JP2007302398A - 接合シート貼付装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】略四角形状の基板における互いに直交する方向沿いの端部に対して、接合シートの貼付動作を行う2つの独立した貼付ユニットを備えさせることで、基板保持ステージにより保持された上記基板を、90度程度回転させるような回動動作を実施することなく、互いに直交するそれぞれの端部に対して接合シートの貼付動作を行う。
【選択図】図1
Description
上記基板を保持する基板保持ステージと、
上記基板保持ステージに保持された上記基板における第1の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を当該基板の端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第1の貼付ユニットと、
上記保持された基板における上記第1の方向と直交する第2の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を、上記第1の貼付ユニットとは独立して当該基板の端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第2の貼付ユニットと、
上記基板保持ステージに保持された上記基板における上記第1の方向沿いの端部と上記第1の貼付ユニットとの位置合わせ、及び上記第2の方向沿いの端部と上記第2の貼付ユニットとの位置合わせを行う位置決め装置とを備えることを特徴とする接合シート貼付装置を提供する。
上記基板保持ステージに保持された上記基板の端部に沿って上記接合シート連続体を供給する接合シート供給装置と、
上記接合シート供給装置により供給される上記接合シート連続体の上方において昇降可能に配置され、その下降により当該供給された接合シートを上記基板の端部に沿って押圧し、上記接合シートのみを貼り付ける貼付ヘッドとを、それぞれ個別に備える第1から第6態様のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置を提供する。
上記保持された状態の上記基板に対して、上記第2の方向沿いの端部に設けられた第2の基準マークの画像を撮像する第2の撮像装置と、
上記第1の撮像装置による上記第1の基準マークの撮像データと、上記第2の撮像装置による上記第2の基準マークの撮像データとにより、上記基板保持ステージによる上記基板の保持姿勢の位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出部とを備える第1から第7態様のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置を提供する。
上記第1及び第2の貼付ユニットにおいて、上記ヘッド移動装置により上記貼付ヘッドを順次移動させて、上記貼付ヘッドにより上記各々の端部の複数箇所に上記接合シートの貼付が行われる第1から第8態様のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置を提供する。
上記基板における第1の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を貼り付ける第1の貼付ユニットにより、上記接合シート連続体を上記基板の上記第1の方向沿いの端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第1の貼付工程と、
上記基板における上記第1の方向と直交する第2の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を上記第1の貼付ヘッドとは独立して貼り付ける第2の貼付ユニットにより、上記接合シート連続体を上記基板の第2の方向沿いの端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第2の貼付工程と、
一方の方向沿いの上記端部を他方の方向沿いに位置させるような上記基板の回動を実質的に伴うことなく、上記第1の貼付ユニットと上記基板の上記第1の方向沿いの端部との上記第1の貼付工程実施のための位置合わせを行う第1の位置合わせ工程と、
上記基板の回動を実質的に伴うことなく、上記第2の貼付ユニットと上記基板の上記第2の方向沿いの端部との上記第2の貼付工程実施のための位置合わせを行う第2の位置合わせ工程とを含むことを特徴とする接合シート貼付方法を提供する。
本発明の第1の実施形態にかかる接合シート貼付装置の一例であるシート貼付装置100の主要な構成を示す模式斜視図を図1に示す。このシート貼付装置100は、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、上記基材層を剥離させて上記接合シートのみを基板に貼り付ける装置であり、具体的には、上記接合シートの一例であるACFシートを基板の一例であるパネル基板(例えばLCD基板)に貼り付ける装置である。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第2の実施形態にかかる接合シート貼付装置の一例であるシート貼付装置200における第1の基板保持ステージ2周辺の主要な装置構成を示す模式斜視図を図20に示す。図20に示すように、本第2実施形態のシート貼付装置200は、上記第1実施形態のシート貼付装置100と比較して、第1及び第2の貼付ユニット204、205の構成が異なっており、その他の構成は実質的に同一である。同一の構成部材には同じ参照番号を付してその説明を省略し、以下にその相違点を主体として説明を行う。
1a X端部
1b Y端部
1c 別のY端部
2 第1の基板保持ステージ
3 第2の基板保持ステージ
4 第1の貼付ユニット
5 第2の貼付ユニット
6 基板搬入装置
6a 搬送アーム
6b アーム移動装置
7 基板搬出装置
7a 搬送アーム
7b アーム移動装置
8 ACFシート連続体
8a ACFシート
8b 基材層
9 制御装置
10、20 貼付ヘッド
11、21 供給リール
12、22 切断装置
13、23 ヘッド昇降装置
14、24 回収部
15、25 可動フレーム
16、26 フレーム移動装置
17、27 ベースフレーム
18、28 基板端部支持台
19、29 ローラ
30 基台
31 フレーム
32 ステージ
33 X軸移動装置
34 Y軸移動装置
35 X端部撮像装置
36 Y端部撮像装置
37 ステージ
100 シート貼付装置
P1 基板搬入位置
P2 第1の基板保持位置
P3 第2の基板保持位置
Claims (12)
- 接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、上記基材層を剥離させて上記接合シートのみを略四角形板状の基板に貼り付ける接合シート貼付装置において、
上記基板を保持する基板保持ステージと、
上記基板保持ステージに保持された上記基板における第1の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を当該基板の端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第1の貼付ユニットと、
上記保持された基板における上記第1の方向と直交する第2の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を、上記第1の貼付ユニットとは独立して当該基板の端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第2の貼付ユニットと、
上記基板保持ステージに保持された上記基板における上記第1の方向沿いの端部と上記第1の貼付ユニットとの位置合わせ、及び上記第2の方向沿いの端部と上記第2の貼付ユニットとの位置合わせを行う位置決め装置とを備えることを特徴とする接合シート貼付装置。 - 上記基板保持ステージは、その表面沿いにおいて上記保持された基板を90度以上回転させるような回動が制限された領域範囲内にて上記基板の保持を行う請求項1に記載の接合シート貼付装置。
- 上記位置決め装置は、上記回動が制限された領域範囲内にて、上記基板保持ステージを上記第1又は第2の方向に移動させることにより上記貼付のための位置決めを行うステージ移動装置である請求項2に記載の接合シート貼付装置。
- 上記ステージ移動装置は、上記保持する基板の上記第1の方向の端部を上記第1の貼付ユニットによる貼付位置に位置させる位置合わせ動作を、上記保持する基板の上記第2の方向の端部を上記第2の貼付ユニットによる貼付位置に位置させる位置合わせ動作と、別個に行う請求項3に記載の接合シート貼付装置。
- 上記ステージ移動装置は、上記保持する基板の上記第1の方向の端部を上記第1の貼付ユニットによる貼付位置に位置させる位置合わせ動作を、上記保持する基板の上記第2の方向の端部を上記第2の貼付ユニットによる貼付位置に位置させる位置合わせ動作と、実質的に同時に行う請求項3に記載の接合シート貼付装置。
- 上記ステージ移動装置により保持された上記基板の上記第1の方向の端部を上記第1の貼付ユニットによる上記貼付位置に位置させると、上記第2の方向の端部が上記第2の貼付ユニットによる上記貼付位置に位置されるように、上記第1及び第2の貼付ユニットが配置されている請求項5に記載の接合シート貼付装置。
- 上記第1及び第2の貼付ユニットは、
上記基板保持ステージに保持された上記基板の端部に沿って上記接合シート連続体を供給する接合シート供給装置と、
上記接合シート供給装置により供給される上記接合シート連続体の上方において昇降可能に配置され、その下降により当該供給された接合シートを上記基板の端部に沿って押圧し、上記接合シートのみを貼り付ける貼付ヘッドとを、それぞれ個別に備える請求項1から6のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置。 - 上記基板保持ステージにより保持された状態の上記基板に対して、上記第1の方向沿いの端部に設けられた第1の基準マークの画像を撮像する第1の撮像装置と、
上記保持された状態の上記基板に対して、上記第2の方向沿いの端部に設けられた第2の基準マークの画像を撮像する第2の撮像装置と、
上記第1の撮像装置による上記第1の基準マークの撮像データと、上記第2の撮像装置による上記第2の基準マークの撮像データとにより、上記基板保持ステージによる上記基板の保持姿勢の位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出部とを備える請求項1から7のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置。 - 上記第1及び第2の貼付ユニットは、上記各々の貼付ヘッドをその貼付対象となる上記基板の端部に沿って移動させるヘッド移動装置をそれぞれ個別にさらに備え、
上記第1及び第2の貼付ユニットにおいて、上記ヘッド移動装置により上記貼付ヘッドを順次移動させて、上記貼付ヘッドにより上記各々の端部の複数箇所に上記接合シートの貼付が行われる請求項1から8のいずれか1つに記載の接合シート貼付装置。 - 上記第1及び第2の貼付ユニットにおいて、一方の上記ヘッド移動装置による上記貼付ヘッドの移動方向が、他方の貼付対象となる上記端部へ近接する方向であり、他方の上記ヘッド移動装置による上記貼付ヘッドの移動方向が、一方の貼付対象となる上記端部より離間する方向となるように、上記それぞれの貼付ヘッドの移動が行われる請求項9に記載の接合シート貼付装置。
- 接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、上記基材層を剥離させて上記接合シートのみを略四角形板状の基板に貼り付ける接合シート貼付方法において、
上記基板における第1の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を貼り付ける第1の貼付ユニットにより、上記接合シート連続体を上記基板の上記第1の方向沿いの端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第1の貼付工程と、
上記基板における上記第1の方向と直交する第2の方向沿いの端部に沿って供給された上記接合シート連続体を上記第1の貼付ヘッドとは独立して貼り付ける第2の貼付ユニットにより、上記接合シート連続体を上記基板の第2の方向沿いの端部に押圧して上記接合シートを貼り付ける第2の貼付工程と、
一方の方向沿いの上記端部を他方の方向沿いに位置させるような上記基板の回動を実質的に伴うことなく、上記第1の貼付ユニットと上記基板の上記第1の方向沿いの端部との上記第1の貼付工程実施のための位置合わせを行う第1の位置合わせ工程と、
上記基板の回動を実質的に伴うことなく、上記第2の貼付ユニットと上記基板の上記第2の方向沿いの端部との上記第2の貼付工程実施のための位置合わせを行う第2の位置合わせ工程とを含むことを特徴とする接合シート貼付方法。 - 上記第1の位置合わせ工程と上記第2の位置合わせ工程とが実質的に同時に行われ、上記第1の貼付工程と上記第2の貼付工程とが実質的に同時に行われる請求項11に記載の接合シート貼付方法。
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