JP2005079275A - 樹脂テープ貼付装置及び貼付方法 - Google Patents

樹脂テープ貼付装置及び貼付方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 回路基板上に異方性導電樹脂テープ等の樹脂テープを回路基板上に貼付する際に、回路基板の浮き上がりを抑える。
【解決手段】 樹脂テープ貼付装置において、テープ4の供給側へと移動することによりベーステープ41を回路基板2の表面に貼付された樹脂テープ片44から剥離する剥離ローラ21の両端に大径部(鍔部)211を設ける。剥離ローラ21の大径部211に回路基板2が当接することにより、回路基板2の過剰な浮き上がりが抑えられる。その結果、樹脂テープの貼付を高速かつ安定して行うことが実現される。
【選択図】 図7

Description

本発明は、異方性導電樹脂テープ、絶縁性樹脂テープ等の樹脂テープを用いて回路基板上にICのベアチップやその他の電子部品を実装する際に用いられる樹脂テープ貼付装置及び貼付方法に関する。
従来から、回路基板に熱硬化性の異方性導電樹脂を貼り付け、導電樹脂上にICのベアチップを加圧及び加熱して実装する手法が利用されている。このような実装において、異方性導電樹脂のテープを回路基板に貼付する際に、例えば、特許文献1に開示されているように、ベーステープの下面に保持された状態で回路基板上に樹脂テープを供給し、ベーステープ上から押圧して樹脂テープを回路基板上に貼付する手法が知られている。
特開2002−184809号公報
ところが、回路基板の裏面にも配線パターンが形成されている場合には、裏面の凹凸に起因するエア漏れにより、回路基板を十分にテーブル上に吸引吸着することができず、樹脂テープを貼付した後にベーステープを樹脂テープから高速に剥離する際に回路基板が過剰に浮き上がってしまい、回路基板の位置がずれて後続の処理(例えば、回路基板の他の部位への樹脂テープの貼付やICチップの装着等)に問題が生じることがある。その結果、生産性が低下してしまう。
特に、多層基板であり、かつ、両面実装が行われる表面の段差の大きい回路基板の場合、回路基板が非常に薄い若しくは可撓性を有する場合、あるいは、ICのベアチップのように実装される電子部品が大きいために回路基板に貼付される樹脂テープが大きく、ベーステープの剥離に要する力が大きい場合には、回路基板の浮き上がりの問題は顕著となる。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、比較的簡単な構成により、ベーステープを回路基板に貼付された樹脂テープから高速に剥離する際の回路基板の過剰な浮き上がりを防止することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、回路基板上に樹脂テープを貼付する樹脂テープ貼付装置であって、テーブル上に保持された回路基板の表面に対して略平行に、ベーステープの前記回路基板側の面に保持された樹脂テープを供給するテープ供給機構と、前記ベーステープに保持された状態で所定の寸法に切断された樹脂テープ片を前記回路基板に貼付し、所定の圧力を前記ベーステープ側から加える加圧機構と、前記ベーステープの樹脂テープが保持されていた面とは反対側の面に側面が接する略円筒状の小径部、及び、前記小径部と同心の円盤状であって前記小径部よりも直径が大きく、前記回路基板の浮き上がりを前記回路基板との間の当接により抑える大径部を有する剥離ローラと、前記剥離ローラよりも前記ベーステープの回収側にて前記ベーステープを前記回路基板から離れる方向に引き上げる引上機構と、前記剥離ローラを前記樹脂テープの供給方向とは逆の方向に移動させることにより、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片から前記ベーステープを剥離させるローラ移動機構とを備える。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記引上機構が、前記剥離ローラに対して前記ベーステープの回収側において、前記ベーステープの前記樹脂テープが保持されていた面に当接する補助ローラを有し、前記補助ローラが前記剥離ローラとともに移動することにより、前記ベーステープが引き上げられる。
請求項3に記載の発明は、請求項1又は2に記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記小径部が、前記ベーステープの幅よりも大きい幅を有し、前記大径部が、前記小径部の両側に設けられている。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記テーブルに前記回路基板が接する状態において、前記大径部と前記回路基板との間に所定の隙間が生じるだけ前記大径部が前記テーブルから離れて移動する。
請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記所定の隙間が、0.05mm以上0.1mm以下である。
請求項6に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記大径部が、前記回路基板上を転動する。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記小径部と前記大径部とが、それぞれ独立して回転する。
請求項8に記載の発明は、請求項1ないし7のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片に沿う領域において前記回路基板を前記テーブルに押さえつけるアームをさらに備える。
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記回路基板の表面に対して前記ベーステープを昇降させる昇降機構をさらに備え、前記アームが前記ベーステープとともに昇降する。
請求項10に記載の発明は、請求項1ないし9のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、前記回路基板の裏面に回路が形成されている。
請求項11に記載の発明は、ベーステープに保持された状態で供給される樹脂テープを回路基板上に貼付する樹脂テープ貼付方法であって、ベーステープの樹脂テープが保持されていた面とは反対側の面に側面が接する略円筒状の小径部、及び、前記小径部と同心の円盤状であって前記小径部よりも直径が大きく、テーブル上に保持された回路基板の浮き上がりを前記回路基板との間の当接により抑える大径部を有する剥離ローラを、前記ベーステープの回収側に位置させる工程と、前記回路基板の表面に対して略平行に、前記ベーステープの前記回路基板側の面に保持された状態で樹脂テープを供給する工程と、前記ベーステープに保持された樹脂テープを所定の寸法の樹脂テープ片に切断する工程と、前記ベーステープに保持された状態で前記樹脂テープ片を前記回路基板に貼付し、所定の圧力を前記ベーステープ側から加える工程と、前記剥離ローラよりも前記ベーステープの回収側において、前記ベーステープを前記回路基板の表面から離れる方向に引き上げつつ前記剥離ローラを前記樹脂テープの供給方向とは逆の方向に移動させることにより、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片から前記ベーステープを剥離させる工程とを有する。
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の樹脂テープ貼付方法であって、前記剥離させる工程において、前記テーブルに前記回路基板が接する状態において前記大径部と前記回路基板との間に所定の隙間が生じるだけ前記大径部が前記テーブルから離れて移動する。
請求項13に記載の発明は、請求項12に記載の樹脂テープ貼付方法であって、前記所定の隙間を、0.05mm以上0.1mm以下とする。
請求項14に記載の発明は、請求項11に記載の樹脂テープ貼付方法であって、前記剥離させる工程において、前記大径部が、前記回路基板の表面上を転動する。
請求項15に記載の発明は、請求項14に記載の樹脂テープ貼付方法であって、前記小径部と前記大径部とが、それぞれ独立して回転する。
請求項16に記載の発明は、請求項11ないし15のいずれかに記載の樹脂テープ貼付方法であって、前記剥離させる工程において、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片に沿う領域にて前記回路基板が前記テーブルに押さえつけられる。
本発明によれば、ベーステープを回路基板表面に貼付された樹脂テープ片から剥離する際に、剥離ローラの大径部により回路基板の過剰な浮き上がりを防止することができる。
本発明は、ベーステープを回路基板に貼付された樹脂テープ片から剥離する際に回路基板の過剰な浮き上がりを防止することができる樹脂テープ貼付装置及び貼付方法に関する。以下、本発明の一の実施の形態に係る樹脂テープ貼付装置及び貼付方法について、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の一の実施の形態に係る樹脂テープ貼付装置1の全体構成を示す正面図であり、図2は樹脂テープが貼付される回路基板2近傍を示す平面図である。図1及び図2に示すように、複数の回路基板2が樹脂テープ貼付装置1の中央の下部に設けられたXYテーブル3上に整列されて保持される。
なお、XYテーブル3による回路基板2の保持は、例えば、XYテーブル3上に形成された吸引口からの吸引、あるいは、XYテーブル3上の粘着性材料により行われる。また、回路基板2は個片に分離される前の大型基板であってもよく、この場合、大型基板の隅が機械的に保持されてもよい。回路基板2は、裏面(XYテーブル3側)に回路が形成されたものであってもよい。
XYテーブル3は、水平面上で互いに直交するX方向及びY方向に駆動され、その上に保持されている各回路基板2を樹脂テープ貼付装置1内の固定位置である所定のテープ貼付位置Aに順次移動させる。
樹脂テープの貼付に利用される未使用のテープ4は、ベーステープ41とカバーテープ42の間に、例えば、熱硬化性の樹脂に金属微粒子を分散させた異方性導電樹脂テープ等の樹脂テープ43をラミネートした3層構造となっている。
XYテーブル3の上方(図1中の(+Z側))には、未使用のテープ4を巻きつけた供給リール5、複数のガイドローラ6、使用済みのテープであるベーステープ41を巻き取るための第1回収リール7、テープ4から剥がされたカバーテープ42を巻き取るための第2回収リール8、テープ4をフィードするためのフィードチャック61及び固定チャック62等で構成されたテープ供給機構10が設けられている。
テープ供給機構10により、テープ4は回路基板2の表面に略平行なX方向に張架されるとともにベーステープ41の回路基板2側の面に保持された状態で樹脂テープ43が(−X)方向に順次供給される。テープ供給機構10は、1つのフレーム上に構築されており、昇降機構30によりフレームが昇降することにより、テープ供給機構10全体およびテープ4(剥離後のベーステープ41を含む。)が回路基板2の表面に垂直な方向(Z方向)に昇降される。
昇降機構30により昇降するフレーム上には、さらに剥離機構20が設けられており、テープ供給機構10と共にZ方向に上下動される。剥離機構20は、樹脂テープ43が剥離された後のベーステープ41の両面のうち樹脂テープ43が保持されていた面の背面(すなわち、回路基板2とは反対側の面)に当接する剥離ローラ21、剥離ローラ21に対してベーステープ41の回収側にてベーステープ41の樹脂テープ43が保持されていた面(すなわち、回路基板2側の面)に当接する補助ローラ22、剥離ローラ21及び補助ローラ22を回転自在にY方向(回路基板2の表面に平行であってテープ4の供給方向に垂直な方向)を向く軸を中心に支持すると共に、X方向に移動させるためのスライダ23、スライダ23をX方向に往復駆動するローラ移動機構25等で構成されている。
図2に示すように、補助ローラ22は、直径が略均一な円筒状のローラであるが、剥離ローラ21は、ベーステープ41と当接する部分が略円筒状の小径部212となっており、その両側の部分が小径部212よりも直径が大きい円盤状の大径部211とされた、いわゆる鍔付ローラである。なお、剥離ローラ21構造の詳細については後述する。
図1に示すように、所定のテープ貼付位置Aの上方(テープ4よりも上方)には、加圧ヘッド駆動機構35により、テープ供給機構10及び剥離機構20とは独立してZ方向に上下動される加圧ヘッド11が設けられている。加圧ヘッド11及び加圧ヘッド駆動機構35によりベーステープ41の回路基板2側の面に保持された樹脂テープ43をベーステープ41側から回路基板2に加圧する加圧機構が構成される。加圧ヘッド11は、X方向及びY方向に対しては固定されており、Z方向にのみ駆動される。
さらに、加圧ヘッド11よりもテープ4の上流側においてテープ4の(+Y)側にはカッタ移動機構36によりY方向に進退可能とされたカッタ12が設けられている。カッタ12は、カバーテープ42が剥がされたテープ4へとカッタ移動機構36により移動した後、ベーステープ41を切断せずに、樹脂テープ43のみを回路基板2側から切断する。カッタ12は、樹脂テープ43の切断時に、ベーステープ41と当接する上部材121と、樹脂テープ43及びベーステープ41の極一部に刃を食い込ませてベーステープ41に保持された状態で樹脂テープ43のみを所定の寸法に切断する下部材122とを有する。
次に、上記樹脂テープ貼付装置の動作、すなわち樹脂テープ貼付方法について、図3ないし図9の動作図並びに図10のフローチャートを参照しつつ説明する。なお、図3に示すように、例えば右端の回路基板2に所定寸法に切断された樹脂テープ片44が貼付されており、次に中央の回路基板2に樹脂テープ片44が貼付されるものとする。
まず、XYテーブル3を駆動して、中央の回路基板2をテープ貼付位置Aに移動させる(ステップS1)。このとき、後述するように昇降機構30によりテープ供給機構10及び剥離機構20が所定のテープ切断位置まで上昇しており、加圧ヘッド11は(+Z)方向の所定の位置に退避している。さらに、剥離ローラ21及び補助ローラ22がベーステープ41の回収側に位置している。
次に、カッタ12の上部材121と下部材122が互いに離反した状態でテープ4を挟む位置まで(−Y)方向に前進し、上部材121を(−Z)方向に下降させ、下部材122を(+Z)方向に上昇させて、テープ4を上部材121と下部材122との間に挟持し、下部材122に設けられている刃を樹脂テープ43及びベーステープ41の極一部に食い込ませて、樹脂テープ43を切断して樹脂テープ片44を得る(ステップS2)。このとき、下部材122の刃はテープ4のベーステープ41を完全に切断する深さまでは食い込まないことから、ベーステープ41は切断されない。
ベーステープ41に保持された状態で樹脂テープ43から樹脂テープ片44が切断されると、カッタ12は元の位置まで(−Y)方向に退避し、図4に示すように、テープ供給機構10及び剥離機構20は、XYテーブル3(又はその上に保持された回路基板2)に対して所定の距離(例えば、数mm)だけ隔てて対向するように、図1に示す昇降機構30により(−Z)方向に下降される(ステップS3)。また、テープ供給機構10及び剥離機構20の下降動作とは別に、加圧ヘッド11が加圧ヘッド駆動機構35により(−Z)方向に下降され(ステップS4)、図5に示すように、中央の回路基板2上に切断された樹脂テープ片44がベーステープ41上から所定の時間だけ所定の圧力で押し付けられる。その結果、樹脂テープ片44が回路基板2に付着する。
次に、図6及び図7に示すように、加圧ヘッド11が(+Z)方向に上昇し(ステップS5)、ローラ移動機構25(図1参照)を駆動して、スライダ23に回転自在に軸支された剥離ローラ21及び補助ローラ22が回路基板2に沿って(+X)方向に移動する(ステップS6)。剥離ローラ21及び補助ローラ22はベーステープ41に当接しているため、ベーステープ41との摩擦により、スライダ23の移動に伴って適宜回転する。
図7に示すように補助ローラ22は剥離ローラ21に関してベーステープ41の回収側に位置し、さらに、ベーステープ41の樹脂テープ43を保持していた面に当接することから、ステップS6において剥離ローラ21及び補助ローラ22が樹脂テープ43の供給方向とは逆の方向((+X)方向)に移動すると、補助ローラ22により剥離ローラ21よりもベーステープ41の回収側にてベーステープ41が回路基板2から離れる方向に引き上げられ、ベーステープ41が回路基板2に貼付された樹脂テープ片44から確実に剥離される。すなわち、補助ローラ22及びローラ移動機構により、ベーステープ41を(+Z)方向に引き上げる引上機構が簡単に構成される。
このとき、回路基板2が浮き上がったとしても剥離ローラ21の大径部211に当接して過剰な浮き上がりが防止されるため、XYテーブル3上で回路基板2の位置がずれることはほとんどない。特に、裏面に回路が形成された両面実装用の、あるいは、多層の回路基板の場合には、回路基板2を吸引吸着や粘着等によりXYテーブル3に保持する力が弱くなるが、このような場合であっても回路基板2の浮き上がりを適切に抑制することが実現される。これにより、簡単な構成で高速な剥離を安定して行うことが実現され、生産性の向上および品質の向上が実現される。
図8に示すように、剥離ローラ21及び補助ローラ22の(+X)方向への移動は、補助ローラ22がベーステープ41上に保持された樹脂テープ43に接触しない位置で停止される。そして、ローラ移動機構25の動作を逆転させて、剥離ローラ21及び補助ローラ22を(−X)方向に移動して元の位置に復帰させる(ステップS7)。
さらに、図9に示すように、剥離ローラ21及び補助ローラ22の(−X)方向への移動と並行して、昇降機構30によりテープ供給機構10及び剥離機構20が所定のテープ切断位置まで上昇し(ステップS8)、テープ供給機構10により樹脂テープ43が給送される(ステップS9)。樹脂テープ43の供給は、具体的には、図1に示す固定チャック62が閉じた状態でフィードチャック61を開いて(+X)方向に移動させ、固定チャック62を開いた上でフィードチャック61を閉じて(−X)方向に移動することにより、テープ貼付位置Aにベーステープ41の回路基板2側の面に保持された樹脂テープ43が供給される。
その後、既述のようにXYテーブル3を駆動して次の回路基板2をテープ貼付位置Aに位置させるステップS1へと戻る。これにより、図3に示す状態に復帰する。上記各ステップを繰り返すことにより、XYテーブル3上に保持された全ての回路基板2に対して所定寸法に切断された樹脂テープ片44を貼付することができる。
次に、剥離ローラ21の詳細について説明する。図11は剥離ローラ21の一構成例を示す断面図である。剥離ローラ21は、ベーステープ41が側面に接する略円筒状の小径部212と、小径部212と同心の円盤状であって小径部212の両側に設けられ、小径部212よりも直径の大きな大径部(鍔部)211、及び、軸231に取り付けられた軸受け213等で構成されている。小径部212の幅W2は、ベーステープ41の幅W1よりも若干大きくなるように設定されている。大径部211の直径及び位置は、XYテーブル3の上に保持されてXYテーブル3に回路基板2が接する状態において、回路基板2の表面に対して所定の隙間tが生じるだけ大径部211がXYテーブル3から離れて移動するように設定されている。
所定の隙間tは、ベーステープ41を回路基板2の上に貼付された樹脂テープ片44から剥離する際に、剥離抵抗により回路基板2が持ち上げられたとしても、剥離ローラ21の大径部211に当接して過剰な浮き上がりが抑えられ、XYテーブル3上での回路基板2の位置ずれがほとんど生じない程度の隙間とされる必要があり、0.1mm以下が好ましい。また、回路基板2の厚さの製造誤差やその他の装置内の誤差を考慮すると、所定の隙間tは0.05mm以上であることが好ましい。
剥離ローラ21の大径部211と回路基板2の表面との間に所定の隙間tを設けることにより、剥離ローラ21の大径部211と回路基板2の表面との間に大きな摩擦が生じることが防止される。例えば、ベーステープ41と剥離ローラ21との間に滑りが生じない場合、大径部211と回路基板2とが接すると滑りが生じるが、このような場合であっても大径部211が回路基板2に強くは当接しないため、大径部211が回路基板2を傷つける等の問題が生じることはない。
図12は、剥離ローラ21の他の構成例を示す断面図である。図12に示す構成例では、剥離ローラ21の大径部211と小径部212とはそれぞれ図11の場合と同様の形状であるあるが、それぞれ独立して回転するように分離されている。そして、大径部211の直径及び位置は、XYテーブル3の上に保持された回路基板2に接触して転動するように設定されている。この場合、剥離ローラ21の大径部211が直接回路基板2の表面に当接して浮き上がりを確実に抑えるので、XYテーブル3上での回路基板2の位置ずれを確実に防止することができ、さらに高速かつ安定した剥離が実現される。また、大径部211と小径部212とが独立して回転するので、ベーステープ41及び回路基板2と剥離ローラ21との間に相対的な滑りは生じない。
図13は、図11に示す剥離ローラ21近傍に、回路基板2をXYテーブル3に押さえつけるアーム50を樹脂テープ貼付装置1にさらに設けた例を示す。アーム50は、剥離ローラ21の移動を妨げないように、例えば図1のテープ貼付位置Aにおいて、加圧ヘッド11に対して(−Y)方向側に設けられており、テープ供給機構10、ベーステープ41、剥離機構20等と共に、昇降機構30によりZ方向に上下動される。アーム50の先端には、回路基板2に貼付された樹脂テープ片44に沿う領域を押さえる押さえ部材51が設けられており、押さえ部材51により回路基板2をXYテーブル3に押さえつける。
上記のように、図11に示す剥離ローラ21では、回路基板2をXYテーブル3に直接押さえつけていないので、回路基板2が非常に薄い場合や可撓性に富む場合(特に、貼付される樹脂テープの幅も大きい場合)、ベーステープ41を回路基板2の上に貼付された樹脂テープ片44から剥離する際に、剥離抵抗により回路基板2が持ち上げられ、回路基板2の位置ずれが生じる可能性がある。このような場合であっても図13に示す構成では、剥離抵抗によって回路基板2の全体が持ち上げられることが防止され、高速かつ安定したベーステープ41の剥離が実現される。なお、図12に示す剥離ローラ22においても2つの大径部211が独立して回転するため、場合によってはアーム50が利用されることが好ましい。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
例えば、上記実施の形態では、剥離ローラ21と共に補助ローラ22を用いたが、少なくとも剥離ローラ21により回路基板2の浮き上がりを抑えながらベーステープ41の回収側(剥離ローラ21よりも第1回収リール7側)を(+Z)方向に引き上げれば、XYテーブル3上での回路基板2の過剰な浮き上がりを防止しつつ、ベーステープ41を回路基板2に貼付された樹脂テープ片44から剥離することができる。
また、図11に示す剥離ローラ21の場合であっても、問題が生じない範囲で剥離ローラ21が回路基板2に付勢されてよい。この場合、通常、ベーステープ41の表面が滑らかであることから、ベーステープ41と小径部212との間において滑りが生じることとなる。
さらに、小径部212におけるベーステープ41のずれがほとんど生じない場合には大径部211は小径部212の一方側のみに設けられてもよい。特に、図13に示すようにアーム50が設けられる場合、アーム50とは反対側にのみ大径部211が設けられてもよい。
上記実施の形態では、樹脂テープ43として異方性導電樹脂テープを用いる場合について説明したが、樹脂テープはこれに限定されるものではなく、金属粒子を含まない絶縁性の樹脂テープであってもよい。
以上のように、本発明にかかる樹脂テープ貼付装置及び貼付方法は、異方性導電樹脂テープ、絶縁性樹脂テープ等の樹脂テープを用いて回路基板上にICのベアチップやその他の電子部品など実装する際に利用可能である。
本発明の一の実施の形態に係る樹脂テープ貼付装置の全体構成を示す正面図 樹脂テープが貼付される回路基板近傍を示す平面図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作図 樹脂テープ貼付装置の動作(貼付方法)を示すフローチャート 剥離ローラの一構成例を示す断面図 剥離ローラの他の構成例を示す断面図 樹脂テープ貼付装置の他の例を示す部分断面図
符号の説明
1 樹脂テープ貼付装置
2 回路基板
3 XYテーブル
4 テープ
5 供給リール
7 第1回収リール
10 テープ供給機構
11 加圧ヘッド
12 カッタ
21 剥離ローラ
22 補助ローラ
25 ローラ移動機構
30 昇降機構
41 ベーステープ
43 樹脂テープ
44 樹脂テープ片
50 アーム
211 大径部
212 小径部
S2,S4,S6,S7,S9 ステップ

Claims (16)

  1. 回路基板上に樹脂テープを貼付する樹脂テープ貼付装置であって、
    テーブル上に保持された回路基板の表面に対して略平行に、ベーステープの前記回路基板側の面に保持された樹脂テープを供給するテープ供給機構と、
    前記ベーステープに保持された状態で所定の寸法に切断された樹脂テープ片を前記回路基板に貼付し、所定の圧力を前記ベーステープ側から加える加圧機構と、
    前記ベーステープの樹脂テープが保持されていた面とは反対側の面に側面が接する略円筒状の小径部、及び、前記小径部と同心の円盤状であって前記小径部よりも直径が大きく、前記回路基板の浮き上がりを前記回路基板との間の当接により抑える大径部を有する剥離ローラと、
    前記剥離ローラよりも前記ベーステープの回収側にて前記ベーステープを前記回路基板から離れる方向に引き上げる引上機構と、
    前記剥離ローラを前記樹脂テープの供給方向とは逆の方向に移動させることにより、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片から前記ベーステープを剥離させるローラ移動機構と、
    を備えることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  2. 請求項1に記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記引上機構が、前記剥離ローラに対して前記ベーステープの回収側において、前記ベーステープの前記樹脂テープが保持されていた面に当接する補助ローラを有し、
    前記補助ローラが前記剥離ローラとともに移動することにより、前記ベーステープが引き上げられることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  3. 請求項1又は2に記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記小径部が、前記ベーステープの幅よりも大きい幅を有し、
    前記大径部が、前記小径部の両側に設けられていることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  4. 請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記テーブルに前記回路基板が接する状態において、前記大径部と前記回路基板との間に所定の隙間が生じるだけ前記大径部が前記テーブルから離れて移動することを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  5. 請求項4に記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記所定の隙間が、0.05mm以上0.1mm以下であることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  6. 請求項1ないし3のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記大径部が、前記回路基板上を転動することを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  7. 請求項6に記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記小径部と前記大径部とが、それぞれ独立して回転することを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  8. 請求項1ないし7のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記回路基板に貼付された樹脂テープ片に沿う領域において前記回路基板を前記テーブルに押さえつけるアームをさらに備えることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  9. 請求項8に記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記回路基板の表面に対して前記ベーステープを昇降させる昇降機構をさらに備え、
    前記アームが前記ベーステープとともに昇降することを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  10. 請求項1ないし9のいずれかに記載の樹脂テープ貼付装置であって、
    前記回路基板の裏面に回路が形成されていることを特徴とする樹脂テープ貼付装置。
  11. ベーステープに保持された状態で供給される樹脂テープを回路基板上に貼付する樹脂テープ貼付方法であって、
    ベーステープの樹脂テープが保持されていた面とは反対側の面に側面が接する略円筒状の小径部、及び、前記小径部と同心の円盤状であって前記小径部よりも直径が大きく、テーブル上に保持された回路基板の浮き上がりを前記回路基板との間の当接により抑える大径部を有する剥離ローラを、前記ベーステープの回収側に位置させる工程と、
    前記回路基板の表面に対して略平行に、前記ベーステープの前記回路基板側の面に保持された状態で樹脂テープを供給する工程と、
    前記ベーステープに保持された樹脂テープを所定の寸法の樹脂テープ片に切断する工程と、
    前記ベーステープに保持された状態で前記樹脂テープ片を前記回路基板に貼付し、所定の圧力を前記ベーステープ側から加える工程と、
    前記剥離ローラよりも前記ベーステープの回収側において、前記ベーステープを前記回路基板の表面から離れる方向に引き上げつつ前記剥離ローラを前記樹脂テープの供給方向とは逆の方向に移動させることにより、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片から前記ベーステープを剥離させる工程と、
    を有することを特徴とする樹脂テープ貼付方法。
  12. 請求項11に記載の樹脂テープ貼付方法であって、
    前記剥離させる工程において、前記テーブルに前記回路基板が接する状態において前記大径部と前記回路基板との間に所定の隙間が生じるだけ前記大径部が前記テーブルから離れて移動することを特徴とする樹脂テープ貼付方法。
  13. 請求項12に記載の樹脂テープ貼付方法であって、
    前記所定の隙間を、0.05mm以上0.1mm以下とすることを特徴とする樹脂テープ貼付方法。
  14. 請求項11に記載の樹脂テープ貼付方法であって、
    前記剥離させる工程において、前記大径部が、前記回路基板の表面上を転動することを特徴とする樹脂テープ貼付方法。
  15. 請求項14に記載の樹脂テープ貼付方法であって、
    前記小径部と前記大径部とが、それぞれ独立して回転することを特徴とする樹脂テープ貼付方法。
  16. 請求項11ないし15のいずれかに記載の樹脂テープ貼付方法であって、
    前記剥離させる工程において、前記回路基板に貼付された樹脂テープ片に沿う領域にて前記回路基板が前記テーブルに押さえつけられることを特徴とする樹脂テープの貼付方法。
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