JP2004279698A

JP2004279698A - フィルム状媒体の貼付装置、フィルム状媒体の貼付方法、電気光学装置の製造装置及び電気光学装置の製造方法

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Publication number: JP2004279698A
Application number: JP2003070533A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Saijo; 豪師西條; Hitoshi Maruyama; 仁丸山; Yuichi Takeuchi; 雄一竹内
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-03-14
Filing date: 2003-03-14
Publication date: 2004-10-07

Abstract

【課題】一定長さの異方性導電膜などのフィルム状媒体を液晶パネル基板などのワーク上に安定して貼り付けることが可能な貼付装置を提供する。
【解決手段】送り機構（１１）が圧着部（９）から巻取りリール部（２）側へ移動することにより、圧着部側へ一定長さの異方性導電膜（１３）を送り出す。その後、圧着部が所定位置から下降し、ワーク上に異方性導電膜を貼り付ける。このとき、クランプ部（８）及び送り機構は共に異方性導電膜の上端面近傍まで下降してくると共に、張力調整部（３、７）により異方性導電膜のテンションが一定に保持されているため、ワーク上に精度良く且つ安定的に異方性導電膜を貼り付けることができる。また、送り機構は、必要に応じて異方性導電膜を固定又は解放し、且つ送り機構が圧着部側へ移動することにより、不要となった異方性導電膜（セパレータ）を適切に剥離することができる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶製造装置などの電気光学装置の製造に関し、特に異方性導電膜を液晶回路基板上などに貼り付ける装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置、ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置等といった電気光学装置は、液晶およびＥＬ等といった電気光学物質を基板間に配置してパネル構造を形成し、さらに、適宜の電子回路を搭載した回路基板を、上記パネル構造に接続することによって形成される。また、上記回路基板上には、電子部品、例えば、電解コンデンサ等といったチップ部品やＩＣチップ等が実装されることが多い。
【０００３】
回路基板上に電子部品、例えばＩＣチップを実装する方式として、ＣＯＦ（ＣｈｉｐｏｎＦｉｌｍ）に基づく実装方式がある。上記ＣＯＦに基づく実装方式は、基本的には、ＩＣチップの実装領域に熱圧着処理を施すものである。すなわち、上記ＣＯＦによる実装方式は、一般的に、ＩＣチップをＡＣＦ（ＡｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ：異方性導電膜）等といった接着要素を用いて熱圧着、すなわち加圧および加熱によって基板上に実装する。異方性導電膜を介して配置された実装基板とＩＣチップの接続部分を加熱されたヘッドで加圧し、接着層を硬化させて、実装基板とＩＣチップを電気的に接続する。一般に、ＡＣＦは、直径数μｍの金属粒子や金属被膜プラスチック粒子等が厚さ数十μｍの接着剤層中に分散配置されたフィルム状の構造になっている。そして、導電性粒子の直径程度まで熱圧着することで、粒子を塑性変化させて、基板とＩＣチップを電気的に接続させている。
【０００４】
このようなＡＣＦを基板に貼り付ける装置として、基板にＡＣＦを載置したものを密閉容器内にセットし、この状態で容器内の圧力差を発生させてＡＣＦを基板に押圧し、その後それを加熱して、ＡＣＦを基板に貼り付ける装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００５】
また、供給リールから送り出されたＡＣＦを、送り出し制御ローラにより必要長さだけ貼り付け速度に同期して送り出し、ベース上に搭載された液晶基板上のＡＣＦを熱圧着ローラにより押圧及び加熱しながら熱圧着する異方性導電膜の貼付装置が知られている（例えば、特許文献２）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平１１−１９５８６５号公報
【特許文献２】
特開平６−６０１９号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述した異方性導電膜の貼付装置では、一対の送り出し制御ローラにより必要な長さだけ異方性導電膜を熱圧着ローラ側へ送り出して液晶基板上に貼り付けるようにしているが、異方性導電膜の送り出し時に発生する送り出し制御ローラと異方性導電膜との間に発生する滑りにより、必要な長さの異方性導電膜を正確に液晶基板上に貼り付けることができないという問題点がある。
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑みてなされたものであり、一定長さのフィルム状媒体を液晶基板上などに安定して貼り付けることが可能な異方性導電膜などのフィルム状媒体の貼付装置を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の１つの観点では、フィルム状媒体の貼付装置は、少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部と、前記フィルム状媒体をワーク上に圧着する圧着部と、前記送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を圧着部へ送り出す送り機構と、前記送り機構による前記フィルム状媒体の送り出し時に一定のテンションを保持する張力調整部と、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ部と、前記圧着部へワークを供給すると共に、圧着後のワークを前記圧着部から取り出す供給機構と、前記圧着後のフィルム状媒体の一層を巻き取る巻取りリール部と、を備える。
【００１０】
上記のフィルム状媒体の貼付装置によれば、送り機構が圧着部へ移動することにより、所望する長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。よって、ワークの大きさや態様に応じて、一定の長さのフィルム状媒体をワーク上に貼り付けることができる。
【００１１】
また、圧着部への送り出し時には、張力調整部によりフィルム状媒体のテンションが一定に保持されているので、送り機構は確実に一定の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。よって、フィルム状媒体をワーク上に精度良く安定的に貼り付けることができる。
【００１２】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の一態様では、前記送り機構は、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ機構と、駆動機構とを備え、前記駆動機構により上下方向及び前記送り出しリール部側と前記巻取りリール部側との間を移動自在に支持される。
【００１３】
この態様によれば、送り機構はクランプ機構を備えているので、必要に応じてフィルム状媒体を固定し、又は解放することができる。また、送り機構は駆動部を備えているので、上下方向又は圧着部側と巻取りリール部側との間を移動することができる。
【００１４】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記クランプ機構は、第１のクランプ機構と、第２のクランプ機構とを備え、前記送り機構が前記巻き取りリール部側へ移動するときには、前記第１のクランプ機構が前記フィルム状媒体を解放するとともに前記第２のクランプ機構が前記フィルム状媒体を固定し、前記送り機構が前記送り出しリール部側へ移動するときには、前記第１のクランプ機構が前記フィルム状媒体を固定するとともに前記第２のクランプ機構が前記フィルム状媒体を解放する。
【００１５】
この態様によれば、第１のクランプ機構がフィルム状媒体を解放し、且つ第２のクランプ機構がフィルム状媒体を固定した状態で、送り機構が送り出しリール部側へ移動することができる。これにより、送り機構は、フィルム状媒体のテンションを一定に保持しつつ、送り出しリール部側へ移動することができる。加えて、第２のクランプ部は、フィルム状媒体を固定しているので、送り機構が送り出しリール部側にある圧着部側へ移動するときに、圧着後のフィルム状媒体を圧着部側へ引き戻すのを防止することができる。
【００１６】
また、第１のクランプ機構がフィルム状媒体を固定し、且つ第２のクランプ機構がフィルム状媒体を解放した状態で、送り機構が巻取りリール部側へ移動することができる。これにより、送り機構は、フィルム状媒体のテンションを一定に保持しつつ、一定長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。
【００１７】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記送り機構は、前記巻取りリール部側へ移動するときには、所定の長さの前記フィルム状媒体を前記圧着部へ送り出すと共に、前記送り機構が前記送り出しリール部側へ移動するときには、前記圧着後の前記フィルム状媒体の一層を剥離する。
【００１８】
この態様によれば、送り機構は、巻取りリール部側へ移動するときには、所定の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。また、送り機構が送り出しリール部側にある圧着部側へ移動するときには、第１のクランプ機構がフィルム状媒体を解放し、且つ第２のクランプ機構がフィルム状媒体を固定した状態となっているため、圧着後のフィルム状媒体の一層を適切に剥離することができる。ここで、圧着後のフィルム状媒体の一層とは、フィルム状媒体層を貼り付けているセパレータである。
【００１９】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記張力調整部は、回動自在に支持される第１の張力調整部と、上下方向に移動可能に支持される第２の張力調整部とを備え、前記送り機構が前記巻取りリール部側へ移動するときには、前記第１の張力調整部が所定の方向に移動して前記フィルム状媒体のテンションを一定に保持すると共に、前記第２の張力調整部が基準位置から所定の位置まで下降することにより前記送り機構が前記圧着部へ前記フィルム状媒体を送り出すときに生じる前記フィルム状媒体のたるみを消滅させて前記フィルム状媒体のテンションを一定に保持する。
【００２０】
この態様によれば、送り機構が巻取りリール部側へ移動するときには、第１の張力調整部は所定の方向に回転してフィルム状媒体のテンションを常に一定に保持することができる。よって、送り機構は、圧着部に対して適切な長さのフィルム状媒体の送り出しを行うことができる。
【００２１】
また、送り機構が移動して圧着部へ送り出しを行う際には巻取りリール部側の所定位置にフィルム状媒体のたるみが生じるが、このたるみは第２の張力調整部が基準位置から所定の位置まで下降することにより消滅させることができる。よって、フィルム状媒体のテンションは常に一定に保持することができる。
【００２２】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記クランプ部は、上下方向に移動可能に支持され、必要に応じて前記フィルム状媒体を吸着して固定する吸着部と、前記フィルム状媒体の送り出し時又は前記圧着後の前記フィルム状媒体の一層の剥離時において前記フィルム状媒体の位置ずれを防止する位置ずれ防止機構と、を備える。
【００２３】
この態様によれば、クランプ部は、必要に応じて上下方向に移動することができ、尚且つ必要に応じてフィルム状媒体を吸着し固定することができる。また、クランプ部は、位置ずれ防止機構を備えているので、フィルム状媒体の送り出し時や、圧着後の前記フィルム状媒体の一層（セパレータ）の剥離時において生じるフィルム状媒体の位置ずれを効果的に防止することができる。
【００２４】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記クランプ部は、前記ワークを前記圧着部へ供給する時又は前記ワークを前記圧着部から取り出す時には、前記フィルム状媒体を吸着しつつ前記送り機構と共に上方へ退避する。
【００２５】
この態様によれば、供給機構がワークを圧着部へ供給する時に、クランプ部はフィルム状媒体を吸着しつつ、送り機構と共に上方へ退避することができる。また、供給機構がワークを圧着部から取り出す時においても、クランプ部はフィルム状媒体を吸着しつつ、送り機構と共に上方へ退避することができる。よって、フィルム状媒体と圧着部の受け台部との間のスペースを広げることができるので、供給機構と圧着部との間で円滑にワークの授受を行うことができる。
【００２６】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記クランプ部は、前記圧着部が前記ワーク上に前記フィルム状媒体を圧着する際には、前記フィルム状媒体を吸着しつつ前記送り機構と共に上方の所定位置から前記フィルム状媒体の上端面近傍まで下降する。
【００２７】
この態様によれば、圧着部がワーク上にフィルム状媒体を圧着する際には、クランプ部はフィルム状媒体を吸着しつつ、送り機構と共に上方の所定位置からフィルム状媒体の上端面近傍まで下降することができる。これにより、フィルム状媒体もワークの上端面近傍まで下降するので、精度良く安定的にフィルム状媒体をワーク上に貼り付けることができる。
【００２８】
上記のフィルム状媒体の貼付装置の他の一態様では、前記位置ずれ防止機構は、凹部状に形成された前記クランプ部の構造であり、前記凹部内を前記フィルム状媒体が移動するときに、その移動方向と直交する方向の前記フィルム状媒体の位置ずれを防止する。
【００２９】
この態様によれば、位置ずれ防止機構は、凹部状に形成されたクランプ部の構造とすることができる。したがって、フィルム状媒体の送り出し時などにおいては、フィルム状媒体がその凹部状に形成されたクランプ部内を移動することにより、フィルム状媒体の移動方向と直交する方向の位置ずれを効果的に防止することができる。
【００３０】
本発明の他の観点では、フィルム状媒体の貼付方法は、少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を圧着部へ送り出す送り出し工程と、前記送り出し工程において、前記フィルム状媒体の一定のテンションを保持する張力調整工程と、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ工程と、前記送り出し工程で送り出された前記フィルム状媒体を、前記圧着部においてワーク上に圧着する圧着工程と、前記圧着部へワークを供給すると共に、圧着後のワークを前記圧着部から取り出すワーク供給工程と、前記圧着後のフィルム状媒体の一層を、巻き取りリール部に巻き取る巻取り工程と、を有する。
【００３１】
上記のフィルム状媒体の貼付方法によれば、所望の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。よって、圧着工程では、ワークの大きさや態様に応じて、一定の長さのフィルム状媒体をワーク上に貼り付けることができる。また、圧着部への送り出し時には、張力調整工程によりフィルム状媒体のテンションが一定に保持されているので、確実に一定の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。よって、圧着工程では、フィルム状媒体をワーク上に精度良く安定的に貼り付けることができる。
【００３２】
また、本発明の他の観点では、電気光学装置の製造装置は、少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部と、前記フィルム状媒体を電気光学パネル上に圧着する圧着部と、前記送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を前記圧着部へ送り出す送り機構と、前記送り機構による前記フィルム状媒体の送り出し時に一定のテンションを保持する張力調整部と、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ部と、前記圧着部へ電気光学パネルを供給すると共に、圧着後の電気光学パネルを前記圧着部から取り出す供給機構と、前記圧着後のフィルム状媒体の一層を巻き取る巻取りリール部と、前記フィルム状媒体を介して、前記電気光学パネルに電子部品を実装して電気光学装置を製作する実装部と、を備える。
【００３３】
また、同様の観点では、電気光学装置の製造方法は、少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を圧着部へ送り出す送り出し工程と、前記送り出し工程において、前記フィルム状媒体の一定のテンションを保持する張力調整工程と、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ工程と、前記送り出し工程で送り出された前記フィルム状媒体を、前記圧着部において電気光学パネル上に圧着する圧着工程と、前記圧着部へ電気光学パネルを供給すると共に、圧着後の電気光学パネルを前記圧着部から取り出す供給工程と、前記圧着後のフィルム状媒体の一層を、巻き取りリール部に巻き取る巻取り工程と、前記フィルム状媒体を介して、前記電気光学パネルに電子部品を実装して電気光学装置を製作する実装工程と、を有する。
【００３４】
上記の電気光学装置の製造装置又は製造方法によれば、所望の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出し、電気光学パネルの大きさや態様に応じて、一定の長さのフィルム状媒体を貼り付けることができる。また、圧着部への送り出し時には、張力調整工程によりフィルム状媒体のテンションが一定に保持されているので、送り出し工程は確実に一定の長さのフィルム状媒体を圧着部へ送り出すことができる。よって、圧着部では、フィルム状媒体を電気光学パネル上に安定的に貼り付けることができ、電気光学パネル上に電子部品を精度よく貼り付けることができる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００３６】
本実施形態に係る異方性導電膜（以下、「ＡＣＦ」と呼ぶ。）の貼付装置は、圧着部に対するＡＣＦの送り出し及び圧着後のＡＣＦの剥離を可能とする送り機構を設けて、液晶基板上などのワーク上に一定の長さのＡＣＦを安定的に貼り付けることを特徴としている。
【００３７】
［ＡＣＦ貼付装置］
先ず、本実施形態にかかるＡＣＦ貼付装置について、図１を参照して説明する。図１（ａ）には、ＡＣＦ貼付装置１００の側面図が示され、図１（ｂ）には、ＡＣＦ貼付装置１００の部分平面図が示される。また、図１（ｃ）には、ＡＣＦ貼付装置１００の構成の一部をなす供給機構２５の部分平面図が示される。尚、図１（ａ）では供給機構２５の側面図が示されていないが、図１（ａ）には、その供給機構２５が設けられているものとして説明する。
【００３８】
ＡＣＦ貼付装置１００は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、一定の長さのＡＣＦ１３を圧着部９側へ送り出すための送り機構１１と、必要に応じてＡＣＦ１３を固定又は解放するためのクランプ部８、１２と、ＡＣＦ１３のテンションを一定に保持するための張力調整部３、７と、ＡＣＦ１３が巻回されている送り出しリール部１と、ＡＣＦ１３をワーク２１上に貼り付けるための圧着部９と、貼り付け後のＡＣＦを巻き取るための巻取りリール部２と、ＡＣＦ１３の送り出しなどを円滑にする支持体となるローラ部４、５、６と、圧着部９との間でＡＣＦ貼り付け前のワーク２１及びＡＣＦ１３貼り付け後のワーク２３の授受を行う供給機構２５と、から構成される。
【００３９】
送り機構１１は、必要なときにＡＣＦ１３を固定又は解放するクランプ部１１ａと、複数のローラ部１１ｂとを備え、上下方向、及び圧着部９側の所定位置Ｄ１と基準位置Ｄ３との間を水平方向に、図示しない駆動装置により移動可能に支持される。ここで、駆動装置としては、例えば位置決め精度の向上を図るため、モータ及びボールねじからなる駆動機構などが好適である。
【００４０】
また、送り機構１１は、２層構造からなるＡＣＦ１３を各層に剥離する機能を有する。この送り機構１１による剥離方法は、以下に示す方法により行われる。先ず、送り機構１１は、図１（ａ）に示すように、基準位置Ｄ３となる位置で待機している。その後、圧着部９によりワーク２１上へのＡＣＦ１３の貼り付けが行われた後、その送り機構１１が、その基準位置Ｄ３から圧着部９側の所定位置Ｄ１まで移動することにより、２層構造のＡＣＦ１３を各層に剥離する。
【００４１】
また、送り機構１１は、供給機構２５が圧着部９側へワーク２１を供給するとき、又はワーク２３の取り出しを行うときには、それらの授受を円滑に行うようにするため、クランプ部８と同期して上方へ退避する。一方、送り機構１１は、圧着部９がＡＣＦ１３をワーク２１上に圧着するときには、そのワーク２１上の所定の位置にＡＣＦ１３を精度良く貼り付けるため、ワーク２１上に積載されたＡＣＦ１３の上端面付近までクランプ部８と同期して下降する。
【００４２】
クランプ部１１ａは、送り機構１１内に設けられ、必要に応じてＡＣＦ１３を固定し、又は解放する。クランプ部１１ａは、送り機構１１が圧着部９へＡＣＦ１３の送り出しを行うときには、そのＡＣＦ１３を固定する。具体的には、位置Ｄ１（破線部分）にある送り機構１１は、クランプ部１１ａを作動させてＡＣＦ１３を固定する。この状態から、送り機構１１が待機位置Ｄ３まで移動することにより、圧着部９へ一定長さのＡＣＦ１３の送り出しを行うことができる。
【００４３】
一方、クランプ部１１ａは、送り機構１１がワーク２１上に貼り付いたＡＣＦ１３の剥離を行うときには、そのＡＣＦ１３を解放する。具体的には、上記送り機構１１による圧着部９へのＡＣＦ１３の送り出し後、基準位置Ｄ３にある送り機構１１は、クランプ１１ａを作動させてＡＣＦ１３を解放する。この状態から、送り機構１１が圧着部９側の所定位置Ｄ１まで移動することにより、ワーク２１上に部分的に貼り付いているＡＣＦ１３を剥離することができる。
【００４４】
ローラ部１１ｂは、送り機構１１内に複数設けられ、ＡＣＦ１３の送り出しを円滑にするための回転部材である。それらのローラ部１１ｂは、回転自在に支持されており、ＡＣＦ１３の移動に伴い一定方向に回転できるようになっている。このため、それらのローラ部１１ｂがＡＣＦ１３の移動時などにおいて回転することにより、ＡＣＦ１３との間に生じる摩擦を少なくしてＡＣＦ１３の送り出しを円滑に行うようにしている。
【００４５】
クランプ部８、１２は、必要に応じてＡＣＦ１３を固定し、又は解放する。
【００４６】
クランプ部８は、図１に示すように、ローラ部４と圧着部９との間に設けられる。このクランプ部８の構造について、図２を参照して説明する。図２（ａ）には、クランプ部８の正面図が示され、図２（ｂ）には、図２（ａ）のＡ−Ａ´に沿った切断面図が示される。クランプ部８は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、複数の吸着孔８ｂと、吸着部８ａと、ガイド部８ｃとから構成される。
【００４７】
吸着孔８ｂは、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガイド部８内に複数配され、ガイド部８の上端面８ｃａからＡＣＦ１３の吸着面８ｃｂにかけて円柱状の貫通孔として形成されている。本例では、ガイド部８ｃ内に１０個の吸着孔８ｂを設けた場合を一例として示しているが、これに限られるものではない。即ち、吸着孔８ｂの設定数は、ＡＣＦ１３の吸着を確実に行えるように、ＡＣＦ１３の大きさなどに応じて適宜決定されるものである。
【００４８】
吸着部８ａは、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、ガイド部８ｃの上端面８ｃａ上に設けられ、作動すると真空圧力を発生し、複数の吸着孔８ｂを通じてＡＣＦ１３を吸着して固定する（矢印ｓ１０）。一方、吸着部８ａは、作動停止すると吸着していたＡＣＦ１３を解放する。尚、吸着部８ａとしては、例えば、真空ポンプなどが好適である。
【００４９】
ガイド部８ｃは、図２（ｂ）に示すように、ＡＣＦ１３が移動出来るように、下方が凹状となるように形成される。ＡＣＦ１３は、図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、このガイド部８ｃの凹部（符号Ｇ１）を通じて送り出しなどが行われる。このため、ガイド部８ｃは、ＡＣＦ１３の送り出し時などに、凹状に形成された構造（符号Ｇ１）により、ＡＣＦ１３の送り出し方向（矢印ｓ７０）と直交する方向の位置ずれを防止することができる。
【００５０】
次に、クランプ部８の作用について説明する。
【００５１】
クランプ部８は、図１（ａ）に示すように、上下方向のみの移動が可能となるように支持される。供給機構２５が圧着部９側へワーク２１を供給するときには、圧着部９側がワーク２１の受け入れを容易とするため、クランプ部８は、ＡＣＦ１３を吸着しつつ送り機構１１と同期して上方へ退避する。一方、圧着部９がワーク２１上にＡＣＦ１３を貼り付けるときには、ＡＣＦ１３をワーク２１上の所定位置に精度良く貼り付けるのを可能とするべく、クランプ部８は、ＡＣＦ１３を吸着しつつワーク２１の上端面近傍まで下降する。
【００５２】
クランプ部１２は、送り機構１１とローラ部５との間に設けられ、送り機構１１が圧着部９側へ移動するときにはＡＣＦ１３を挟持して固定し、送り機構１１が巻取りリール部２側へ移動するときには、固定していたＡＣＦ１３を解放する。
即ち、クランプ部１２は、送り機構１１内に設けられるクランプ部１１ａの動作とは逆の動作を常に行う。
【００５３】
具体的には、送り機構１１内に設けられるクランプ部１１ａがＡＣＦ１３を固定すると、クランプ部１２は、固定していたＡＣＦ１３を解放する。一方、クランプ部１１ａが固定していたＡＣＦ１３を解放すると、クランプ部１２は、解放していたＡＣＦ１３を固定する。このように、クランプ部１２は、常にクランプ部１１ａとは逆の作動状態となる。
【００５４】
つまり、送り機構１１が圧着部９側へ移動するときには、送り機構１１内のクランプ部１１ａはＡＣＦ１３を解放し、且つクランプ部１２はＡＣＦ１３を固定するようにしているので、後述する張力調整部３によりＡＣＦ１３のテンションが一定に保持されると共に、熱圧着後のＡＣＦ１３が圧着部９側へ引き戻されることを防止することができる。
【００５５】
一方、送り機構１１が巻取りリール部２側へ移動するときには、そのクランプ部１１ａはＡＣＦ１３を固定し、且つクランプ部１２はＡＣＦ１３を解放するようにしているので、後述する張力調整部７によりＡＣＦ１３のテンションが一定に保持されると共に、圧着部９側へ所望する長さのＡＣＦ１３の送り出しを行うことができる。
【００５６】
尚、上述のＡＣＦ貼付装置１００において、クランプ部８とクランプ部１２の構成態様を変えている理由は、以下の通りである。つまり、圧着される前のＡＣＦ１３の下端面は粘着状態にある。そのため、クランプ部８の位置にクランプ部１２を設けた場合には、以下のような不都合が生じる。即ち、クランプ部１２がＡＣＦ１３を固定すると、そのＡＣＦ１３の粘着作用によってクランプ部１２がＡＣＦ１３に貼り付いてしまい、そのＡＣＦ１３を必要に応じて解放することができなくなってしまうからである。このため、本例では、クランプ部１２をクランプ部８の位置に使用することなく、粘着性のないＡＣＦ１３の上端面を必要に応じて吸着し固定することのできるクランプ部８を使用している。
【００５７】
張力調整部３、７は、ＡＣＦ１３の送り出し時などにおいて、ＡＣＦ１３のテンションを一定に保持する役割を果たすものである。
【００５８】
張力調整部３は、回動自在に支持されたアーム部３ａと、アーム部３ａの一端に設けられ、ＡＣＦ１３の送り出しを円滑にするローラ部３ｂと、アーム部を回動自在に駆動する図示しない駆動部とから構成される。アーム部３ａは、図１（ａ）に示すように、ＡＣＦ１３のテンションを一定に保つために、基準位置Ｒ１からＲ２までの角度θの範囲で、図示しない駆動部により回動することが可能である。ローラ部３ｂは、上述した送り機構１１内に設けられたローラ部１１ｂと同様の機能を果すものである。よって、送り出しリール部１と圧着部９との間にそのローラ部３ｂを介在させることにより、それらの間のＡＣＦ１３の送り出しを円滑に行うことができる。
【００５９】
次に、張力調整部３の作用について述べる。送り機構１１が圧着部９側の所定位置Ｄ１から基準位置Ｄ３に移動すると、張力調整部３のアーム３ａは、それに連動して基準位置Ｒ１からＲ２まで回動する（角度θ）。これにより、張力調整部３は常にＡＣＦ１３のテンションを一定に保つことができる。
【００６０】
一方、供給機構２５によるワーク２１の圧着部９への供給が行われる直前、つまり送り機構１１が基準位置Ｄ３まで戻り、且つクランプ部８によるＡＣＦ１３の吸着が行われると、位置Ｒ２にある張力調整部３は、アーム３ａ駆動して基準位置Ｒ１まで移動させる。これにより、張力調整部３は、ＡＣＦ１３が巻回された送り出しリール部１を回転させ、圧着部９において圧着に使用された一定長さのＡＣＦ１３を引き出す。この引き出されたＡＣＦ１３は、その後、送り機構１１が圧着部９側への送り出し用のＡＣＦ１３として使用するものである。
【００６１】
張力調整部７は、貼り付け後のＡＣＦ１３の巻取りなどを円滑にするローラ部から構成され、上下方向の移動が自在となるように支持される。張力調整部７は、送り機構１１によるＡＣＦ１３の送り出しが行われる際に生じるＡＣＦ１３のたるみを消滅させて、ＡＣＦ１３のテンションを常に一定に保持する機能を果たす。
【００６２】
具体的には、送り機構１１が圧着部９側へＡＣＦ１３の送り出しを行うと、圧着部９よりクランプ部１２側にあるＡＣＦ１３のたるみが生じるが、このとき張力調整部７がある基準位置から下方に移動することにより、そのＡＣＦ１３のたるみを消滅させる。このときの張力調整部７の移動距離は、ＡＣＦ１３のたるみ分に応じた長さとなる。よって、張力調整部７は、常にＡＣＦ１３のテンションを一定に保持することができる。
【００６３】
また、クランプ部１２がＡＣＦ１３を固定すると、巻取りリール部２が作動して、ＡＣＦ１３の巻取りを行う。これに連動して、基準位置よりも下方の位置にあった張力調整部７は、上昇させられ基準位置まで再び戻される。
【００６４】
送り出しリール部１は、張力調整部３の上方の位置に設けられ、一定長のＡＣＦ１３を巻回している。送り出しリール部１には、特に駆動機構は設けられておらず、上述した張力調整部３がＡＣＦ１３を引き出すときだけ、送り出しリール部１は、その張力調整部３からの引張力を受けて回転する（矢印ｓ１）。これにより、送り出しリール部１は、一定長さのＡＣＦ１３を圧着部９側へ送り出すことを可能としている。
【００６５】
巻取りリール部２は、貼り付け後のＡＣＦ１３の巻き取りを行う役割を果たすものである。そのため、巻取りリール部２は、巻取り時には、矢印ｓ２の方向に回転して貼り付け後のＡＣＦ１３の巻取り（回収）を行う。
【００６６】
圧着部９は、ワーク２１上のＡＣＦ１３に対して加圧及び加熱をして、ワーク２１上にＡＣＦ１３を貼り付ける圧着ヘッド部９ａと、ワーク２１を積載するための受け台部９ｂとから構成される。圧着ヘッド部９ａは、上下移動が自在となるように支持され、送り機構１１が圧着部９側の所定位置Ｄ１へ移動するときには上方へ退避すると共に、ＡＣＦ１３の圧着時には受け台部９ｂの上端面近傍の水平位置まで下降してＡＣＦ１３の貼り付けを可能とする。
【００６７】
ローラ部４、５、６は、上述したローラ部３ｂなどと同様の機能を果たすものである。本例では、ＡＣＦ貼付装置１００に３個のローラ部４、５、６を設けた場合を例示しているが、これに限らず、その数を適宜増減することが可能である。これらにより、ＡＣＦ１３の送り出しなどを円滑に行うことができる。
【００６８】
供給機構２５は、図１（ｂ）に示すように、搬送手段２２を通じて搬送されてきたワーク２１を圧着部９側へ供給すると共に、ＡＣＦ圧着後のワーク２３を圧着部９から取り出し、それを別の搬送手段２４に送り出す機能を果たすものである。供給機構２５は、図１（ｂ）に示すように、ワーク２１の搬送を行う搬送手段２２と、ワーク２１及びワーク２３の授受を圧着部９、搬送手段２２、及び搬送手段２４との間で行う搬送手段２０と、圧着後のワーク２３を所定の場所に搬送する搬送手段２４と、から構成される。
【００６９】
搬送手段２２は、例えば、モータにより駆動されるベルト式のコンベアなどであり、搬送手段２０の動作に同期させてワーク２１を搬送手段２０側へ順次送り出す（矢印ｓ４）。搬送手段２０は、搬送手段２２及び２４と圧着部９との間でワーク２１及びＡＣＦ圧着後のワーク２３の授受を行うことができるように移動可能に支持されている（矢印ｓ５及び矢印ｓ６）。搬送手段２０としては、例えば、水平方向における移動が可能なステージなどの駆動機構が好適である。また、搬送手段２０には、ワーク２１及びワーク２３を吸着するための機構が設けられている。搬送手段２４は、先に述べた搬送手段２２と基本的に同様の機能を果たすと共に、圧着後のワーク２３を所定の場所に搬送する（矢印ｓ７）。
【００７０】
次に、供給機構２５の動作について簡単に述べる。先ず、搬送手段２０は、搬送手段２２により送られてきたワーク２１を所定の位置で吸着すると、そのワーク２１を圧着部９側へ搬送し（矢印ｓ５）、受け台部９ｂ上に載置する。その後、搬送手段２０が圧着部９から退避し（矢印ｓ５）、圧着部９によるワーク２１上へのＡＣＦ１３の貼り付けが行われる。その後、圧着部９は上方へ退避すると共に、搬送手段２０は再び圧着部９側へ移動して（矢印ｓ５）、ＡＣＦ圧着後のワーク２３を吸着し、搬送手段２４側へそのワーク２３を搬送する（矢印ｓ５及び矢印ｓ６）。その後、搬送手段２４は、そのワーク２３を所定の場所に搬送する。これにより、供給機構２５は、圧着部９の動作と同期しながらワーク２１及びワーク２３の授受を円滑に行うようにしている。
【００７１】
［ＡＣＦ貼り付け方法］
次に、上述したＡＣＦ貼付装置１００によるＡＣＦ１３の貼り付け方法などについて図２乃至図６を参照して詳述する。以下、ＡＣＦ１３の送り出し、ワーク２１の圧着部９への供給、ワーク２１上へのＡＣＦの貼り付け、及び圧着後のＡＣＦ１３の剥離までの一連の手順を中心に説明する。
【００７２】
先ず、図３（ａ）を参照し、ＡＣＦ１３の送り出し時のＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素の状態について説明する。
【００７３】
図３（ａ）には、送り機構１１によるＡＣＦ１３の送り出しの方法が一例として示される。このときＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素は、以下に示すような状態となっている。送り出しリール部１は、ＡＣＦ１３の供給を停止している状態である。張力調整部３は、アーム３ａが位置Ｒ１から角度θ１だけ移動している状態である。ローラ部４は、圧着部９側へのＡＣＦ１３の送り出しを円滑にするために回転している状態である。クランプ部８は、作動停止、つまりＡＣＦ１３の吸着動作などを停止している状態である。圧着ヘッド部９ａは、位置Ｄ１００で退避している状態である。送り機構１１は、位置Ｄ１から位置Ｄ３に向かって移動中であり、図３（ａ）ではＤ２の位置まで移動した状態が示されてる。
【００７４】
このとき、送り機構１１内のクランプ部１１ａは、ＡＣＦ１３を固定している状態である。また、送り機構１１内のローラ部１１ｂは、前記クランプ部１１ａによるＡＣＦ１３の固定によって回転が停止している状態である。クランプ部１２は、ＡＣＦ１３を解放している状態である。ローラ部５、６は、ＡＣＦ１３の送り出しに伴って回転している状態である。張力調整部７は、基準位置Ｄ１０から所定位置Ｄ１１まで下降している状態である。巻取りリール部２は、ＡＣＦ１３の巻取りを停止している状態である。
【００７５】
また、張力調整部３と送り機構１１との間に介在するＡＣＦ１３は、圧着部９側へ送り出されている状態である（矢印ｓ３）。さらに、送り機構１１と張力調整部７との間に介在するＡＣＦ１３は、張力調整部７により一定方向に引っ張られている状態である（矢印ｓ４）。
【００７６】
次に、上記状態にあるＡＣＦ貼付装置１００によるＡＣＦ１３の送り出しの方法について述べる。
【００７７】
かかる状態において、当初、位置Ｄ１にあった送り機構１１が（破線部分）、位置Ｄ２まで移動すると（実線部分）、それに連動して張力調整部３は、位置Ｒ１から角度θ１だけ回転する。これにより、張力調整部３は、ＡＣＦ１３のテンションを一定に保持すると共に、送り機構１１は、圧着部９側へ一定長さのＡＣＦ１３の送り出しを行う。したがって、送り機構１１は、毎回一定長さのＡＣＦ１３を、圧着部９側に対して送り出すことができる。
【００７８】
また、このとき、張力調整部３が移動した分に対応する長さのＡＣＦ１３は圧着部９側へ送り出されるため（矢印ｓ３）、それにより破線領域ｓ２０においてＡＣＦ１３のたるみが生じる。
【００７９】
しかし、クランプ部１２はＡＣＦ１３を解放しているため、張力調整部７が位置Ｄ１０から位置Ｄ１１へと下降することにより、そのＡＣＦ１３のたるみ（破線領域ｓ２０）は、矢印ｓ４側へ引っ張られて徐々に消滅することになる。
【００８０】
よって、本例のＡＣＦ貼付装置１００では、張力調整部３及び７によりＡＣＦ１３のテンションを一定に保持しつつ、送り機構１１は圧着部９に対して一定長さのＡＣＦ１３の送り出しを行うことができる。
【００８１】
次に、図３（ｂ）を参照し、上記ＡＣＦ１３の送り出し時に生じるＡＣＦ１３のたるみを消滅させる方法について述べる。尚、図３（ｂ）は、時間の経過に伴い、ＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素が、図３（ａ）の状態から変化した様子を示している。
【００８２】
図３（ｂ）には、上記図３（ａ）で生じたＡＣＦ１３のたるみ（破線領域ｓ２０）が完全に消滅している状態が示される。
【００８３】
即ち、図３（ａ）の状態から送り機構１１がさらに移動してＤ３の位置で停止すると、それに連動して張力調整部７はＡＣＦ１３を引っ張りつつ（矢印ｓ４）、さらにＤ１２の位置まで下降する。そして、張力調整部７が、位置Ｄ１２の位置まで下降してくると、クランプ部１２が作動しＡＣＦ１３を挟持して固定する。これにより、張力調整部７は一定の位置Ｄ１２で停止すると共に、破線領域ｓ２０内のＡＣＦ１３のたるみを完全に消滅させる。
【００８４】
また、このとき、張力調整部３は、送り機構１１の移動動作に連動して、Ｒ１の位置から角度θまで回転してＲ２の位置で停止する。このとき、クランプ部１２はＡＣＦ１３を固定しているため、送り出しリール部１からクランプ部１２までのＡＣＦ１３のテンションを一定に保持することができる。
【００８５】
尚、ＡＣＦ貼付装置１００の他の主要な構成要素は、以下の状態となっている。送り出しリール部１は、図３（ａ）の状態と同様である。よって、送り出しリール部１から圧着部９側に対するＡＣＦ１３の供給は行われていない。クランプ部８は、図３（ａ）の状態と同様に作動停止状態である。よって、ＡＣＦ１３の吸着は行われていない。圧着ヘッド部９ａは、図３（ａ）の状態と同様に位置Ｄ１００で停止継続中である。巻取りリール部２は、図３（ａ）の状態と同様に回転停止状態である。よって、巻取りリール部２による不要なＡＣＦ１３の巻取りは行われていない。
【００８６】
次に、図４（ａ）を参照し、圧着後のＡＣＦ１３を巻取るための方法について述べる。尚、図４（ａ）は、時間の経過に伴い、ＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素が、図３（ｂ）の状態から変化した様子を示している。
【００８７】
図４（ａ）には、圧着後のＡＣＦ１３が巻き取られている様子が示される。即ち、上記図３（ｂ）に示すように張力調整部７がＤ１２の位置で停止すると、その後図４（ａ）に示すように巻取りリール部２が作動し、ＡＣＦ１３の巻取りを開始する（矢印ｓ２及び矢印ｓ４）。本例では、巻取りリール部２の回転により、張力調整部７が位置１２から位置Ｄ１３まで上昇させられている様子が一例として示されている。この張力調整部７は、最終的に位置Ｄ１３から位置Ｄ１０まで上昇させられる。これにより、図３（ａ）において生じたＡＣＦ１３のたるみ分の長さに対応する圧着後のＡＣＦ１３を適切に巻き取ることができる。
【００８８】
尚、ＡＣＦ貼付装置１００の他の主要な構成要素は、上記図３（ｂ）に示す状態と同様であるため説明は省略する。
【００８９】
次に、図４（ｂ）を参照し、圧着部９側へのワーク２１の供給方法について述べる。尚、図４（ｂ）は、時間の経過に伴い、ＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素が、図４（ａ）の状態から変化した様子を示している。また、図４（ｂ）においては、供給機構２５が特に示されていないが、それが存在するものとして説明する。
【００９０】
図４（ｂ）には、圧着部９側へワーク２１を供給するための様子が一例として示される。先ず、上記図４（ａ）の状態から張力調整部７がＤ１０の位置まで上昇すると、巻取りリール部２は圧着後のＡＣＦ１３の巻取りを終了する。
【００９１】
また、クランプ部８は、作動してＡＣＦ１３を吸着し固定する。そして、張力調整部３は、クランプ部８によりＡＣＦ１３が固定されたことを確認すると、位置Ｒ２から基準位置Ｒ１まで回転（回転角度θ）して停止する。これにより、張力調整部３は、送り出しリール部１を回転させ（矢印ｓ１）、一定長さのＡＣＦ１３を引き出すことができる。そのため、次回の送り出し時に必要な長さのＡＣＦ１３を予め準備しておくことができる。
【００９２】
その後、送り出しリール部１の回転が停止すると、送り機構１１内のクランプ部１１ａはＡＣＦ１３を固定すると共に、クランプ部１２はＡＣＦ１３を解放する。その後、供給機構２５が圧着部９側へワーク２１を供給するときに、クランプ部８及び送り機構１１が共に上昇する。このとき、クランプ部８は基準位置ＳＰ０から所定位置ＳＰ１まで上昇し、一方、送り機構１１は基準位置ＳＰ１０から所定位置ＳＰ１１まで上昇する。勿論、このとき、ＡＣＦ１３もクランプ部８及び送り機構１１と共に上昇させられる。これにより、ＡＣＦ１３と受け台部９ｂとの間のスペースを広げ、ワーク２１の受け入れを容易とすることができる。
【００９３】
尚、ＡＣＦ貼付装置１００の他の主要な構成要素である圧着ヘッド部９ａは、上記図４（ａ）に示す状態と同様であるため説明は省略する。
【００９４】
次に、図５（ａ）を参照し、圧着部９へ供給されたワーク２１上にＡＣＦ１３を貼り付ける方法について述べる。尚、図５（ａ）は、時間の経過に伴い、ＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素が、図４（ｂ）の状態から変化した様子を示している。
【００９５】
図５（ａ）には、圧着部９へ供給されたワーク２１上にＡＣＦ１３を貼り付けている（圧着）様子が一例として示される。先ず、上記図４（ｂ）に示す状態からクランプ部８及び送り機構１１がＡＣＦ１３と共に下降する。具体的には、クランプ部８は位置ＳＰ１から位置ＳＰ２まで下降し、一方、送り機構１１は位置ＳＰ１１から位置ＳＰ１２まで下降する。
【００９６】
ここで、位置ＳＰ２は、図４（ｂ）に示す位置ＳＰ０より下方の位置にあると共に、位置ＳＰ１２は、図４（ｂ）に示す位置ＳＰ１０より下方の位置にある。また、位置ＳＰ２から受け台部９ｂの上端面までの高さと、位置ＳＰ１２から受け台部９ｂの上端面までの高さは共に同じである。これにより、圧着ヘッド部９ａと受け台部９ｂとの間にあるＡＣＦ１３を、受け台部１０上に積載されたワーク２１の上端面と平行を保ちつつ、その近傍まで接近させることができる。
【００９７】
次に、クランプ部８及び送り機構１１が共に上記した位置ＳＰ２及び位置ＳＰ１２で夫々停止すると、圧着ヘッド部９ａが位置Ｄ１００から位置Ｄ１０２まで下降して、ＡＣＦ１３を加熱及び加圧してワーク２１上に貼り付ける。これにより、ワーク２１上の所定の位置に安定的にＡＣＦ１３を貼り付けることができる。
【００９８】
尚、ＡＣＦ貼付装置１００の他の主要な構成要素は、上記図４（ｂ）に示す状態と略同様であるため説明は省略する。
【００９９】
次に、図５（ｂ）を参照し、送り機構１１による圧着後のＡＣＦ１３の剥離方法について述べる。尚、図５（ｂ）は、時間の経過に伴い、ＡＣＦ貼付装置１００の各構成要素が、図５（ａ）の状態から変化した様子を示している。
【０１００】
図５（ｂ）には、送り機構１１が圧着後のＡＣＦ１３を剥離している様子が一例として示される。先ず、図５（ａ）に示すように、ワーク２１上へのＡＣＦ１３の貼り付けが終了すると、圧着ヘッド部９ａは位置Ｄ１０２から位置Ｄ１００まで上昇する。この理由は、ＡＣＦ１３の剥離時には、送り機構１１が圧着ヘッド部９ａの真下の位置まで移動してくるため、その送り機構１１との衝突を回避するために、圧着ヘッド部９ａが上方へ退避するものである。
【０１０１】
次に、クランプ部８及び送り機構１１は、上記図５（ａ）の状態からＡＣＦ１３の剥離を促進するため共に上昇する。具体的には、クランプ部８は、位置ＳＰ２から位置ＳＰ３まで上昇すると共に、送り機構１１は、位置ＳＰ１２から位置ＳＰ１３まで上昇する。ここで、位置ＳＰ３及び位置ＳＰ１３とは、受け台部９ｂの上端面からの高さが共に同じである。また、位置ＳＰ３及び位置ＳＰ１３の高さは、ＡＣＦ１３の剥離を促進させる位置となる。これにより、圧着部９付近のＡＣＦ１３は上方へ引っ張られる状態となり、ＡＣＦ１３の剥離が促進される。
【０１０２】
また、このとき、送り機構１１は、基準位置Ｄ３から圧着部９側の所定位置Ｄ１に向かって移動する。これにより、圧着後のＡＣＦ１３を剥離する。本例では、送り機構１１が、基準位置Ｄ３から位置Ｄ４のところまで移動している状態が一例として示される。よって、図５（ｂ）には、その送り機構１１の移動に伴って、圧着後のＡＣＦ１３が剥離されていく様子が示される（矢印ｓ８０）。かかるＡＣＦ１３を剥離方法については、図６を参照し、後述においてさらに説明することとする。
【０１０３】
尚、ＡＣＦ貼付装置１００の他の主要な構成要素は、以下に示す状態となっている。送り機構１１内のクランプ部１１ａは、ＡＣＦ１３を固定している状態からＡＣＦ１３を解放する。また、クランプ部１２は、ＡＣＦ１３を解放している状態からＡＣＦ１３を固定する。このため、送り機構１１が圧着部９側へ移動したとしても、クランプ部１２によりＡＣＦ１３が固定されているため、ＡＣＦ１３が圧着部９側へ引き戻されるのを防止することができる。また、ＡＣＦ貼付装置１００のその他の主要な構成要素は、上記図５（ａ）に示す状態と同様であるため説明は省略する。
【０１０４】
次に、図６を参照し、ＡＣＦ１３を完全に剥離するまでの状態について説明する。先ず、図６（ａ）には、２層構造からなるＡＣＦ１３の部分側面図が示される。ＡＣＦ１３は、図６（ａ）に示すように、ワーク２１上に圧着されるＡＣＦ１３ａ（異方性導電膜）と、そのＡＣＦ１３ａのベースフィルムとなるＡＣＦ１３ｂ（セパレータ）とから構成される。ここで、ＡＣＦ１３ａは、直径数μｍの金属粒子等が厚さ数十μｍの接着剤層中に分散配置されたフィルム状の構造になっている。
【０１０５】
そのため、圧着ヘッド部９ａがワーク２１上の所定位置にＡＣＦ１３を圧着すると、当該部分のＡＣＦ１３はワーク２１上に貼り付けられる。このとき、当該部分のＡＣＦ１３ｂは、ＡＣＦ１３ａの粘着作用によってＡＣＦ１３ａ上に貼り付いている。このＡＣＦ１３ｂは、圧着後には不要なものとなるため、そのＡＣＦ１３ｂを適切に剥離する必要がある。そこで、送り機構１１を圧着部９側へ移動させることにより、当該部分のＡＣＦ１３ｂを適切に剥離する。
【０１０６】
このＡＣＦ１３ｂを剥離する方法について、図６（ａ）及び（ｂ）を参照し、説明する。
【０１０７】
図６（ｂ）では、送り機構１１が基準位置Ｄ３から位置Ｄ４のところまで移動しながら、圧着後のＡＣＦ１３をＡＣＦ１３ａと、ＡＣＦ１３ｂとに分離していく様子が示されている。この状態から、送り機構１１が圧着部９側に向かってさらに移動してゆくと（矢印ｓ８０）、破線Ｈ１３ａ、Ｈ１３ｂに示すように、ＡＣＦ１３ａがＡＣＦ１３ｂから徐々に剥離されてゆく。
【０１０８】
その後、送り機構１１は、図６（ｃ）に示すように、位置Ｄ４から位置Ｄ１まで移動して停止すると、ＡＣＦ１３ｂは、図６（ａ）及び（ｂ）に示す受け台部９ｂの上端面からの所定高さのＳＰ１００の位置まで引き剥がされ、ＡＣＦ１３ａとＡＣＦ１３ｂとが完全に剥離される。よって、本例に係るＡＣＦ貼付装置１００は、ワーク２１上の所定の位置にＡＣＦ１３ａのみを安定的に貼り付けることができる。
【０１０９】
以上、その後は、ＡＣＦ貼付装置１００は、図３乃至図５に示すように、圧着後のＡＣＦ１３ｂの巻取り、ＡＣＦ１３の送り出し、ＡＣＦ１３の貼り付け、及びＡＣＦ１３の剥離などの作業を繰り返す。これにより、ＡＣＦ貼付装置１００は、一定長さのＡＣＦ１３ａを安定的にワーク２１上に貼り付けることができる。
［変形例］
尚、本発明、パッシブマトリクス型の液晶表示装置だけではなく、アクティブマトリクス型の液晶表示装置（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた液晶表示装置）にも同様に適用することが可能である。また、液晶表示装置だけでなく、エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、フィールド・エミッション・ディスプレイ（電界放出表示装置）などの各種の電気光学装置においても本発明を同様に適用することが可能である。
【０１１０】
以上説明したように、本発明の異方性導電膜の貼付装置によれば、張力調整部により異方性導電膜のテンションが一定に保持されているので、一定長さの異方性導電膜を圧着部へ送り出すことができる。よって、ワーク上に精度良く且つ安定的に異方性導電膜を貼り付けることができる。また、送り機構は、必要に応じて異方性導電膜を固定し又は解放するクランプ部を設けているので、送り機構が圧着部側へ移動することにより不要となった異方性導電膜（セパレータ）を適切に剥離することができる。さらに、クランプ部及び送り機構は上下に移動が可能であるため、必要に応じて上下に移動することにより、供給機構と圧着部との間においてワークの授受を円滑に行うことができる。
【０１１１】
なお、以上の実施形態では、ワーク上に貼り付けるフィルム状媒体の例としてＡＣＦを挙げたが、例えばＮＣＦ（Ｎｏｎ−ＣｏｎｄｕｃｔｉｖｅＦｉｌｍ）などの他の各種フィルム状媒体を貼り付ける装置にも本発明を適用することが可能である。また、ワークの例として液晶パネルを挙げているが、それ以外の例えばエレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、フィールド・エミッション・ディスプレイ（電界放出表示装置）などの各種の電気光学パネルをワークとする場合においても本発明を同様に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＡＣＦ貼付装置の構造を示す。
【図２】ＡＣＦ貼付装置のクランプ部の一態様の構造を示す。
【図３】ＡＣＦ貼付装置によるＡＣＦの送り出し方法などを示す。
【図４】ＡＣＦ貼付装置による不要なＡＣＦの巻取り方法を示す。
【図５】ＡＣＦ貼付装置によるＡＣＦの圧着及び剥離方法を示す。
【図６】ＡＣＦ貼付装置による剥離方法などを示す。
【符号の説明】
１送り出しリール部、２巻取りリール部、３、７張力調整部、４、５、６ローラ部、８、１２、１１ａクランプ部、９圧着部、１１送り機構、２５供給機構、１００ＡＣＦ貼付装置

Claims

少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部と、
前記フィルム状媒体をワーク上に圧着する圧着部と、
前記送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を前記圧着部へ送り出す送り機構と、
前記送り機構による前記フィルム状媒体の送り出し時に一定のテンションを保持する張力調整部と、
前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ部と、
前記圧着部へワークを供給すると共に、圧着後のワークを前記圧着部から取り出す供給機構と、
前記圧着後のフィルム状媒体の一層を巻き取る巻取りリール部と、
を備えることを特徴とするフィルム状媒体の貼付装置。
前記送り機構は、前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ機構と、駆動機構とを備え、前記駆動機構により上下方向及び前記送り出しリール部側と前記巻取りリール部側との間を移動自在に支持されることを特徴とする請求項１に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記クランプ機構は、第１のクランプ機構と、第２のクランプ機構とを備え、
前記送り機構が前記巻き取りリール部側へ移動するときには、前記第１のクランプ機構が前記フィルム状媒体を解放するとともに前記第２のクランプ機構が前記フィルム状媒体を固定し、
前記送り機構が前記送り出しリール部側へ移動するときには、前記第１のクランプ機構が前記フィルム状媒体を固定するとともに前記第２のクランプ機構が前記フィルム状媒体を解放することを特徴とする請求項２に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記送り機構は、前記巻取りリール部側へ移動するときには、所定の長さの前記フィルム状媒体を前記圧着部へ送り出すと共に、
前記送り機構が前記送り出しリール部側へ移動するときには、前記圧着後の前記フィルム状媒体の一層を剥離することを特徴とする請求項３に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記張力調整部は、回動自在に支持される第１の張力調整部と、上下方向に移動可能に支持される第２の張力調整部とを備え、
前記送り機構が前記巻取りリール部側へ移動するときには、前記第１の張力調整部が所定の方向に移動して前記フィルム状媒体のテンションを一定に保持すると共に、前記第２の張力調整部が基準位置から所定の位置まで下降することにより前記送り機構が前記圧着部へ前記フィルム状媒体を送り出すときに生じる前記フィルム状媒体のたるみを消滅させて前記フィルム状媒体のテンションを一定に保持することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記クランプ部は、上下方向に移動可能に支持され、必要に応じて前記フィルム状媒体を吸着して固定する吸着部と、前記フィルム状媒体の送り出し時又は前記圧着後の前記フィルム状媒体の一層の剥離時において前記フィルム状媒体の位置ずれを防止する位置ずれ防止機構と、を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記クランプ部は、前記ワークを前記圧着部へ供給する時又は前記ワークを前記圧着部から取り出す時には、前記フィルム状媒体を吸着しつつ前記送り機構と共に上方へ退避することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記クランプ部は、前記圧着部が前記ワーク上に前記フィルム状媒体を圧着する際には、前記フィルム状媒体を吸着しつつ前記送り機構と共に上方の所定位置から前記フィルム状媒体の上端面近傍まで下降することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
前記位置ずれ防止機構は、凹部状に形成された前記クランプ部の構造であり、前記凹部内を前記フィルム状媒体が移動するときに、その移動方向と直交する方向の前記フィルム状媒体の位置ずれを防止することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のフィルム状媒体の貼付装置。
少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を圧着部へ送り出す送り出し工程と、
前記送り出し工程において、前記フィルム状媒体の一定のテンションを保持する張力調整工程と、
前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ工程と、
前記送り出し工程で送り出された前記フィルム状媒体を、前記圧着部においてワーク上に圧着する圧着工程と、
前記圧着部へワークを供給すると共に、圧着後のワークを前記圧着部から取り出すワーク供給工程と、
前記圧着後のフィルム状媒体の一層を、巻き取りリール部に巻き取る巻取り工程と、
を有することを特徴とするフィルム状媒体の貼付方法。
少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部と、
前記フィルム状媒体を電気光学パネル上に圧着する圧着部と、
前記送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を前記圧着部へ送り出す送り機構と、
前記送り機構による前記フィルム状媒体の送り出し時に一定のテンションを保持する張力調整部と、
前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ部と、
前記圧着部へ電気光学パネルを供給すると共に、圧着後の電気光学パネルを前記圧着部から取り出す供給機構と、
前記圧着後のフィルム状媒体の一層を巻き取る巻取りリール部と、
前記フィルム状媒体を介して、前記電気光学パネルに電子部品を実装して電気光学装置を製造する実装部と、を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
少なくとも２層構造を含むフィルム状媒体が巻回された送り出しリール部から所定の長さの前記フィルム状媒体を圧着部へ送り出す送り出し工程と、
前記送り出し工程において、前記フィルム状媒体の一定のテンションを保持する張力調整工程と、
前記フィルム状媒体を必要に応じて固定又は解放するクランプ工程と、
前記送り出し工程で送り出された前記フィルム状媒体を、前記圧着部において電気光学パネル上に圧着する圧着工程と、
前記圧着部へ電気光学パネルを供給すると共に、圧着後の電気光学パネルを前記圧着部から取り出す供給工程と、
前記圧着後のフィルム状媒体の一層を、巻き取りリール部に巻き取る巻取り工程と、
前記フィルム状媒体を介して、前記電気光学パネルに電子部品を実装して電気光学装置を製作する実装工程と、
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。