しかしながら、上述した技術では、カッター等によりACFに切れ目を形成した後に、送り機構により圧着部に向けてACFを一定の長さ送り出しているので、ACFの貼り付け位置の精度の向上が要求されるようになると、ACFの貼り付け位置の位置ずれが生じかねない、という問題がある。
本発明は、上述の課題に鑑みてなされるもので、導電性の接着膜の基板への貼り付け位置の精度に優れた電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法及び接着剤の貼り付け装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る電気光学装置の製造装置は、導電性の接着膜と当該接着膜を保持する基材テープとが積層されたテープを保持可能な保持部と、前記保持部に対向して設けられ、基板を配置可能な基台と、前記保持部と前記基台との相対位置を変化させるための第1の駆動部と、前記第1の駆動部により前記相対位置が離れたときに前記保持部と前記基台との間に形成された空間に進退可能に設けられ、前記基板に対向する前記導電性の接着膜の所定の位置に切れ目を形成する切断部と、前記保持部により保持され移動が防止された前記テープと前記基板とが近接した状態で前記テープを前記基板に圧着する圧着部とを具備することを特徴とする。
ここで、導電性の接着膜とは、例えば異方性導電膜等をいう。
本発明では、導電性の接着膜と当該接着膜を保持する基材テープとが積層されたテープを保持可能な保持部と、保持部に対向して設けられ、基板を配置可能な基台と、保持部と基台との相対位置を変化させるための第1の駆動部と、第1の駆動部により相対位置が離れたときに保持部と基台との間に形成された空間に進退可能に設けられ、基板に対向する導電性の接着膜の所定の位置に切れ目を形成する切断部と、保持部により保持され移動が防止されたテープと基板とが近接した状態でテープを基板に圧着する圧着部とを備えているので、保持部によりテープが移動しないようにテープを保持した状態で、第1の駆動部により保持部と基台との間に空間を形成でき、この空間に切断部を進入させることができるようになり、この空間に進入させた切断部により基板に対向する導電性の接着膜の所定の位置、例えばテープの搬送方向で基板の上流側の端辺の近傍に対向する導電性の接着膜上に切れ目を形成でき、切れ目を形成後保持部によりテープを保持しテープの移動を防止した状態で第1の駆動部により保持部と基台とを近接させるだけで、圧着の準備状態にすることができるため、導電性の接着膜に切れ目を形成後にテープを基板に対向する位置に送る必要がなくなり、導電性の接着膜に切れ目を形成した後のテープの送りにより生ずる基板に対する導電性の接着膜の位置ずれを防止することができ、圧着時に基板の正確な位置に導電性の接着膜を貼り付けることができると共に、導電性の接着膜に切れ目が形成され保持部により移動が防止されたテープと、基板とが近接した状態で圧着部によりテープを基板に圧着することで、テープと基板とが離れている場合に比べて圧着によりテープに張力がかかることを防止することができ、圧着時にテープにかかる張力により導電性の接着膜の貼り付け位置がずれることを防止することができ、基板の正確な位置に導電性の接着膜を貼り付けることができる。
本発明の一の形態によれば、前記切断部は、前記第1の駆動部により前記相対位置が離れたときに前記空間及び前記保持部内に進退可能に設けられていることを特徴とする。これにより、切断部は、第1の駆動部により相対位置が離れたときに空間及び保持部内に進退可能に設けられているので、例えば切断部のうち保持部内に進入した部分によりテープの一面側を支持しつつ切断部の空間に進入した部分により接着膜に切れ目を形成することができる。
本発明の一の形態によれば、前記第1の駆動部は、前記保持部に対して前記基台を移動させることを特徴とする。これにより、第1の駆動部は、保持部に対して基台を移動させるので、例えば基台に対して保持部を上昇させる場合に比べて、保持部に対して例えば大きさが小さく軽い基台を下降させるだけで基台と保持部との相対位置を変化させることができ、例えば低コスト化を図ることができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部は、前記テープを前記圧着部側に送ることが可能な送り部を有し、前記送り部は、前記テープを保持又は開放可能な第1のクランプ部と、前記送り部を移動させることが可能な第2の駆動部とを有することを特徴とする。これにより、保持部は、テープを圧着部側に送ることが可能な送り部を有し、送り部は、テープを保持又は開放可能な第1のクランプ部と、送り部を移動させることが可能な第2の駆動部とを有するので、例えば第1のクランプ部によりテープを保持した状態で、上流側から下流側に向かって第2の駆動部により送り部を移動させることで、例えば導電性の接着膜を切断する前のテープを一定の長さだけ圧着部側に送り出すことができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部は、前記テープの張力を一定に保つための張力調整部を有し、前記張力調整部は、前記圧着部の上流側に回動自在に設けられた第1の張力調整部と、前記圧着部の下流側に上下方向に移動可能に設けられた第2の張力調整部とを有することを特徴とする。これにより、保持部は、テープの張力を一定に保つための張力調整部を有し、張力調整部は、圧着部の上流側に回動自在に設けられた第1の張力調整部を有するので、例えば送り部によってテープを圧着部側に送るときに、第1の張力調整部がテープの張力に応じて回動することで、テープの張力を一定に保つことができる。従って、送り部は、第1の張力調整部がない場合に比べて精度よく圧着部に所望の長さのテープを送り出すことができる。また、張力調整部は、圧着部の下流側に上下方向に移動可能に設けられた第2の張力調整部を有するので、第2の張力調整部が上下動することで、例えば送り部により下流側に送られたテープが弛まないようにしてテープの張力を一定に保つことができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部は、前記圧着部の上流側に設けられ、前記テープを保持又は開放可能な第2のクランプ部を有し、前記第2のクランプ部は、前記テープを吸着可能な吸着部を有していることを特徴とする。これにより、保持部は、圧着部の上流側に設けられ、テープを保持又は開放可能な第2のクランプ部を有し、第2のクランプ部は、テープを吸着可能な吸着部を有しているので、例えば圧着部によりテープの導電性の接着膜を基板に圧着するときに、第2のクランプ部の吸着部によりテープを吸着することで、導電性の接着膜の圧着位置がずれることを防止することができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部は、前記圧着部に供給される前記テープが巻回された供給リールと、前記圧着部の下流側に設けられ前記テープの前記基材テープが巻回された巻取りリールとを有することを特徴とする。これにより、保持部は、圧着部に供給されるテープが巻回された供給リールと、圧着部の下流側に設けられテープの基材テープが巻回された巻取りリールとを有するので、例えば、供給リールから圧着部側に第1の張力調整部によりテープの張力を一定とすることで安定的にテープを供給することができると共に、第2の張力調整部によりテープの弛みを防止し張力を一定とすることで安定的に巻取りリールにより基材テープを巻き取ることができる。
本発明の一の形態によれば、前記第1の駆動部は、前記基台に対して前記保持部を移動させることを特徴とする。これにより、第1の駆動部は、基台に対して保持部を移動させるときに、例えば送り部、張力調整部、第2のクランプ部、供給リール及び巻取りリールを一体的に移動させると共に、送り部の第1のクランプ部、第2のクランプ部によりテープを保持した状態で保持部を移動させることで、保持部の移動中にテープが移動することを防止することができ、基台に対する保持部の移動によってテープに位置ずれが生じることを防止することができる。
本発明の他の観点に係る電気光学装置の製造方法は、導電性の接着膜と当該接着膜を保持する基材テープとが積層されたテープを基台上の基板の前記導電性の接着膜を貼り付ける位置まで送り出す工程と、前記テープを保持可能な保持部と、前記基台との相対距離を大きくする工程と、前記保持部と前記基台との相対距離を大きくする工程により前記保持部と前記基台との間に形成された空間に切断部を進入させる工程と、進入させた前記切断部により、前記基台上の前記基板に対向する前記導電性の接着膜の所定の位置に切れ目を形成する工程と、前記切断部を前記空間から後退させる工程と、前記テープを保持可能な保持部と、前記基板とを近接させる工程と、前記保持部により保持され移動が防止された前記テープと前記基板とを近接させた状態で、前記テープの前記導電性の接着膜を前記基板に圧着する工程とを具備することを特徴とする。
ここで、導電性の接着膜とは、例えば異方性導電膜等をいう。
本発明では、導電性の接着膜と当該接着膜を保持する基材テープとが積層されたテープを基台上の基板の導電性の接着膜を貼り付ける位置まで送り出す工程と、テープを保持可能な保持部と、基台との相対距離を大きくする工程と、保持部と基台との相対距離を大きくする工程により保持部と基台との間に形成された空間に切断部を進入させる工程と、進入させた切断部により、基台上の基板に対向する導電性の接着膜の所定の位置に切れ目を形成する工程と、切断部を空間から後退させる工程と、テープを保持可能な保持部と、基板とを近接させる工程と、保持部により保持され移動が防止されたテープと基板とを近接させた状態で、テープの導電性の接着膜を基板に圧着する工程とを備えているので、保持部によりテープが移動しないように保持した状態で、保持部と基台との間に空間を形成でき、この空間に切断部を進入させることができるようになり、この空間に進入させた切断部により基板に対向する導電性の接着膜の所定の位置、例えばテープの搬送方向で基板の上流側の端辺の近傍に対向する導電性の接着膜上に切れ目を形成でき、切れ目を形成後保持部によりテープが移動しないようにテープを保持した状態で保持部と基台とを近接させるだけで、圧着の準備状態にすることができるため、導電性の接着膜に切れ目を形成後にテープを基板に対向する位置に送る必要がなくなり、導電性の接着膜に切れ目を形成した後のテープの送りにより生ずる基板に対する導電性の接着膜の位置ずれを防止することができ、圧着時に基板の正確な位置に導電性の接着膜を貼り付けることができると共に、導電性の接着膜に切れ目が形成され保持部により移動が防止されたテープと、基板とが近接した状態で圧着部によりテープを基板に圧着することで、基板とテープとが離れている場合に比べて、圧着によりテープに張力がかかることを防止することができ、圧着時にテープにかかる張力により導電性の接着膜の貼り付け位置がずれることを防止することができ、基板の正確な位置に導電性の接着膜を貼り付けることができる。
本発明の一の形態によれば、前記進入させる工程は、前記保持部と前記基台との相対距離を大きくする工程により前記空間及び前記保持部内に前記切断部を進入させることを特徴とする。これにより、進入させる工程は、保持部と基台との相対距離を大きくする工程により空間及び保持部内に切断部を進入させるので、例えば切断部のうち保持部内に進入した部分によりテープの一面側を支持しつつ切断部の空間に進入した部分により接着膜に切れ目を形成することができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部と、前記基台との相対距離を大きくする工程又は前記保持部と前記基台とを近接させる工程では、前記基台に対して前記保持部を上昇又は下降させることを特徴とする。これにより、保持部と、基台との相対距離を大きくする工程又は保持部と基台とを近接させる工程では、基台に対して保持部を上昇又は下降させるので、例えばテープを送り出すことが可能な送り部と、テープの張力を一定にするための張力調整部との相対距離等を一定に保つことで、基台に対する保持部の移動によってテープに力が働くことを防止してテープに位置ずれが生じることを防止することができる。
本発明の一の形態によれば、前記保持部と、前記基台との相対距離を大きくする工程又は前記保持部と前記基台とを近接させる工程では、前記保持部に対して前記基台を下降又は上昇させることを特徴とする。これにより、保持部と、基台との相対距離を大きくする工程又は保持部と基台とを近接させる工程では、保持部に対して基台を下降又は上昇させるので、例えば基台に対して保持部を上昇させる場合に比べて、保持部に対して保持部に比べて小型で軽い基台を下降させるだけで基台と保持部との相対距離を変化させることができ、例えば低コスト化を図ることができる。
本発明の他の観点に係る接着剤の貼り付け装置は、接着剤と当該接着剤を保持する基材テープとが積層されたテープを保持可能な保持部と、前記保持部に対向して設けられ、基板を配置可能な基台と、前記保持部と前記基台との相対位置を変化させるための駆動部と、前記駆動部により前記相対位置が離れたときに前記保持部と前記基台との間に形成された空間に進退可能に設けられ、前記基板に対向する前記接着剤の所定の位置に切れ目を形成する切断部と、前記保持部により保持され移動が防止された前記テープと前記基板とが近接した状態で前記テープを前記基板に圧着する圧着部とを具備することを特徴とする。
ここで、接着剤とは、例えば異方性導電膜等をいう。
本発明では、接着剤と当該接着剤を保持する基材テープとが積層されたテープを保持可能な保持部と、保持部に対向して設けられ、基板を配置可能な基台と、保持部と基台との相対位置を変化させるための駆動部と、駆動部により相対位置が離れたときに保持部と基台との間に形成された空間に進退可能に設けられ、基板に対向する接着剤の所定の位置に切れ目を形成する切断部と、保持部により保持され移動が防止されたテープと基板とが近接した状態でテープを基板に圧着する圧着部とを備えているので、保持部によりテープが移動しないように保持した状態で、駆動部により保持部と基台との間に空間を形成でき、この空間に切断部を進入させることができるようになり、この空間に進入させた切断部により基板に対向する接着剤の所定の位置、例えばテープの搬送方向で基板の上流側の端辺に対向する接着剤上に切れ目を形成でき、切れ目を形成後保持部によりテープを保持し移動を防止した状態で駆動部により保持部と基台とを近接させるだけで、圧着の準備状態にすることができるため、接着剤に切れ目を形成後にテープを基板に対向する位置に送る必要がなくなり、接着剤に切れ目を形成した後のテープの送りにより生ずる基板に対する接着剤の位置ずれを防止することができ、圧着時に基板の正確な位置に接着剤を貼り付けることができると共に、接着剤に切れ目が形成され保持部により移動が防止されたテープと、基板とが近接した状態で圧着部によりテープを基板に圧着することで、テープと基板とが離れている場合に比べて、圧着によりテープに張力がかかることを防止することができ、圧着時にテープにかかる張力により接着剤の貼り付け位置がずれることを防止することができ、基板の正確な位置に接着剤を貼り付けることができる。
以下、本発明に実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、電気光学装置としての液晶装置、具体的には反射半透過型のTFT(Thin Film Transistor)アクティブマトリックス方式の液晶装置の製造装置について説明するが、これに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
(第1の実施形態)
図1は本発明に係る第1の実施形態の液晶装置の製造装置の貼り付け装置の概略側面図、図2は図1の液晶装置の製造装置の貼り付け装置の保持部を上昇させた状態の概略側面図、図3は図2の液晶装置の製造装置の貼り付け装置のA−A断面図、図4は図1の貼り付け装置の圧着部でテープを基板に圧着した状態の断面図、図5は図2の貼り付け装置の上流側のクランプ部のB−B断面図である。
(液晶装置の製造装置の構成)
液晶装置の製造装置は、後述するドライバICを実装する前の液晶パネルを製造するための図示を省略した液晶パネル製造装置、ドライバICを実装する前の液晶パネルにドライバICを実装するために異方性導電膜(Anisotropic Conductive Film(ACF))を貼り付けるための貼り付け装置1等を備えている。
貼り付け装置1は、図1に示すようにテープ7を保持可能な後述する保持部2と、保持部2に対向して設けられ後述するドライバIC31等が実装される前の液晶パネル8を配置可能な基台3と、保持部2と基台3との相対位置を変化させるための駆動部4と、テープ7の導電性の接着膜としての図3に示す異方性導電膜(Anisotropic Conductive Film(ACF))7aの後述する所定の位置に切れ目を形成する切断部5と、保持部2で保持されたテープ7と液晶パネル8の基板とが近接した状態で、テープ7を液晶パネル8の基板に圧着する圧着部6とを備えている。
保持部2は、例えばテープ7が巻回された供給リール9、テープ7の張力を一定に保つための張力調整部10、11、テープ7を保持又は開放可能なクランプ部12、13、テープ7を圧着部6に送ることが可能な送り部14、及びテープ7の搬送を円滑にするためのローラ部16、17及び18を備えている。
供給リール9は、図1に示すようにテープ7が巻回されると共に、回動可能に設けられている。テープ7は、図3に示すようにACF7aとACF7aを保持する基材テープ7bとが積層されて構成されている。テープ7は、図3に示すように、例えばACF7aが液晶パネル8の基板21に対向しながら搬送されるように張設されている。なお、本実施形態では、ACF7aと、基材テープ7bとの2層構造のテープ7を例示したが、これに限定されず、例えばACF7aの基材テープ7b側とは反対側にフィルムの層が積層された3層構造のテープを用いるようにしてもよい。
張力調整部10は、供給リール9の下流側に設けられており、回動自在に支持されたアーム部10aと、アーム部10aの一端にテープ7の送り出しを円滑にするために設けられたローラ部10bと、アーム部10aを回動させる図示を省略した駆動部とを備えている。
張力調整部11は、図1に示すように後述する圧着部6の下流側かつ後述する巻取りリール15の上流側に設けられている。張力調整部11は、例えばZ方向に上下動可能なローラ部と、このローラ部を例えば上下動させるための駆動部とを備えている。この駆動部により、張力調整部11のローラ部を下降させることで、テープ7の弛みをなくしてテープ7の張力を一定に保つことができるように構成されている。
クランプ部12は、図1に示すように張力調整部10の下流側かつ後述する圧着部6の上流側に設けられている。クランプ部12は、図5に示すようにテープ7を案内するためのガイド部19と、ガイド部19の上壁19aの上面に設けられた吸着部20とを備えている。ガイド部19の上壁19aには、上壁19aをZ方向に貫通する貫通孔19bが形成されている。吸着部20は、例えば真空ポンプ等を備えており、真空ポンプを作動することで、貫通孔19bを介して空気を吸引し、テープ7の基材テープ7b側をガイド部19の上壁19aの下面に吸着することができるように構成されている。これにより、テープ7を保持することができるように構成されている。
クランプ部13は、図1に示すように後述する圧着部6の下流側かつ張力調整部11の上流側に設けられている。クランプ部13は、テープ7の基材テープ7bを固定及び開放することができるように構成されている。
送り部14は、図1に示すように圧着部6の上流側と下流側との間をX方向に移動可能に設けられている。送り部14は、テープ7を円滑に送り出すための複数のローラ部14aと、テープ7を固定及び開放可能なクランプ部14bと、ローラ部14a、クランプ部14bをX方向に水平移動させることが可能な図示を省略した駆動部とを備えている。クランプ部14bによりテープ7を固定した状態で、送り部14の駆動部により送り部14をX方向に水平移動させることで、テープ7を一定の長さだけ供給リール9から圧着部6に送り出すことができるように構成されている。
ローラ部16は張力調整部10の下流側かつクランプ部12の上流側に、ローラ部17、18は、この順にクランプ部13の下流側かつ張力調整部11の上流側に、それぞれテープ7を円滑に搬送するために設けられている。
基台3は、図1に示すようにクランプ部12の下流側かつクランプ部13の上流側に、液晶パネル8を配置し例えば固定することができるように設けられている。
駆動部4は、保持部2と、基台3との相対位置を変化させるために用いられている。例えば図2に示すように、基台3に対して保持部2を初期位置aから初期位置aよりZ方向の上側の位置bに矢印U方向に上昇させたり矢印D方向に下降させたりすることができるようにモータ等を備えている。この上昇量については、例えば、後述する切断部5のカッター部5aが、保持部2と基台3との間の空間に進入することができる量に設定されている。
切断部5は、図1に示すように例えばX方向で基台3上の液晶パネル8の上流側の一端8bの近傍に対応する位置に設けられている。切断部5は、駆動部4により相対位置が離れるときに保持部2と基台3との間に形成された空間、及び保持部2内に進退可能に設けられている。例えば、切断部5は、図3に示すように保持部2が位置bに上昇して設けられているときに、図示を省略した駆動部によりY方向に移動してZ方向で液晶パネル8の基板21とテープ7との間の空間に進退可能なカッター部5aと、テープ7と後述する圧着ヘッド6aとの間に進退可能に設けられ切断時にテープ7を支持する支持部5bとを備えている。なお、カッター部5aのみが進退可能に設けられているようにしてもよい。切断部5は、図3に示すように、Y方向において、テープ7のY方向の幅より広い幅に渡って設けられている。切断部5は、保持部2と基台3との間に形成された空間、及び保持部2内に進入して液晶パネル8の上流側の一端に対向するテープ7のACF7aに切れ目を形成することができるように構成されている。
なお、切断部5は、図示を省略した駆動部により図3に示すようにY方向に移動することができると共に、例えばZ方向に上下動可能に構成されており、この上下動によりテープ7のACF7aに切れ目を形成することができるように構成されている。
圧着部6は、図3、図4に示すように基台3上の液晶パネル8の基板21の上方、下方に上下動可能に設けられた圧着ヘッド6b、6aと、圧着ヘッド6a、6bを上下動させる図示を省略した駆動部とを備えている。圧着ヘッド6a、6bにより図4に示すように基板21とテープ7とを挟み込むことで、基板21の後述する端子34a等にACF7aを積層して貼り付けることができるように、圧着ヘッド6a、6bが設けられている。
(液晶装置の構成)
図6は液晶装置22の製造装置を用いて製造された液晶装置22の外観斜視図、図7は図6の液晶装置22のC−C断面図である。
液晶装置22は、ドライバIC31等が実装された液晶パネル8aと、液晶パネル8aに接続された回路基板23とを備えている。なお、液晶装置22は、液晶パネル8aを支持する図示を省略したフレーム等のその他の付帯機構が必要に応じて付設されている。
液晶パネル8aは、基板21と、基板21に対向するように設けられた基板25と、基板21、25の間に設けられたシール材26及び基板21、25により封止された図示しない液晶とを備えている。液晶には、例えばTN(Twisted Nematic)が用いられている。
基板21及び基板25は、例えばガラスや合成樹脂といった透光性を有する材料からなる板状部材である。基板21の液晶側には、ゲート電極27、ソース電極28、薄膜トランジスタ素子T及び画素電極29が形成されており、基板25の液晶側には、共通電極25aが形成されている。
ゲート電極27はX方向に、ソース電極28はY方向に、それぞれ例えばアルミニウム等の金属材料等によって形成されている。ソース電極28は、例えば図6に示すように上半分が左側に、下半分が右側に引き回されて形成されている。なお、ゲート電極27及びソース電極28の本数は、液晶装置22の解像度や表示領域の大きさに応じて適宜変更可能である。
薄膜トランジスタ素子Tは、ゲート電極27、ソース電極28及び画素電極29にそれぞれ電気的に接続される3つの端子を備えている。薄膜トランジスタ素子Tは画素電極29、ゲート電極27、ソース電極28に電気的に接続されている。これにより、ゲート電極27に電圧を印加したときにソース電極28から画素電極29に又はその逆に電流が流れるように構成されている。
また、基板21は、基板25の外周縁から張り出した領域(以下、「張り出し部」と表記する)21aを備えている。張り出し部21aの面上には、液晶を駆動するためのドライバIC31、32及び33が実装されている。配線34はゲート電極27、配線35、36はソース電極28にそれぞれ電気的に繋がっている。配線37は、図6、図7に示すようにドライバIC31の入力用のバンプ43と、後述する回路基板23の配線45とにACFを介して電気的に接続することができるように基板21に設けられている。例えば図7に示すように配線37の端部の端子37a、配線34の端部の端子34aは、ドライバIC31入出力用のバンプ43、44にACF(Anisotropic Conductive Film)7aを介して電気的に接続されている。例えば配線38、39の端部の図示を省略した端子、配線35、36の端部の図示を省略した端子は、ドライバIC32、33の入出力用の図示を省略したバンプにACF(Anisotropic Conductive Film)を介して電気的に接続されている。
回路基板23は、図6、図7に示すように、可撓性を有する可撓性基材40を備えており、可撓性基材40には、配線45が設けられている。回路基板23の配線45は、例えば配線37の端子37a側の端部とは反対側の端部に、例えばACF等を介して電気的に接続されている。配線45は回路基板23に実装された図示を省略した半導体素子に電気的に接続されている。
(液晶装置の製造方法)
次に、液晶装置22の製造装置を用いた液晶装置22の製造方法について図面を参照しながら説明する。
図8は第1の実施形態の液晶装置22の製造装置を用いた液晶装置22の製造工程を示すフローチャートである。なお、本実施形態では、ドライバIC31等の実装前の液晶パネル8の製造工程(S1)については公知技術と同様なのでその説明を省略し、ドライバIC31の実装工程について中心的に説明する。
まず、ドライバIC31等を実装前の液晶パネル8を図1に示すように基台3上に配置し固定する。
続いて、図9に示すように、送り部14のクランプ部14bによりテープ7を固定した状態で、送り部14を点線で示す初期位置cから実線で示す停止位置dまで図示を省略した駆動部によりX方向に移動させる(S2)。このとき、張力調整部10のアーム部10aは、テープ7の張力に応じて角度θだけ回動し、テープ7の張力を一定に保ちテープ7の搬送を円滑にしている。これにより、テープ7を一定の長さだけX方向に送り出す。
次に、図2に示すようにクランプ部12の真空ポンプを駆動しテープ7を吸着すると共に、クランプ部14bによりテープ7を固定した状態で、駆動部4により基台3に対して保持部2を例えばZ方向に初期位置aから位置bまで上昇させる(S3)。これにより、例えば基台3上の液晶パネル8の基板21とテープ7との間に、切断部5のカッター部5aが進入するための空間を形成する。
続いて、図3に示すように図示を省略した駆動部により切断部5をY方向に移動させて、保持部2と基台3との間に形成された空間にカッター部5aを進入させると共に、テープ7と圧着ヘッド6aとの間に支持部5aを進入させる(S4)。このとき、図3に示すようにテープ7のY方向の両端より切断部5の両端がY方向にはみ出すように設ける。これにより、確実に切断部5によりY方向に渡って切れ目を形成することができるようにしておく。
次に、例えば切断部5のカッター部5aをテープ7のACF7aに押し付ける等することで、ACF7aに切れ目を形成する(S5)。
続いて、切断部5を図3で点線で示す初期位置に後退させる(S6)。
次に、クランプ部12、14b等でテープ7の移動を防止した状態で、駆動部4により保持部2を下降させて基板21に近接させる(S7)。このとき、次の圧着工程(S8)において、圧着ヘッド6a、6bによる圧着によりテープ7に張力がかからない位置まで近接させる。例えば、図1に示すように、保持部2が基板21に近接した状態で、基板21の配線34等が設けられる面と、テープ7とが水平方向に略平行となるようにする。
次に、図4に示すように圧着ヘッド6b、6aを上下動させることで、圧着ヘッド6b、6aによりテープ7と基板21とを圧着し、ACF7aを端子34a等に貼り付ける(S8)。このとき、ステップ7で保持部2を基板21に近接させた状態で、圧着することで、圧着によりテープ7に張力がかかることを防止している。
次に、図4に示す圧着状態から駆動部4により基台3に対して例えば送り部14を図9に示すように上昇させ、送り部14を図9に示す停止位置dから初期位置cに向けて図示を省略した駆動部によりX方向に水平移動させることで、基板21に貼り付けられたACF7aから基材テープ7bを剥離する(S9)。
ドライバIC31等をACF7aを介して液晶パネル8に実装し液晶パネル8aを製造する(S10)。
そして、液晶パネル8aと、図示を省略した半導体素子が実装された回路基板23とを導電性の接着剤等を介して電気的に接続し、導光板や反射シート等を設けるなどして液晶装置22を製造する(S11)。
以上で液晶装置22の製造方法についての説明を終了する。
このように本実施形態によれば、ACF7aとACF7aを保持する基材テープ7bとが積層されたテープ7を保持可能な保持部2と、保持部2に対向して設けられ、液晶パネル8(の基板21)を配置可能な基台3と、保持部2と基台3との相対位置を変化させるための駆動部4と、駆動部4により保持部2と基台3との間に形成された空間、及び保持部2内に進退可能に設けられ、基板21に対向するACF7aの所定の位置切れ目を形成する切断部5と、保持部2により保持され移動が防止されたテープ7と基板21とが近接した状態で、テープ7を基板21に圧着する圧着部6とを備えているので、保持部2によりテープ7を移動しないように保持した状態で、駆動部4により保持部2と基台3との間に空間を形成でき、この空間、及び保持部2内に切断部5を進入させることができるようになり、この空間、及び保持部2内に進入させた切断部5によりACF7aの貼り付け直前に基板21に対向するACF7aの所定の位置、例えばテープ7の搬送方向で基板21の上流側の端辺の近傍に対向するACF7a上に切れ目を形成でき、切れ目を形成後、保持部2によりテープ7を保持し移動を防止した状態で駆動部4により保持部2と基台3とを近接させるだけで、圧着の準備状態にすることができるため、ACF7aに切れ目を形成後にテープ7を基板21に対向する位置に送る必要がなくなり、ACF7aに切れ目を形成した後のテープ7の送りにより生ずる基板21に対するACF7aの位置ずれを防止することができ、圧着時に基板21の正確な位置に安定的にACF7aを貼り付けることができる。
また、ACF7aに切れ目が形成されクランプ部12、14b等により移動が防止されたテープ7と、基板21とが近接した状態で圧着部6によりテープ7を基板21に圧着するので(S8)、テープ7と基板21とが離れている場合に比べて、圧着によりテープ7に張力がかかることを防止することができ、圧着時にテープ7にかかる張力によりACF7aの貼り付け位置がずれることを防止することができ、基板21の正確な位置にACF7aを貼り付けることができる。
更に、保持部2は、テープ7を圧着部6側に送ることが可能な送り部14を有し、送り部14は、テープ7を円滑に送り出すための複数のローラ部14aと、テープ7を保持又は開放可能なクランプ部14bと、送り部14を移動させることが可能な図示を省略した駆動部とを有するので、例えばクランプ部14bによりテープ7を保持した状態で、図9に示すように上流側の初期位置cから下流側の停止位置dに向かって図示を省略した駆動部により送り部14を移動させることで、例えばACF7aを切断する前のテープ7を一定の長さ分だけ圧着部6側に送り出すことができると共に、基台3に対して例えば駆動部4により送り部14を上昇させた状態で、送り部14を停止位置dから初期位置cに向けて駆動部により移動させることで、基板21に貼り付けられたACF7aから基材テープ7bを剥離することができる(S9)。
また、保持部2は、テープ7の張力を一定に保つために圧着部6の上流側に回動自在に設けられた張力調整部10を有するので、例えば送り部14によってテープ7を圧着部6側に送るときに、張力調整部10がテープ7の張力に応じて回動することで、テープ7の張力を一定に保つことができる。従って、送り部14は、張力調整部10がない場合に比べて精度よく圧着部6に所望の長さのテープ7を送り出すことができる。また、保持部2は、圧着部6の下流側に上下方向に移動可能に設けられた張力調整部11を有するので、張力調整部11を上方に移動させることで、例えば送り部14により下流側に送られたテープ7が弛まないようにすることができ、例えばテープ7の張力を一定に保った状態で巻取りリール15によりテープ7(基材テープ7b)を巻き取ることができる。
更に、保持部2は、テープ7を保持又は開放可能なクランプ部12を有し、クランプ部12は、テープ7を吸着可能な例えば真空ポンプ等を備えた吸着部20を備えているので、例えば圧着部6によりテープ7のACF7aを基板21に圧着するときに、クランプ部12の吸着部20によりテープ7を吸着することで、ACF7aの圧着位置がずれることを防止することができる。また、切断部5を進入させるための空間を形成するために、保持部2を基台3に対して上昇させるときに、クランプ部12の吸着部20の真空ポンプによりテープ7を吸着しておき、保持部2の上昇によりテープ7の位置ずれが生じることを防止して、圧着工程により、正確な位置にACF7aを貼り付けることができる。
また、保持部2は、圧着部6に供給されるテープ7が巻回された供給リール9と、圧着部6の下流側に設けられテープ7の基材テープ7bが巻回された巻取りリール15とを備えているので、例えば、供給リール9から圧着部6側に張力調整部10によりテープ7の張力を一定とすることで安定的にテープ7を供給することができると共に、張力調整部11によりテープ7の弛みを防止し張力を一定とすることで安定的に巻取りリール15により基材テープ7bを巻き取ることができる。
更にまた、駆動部4は、基台3に対して保持部2を移動させるときに、例えば送り部14、張力調整部10、11、クランプ部12、13、供給リール9及び巻取りリール15等を一体的に移動させると共に、クランプ部12、14bによりテープ7を保持した状態で保持部2を上下動させることで、保持部2の移動中にテープ7が移動することを防止することができ、基台3に対する保持部2のZ方向への移動によってテープ7に位置ずれが生じることを防止することができる。
なお、上記実施形態では、駆動部4により、基台3に対して保持部2を上昇させる例を示したが、これに限定されず、例えば、保持部2を移動させずに保持部2に対して基台3を下降させるようにすることで、保持部2のテープ7と、基台3上の基板21との相対位置を変化させるようにしてもよい。この場合には、例えば、図10に示すように、貼り付け装置が、Z方向に上下動可能に設けられた基台3と、基台3を上下動させる駆動部54と、例えばテープ7に対応して設けられY方向に移動可能な切断部5と同様な構成の切断部55とを備えるようにすればよい。これにより、駆動部54により、保持部2に対して基台3を下降させることができ、下降によりテープ7と基板21との間に形成された空間、及び保持部2内に切断部55を進入させて切断部55によりACF7aに切れ目を形成し、切断部55をY方向に後退させた後、圧着工程によりACF7aを基板21に貼り付けることができるので、例えば基台3に対して保持部2を上昇させる場合に比べて、保持部2に対して例えば大きさが小さく軽い基台3を下降させるだけで基台3と保持部2のテープ7との相対位置を変化させることができ、例えば液晶装置22の製造装置の低コスト化を図ることができる。なお、保持部2と、基台3とを共に上下動させるようにしてもよい。
(第2の実施形態・電子機器)
次に、上述した液晶装置22を備えた本発明の第2の実施形態に係る電子機器について説明する。
図11は本発明の第2の実施形態にかかる電子機器の表示制御系の全体構成の概略構成図である。
電子機器300は、表示制御系として例えば図11に示すように液晶パネル8及び表示制御回路390などを備え、その表示制御回路390は表示情報出力源391、表示情報処理回路392、電源回路393及びタイミングジェネレータ394などを有する。
また、液晶パネル8には表示領域Iを駆動する半導体素子等を含む駆動回路361を有する。
表示情報出力源391は、ROM(Read Only Memory)やRAM(Random Access Memory)などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源391は、タイミングジェネレータ394によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路392に供給するように構成されている。
また、表示情報処理回路392はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号CLKと共に駆動回路361へ供給する。また、電源回路393は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。
このように本実施形態によれば、液晶装置22の製造装置1を用いて製造された液晶装置22を備えているので、表示性能に優れた電子機器を得ることができる。
具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶装置22等が適用可能なのは言うまでもない。
なお、本発明の電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得ることは勿論である。また、本発明の要旨を変更しない範囲で、上記各実施形態を組み合わせてもよい。
例えば、上述の実施形態ではTFT型の液晶装置22等について説明したがこれに限られるものではなく、例えばTFD(Thin Film Diode)型アクティブマトリックス型、パッシブマトリクス型の液晶装置であってもよい。また、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置(Field Emission Display及びSurface‐Conduction Electron‐Emitter Display等)などの各種電気光学装置に本発明を適用してもよい。
また、ACF7aに形成される切れ目は、完全にACF7aを切断する切れ目でもよいし、完全にACF7aを切断せずに一部繋がった状態で切断する切れ目でもよい。
a、c…初期位置、 b…位置、 d…停止位置、 T…薄膜トランジスタ素子、 θ…角度、 I…表示領域、 1…貼り付け装置、 2…保持部、 3…基台、 4、54…駆動部、 5、55…切断部、 6…圧着部、 6b、6a…圧着ヘッド、 7…テープ、 7a…ACF、 7b…基材テープ、 8…(ドライバIC実装前の)液晶パネル、 8a…液晶パネル、8b…一端、 9…供給リール、 10、11…張力調整部、 10a…アーム部、 10b…ローラ部、 12、13、14b…クランプ部、 14…送り部、 14a…ローラ部、 15…巻取りリール、 16、17、18…ローラ部、 19…ガイド部、 19a…上壁、 19b…貫通孔、 20…吸着部、 21、25…基板、 21a…張り出し部、 22…液晶装置、 23…回路基板、 25a…共通電極、 26…シール材、 27…ゲート電極、 28…ソース電極、 29…画素電極、 31、32、33…ドライバIC、 34、35、36、37、38、39、45…配線、 34a、37a…端子、 40…可撓性基材、 43、44…バンプ、 300…電子機器、 361…駆動回路、 390…表示制御回路、 391…表示情報出力源、 392…表示情報処理回路、 393…電源回路、 394…タイミングジェネレータ