材２３０のガイド面２３１（偏光フィルム３０と接する側の面）は、非粘着性を有するものとなっている。すなわち、ガイド部材２３０のガイド面２３１には、導電性を維持した状態で非粘着性を有するような非粘着性表面加工が施されている。このように、ガイド面２３１に非粘着性表面加工を施す理由は、偏光フィルム３０の一方の面は、接着剤３１（図２参照。）が塗布された接着面となっているためである。

すなわち、リリースフィルム４０が剥がされた状態の偏光フィルム３０の接着面は、接着剤３１が塗布されているため、ガイド部材２３０のガイド面２３１に接着剤３１の付着を防ぐ非粘着性表面加工が施されていないと、偏光フィルム３０の接着剤３１がガイド部材２３０のガイド面２３１に付着してしまい、偏光フィルム３０がガイド部材２３０のガイド面２３１に沿ってスムーズに進行できないこととなるからである。

接着剤３１の付着を防ぐ非粘着性表面加工は、公知の技術であり、例えば、「トシカル（登録商標）Ｓコーティング加工」と呼ばれる表面加工の技術を採用することができる。このような表面加工（トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜形成加工／株式会社トシコ）をガイド部材２３０のガイド面２３１に施すことによって、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の接着面がガイド部材２３０のガイド面２３１に付着することなく、偏光フィルム３０をスムーズに進行させてガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに進行させることができる。トシカル（登録商標）Ｓとしては、例えば、ＵＮＡ―３００シリーズ（ＵＮＡ―３１０−Ｘ１０）、ＵＮＡ―８００シリーズ、ＴＳ−１０００シリーズ、ＴＳ−１０８０シリーズ、ＴＳ−１３１０シリーズのものを好適に用いることができる。

トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜の膜厚は、例えば、１μｍ〜２００μｍ、好ましくは３μｍ〜１５０μｍのものを好適に用いることができる。トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜を形成する前に、ガイド部材２３０のガイド面２３１に凹凸構造を形成しておいてもよい。この場合の凹凸構造の平均表面粗さとしては、２μｍ〜１５μｍのものを好適に用いることができる。

このような非非粘着性表面加工をガイド部材２３０のガイド面２３１に施すことによって、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の接着面がガイド部材２３０のガイド面２３１に付着することなく、偏光フィルム３０をスムーズに進行させてガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに進行させることができる。このような表面加工は、導電性を損なうことのない非粘着性表面加工である。従って、ガイド面２３１は、非粘着性表面加工が施された後でも導電性が維持されたものとなっている。このため、ガイド面２３１の導電性は損なわれることがない。また、当該ガイド面２３１は、電気的に接地されている。すなわち、ガイド面２３１は、導電性を有するとともに接地されている。このように、ガイド面２３１が導電性を有するとともに接地されていることの理由については後述する。

また、ガイド部材２３０は、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、３角形のブロック状とし、当該ガイド部材２３０の先端部２３２がエッジとなっているとともに、ガイド面２３１がガラス基板１０に対して鋭角をなすように配置されている。なお、以下、ガイド部材２３０の先端部２３２を「ガイド部材先端部２３２」と表記する。

このように構成されているガイド部材２３０は、図３（ａ）に示すように、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール２４０の押圧点Ｐを通る垂線Ｌ上の位置（貼り付け動作開始位置という。）に到達したときにおいて、ガイド面２３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されている。

また、当該ガイド部材２３０は、ｚ軸に沿った位置としては、テーブル１００に載置されているガラス基板１０に接触しないような位置で、かつ、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０との段差が小さくなるような位置に設置されている。なお、押さえロール２４０の「押圧点Ｐ」というのは、押さえロール２４０が偏光フィルム３０を押さえ付ける動作を行う際に、偏光フィルム３０に対して押圧力を与える点を指すものとする。

ここで、ガイド面２３１の傾斜角度、すなわち、ガイド面２３１とｘｙ平面とのなす角度θ（ガイド面２３１とテーブル１００に載置されているガラス基板１０とのなす角度θ）は、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、３０度に設定されているものとする。なお、ガイド面２３１とガラス基板１０とのなす角度θは、３０度に限定されるものではなく、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａにスムーズに到達できればよい。

また、ガイド部材２３０の設置位置は、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが貼り付け動作開始位置に到達したときにおける当該ガイド部材２３０の先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔（ｘ軸に沿った間隔）ｄが可能な限り狭くするように設置されることが好ましい。なお、間隔ｄは、ガイド面２３１の傾斜角度などによって異なるが、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、間隔ｄを１５ｍｍとしている。当該間隔ｄは、１５ｍｍに限定されるものではなく、ガイド部材２３０のガイド面２３１のｘｙ平面に対する角度、偏光フィルム３０の材質及びサイズなどによって最適な値に設定することができる。

また、ガイド部材２３０は、電気的に接地（アース）されている。具体的には、ガイド部材２３０は、前述したように、ステージ５０（図１参照。）に立設されている支持部材（図示せず。）に取り付けられており、これら支持部材及びステージ５０はともに金属でなるため、ガイド部材２３０は、当該支持部材及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）されたものとなっている。このため、当該ガイド部材２３１０が有するガイド面２３１は、必然的に接地されることとなる。

なお、先に説明した図１は実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を模式的に示す図であるため、ステージ５０の具体的な設置状態などについては示されていないが、ステージ５０は工場などの床に電気的に接地（アース）された状態で設置されているものとする。これにより、ガイド部材２３０はそのガイド面２３１を含めて、支持部材及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）されたものとなる。

以上説明したように、ガイド部材２３０は、ガイド部材先端部２３２がエッジとなっているため、当該ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔を可能な限り狭くすることができるとともに、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間の段差を可能な限り小さくできる。これにより、偏光フィルム３０（フィルム部材）の先端部３０ａがガラス基板１０（被貼り付け部材）の貼り付け始端１０ａに到達するまでの距離を短くすることができ、偏光フィルム３０が貼り付け始端１０ａに到達するまでの間において、自重によって撓んでしまうといったことを防止できる。それによって、ガイド面２３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。

また、ガイド部材２３０は、当該ガイド面２３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されているため、これによっても、ガイド面２３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。

また、ガイド部材２３０は、ステンレス鋼などの金属によって形成されており、当該ガイド部材２３０のガイド面２３１は、導電性を有するとともに電気的に接地（アース）されている。このため、偏光フィルム３０に静電気が帯電した場合であっても、偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できる。これにより、偏光フィルム３０に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、偏光フィルム３０を被貼り付け部材としてのガラス基板１０に貼り付ける動作を行う際に、高い精度でフィルム部材をガラス基板１０に貼り付けることができる。また、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

特に、偏光フィルム３０の接着面（具体的には、偏光フィルム３０に塗布されている接着剤３１）に静電気が帯電した場合でも、偏光フィルム３０の接着面（接着剤３１が塗布されている面）が、導電性を有するガイド面２３１に接触することによって、接着面（接着剤３１）に帯電した静電気を確実に除去できる。これにより、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、ガラス基板１０と偏光フィルム３０との間に静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。ガラス基板１０と偏光フィルム３０との間に静電気が帯電すると、容易には、静電気を除去することができないため、偏光フィルム３０の接着面が導電性を有するガイド面に接触するだけで、接着面に帯電した静電気を確実に除去できることは、静電気対策として極めて有効なものとなる。

続いて、押さえロール２４０について説明する。押さえロール２４０は、図３（ａ）に示すように、径の異なる２個のロール２４１，２４２が垂線Ｌに沿って２段に重ねられた構成（２段重ねの構成）となっており、それぞれの回転軸２４１ａ，２４２ａが、偏光フィルム３０の先端部３０ａに沿う方向（ｙ軸に沿う方向）となるように設置されている。第１押さえロール２４１，２４２は、それぞれの回転軸２４１ａ，２４２ａが押さえロール取り付け部材２４３に回転自在に取り付けられている。なお、押さえロール取り付け部材２４３は、フィルム部材供給機構部２００に取り付けられている。

ここで、２個の押さえロール２４１，２４２のうち、偏光フィルム３０に接触する側に位置する押さえロール２４１を第１押さえロール２４１とし、他の押さえロール２４２を第２押さえロール２４２としたとき、当該第１押さえロール２４１の径Φ１（図３（ａ）参照。）は、第２押さえロール２４２の径Φ２よりも小さく設定されている。実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、第１押さえロール２４１の径Φ１は１０ｍｍ程度としている。このように、第１押さえロール２４１と第２押さえロール２４２とを２段重ねの構成とする理由及び第１押さえロール２４１の径Φ１を第２押さえロール２４２の径Φ２よりも小さく設定した理由については後述する。

このように構成されている押さえロール２４０（第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２）は、押さえロール取り付け部材２４３とともにｚ軸に沿った方向（矢印ｚ−ｚ’方向）に上下動可能となっており、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１が、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行っていないときにおいては、テーブル１００上に載置されたガラス基板１０を含む平面（ｘｙ平面）に対して離脱（上方に位置）しており、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行うときにおいては、下降して、偏光フィルム３０を押さえ付ける動作を行うようになっている。押さえロール２４０の上昇及び下降動作は、制御装置３００が有する制御機能の１つとして行われる。

ところで、第１押さえロール２４１の径Φ１を第２押さえロール２４２の径Φ２よリも小さくし、かつ、小さい径の第１押さえロール２４１の上に大きな径の第２押さえロール２４２を重ねた構成としたのは、次に述べる理由によるものである。

すなわち、ガラス基板１０が貼り付け動作開始位置に到達したときにおいて、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄは、上記したように１５ｍｍというように狭い間隔しているために、第１押さえロール２４１が偏光フィルム３０を押さえ付けた状態となったときに、第１押さえロール２４１がガイド部材２３０に接触しないようにするためである。

すなわち、第１押さえロール２４１がガイド部材２３０に接触しないようにするためには、第１押さえロール２４１の径Φ１をできるだけ小さくする必要がある。一方、第１押さえロール２４１の径を小さくすると、第１押さえロール２４１だけでは、偏光フィルム３０を押さえ付けるための押圧力が偏光フィルム３０の幅方向（この場合はｙ軸に沿った幅）全体に渡って均一に付与されない場合があるといった問題が生じる。

具体的に言えば、偏光フィルム３０の幅方向（図３におけるｙ軸に沿った方向）の長さは、この場合、８９０ｍｍ程度としている。このように、偏光フィルム３０の幅方向（図３におけるｙ軸に沿った方向）の長さが８９０ｍｍ程度というように長い場合には、第１押さえロール２４１の回転軸２４１ａに沿った長さ（ｙ軸に沿った長さ）も長くなる。ここで、第１押さえロール２４１の回転軸２４１ａに沿った長さに対して径Φ１が小さいと、反りが生じてしまう場合もあり、反りが生じてしまうと、押圧力が幅方向全体に渡って均一に付与されないこととなる。そこで、第１押さえロール２４１の径Φ１はできるだけ小さくしながらも、押圧点Ｐによる押圧力が偏光フィルム３０の幅方向全体に渡って均一に付与されるように、小さい径の第１押さえロール２４１の上に大きな径の第２ロール２４２を重ねた構成としている。

押さえロール２４０をこのような構成とすることによって、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄが１５ｍｍと狭くても、第１押さえロール２４１がガイド部材２３０に接触することなく、偏光フィルム３０を確実に押さえ付けることができる。また、第２押さえロール２４２が第１押さえロール２４１の反りを防いで偏光フィルム３０を幅方向（ｙ軸方向）全体に渡って均一な押圧力で確実に押さえ付けることができる。このように、第２押さえロール２４２は、第１押さえロール２４１の押圧力をバックアップするためのバックアップロールとして機能する。

次に、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の動作について説明する。
図４は、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の動作を説明するために示す図である。
図５は、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１の動作（図４の続きの動作）を説明するために示す図である。

図４（ａ）は貼り付け動作開始前の状態であり、この状態をこの初期状態とする。この初期状態においては、テーブル１００は、押さえロール２４０（第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２）よりも図示左側の位置（スタート位置）となっている。なお、初期状態においては、テーブル１００上には、現時点において被貼り付け対象となるガラス基板１０（第１ガラス基板１０とする。）がテーブル１００上の所定位置に載置されているものとする。また、テーブル１００のスタート位置からのｘ軸に沿った移動量、ｙ軸に沿った位置及びｚ軸周りの角度（平面上での角度）などは、適正に調整されているものとする。また、初期状態においては、テーブル１００のｚ軸に沿った上下方向位置は、上下方向基準位置ｈとなっているものとする。

また、リリースフィルム４０は巻き取り側の先端部（図示せず。）が、リリースフィルム４０を巻き取るための巻き取りロール（図示せず。）に接続されており、現時点において貼り付け対象となる偏光フィルム（第１偏光フィルム３０とする。）の先端部３０ａは、剥がし部２１０の先端部（折り返し部２１１）に達しているものとする。また、この初期状態においては、押さえロール２４０（第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２）は、テーブル１００上に載置されたガラス基板１０を含む平面（ｘｙ平面）に対して離脱（上方に位置）している。

図４（ａ）に示す初期状態において、まずは、制御装置３００によってテーブル１００をｘ軸に沿って右方向（矢印ｘ方向）に所定の移動量だけ進行させるように制御する。これにより、テーブル１００は図４（ｂ）に示す位置（貼り付け動作開始位置）に進行する。具体的には、制御装置３００は、第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール２４０の押圧点Ｐに対向する位置に到達するように、テーブル１００をｘ軸に沿って右方向（矢印ｘ方向）に移動させるように制御する。なお、ここでは、被貼付け対象となるガラス基板は「第１ガラス基板１０」であるが、「第１」を省略して「ガラス基板１０」と表記する場合もある。

このように、テーブル１００がｘ軸に沿って右方向（矢印ｘ方向）に移動すると、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール２４０の押圧点Ｐに対向する位置に到達する。この状態で、制御装置３００は、当該制御装置３００が有するフィルム部材頭出し制御機構によって、第１偏光フィルム３０の頭出し動作を行うが、第１偏光フィルム３０の頭出し動作を行う前に、制御装置３００は、当該制御装置３００が有するテーブル昇降制御機能によって、昇降機構に対し、テーブル１００を上下方向基準位置ｈよりもｚ軸に沿って所定量Δｈ（図４（ｂ）参照。）だけ下降（退避）させるように制御する。なお、ここでは、貼り付け対象となる偏光フィルムは「第１偏光フィルム３０」であるが、「第１」を省略して「偏光フィルム３０」と表記する場合もある。

制御装置３００がこのような制御を行うことによって、テーブル１００は、図４（ｂ）に示すように、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール２４０の押圧点Ｐに対向する位置で、かつ、上下方向基準位置ｈよりもｚ軸に沿って所定量Δｈだけ下降した位置となる。ここでの「所定量Δｈ」というのは、偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際に、頭出しされた偏光フィルム３０の先端部３０ａが、テーブル１００上に載置されているガラス基板１０に接触することを確実に防ぐことができる程度であればよく、例えば、数ｍｍ〜数１０ｍｍ程度でよい。なお、この「所定量Δｈ」は、特に限定されるものではなく、適宜、最適な量に設定可能である。

図４（ｂ）に示すように、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール２４０の押圧点Ｐに対向する位置で、かつ、上下方向基準位置ｈよりもｚ軸に沿って所定量Δｈだけ下降した位置となった状態で、制御装置３００は、当該制御装置３００が有するフィルム部材頭出し制御機能によって、偏光フィルム３０の頭出し動作を行うようにフィーダー２２５を制御する。

これにより、フィーダー２２５は、図４（ｃ）に示すように、リリースフィルム４０をクランパー２２６によってクランプして、当該リリースフィルム４０を所定量だけリリースフィルム進行方向（矢印ｘ方向）に進行させる。制御装置３００がこのような制御を行うことによって、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａが、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに対向する位置に到達する。すなわち、偏光フィルム３０の頭出し動作がなされる。但し、この時点では、テーブル１００は、下降した状態となっているため、偏光フィルム３０の先端部３０ａは、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに接触しない。なお、このような偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際には、制御装置３００は、貼り付け／剥がし同期機構部２２１のクランパー２２１ｃに対し、リリースフィルム４０のクランプを解除するように制御する。

ここで、偏光フィルム３０の頭出し動作を具体的に説明する。フィーダー２２５によってリリースフィルム４０を所定量だけリリースフィルム進行方向（矢印ｘ方向）に進行させると、剥がし部２１０によって偏光フィルム３０からリリースフィルム４０が剥がされて行くとともに、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０が、ガイド部材２３０のガイド面２３１を進行して行き、当該偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに対向する位置に到達する（図４（ｃ）参照。）。但し、この時点においては、テーブル１００は、下降（退避）した状態にあるため、偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａは、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａには接触していない状態となっている。

また、偏光フィルム３０が、ガイド部材２３０のガイド面２３１を進行する際には、ガイド部材２３０のガイド面２３１は非粘着性表面加工が施されているため、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０がガイド部材２３０のガイド面２３１を進行して行く際に、偏光フィルム３０の接着面がガイド部材２３０のガイド面２３１に付着することなく、偏光フィルム３０をスムーズに進行させることができる。

ところで、上記したような制御装置３００によるフィーダー２２５に対する制御は、カメラ２５０からの撮影画像データに基づいて行われる。制御装置３００によるフィーダー２２５に対する制御の一例としては、前述したように、制御装置３００は、カメラ２５０からの撮影データに基づいて、現時点において貼り付け対象となっている偏光フィルム３０（第１偏光フィルム３０）の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置を監視し、当該後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達するまで、フィーダー２２５を動作させる。これにより、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達する。このように、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達すると、制御装置３００はフィーダー２２５に対して、リリースフィルム４０のクランプを解除させるように制御する。これによって、フィーダー２２５は初期状態の位置に復帰する。

フィーダー２２５がリリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させると、ダンサーロール２２２は、フィーダー２２５が移動した分だけ下降する動作を行う。このようなダンサーロール２２２を設けることによって、フィーダー２２５による偏光フィルム３０の供給動作（頭出し動作）と、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作は、ダンサーロール２２２の下降量が所定量に達した場合に行うようにすればよい。

なお、ダンサーロール２２２は、フィーダー２２５による偏光フィルム３０の頭出し動作時だけでなく、偏光フィルム３０の貼り付け動作時においても機能する。すなわち、偏光フィルム３０の貼り付け動作時においても、テーブル１００が移動する動作と、巻き取りロールによるリリースフィルムの巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。例えば、偏光フィルム３０の貼り付け動作時においては、巻き取りロールによるリリースフィルムの巻き取り動作は、偏光フィルム３０の貼り付け動作が終了して、クランパー２２１ｃがリリースフィルム４０のクランプを解除した後の所定のタイミングで行えばよい。

図４（ａ）〜図４(ｃ)の動作が終了すると、続いて図５に示す動作を行う。
図５（ａ）はテーブル１００が下降（退避）した位置から上下方向基準位置ｈにまで上昇した状態を示している。テーブル１００が上下方向基準位置ｈにまで上昇すると、図５（ａ）に示すように、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達した状態となる。このようなテーブル１００の上昇動作は、制御装置３００によって行われる。

このように、制御装置３００は、偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際においては、テーブル昇降制御機能によって、テーブル１００を上下方向基準位置ｈよりも下方向に一時的に下降（退避）させるように昇降機構を制御したのちに、フィルム部材頭出し制御機能によって、偏光フィルム３０の頭出し動作を行うようにフィーダー２２５を制御する。そして、制御装置３００は、テーブル昇降制御機能によって、偏光フィルム３０の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミングでテーブル１００を上下方向基準位置ｈにまで上昇させるように昇降機構を制御する。なお、「偏光フィルム３０の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミング」としては、偏光フィルム３０の頭出し動作が終了した直後又は偏光フィルム３０の頭出し動作が終了するのとほぼ同じタイミングとすることが好ましい。

このような制御を行うことによって、偏光フィルム３０を高い精度で頭出しすることができ、それによって、偏光フィルム３０の先端部３０ａを、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高精度に到達させることができる。すなわち、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０には接着剤が塗布されているため、テーブル１００が上下方向基準位置ｈにある状態で偏光フィルム３０の頭出し動作を行うと、接着剤がガラス基板１０に付着して偏光フィルム３０の進行が妨げられてしまい、偏光フィルム３０の先端部３０ａを、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高精度に到達させることができないといった不具合が生じる可能性がある。このような不具合を防止するために、偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際においては、テーブル１００を上下方向基準位置ｈよりも下方向に一時的に下降（退避）させた状態としている。

以上のようにして、偏光フィルム３０の頭出し動作（図４（ｃ）参照。）がなされて、テーブル１００が上下方向基準位置ｈにまで上昇すると（図５（ａ）参照。）、押さえロール２４０によって、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けるように押えロール２４０を移動（下降）させる。これにより、押さえロール２４０（第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２）が下降して、第１押さえロール２４１の押圧点Ｐが、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けた状態となる（図５（ｂ）参照。）。これにより、偏光フィルム３０がガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに位置決めされた状態となる。なお、このとき、第２押さえロール２４２が第１押さえロール２４１を押圧した状態となっている。

この図５（ｂ）の状態（偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けた状態）から、テーブル１００を移動させることによって、偏光フィルム３０の貼り付け動作が行われる。すなわち、図５（ｂ）の状態から、テーブル１００がｘ軸に沿って矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動して行くことによって、偏光フィルム３０がガラス基板１０の貼り付け始端１０ａを起点にして貼り付けられて行く（図５（ｃ）参照。）。このとき、押さえロール２４０は偏光フィルム３０を押さえ付けた状態を保持しているため、テーブル１００が矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動して行くと、第１押さえロール２４１は時計方向に回転するとともに第２押さえロール２４２は反時計方向に回転しながら偏光フィルム３０をガラス基板１０に押さえ付けて行く。

図５（ｂ）から図５（ｃ）に示すような偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、貼り付け/剥がし同期機構部２２１が機能する。すなわち、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０をテンション付与部としてのダンサーロール２２２と剥がし部２１０との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と剥がし部２１０との間で、偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期させて偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす動作（リリースフィルム４０の剥がし動作）を行う。

具体的には、テーブル１００がｘ軸に沿って矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動して行くと、偏光フィルム（この場合、偏光フィルム３０）がガラス基板１０の貼り付け始端１０ａを起点にして貼り付けられて行く。このように、テーブル１００がｘ軸に沿って矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動すると、リースフィルム４０はテーブル１００の移動に伴って、テーブル１００の移動量と同じ移動量で剥がし部２１０から折り返し方向すなわちリリースフィルム進行方向（矢印ｘ方向）に進行する。

このように、貼り付け／剥がし同期機構部２２１は、偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付けて行く動作（偏光フィルム３０の貼り付け動作）を行う際においては、クランプした位置と剥がし部２１０との間で、第１偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期させてリリースフィルム４０の剥がし動作を行う。

貼り付け／剥がし同期機構部２２１の動作についてさらに説明する。貼り付け／剥がし同期機構部２２１は、前述したように、フィルム部材供給機構部２００の側に設けられている第１折り返しロール２２１ａと、テーブル１００の側に設けられている第２折り返しロール２２１ｂと、クランパー２２１ｃとを有している。

クランパー２２１ｃは、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０をクランプする。このため、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、クランパー２２１ｃによってリリースフィルム４０をクランプした状態で、テーブル１００がｘ軸に沿って矢印ｘ’方向に移動すると、フィルム部材供給機構部２００の側に取り付けられている第１折り返しロール２２１ａの位置は変化せずに、テーブル１００の側に取り付けられている第２折り返しロール２２１ｂが、テーブル１００の移動とともに移動する。これにより、リリースフィルム４０はテーブル１００の移動により第２折り返しロール２２１ｂによって引っ張られて行き、リリースフィルム進行方向（矢印ｘ方向）に進行する。

このように、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０がクランプされた状態となっているため、リリースフィルム４０は、テンション付与部としてのダンサーロール２２２によるテンションから解放された状態となり、リリースフィルム４０に加わるテンションはクランパー２２１ｃと剥がし部２１０との間のテンションのみとなり、この状態で、偏光フィルム３０の貼り付け動作に同期してリリースフィルム４０の剥がし動作が行われるため、リリースフィルム４０に加わるテンションはわずかなものとなる。

このため、テション付与部としてのダンサーロール２２２によってリリースフィルムに大きなテンションンが加わっているような構成であったとしても、リリースフィルム４０は、ダンサーロール２２２によるテンションから解放された状態となり、リリースフィルム４０にはそれほど大きなテンションは加わらないこととなる。

これにより、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０に加わるテンションを小さくすることができ、それによって、リリースフィルム４０が剥がし部２１０の折り返し部２１１で擦れてしまうことによって、リリースフィルム４０が破損してしまうことを抑制できる。また、フィルム部材貼り付け装置を長期間使用すると、リリースフィルムとの間の摩擦によって剥がし部２１０の折り返し部２１１も擦り減ってしまうといった問題もあるが、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、折り返し部２１１の擦り減りをも抑制できる。

また、剥がし部２１０の折り返し部２１１が角部（この場合、くさび状）となっていることにより、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすときの剥がし動作（リリースフィルム４０の剥がし動作）を確実に行うことができる。特に、剥がし部２１０の折り返し部２１１が例えばロールである場合に比べると、リリースフィルム４０の剥がし動作をより確実に行うことができる。すなわち、折り返し部２１１がロールであると、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすときに、偏光フィルム３０がリリースフィルム４０とともにロールに巻き込まれてしまい、剥がし動作が確実に行えないといった不具合が発生する場合がある。このとき、ロールが大径であると、このような不具合の発生はより顕著なものとなる。

実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、上記した不具合を解消するために、剥がし部２１０の折り返し部２１１を角部としている。それによって、上記した不具合を解消することができ、確実な剥がし動作が可能となる。但し、剥がし部２１０の折り返し部２１１が角部となっていることによって、リリースフィルム４０が擦り易くなってリリースフィルム４０が破損し易いといった課題があるが、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、貼り付け／剥がし同期機構部２２１を設けることによって、このような課題を解消できる。また、リリースフィルム４０が剥がし部２１０の折り返し部２１１で擦れることにより折り返し部２１１が擦り減り易いといった課題も解消できる。

なお、偏光フィルム３０の頭出しを行う際は、貼り付け／剥がし同期機構部２２１は機能しないが、偏光フィルム３０の頭出しを行う際においては、偏光フィルム３０の頭出し動作を行うに必要なだけリリースフィルム４０を進行させればよいため、リリースフィルム４０の進行量はわずかである。このため、リリースフィルム４０に加わる負荷を小さくでき、リリースフィルムを破損させたり、折り返し部２１１を擦り減らしたりするおそれは少ない。また、偏光フィルム３０の頭出しを行う際は、リリースフィルム４０はフィーダー２２５によってクランプされた状態となっているため、この場合も、リリースフィルム４０に加わるテンション付与部（ダンサーロール２２２）によるテンションは解放されたものとなっている。これによっても、偏光フィルム３０の頭出しを行う際は、リリースフィルム４０に加わる負荷を小さくできる。

一方、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う場合には、リリースフィルム４０の進行量も多く、かつ、偏光フィルム３０の先端部３０ａを押さえロール２４０で押さえた状態でリリースフィルムを剥がすため、リリースフィルム４０に加わる負荷が大きくなる。特に、偏光フィルム３０のサイズ（進行方向に沿ったサイズ）が大きいとリリースフィルム４０の進行量が多くなり、リリースフィルム４０に加わる負荷がより大きくなる。このような場合、貼り付け／剥がし同期機構部２２１を設けることによって、リリースフィルム４０に与えるテンションを小さく抑えることができ、リリースフィルム４０に与える負荷を小さくできる。それによって、リリースフィルム４０の破損を抑制することができる。また、折り返し部２１１の擦り減りをも抑制することができる。

ところで、図５（ｃ）に示すようなフィルム部材貼り付け動作が終了すると、テーブル１００は初期位置に復帰するが、テーブル１００が初期位置に復帰する際には、クランパー２２１ｃによるリリースフィルム４０のクランプを解除する。そして、テーブル１００が図５（ｃ）に示す状態からが矢印ｘ’方向にさらに移動すると、当該テーブル１００は、図４（ａ）の位置（初期状態と同じ位置）に戻る。これにより、ガラス基板１０（第１ガラス基板１０）に対する偏光フィルム３０(第１偏光フィルム３０）の貼り付け工程が終了し、続いて、次のガラス基板（第２ガラス基板１０とする。）に対する偏光フィルム（第２偏光フィルム３０）の貼り付け工程を行う。

第２ガラス基板１０に対する第２偏光フィルム３０の貼り付け工程を行うには、第１偏光フィルム３０の貼り付け工程が終了した第１ガラス基板１０をテーブル１００から取り外して、当該テーブル１００に第２ガラス基板１０を載置して、図４（ａ）〜図４（ｃ）及び図５（ａ）〜図５（ｃ）の工程を行う。このような工程を繰り返すことにより、個々のガラス基板に偏光フィルムを順次貼り付けて行くことができる。

以上説明したように、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、貼り付け／剥がし同期機構部２２１によって、偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期させてリリースフィルム４０の剥がし動作を行うようにしている。

このため、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、リリースフィルム４０に加わるテンションを小さくすることができ、それによって、リリースフィルム４０が剥がし部２１０の折り返し部２１１で擦れてしまうことによって、リリースフィルム４０が破損してしまうことを抑制できる。また、折り返し部２１１の擦り減りをも抑制できる。また、剥がし部２１０の折り返し部２１１が角部となっていることにより、リリースフィルム４０の剥がし動作を確実に行うことができる。

また、剥がし部２１０の前方側には、偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド部材２３０が設けられている。当該ガイド部材２３０のガイド面２３１には、非粘着性表面加工が施されているため、偏光フィルム３０接着面がガイド部材２３０のガイド面２３１に付着してしまうことを防止でき、偏光フィルム３０をガイド部材２３０のガイド面２３１でスムーズに進行させることができる。

また、ガイド部材２３０は、当該ガイド部材先端部２３２がエッジとなっているため、当該ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔を可能な限り狭くすることができるとともに、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間の段差を可能な限り小さくできる。

これにより、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するまでの距離を短くすることができ、偏光フィルム３０が貼り付け始端１０ａに到達するまでの間において、自重によって撓んでしまうといったことを防止できる。それによって、ガイド面２３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。

また、ガイド部材２３０は、当該ガイド面２３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されているため、これによっても、ガイド面２３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。

また、ガイド部材２３０は、ステンレス鋼などの金属によって形成されており、当該ガイド部材２３０のガイド面２３１には、導電性かつ非粘着性表面加工が施されており、当該ガイド面２３１は電気的に接地（アース）されている。このため、偏光フィルム３０に静電気が帯電した場合であっても、偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できる。この観点でいえば、ガイド部材２３０は、静電気除去部材ともいえる。このように、ガイド部材２３０が静電気除去部材であることにより、偏光フィルム３０に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、偏光フィルム３０を被貼り付け部材としてのガラス基板１０に貼り付ける動作を行う際に、高い精度でフィルム部材をガラス基板１０に貼り付けることができる。また、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

また、偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際においては、テーブル１００を上下方向基準位置ｈよりも下方向に一時的に退避させた状態とし、第１偏光フィルム３０の頭出し動作が終了した直後のタイミング又は第１偏光フィルム３０の頭出し動作が終了するのとほぼ同じタイミングで、テーブル１００を上下方向基準位置ｈに復帰させるようにしている。これにより、偏光フィルム３０を高い精度で頭出しすることができる。

また、押さえロール２４０は、偏光フィルム３０に接触する側に位置する小径の第１押さえロール２４１と当該第１押さえロール２４１の押圧力をバックアップするための大径の第２押さえロール２４２によって構成されている。

押さえロール２４０がこのような構成となっていることにより、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔が狭くても、第１押さえロール２４１が小径であることからガイド部材２３０に接触することなく、偏光フィルム３０を押さえ付けることができる。また、第２押さえロール２４２が第１押さえロール２４１の反りを防ぐ役目もなすことから、偏光フィルム３０を幅方向（押さえロール２４０の回転軸に沿った方向）全体に渡って均一な押圧力で確実に押さえ付けることができる。

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記実施形態においては、第１押さえロールの径を１０ｍｍ程度とした場合を例示したが、第１押さえロールの径は必ずしも１０ｍｍ程度とする必要はなく、ガイド部材先端部２３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄなどに応じて最適な径とすることができる。

（２）上記実施形態においては、ガイド部材２３０は、３角形のブロック状のものを採用した場合を例示したが、ガイド部材２３０の形状は限定されるものではなく、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａが、テーブル１００に載置されたガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに向かって進行させることができればよく、例えば板状であってもよい。

図６は、ガイド部材２３０を板状とした場合を説明するために示す図である。なお、図６は図３（ａ）に対応するものであり、ガイド部材２３０材を板状とした点が異なるだけであり、その他の構成要素は図３と同じであるため、同一構成要素には同一符号が付されている。ガイド部材２３０を板状とした場合においても、ガイド部材先端部２３２は、図６に示すようにエッジとなっていることが好ましい。

このようにすることで、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに高い精度で到達させることができる。なお、ガイド部材２３０を板状とした場合であっても、当該板状のガイド部材２３０のガイド面２３１は、導電性を有する非粘着性表面加工が施されており、当該ガイド面２３１は電気的に接地されている。これにより、実施形態に係るフィルム部材貼り付け装置１で使用したガイド部材２３０と同様の静電気対策が可能となる。また、ガイド部材２３０は、図６に示すような厚みを有する板状ではなく、板厚が例えば１ｍｍから数ｍｍ程度の薄板状部材を用いてもよく、このような薄板部材であれば、ガイド部材先端部２３２は、おのずからエッジとなる。

（３）上記実施形態においては、図４に示す偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際には、フィルム部材供給機構部２００を固定とし、テーブル１００をｘ軸に沿って往復移動させる場合を例示したが、テーブル１００を固定し、フィルム部材供給機構部２００を往復動させるようにしてもよい。

具体的には、図４（ａ）の初期状態と同様にテーブル１００にガラス基板１０を載置した状態で、当該テーブル１００の位置を固定しておく。そして、フィルム部材供給機構部２００を図４における矢印ｘ’方向（図示左方向に）に移動させて、図４（ｂ）とほぼ同様の状態として、図４（ｃ）及び図５（ａ）〜図５（ｃ）の工程を行う。この場合、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際には、テーブル１００を固定として、フィルム部材供給機構部２００を矢印ｘ方向に移動させる。このような動作を行うことによっても、上記実施形態と同様に偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付けて行くことができる。

また、偏光フィルム３０の貼り付け動作は、テーブル１００をｘ軸に沿って往復移動させる動作と、フィルム部材供給機構部２００をｘ軸に沿って往復移動させる動作とを併用してもよい。このような動作を行うことによっても、上記実施形態と同様に偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付けて行くことができる。この場合、貼り付け動作をより高速化できるといった効果も得られる。

なお、テーブル１００を固定して、フィルム部材供給機構部２００を往復動させる場合においても、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、貼り付け／剥がし同期機構部２２１を機能させることができる。この場合、偏光フィルム３０の貼り付け動作を行う際においては、フィルム部材供給機構部２００が矢印ｘ方向に移動するが、このとき、第１折り返しロール２２１ａもフィルム部材供給機構部２００の移動とともに移動するが、テーブル１００の側に設けられている第２折り返しロール２２１ｂの位置は変化しない。

このため、リリースフィルム４０はフィルム部材供給機構部２００の移動とともに第１折り返しロール２２１ａによって引っ張られて、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０が剥がされて行きながら偏光フィルム３０が進行して行く。この場合においても、クランパー２２１ｃcによってリリースフィルム４０をクランプした状態で、偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期してリリースフィルム４０の剥がし動作が行われることとなるため、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす際に、リリースフィルムに加わるテンション（張力）を小さくすることができる。

また、テーブル１００をｘ軸に沿って往復移動させる動作と、フィルム部材供給機構部２００をｘ軸に沿って往復移動させる動作とを併用した場合にも、貼り付け／剥がし同期機構部を機能させることができる。

（４）制御装置３００によるフィーダー２２５に対する制御の他の例としては、偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置を監視し、当該偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置が、偏光フィルム３０の後端部３０ｂが目標とする移動量（目標移動量という。）だけ移動するまで、リリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させるというような制御としてもよい。これにより、偏光フィルム３０の先端部３０ａを第１押さえロール２４１の押圧点Ｐに高い精度で到達させることができる。このような制御は、偏光フィルム３０の後端部３０ｂが所定位置からどれだけ移動させると当該偏光フィルム３０の先端部３０ａが第１押さえロール２４１の押圧点Ｐに達するかを目標移動量として予め求めておくことにより、実施可能である。

（５）上記実施形態においては、剥がし部は、先端折り返し部の角部がくさび状（鋭角）である場合を例示したが、くさび状(鋭角)であるあることに限定されるものではなく、例えば、ほぼ直角の角部であってもよい。

（６）上記実施形態においては、偏光フィルム３０の頭出し動作を行う際において、テーブル１００を下降（退避）させる動作は、図４（ｂ）の位置に移動したときに当該テーブル１００を退避させるようにしたが、図４（ａ）の初期状態の段階でテーブル１００を下降（退避）させた状態として、図４（ｂ）の位置に移動させるようにしてもよい。

（７）上記実施形態においては、液晶パネルに用いられる２枚のガラス基板（液晶層の表面側に設けられるガラス基板及び裏面側に設けられるガラス基板）のうちの一方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合について説明したが、他方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合もほぼ同様に実施できる。

（８）上記実施形態においては、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルムであるとし、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板であるとして、当該ガラス基板に偏光フィルムを貼り付けるためのフィルム部材貼り付け装置について説明したが、フィルム部材貼り付け装置としては、上記実施形態において説明したフィルム部材貼り付け装置に限られるものではなく、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付ける装置に広く適用できる。

(９)上記実施形態においては、フィルム部材は長方形状としたが、フィルム部材の形状は長方形に限られるものではなく、正方形であってもよく、また、長方形及び正方形（矩形）に限られるものではない。

（１０）上記実施形態においては、第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２は、第１押さえロール２４１を第２押さえロール２４２に比べて小径としたが、第２押さえロール２４２がバックアップロールとして機能できれば、第１押さえロール２４１及び第２押さえロール２４２を同じ径としてもよい。

（１１）上記実施形態においては、押さえロール２４０は、２個の押さえロールを２段重ねした構成とした場合を例示したが、２個に限られるものではなく、３個以上の押さえロールを重ねた構成としてもよい。

（１２）上記実施形態においては、ガイド部材２３０のガイド面２３１は、ガイド部材２３０、支持部材（図示せず。）及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）するようにしたが、当該ガイド面２３１又はガイド部材２３０に接地（アース）用のリード線を接続して当該ガイド部材を直接的に接地（アース）するようにしてもよい。

（１３）上記実施形態においては、フィルム部材としては、液晶パネルに用いられる偏光フィルムとしたが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる保護フィルムであってもよく、また、電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであってもよい。また、上記実施形態においては、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板としたが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、液晶パネルに用いられる合成樹脂基板（合成樹脂フィルムも含む。）であってもよい。また、液晶パネル以外（例えば、有機ＥＬパネル又はその他のディスプレイ）に用いられるガラス基板や合成樹脂基板（合成樹脂フィルムも含む。）であってもよい。また、ディスプレイ以外（例えば、電子機器など）に用いられる電子回路基板であってもよい。

（１４）上記実施形態においては、ガイド部材２３０のガイド面２３１に、導電性を有する非粘着性表面加工を施すための処理として、「トシカル（登録商標）Ｓコーティング加工」と呼ばれる表面加工の技術を採用し、そのようなコーティング加工を、トシカル（登録商標）Ｓ、ＵＮＡ―３００シリーズ（ＵＮＡ―３１０−Ｘ１０）、ＵＮＡ―８００シリーズ、ＴＳ−１０００シリーズ、ＴＳ−１０８０シリーズ、ＴＳ−１３１０シリーズのものを好適に用いることができるとしたが、本発明はこれに限られるものではない。また、トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜の膜厚は、例えば、１μｍ〜２００μｍ、好ましくは３μｍ〜１５０μｍのものを好適に用いることができるとしたが、本発明はこれに限られるものではない。また、トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜を形成する前に、ガイド部材２３０のガイド面２３１に凹凸構造を形成しておいてもよい。この場合の凹凸構造の平均表面粗さとしては、２μｍ〜１５μｍのものを好適に用いることができるとしたが、本発明はこれに限られるものではない。

（１５）上記実施形態においては、貼り付け/剥がし同期機構部２２１が、偏光フィルム３０の貼り付け動作に能動的に同期させてリリースフィルムの剥がし動作を行う際に、当該貼り付け/剥がし同期機構部２２１にクランパー２２１ｃを設けて、当該クランパー２２１ｃによってリリースフィルム４０をクランプするようにしたが、当該クランパー２２１ｃを設けずに、当該フィーダー２２５のクランパー２２６を、偏光フィルム３０の頭出し動作用としてだけでなく、貼り付け/剥がし同期機構部２２１における貼り付け／剥がし同期動作用としても用いることも可能である。この場合、貼り付け／剥がし同期動作を行う際には、当該フィーサー２２５のクランパー２２６によってリリースフィルム４０をクランプする。このようにしても、リリースフィルム４０はテンション付与部としてのダンサーロール２２２によるテンションから解放された状態となり、リリースフィルム４０に加わるテンションを小さくできる。

１・・・フィルム部材貼り付け装置、１０・・・ガラス基板（被貼り付け部材）、１０ａ・・・貼り付け始端、３０・・・偏光フィルム（フィルム部材）、３０ａ・・・先端部（進行方向先端部）、３０ｂ・・・後端部（進行方向後端部）、３１・・・接着剤、４０・・・リリースフィルム、５０・・・ステージ、６０・・・ガイドレール、１００・・・テーブル、１１０・・・スライダー、１２０・・・テーブル本体部、２００・・・フィルム部材供給機構部、２１０・・・剥がし部、２１１・・・折り返し部、２２０・・・リリースフィルム進行機構部、２２１・・・剥がし／貼り付け同期機構部、２２１ａ・・・第１折り返しロール、２２１ｂ・・・第２折り返しロール、２２１ｃ・・・クランパー、２２２・・・ダンサーロール（テンション付与部）、２２５・・・フィーダー、２２６・・・クランパー（フィーダー２２５のクランパー）、２３０・・・ガイド部材、２３１・・・ガイド面、２３２・・・ガイド部材先端部（ガイド部材の先端部）、２４０・・・押さえロール、２４１・・・第１押さえロール、２４２・・・第２押さえロール、２５０・・・カメラ、３００・・制御装置、Ｃ１，Ｃ２，・・・切れ目、ｈ・・・上下方向基準位置、Ｐ・・・押圧点

Claims (15)

1. 一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させるための「フィルム部材の頭出し動作」を行った後に、前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえ付けた状態で前記貼り付け始端を起点に前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行く「フィルム部材の貼り付け動作」を行うフィルム部材貼り付け装置であって、
   前記被貼り付け部材を載置するテーブルと、
   前記フィルム部材を供給するフィルム部材供給機構部と、
   前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部を制御するフィルム部材頭出し制御機能と、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方を相対的に移動させる貼り付け制御機能とを有する制御装置と、
   を備え、
   前記フィルム部材供給機構部は、
   前記リリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とはほぼ反対方向に折り返す折り返し部を有し、当該折り返し部でリリースフィルムを折り返した状態で前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方が相対的に移動することによって前記フィルム部材からリリースフィルムを剥がす剥がし部と、
   前記折り返し部で折り返された前記リリースフィルムを進行させるリリースフィルム進行機構部と、
   を有し、
   前記リリースフィルム進行機構部には、
   前記折り返された前記リリースフィルムに対して前記リリースフィルムが進行する方向に沿ったテンションを付与するテンション付与部と、
   当該テンション付与部と前記剥がし部との間に配置され、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う貼り付け／剥がし同期機構部と、
   が設けられていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
2. 請求項１に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記貼り付け／剥がし同期機構部は、
   前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置に設けられ、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプするクランパーと、
   前記クランパーと前記剥がし部との間に位置し、かつ、前記フィルム部材供給機構部の側に取り付けられており、前記剥がし部で剥がされたリリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とほぼ同方向に進行させるように折り返す第１折り返しロールと、
   前記クランパーと前記第１折り返しロールとの間に位置し、かつ、前記テーブルの側に取り付けられており、前記第１折り返しロールで折り返されたリリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とほぼ反対方向に進行させるように折り返す第２折り返しロールと、
   有することを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
3. 請求項１又は２に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記テーブルには、当該テーブルを上下方向に昇降させるための昇降機構が設けられており、
   前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際の前記テーブルの上下方向の位置を上下方向基準位置としたとき、
   前記制御装置は、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行う際においては、前記テーブルを前記上下方向基準位置よりも下方向に一時的に下降させるように前記昇降機構を制御して、前記フィルム部材頭出し制御機能によって前記「フィルム部材の頭出し動作」を行い、前記フィルム部材の貼り付け動作が開始するまでの所定のタイミングで前記テーブルを前記上下方向基準位置にまで上昇させるように前記昇降機構を制御するテーブル昇降制御機能をさらに有することを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
4. 請求項１〜３のいいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記剥がし部の前記折り返し部は角部となっていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記貼り付け/剥がし同期機構部と前記テンション付与部との間には、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行わせるためのフィーダーが設けられていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
6. 請求項５に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記フィルム部材供給機構部は、前記フィルム部材の所定部分を撮像可能に設置されたカメラをさらに有し、
   前記制御装置は、
   前記カメラからの撮影データに基づいて前記フィルム部材の前記所定部分の位置を監視して、前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うように前記フィーダーを制御するフィーダー制御機能をさらに有することを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
7. 請求項６に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記フィルム部材の所定部分は、当該フィルム部材の進行方向後端部であることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記フィルム部材供給機構部は、
   前記剥がし部によってリリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面が存在し当該ガイド面には接着剤の付着を防ぐ非粘着性表面加工が施されているガイド部材をさらに有し、
   前記ガイド部材は、当該ガイド部材の先端部がエッジとなっているとともに、前記ガイド面が前記被貼り付け部材に対して鋭角をなし、かつ、当該ガイド面の延長上に前記被貼り付け部材の貼り付け始端が位置するように設置されていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
9. 請求項８に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記ガイド面は、導電性を有するとともに電気的に接地されていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
    前記フィルム部材供給機構部は、
    前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえるための押さえロールをさらに有し、
    前記押さえロールは、複数個の押さえロールが複数段に重ねられた構成となっていて、当該複数個の押さえロールのそれぞれの回転軸が、前記フィルム部材の進行方向先端部の辺に沿う方向となるように設置されていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
11. 請求項１０に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
    前記複数個の押さえロールのうち、前記フィルム部材に接触する側に位置する押さえロールの径は、他の押さえロールの径よりも小径に設定されていることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
12. 請求項１〜１１のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
    前記テンション付与部は、ダンサーロールであることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
13. 請求項１〜１２のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
    前記フィルム部材は、長尺シート状をなし、当該長尺シート状のフィルム部材の長手方向に沿って所定長さごとに前記リリースフィルムを残して切れ目が設けられており、前記剥がし部によってリリースフィルムが剥がされることにより、個片化されたフィルム部材となり、当該個片化されたフィルム部材が前記被貼り付け部材に貼り付けられることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
14. 請求項１〜１３のいずれかに記載のフィルム部材貼り付け装置において、
    前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、
    前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板である、
    ことを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
15. 一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させるための「フィルム部材の頭出し動作」を行った後に、前記フィルム部材の進行方向先端部を前記被貼り付け部材の貼り付け始端に押さえ付けた状態で前記貼り付け始端を起点に前記リリースフィルムを剥がしながら前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行く「フィルム部材の貼り付け動作」を行うフィルム部材貼り付け方法であって、
    前記被貼り付け部材を載置するテーブルと、
    前記フィルム部材を供給するフィルム部材供給機構部と、
    前記「フィルム部材の頭出し動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部を制御するフィルム部材頭出し制御機能と、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行うために前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方を相対的に移動させる貼り付け制御機能とを有する制御装置と、
    を備え、
    前記フィルム部材供給機構部は、
    前記リリースフィルムを前記フィルム部材の進行方向とはほぼ反対方向に折り返す折り返し部を有し、当該折り返し部でリリースフィルムを折り返した状態で前記フィルム部材供給機構部及び前記テーブルの少なくとも一方が相対的に移動することによって前記フィルム部材からリリースフィルムを剥がす剥がし部と、
    前記折り返し部で折り返された前記リリースフィルムを進行させるリリースフィルム進行機構部と、
    を有し、
    前記リリースフィルム進行機構部には、
    前記折り返された前記リリースフィルムに対して前記リリースフィルムが進行する方向に沿ったテンションを付与するテンション付与部と、
    当該テンション付与部と前記剥がし部との間に配置され、前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行う貼り付け／剥がし同期機構部と、
    が設けられており、
    前記「フィルム部材の貼り付け動作」を行う際においては、
    前記リリースフィルムを前記テンション付与部と前記剥がし部との間の所定位置でクランプし、当該クランプした位置と前記剥がし部との間で、前記「フィルム部材の貼り付け動作」に能動的に同期させて前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥がす動作を行うことを特徴とするフィルム部材貼り付け方法。

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