KR20190065134A - 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는 단판의 적층 필름으로부터 커버레이 필름에 휨을 발생시키거나, 흠집을 내거나 하지 않고, 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 것을 가능하게 하는 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치를 제공하는 것이다.
적층 필름(1)의 릴리스 필름(4)측을 적층 필름 흡착 테이블(14)에 흡착하고, 적층 필름(1)을 X(－)방향으로 이동하면서 예비 박리 롤(13)로 커버레이 필름(2)의 단부를 릴리스 필름(4)으로부터 부상시켜 예비 박리 여유부(L)를 형성한 후, 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)측을 흡착 헤드(16)에 흡착하고, 적층 필름 흡착 테이블(14) 및 박리 롤(30)을 X(＋)방향으로 이동시킴으로써 박리 롤(30)을 전동하고, 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 권취하면서 박리하고, 이송 벨트(33)로 이송하고 제거하는 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치(10)이다.

Description

릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치 {RELEASE FILM PEELING METHOD AND RELEASE FILM PEELING APPARATUS}
본 발명은 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치에 관한 것이다.
종래부터, 회로 기판은 구리박 등의 도체 패턴이 형성된 베이스 기판의 도체 패턴 형성면에 열경화성의 접착제층을 갖는 도체 패턴 보호용의 커버레이 필름을 접착하여 사용하는 것이 알려져 있다. 커버레이 필름에는 열경화성의 접착제층 표면에 보호 필름으로서의 릴리스 필름이 적층되어 있고(이것을 적층 필름이라고 칭함), 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리하고, 커버레이 필름은 회로 기판에 가열 압착된다. 접착제층에 적층되어 있는 릴리스 필름의 박리에 있어서는, 커버레이 필름을 뒤로 젖히거나, 흠집을 내거나 하지 않도록 박리하는 것이 요구된다.
단판의 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리하는 방법으로서는, 적층 필름의 코너부에 에어를 분사하여, 코너부의 상층측의 릴리스 필름을 넘겨 올리고, 이 넘겨 올린 릴리스 필름을 유지 수단으로 유지하고, 에어를 분사하면서 코너부의 대각선을 따라 유지 수단을 이동하여 릴리스 필름을 박리하는 것이 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
또한, 기판재(회로 기판)와 보호재(릴리스 필름)가 적층된 적층 판재로부터 보호 필름을 박리하는 박리 방법에 있어서, 하프컷에 의해 보호재를 절단하고, 하프컷에 의한 단편과 함께 기판재를 유지 수단으로 파지하여 보호재를 박리하는 보호재의 박리 방법이 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조).
일본 특허 공개 제2008-37572호 공보 일본 특허 공개 제2015-83504호 공보
그러나, 특허문헌 1에 기재된 박리 방법은, 에어를 적층 필름에 분사하면서 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 넘겨 올려 박리하는 방법이며, 박리 개시 시에 릴리스 필름의 넘겨 올라감 시간에 변동이 생겨 버리는 경우나, 박리 도중에 릴리스 필름 전체가 부상해 버려 다른 곳에 정전기 등으로 붙어 버리는 것 등 박리 공정이나 제거 공정에 지장이 생기는 경우가 있다.
또한, 특허문헌 2에 기재된 박리 방법은, 보호재를 하프컷 하기 위해, 기판재에 흠집을 내버리거나, 보호재가 완전히 절단되지 않거나 한다는 과제가 있다. 또한, 하프컷 시에, 절단 칩이 발생하여 기판재에 부착되어 버리는 것이 고려되어, 하프컷 후의 단편을 기판재로부터 박리 제거해야만 한다는 과제도 있다.
그래서, 본 발명은 이와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이고, 단판의 적층 필름으로부터 커버레이 필름에 휨을 발생시키거나, 흠집을 내거나 하지 않고, 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 것이 가능한 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치를 제공하려고 하는 것이다.
[1] 본 발명의 릴리스 필름 박리 방법은, 열경화성의 접착제층을 갖는 커버레이 필름과 상기 접착제층에 적층된 릴리스 필름으로 구성되는 단판의 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 릴리스 필름 박리 방법이며, 상기 적층 필름의 상기 릴리스 필름측을 적층 필름 흡착 테이블에 진공 흡착하는 공정과, 상기 적층 필름을 한쪽 방향으로 이동하면서 예비 박리 롤로 상기 적층 필름을 상기 커버레이 필름측으로부터 누르면서 상기 예비 박리 롤을 전동시키고, 상기 커버레이 필름의 단부를 상기 릴리스 필름으로부터 부상시켜 예비 박리 여유부를 형성하는 공정과, 상기 적층 필름 흡착 테이블로의 적층 필름의 흡착을 해제하고, 적층 필름의 커버레이 필름의 전체면을 흡착 헤드에 진공 흡착하는 공정과, 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 흡착한 상태에서, 상기 릴리스 필름에 점착성을 갖는 박리 롤을 접촉시키고, 상기 적층 필름 흡착 테이블 및 상기 박리 롤을 타방향으로 이동시킴으로써 상기 박리 롤을 전동하고, 상기 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 권취하면서 박리하고, 제거하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 릴리스 필름 박리 방법에 의하면, 예비 박리 롤을 적층 필름의 커버레이 필름측으로부터 누르면서 전동시킴으로써 예비 박리 여유부를 형성하고, 흡착 헤드에 의해 커버레이 필름의 전체면을 흡착한 후, 릴리스 필름 박리 롤부를 전동시키고 릴리스 필름을 적층 필름으로부터 박리한다. 이와 같이 함으로써, 단판의 적층 필름에 있어서, 커버레이 필름에 휨을 발생시키거나, 흠집을 내거나 하지 않고, 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 것이 가능해진다.
[2] 본 발명의 릴리스 필름 박리 방법에 있어서는, 상기 예비 박리 여유부를 형성하는 공정에서는, 상기 커버레이 필름을 누르면서 상기 예비 박리 롤을 전동시키고 상기 커버레이 필름의 단부를 상기 릴리스 필름으로부터 부상시켜, 상기 접착제층에 공기를 닿게 하는 것이 바람직하다.
열경화성의 접착제층은 표면이 공기에 닿으면, 가열하지 않으면 다시 릴리스 필름이 부착되는 경우가 없는 것을 이용하여 예비 박리 여유부를 형성하는 것이 가능해지고, 이 예비 박리 여유부로부터 박리를 개시하면, 용이하게 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리할 수 있다.
[3] 본 발명의 릴리스 필름 박리 방법에 있어서, 상기 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 진공 흡착하는 공정에서는, 상기 흡착 헤드에 의해 상기 예비 박리 여유부를 포함하는 상기 적층 필름의 전체면을 흡착하는 것이 바람직하다.
흡착 헤드는 예비 박리 여유부를 포함하는 커버레이 필름의 전체면을 흡착하기 때문에, 릴리스 필름을 박리할 때에 커버레이 필름에 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 박리 롤이 커버레이 필름에 직접 접촉하는 경우가 없으므로 커버레이 필름에 흠집을 내버리는 것을 방지할 수 있다.
[4] 본 발명의 릴리스 필름 박리 방법에 있어서는, 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 공정에서는, 상기 박리 롤로 상기 릴리스 필름을 박리하면서 박리된 상기 릴리스 필름을 이송 벨트로 이송하고, 분리판에 의해 상기 박리 롤 및 상기 이송 벨트로부터 상기 릴리스 필름을 분리하고, 제거하는 것이 바람직하다.
릴리스 필름을 박리 롤만으로 박리하면, 릴리스 필름이 박리 롤에 말려들어 버려 박리 롤로부터 릴리스 필름을 제거하는 것이 곤란해진다. 그래서, 박리된 릴리스 필름을 이송 벨트에 의해 이송하면서 분리판으로 박리 롤 및 이송 벨트로부터 분리하면, 릴리스 필름이 박리 롤에 권취되어 버리는 일없이, 릴리스 필름을 커버레이 필름으로부터 박리하고, 제거하는 것이 가능해진다.
[5] 본 발명의 릴리스 필름 박리 장치는, 열경화성의 접착제층을 갖는 커버레이 필름과 상기 접착제층에 적층된 릴리스 필름으로 구성되는 단판의 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 릴리스 필름 박리 장치이며, 상기 적층 필름의 상기 릴리스 필름측을 진공 흡착하면서 일방향으로 왕복 이동 가능한 적층 필름 흡착 테이블과, 상기 커버레이 필름측으로부터 상기 적층 필름을 누르고, 상기 적층 필름 흡착 테이블의 한쪽 방향으로의 이동에 의해 전동하면서 상기 적층 필름의 진행 방향측의 단부에 예비 박리 여유부를 형성하는 예비 박리 롤과, 상기 적층 필름의 상기 커버레이 필름측을 진공 흡착하는 흡착 헤드와, 상기 적층 필름 흡착 테이블과 일체로 되어 이동 가능하고, 상기 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 흡착한 상태에서, 상기 예비 박리 여유부에 있어서 박리 롤이 상기 릴리스 필름에 맞닿고, 상기 적층 필름 흡착 테이블의 타방향으로 이동에 의해 상기 박리 롤이 전동하면서 상기 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하는 릴리스 필름 박리 롤부를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 릴리스 필름 박리 장치에 의하면, 예비 박리 롤을 적층 필름의 커버레이 필름측으로부터 누르면서 전동시킴으로써 릴리스 필름으로부터 커버레이 필름의 단부를 부상시켜 예비 박리 여유부를 형성하고, 흡착 헤드에 의해 커버레이 필름의 전체면을 흡착한 후, 박리 롤이 전동하여 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리한다. 이와 같이 함으로써, 단판의 적층 필름에 있어서, 커버레이 필름에 휨을 발생시키거나, 흠집을 내거나 하지 않고, 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리하는 것이 가능해진다.
[6] 본 발명의 릴리스 필름 박리 장치에 있어서는, 상기 예비 박리 롤은, 상기 적층 필름의 이동 방향에 대하여 직교하는 폭 치수보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖고 있고, 상기 적층 필름을 누르면서 상기 적층 필름 흡착 테이블의 이동에 의해 전동하는 구성인 것이 바람직하다.
이와 같이 구성되는 예비 박리 롤은 점착성을 이용하여 치우침 없이 적층 필름을 누르면서 적층 필름 흡착 테이블에 대하여 상대적으로 이동함으로써 전동하고, 적층 필름 흡착 테이블에 진공 흡착된 릴리스 필름으로부터 커버레이 필름을 부상시켜 예비 박리 여유부를 형성하는 것이 가능해진다.
[7] 본 발명의 릴리스 필름 박리 장치에 있어서는, 상기 릴리스 필름 박리 롤부는, 상기 적층 필름의 폭 치수보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖는 상기 박리 롤과, 상기 박리 롤의 하방측에, 상기 적층 필름 흡착 테이블로부터 상기 박리 롤보다도 이격된 위치에 배치되는 종동 롤과, 상기 박리 롤과 상기 종동 롤을 연결하고 박리된 상기 릴리스 필름을 이송하는 이송 벨트를 갖고, 상기 박리 롤 및 상기 종동 롤에는 복수의 홈이 형성되어 있고, 복수의 상기 홈 각각에 상기 이송 벨트가 장착되고, 상기 이송 벨트가 상기 박리 롤의 외주 표면의 내측에 들어가도록 장착되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성되는 릴리스 필름 박리 롤부는, 점착성을 갖는 박리 롤에 의해 릴리스 필름의 폭 전체에 걸쳐서 거의 균등하게 권취하도록 박리해 가고, 박리된 릴리스 필름은 이송 벨트에 의해 하방으로 이송된다. 따라서, 박리된 릴리스 필름은 박리 롤에 권취하는 일없이 이송 벨트에 의해 박리 롤로부터 분리하여 이송하는 것이 가능해진다.
[8] 본 발명의 릴리스 필름 박리 장치에 있어서는, 상기 릴리스 필름 박리 롤부는, 상기 박리 롤과 상기 종동 롤 사이에 있어서 상기 이송 벨트와 교차하고, 그 교차부로부터 상기 종동 롤측이 상기 이송 벨트의 외측으로 돌출되도록 배치되는 분리판을 갖고 있는 것이 바람직하다.
박리 롤에 의해 박리되고 있는 릴리스 필름은, 이송 벨트에 의해 하방측(박리 롤로부터 이격되는 방향)으로 이송되고, 분리판에 의해 이송 벨트로부터 분리되어, 제거하는 것이 가능해진다.
[9] 본 발명의 릴리스 필름 박리 장치에 있어서는, 상기 흡착 헤드는, 상기 릴리스 필름이 박리된 상기 커버레이 필름을 흡착한 상태에서, 상기 커버레이 필름을 접착하는 회로 기판의 배치 위치까지 이동하고, 상기 회로 기판의 소정 위치에 상기 커버레이 필름을 가열 압착하는 기능을 갖고 있는 것이 바람직하다.
이와 같은 구성으로 함으로써, 적층 필름으로부터 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 박리 기능과, 커버레이 필름을 회로 기판에 가열 압착하는 접착 기능을 겸비하는 릴리스 필름 박리 장치를 실현하는 것이 가능해진다.
도 1은 적층 필름(1)의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 2는 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 장치(10)의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 3은 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 구성을 도시하는 도면이다.
도 4는 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)과 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 Y(＋) 방향에서 본 도면이다.
도 5는 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 방법을 도시하는 공정 흐름도이다.
도 6은 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 방법의 주요 공정을 간략화하여 도시하는 공정 설명도이다.
도 7은 릴리스 필름(4)의 박리·제거 공정을 확대하여 도시하는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치(1)에 대하여, 도 1 내지 도 7을 참조하면서 설명한다.
[적층 필름(1)의 구성]
도 1은 적층 필름(1)의 구성을 도시하는 단면도이다. 적층 필름(1)은 평면 형상이 사각형인 단판(매엽 또는 스트립이라고 불리는 경우가 있음)이고, 열경화성의 접착제층(3)을 갖는 커버레이 필름(2)과, 접착제층(3)에 릴리스 필름(4)이 적층된 구성이다. 커버레이 필름(2)은 도전 패턴이 형성된 플렉시블 배선 기판 등의 표면 보호용 필름이고, 폴리이미드 수지, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트) 수지 등의 필름이다. 릴리스 필름(4)은 PET 수지 등으로 이루어지고, 접착제층(3)의 표면을 보호하기 위한 필름이다. 접착제층(3)과 릴리스 필름(4)은 층 사이의 공기를 배제하고 밀접시킨 적층 상태이고, 접착제층(3)이 열경화성이기 때문에, 접착제층(3)이 상온에서 공기에 닿으면 분리된 상태가 되고, 릴리스 필름(4)을 접착제층(3), 즉, 커버레이 필름(2)으로부터 박리할 수 있도록 구성되어 있다.
[릴리스 필름 박리 장치(10)의 구성]
도 2는 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 장치(10)의 구성을 도시하는 사시도이다. 또한, 이후에 설명하는 도면에 있어서는, 도 2의 도시 좌우 방향을 X로 나타내고, 우측 방향을 X(＋), 좌측 방향을 X(－)라고 하고, 도시 깊이 방향을 Y로 나타내고, 안측을 Y(－), 전방측을 Y(＋)라고 하고, X-Y 평면에 직교하는 방향을 Z로 나타내고, 상측을 Z(＋), 또는 상방, 하측을 Z(－) 또는 하방이라고 하여 설명한다. 릴리스 필름 박리 장치(10)는 적층 필름(1)을 릴리스 필름(4)(도 1 참조)측에서 진공 흡착하는 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)과, 적층 필름(1)을 커버레이 필름(2)(도 1 참조)측에서 진공 흡착하는 흡착 헤드 유닛(12)과, 적층 필름(1)을 커버레이 필름측으로부터 적층 필름 흡착 테이블(14)로 누르는 예비 박리 롤(13)을 갖고 있다. 도 2에 도시하는 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11), 흡착 헤드 유닛(12) 및 적층 필름(1)은 가동 시의 일 상태의 배치를 도시하는 도면이다. 예비 박리 롤(13)의 재질은, 예를 들어 폴리올레핀계 고무 등의 점착성을 갖는 것이고, 외주 표면에 점착층을 형성하도록 해도 된다.
적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)은 적층 필름 흡착 테이블(14)과, 적층 필름 흡착 테이블(14)의 X(－)방향 단부에 설치되는 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 갖고 있다. 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)은 X방향으로 왕복 이동 가능하고, 예비 박리 롤(13)의 하방을 X(－)방향으로 통과할 때에, 릴리스 필름(4)의 예비 박리를 행하고, 흡착 헤드 유닛(12)의 하방을 X(＋)방향으로 이동할 때에, 릴리스 필름 박리 롤(15)에 의해 릴리스 필름(4)을 커버레이 필름(2)으로부터 박리하고, 제거하도록 동작한다. 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 상세한 구성은 도 3, 도 4를 참조하여, 릴리스 필름(4)의 박리 방법은 도 5, 도 6, 도 7을 참조하여 후술한다.
흡착 헤드 유닛(12)은 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 상방[Z(＋)측]에 배치되어 있고, 적층 필름 흡착 테이블(14)에 대면하는 흡착 헤드(16)와, 흡착 헤드(16)를 Z방향으로 왕복 이동시키는 Z축 구동부(17)와, 흡착 헤드(16)를 Y방향으로 왕복 이동시키는 Y축 구동부(18)를 갖고 있다. Z축 구동부(17) 및 Y축 구동부(18)는 서보 모터와 볼 나사 기구(도시는 생략)로 고정밀도로 구동한다. 흡착 헤드 유닛(12)은 흡착 헤드(16)를 수평 방향으로 회전하는 θ축 구동(19)을 갖고, θ축 구동(19)은 흡착한 커버레이 필름(2)의 자세(X축 또는 Y축에 대한 각도)를 보정한다. 흡착 헤드(16)에는 적층 필름(1)을 진공 흡착하기 위한 흡착 구멍(도시하지 않음)이 다수 형성되어 있다.
릴리스 필름 박리 장치(10)의 X(＋)방향에는 커버레이 필름(2)의 접착 대상인 도시하지 않은 회로 기판(예를 들어, 플렉시블 배선 기판)을 진공 흡착하는 기판 흡착 테이블(20)과, 기판 흡착 테이블(20)에 회로 기판을 재료 공급하고, 또한 적층 필름(1)을 적층 필름 흡착 테이블(14)에 재료 공급하는 재료 공급 유닛(21)이 배치되어 있다. 재료 공급 유닛(21)은 Y축 방향 및 Z축 방향으로 각각 왕복 이동 가능하다. 기판 흡착 테이블(20)은 가이드 레일(22)을 따라 X(－)방향으로 흡착 헤드(16)의 하방까지 이동하고, 회로 기판의 도체 패턴 형성면에 커버레이 필름(2)을 가열 압착한다. 커버레이 필름(2)이 접착된 회로 기판은 가이드 레일(22)을 따라 X(＋)방향으로 이동하고, 압착 롤(23)에 의해 압착되어, 기판 재료 공급 위치까지 복귀되고 재료 제거된다.
[적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 구성]
도 3은 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 구성을 도시하는 도면이고, 도 3의 (a)는 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)의 전체 구성을 도시하는 사시도, 도 3의 (b)는 도 3의 (a)에 도시하는 점선 B로 둘러싸인 흡착 구멍 형성 영역(24)의 일부를 확대하여 도시하는 도면이다. 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)은 다수의 흡착 구멍(25)이 배열된 흡착 구멍 형성 영역(24)을 갖는 적층 필름 흡착 테이블(14)과, 적층 필름 흡착 테이블(14)을 적재하여 유지하는 테이블 베이스부(26)와, 적층 필름 흡착 테이블(14)의 X(－)방향 단부에 설치되는 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 갖고 있다.
릴리스 필름 박리 롤부(15)는 적층 필름(1)의 폭(Y방향의 치수)보다도 길고, 표면에 점착성을 갖는 박리 롤(30)과, 박리 롤(30)로부터 하방측으로 이격된 위치에 배치되는 종동 롤(31)로 구성되어 있다. 종동 롤(31)은 박리 롤(30)과 동일한 길이를 갖고 있다. 박리 롤(30) 및 종동 롤(31)은 양단부가 지지판(32)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 지지판(32)은 테이블 베이스부(26)의 Y방향 양단에 고정된다. 박리 롤(30)의 재질로서는, 예를 들어 폴리올레핀계 고무 등이고, 외주 표면에 점착층을 형성하도록 해도 된다. 박리 롤(30)과 종동 롤(31)은 단면이 원형인 이송 벨트(33)로 연결된다. 이송 벨트(33)는 박리 롤(30) 및 종동 롤(31) 각각에 형성된 홈(34, 35)에 장착된다. 박리 롤(30)과 종동 롤(31) 사이에는 분리판(36)이 배치되어 있다. 박리 롤(30), 종동 롤(31) 및 이송 벨트(33)의 연결 관계는 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다.
도 4는 적층 필름 흡착 테이블 유닛(11)과 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 Y(＋)방향에서 본 도면이고, 도 4의 (a)는 도 3에 도시하는 절단선 A-A로 절단한 절단면을 도시하는 단면도, 도 4의 (b)는 릴리스 필름 박리 롤부(15)[도 4의 (a)에 있어서 점선 C로 둘러싸인 부분]를 확대하여 도시하는 도면이다. 적층 필름 흡착 테이블(14)에는, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같은 흡착 구멍(25)이 다수 형성되어 있고, 흡착 구멍(25)은 부압실(27)에 연통하고 있다. 부압실(27)은 니플(28)을 통해 도시하지 않은 진공 펌프에 접속되어 있고, 진공 펌프를 구동함으로써, 흡착 구멍(25)으로부터 공기를 흡인하여 적층 필름(1)을 릴리스 필름(4)측에서 진공 흡착한다. 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 박리 롤(30)의 외주 상면은 적층 필름 흡착 테이블(14)보다도 높은 [Z(＋)방향] 위치가 되도록 배치되고, 종동 롤(31)은 박리 롤(30)보다도 하방측, 또한 X(－)방향으로 이격된 위치에 배치되어 있다. 박리 롤(30)과 종동 롤(31)의 축심을 연결한 직선(도면 중, 이점 쇄선으로 나타냄)은 적층 필름 흡착 테이블(14)의 표면에 대하여 각도 θ만큼 경사져 있다.
도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 박리 롤(30) 및 종동 롤(31)의 각각에는 홈(34, 35)이 형성되어 있다. 이들의 홈(34, 35)에 이송 벨트(33)가 장착된다. 홈(34, 35)은 Y방향으로 복수 형성되어 있다[도 3의 (a) 참조]. 도 3의 (a)에 도시하는 예에 있어서는, 이송 벨트(33)는 10개 구비되어 있지만, 박리된 릴리스 필름(4)이 이송 벨트(33) 사이에 늘어지지 않도록 균등하게 배치되면 되고, 10개에 한정되지 않는다. 박리 롤(30)에 형성되는 홈(34)은 이송 벨트(33)가 박리 롤(30)의 외주면으로부터 돌출되지 않는 깊이를 갖고 있다. 종동 롤(31)에 형성되는 홈(35)에 있어서는, 이송 벨트(33)가 종동 롤(31)의 외주면으로부터 약간 돌출되는 깊이로 되어 있지만, 돌출되지 않는 깊이로 해도 된다. 박리 롤(30)은 적층 필름(1)이 진공 흡착된 흡착 헤드(16)에 대하여 적층 필름 흡착 테이블(14)이 X(＋)방향으로 이동하는 것에 수반하여, 적층 필름(30)과의 마찰에 의해 전동한다. 이송 벨트(33)는 박리 롤(30)의 전동(회전)에 의해 종동 롤(31)과의 사이에서 회전 작동하고, 박리된 릴리스 필름(4)을 하방측으로 이송한다.
릴리스 필름(4)의 상세한 박리 방법에 대해서는 후술하지만, 박리 롤(30)에 의해 박리된 릴리스 필름(4)은 이송 벨트(33)에 의해 하방으로 이송된다. 릴리스 필름 박리 롤부(15)에는 박리된 릴리스 필름(4)을 분리, 제거하기 위한 분리판(36)이 설치되어 있다. 도 3, 도 4에 도시한 바와 같이, 분리판(36)은 Y방향으로 연장되는 판상의 분리부(37)와, 분리부(37)의 양단부에 설치되는 고정부(38)로 구성되어 있다.
분리판(36)은 고정부(38)에 의해 지지판(32)에 고정된다[도 3의 (a)도 참조함]. 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이, 분리부(37)는 적층 필름 흡착 테이블(14)로부터 외측으로 이격된 방향의 상방측 단부가 외측의 이송 벨트(33)[이송 벨트(33A)라고 기재함]에 교차하고, 하방측이 이송 벨트(33A)보다도 외측[적층 필름 흡착 테이블(14)로부터 이격되는 방향]으로 돌출되도록 경사져 있다. 박리 롤(30)은, 도 4의 (b)에 있어서 실선의 화살표로 나타내는 방향으로 전동하고, 이송 벨트(33)를 동일한 방향으로 보낸다. 이때, 이송 벨트(33)는, 도 3의 (a), 도 4의 (b)에 도시한 바와 같이 분리부(37)에 형성된 홈(39)의 상방측으로부터 들어가고, 하방측의 분리부(37)의 이면측으로 빠져 종동 롤(31)에 도달한다. 이와 같이 함으로써, 박리 롤(30)에 의해 박리된 릴리스 필름(4)은 이송 벨트(33)에 의해 하방측으로 이송되고, 분리판(36)에 의해 박리 롤(30) 및 이송 벨트(33)로부터 분리·제거된다. 계속해서, 릴리스 필름의 박리 방법에 대하여 도 5, 도 6, 도 7을 참조하여 상세하게 설명한다.
[릴리스 필름 박리 방법]
도 5는 실시 형태에 관한 릴리스 필름 박리 방법을 도시하는 공정 흐름도이고, 도 6은 릴리스 필름 박리 방법의 주요 공정을 간략화하여 나타내는 공정 설명도, 도 7은 릴리스 필름(4)의 박리·제거 공정을 도시하는 확대도이다. 도 5의 공정 흐름도에 따라, 도 6, 도 7을 참조하면서 설명한다. 먼저, 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이, 적층 필름(1)을 적층 필름 흡착 테이블(14) 상에 재료 공급하고, 릴리스 필름(4)측을 진공 흡착한다(스텝 S1). 적층 필름(1)의 적층 필름 흡착 테이블(14)로의 재료 공급은 재료 공급 유닛(21)(도 2 참조)에서 행해진다. 이 단계에 있어서는, 예비 박리 롤(13) 및 흡착 헤드(16)는 적층 필름(1) 및 예비 박리 롤부(15)로부터 상방의 이격된 소정 위치에 대기하고 있다.
적층 필름(1)을 적층 필름 흡착 테이블(14)에 진공 흡착한 후, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이, 적층 필름 흡착 테이블(14)을 X(－)방향으로 이동시키고(스텝 S2), 적층 필름(1)의 X(－)측 단부가 예비 박리 롤(13)의 하방에 이르기 직전에, 예비 박리 롤(13)을 적층 필름(1)에 맞닿음 가능한 위치까지 강하시킨다(스텝 S3). 또한, 도 6의 (c)에 도시한 바와 같이, 적층 필름 흡착 테이블(14)을 X(－)방향으로 이동시키면, 적층 필름(1)은 예비 박리 롤(13)을 통과할 때에 압박되고, 접착제층(3)을 포함하는 커버레이 필름(2)의 선단부만이 커버레이 필름(2)으로부터 부상한다. 커버레이 필름(2)의 선단부를 부상시키는 것을 예비 박리라고 한다.
예비 박리의 모습을 확대하여 도 6의 (d)에 도시한다. 커버레이 필름(2)과 접착제층(3)은 용이하게 박리할 수 없는 고착력을 갖고 있고, 릴리스 필름(4)과 접착제층은 밀착은 하고 있지만 고착은 하고 있지 않으므로, 예비 박리 롤(13)에 의해 눌리면, 릴리스 필름(4)은 적층 필름 흡착 테이블(14)에 진공 흡착되어 있는 점에서 커버레이 필름(2)측이 릴리스 필름(4)으로부터 순간적으로 부상하고, 접착제층(3)이 공기에 닿는다. 접착제층(13)은 열경화성이기 때문에 한번 공기에 닿으면 릴리스 필름(4)을 다시 압박해도 고착하는 일없이 용이하게 박리할 수 있게 된다. 이 때의 부상 범위를 예비 박리 여유부(L)라고 하고, 예비 박리 롤(13)에 의한 릴리스 필름(4)을 부상시키는 공정을 예비 박리 여유부 형성 공정이라고 한다(스텝 S4). 예비 박리 롤(13)의 누르는 힘은, 적층 필름(1)이 이동하는 동안에 거의 균일하게 적층 필름(1)에 접촉할 정도이면 되고, 커버레이 필름(2)을 적극적으로 휘어 올라가게 할 필요는 없다. 예비 박리 여유부(L)보다 X(＋)측에는 릴리스 필름(4)의 부상은 없다. 예비 박리 롤(13)은 적층 필름(1)에 맞닿은 상태에서 적층 필름(1)이 X(－)방향으로 이동함으로써 커버레이 필름(2)과의 마찰력으로 전동하도록 되어 있다.
적층 필름(1)이 예비 박리 롤(13)의 하방을 통과한 후, 도 6의 (e)에 도시한 바와 같이, 예비 박리 롤(13)을 대기 위치[적층 필름(1)으로부터 이격된 위치]까지 상승시키고(스텝 S5), 적층 필름 흡착 테이블(14)을 정지하고(스텝 S6), 흡착 헤드(16)를 적층 필름(1)에 맞닿을 때까지 강하시키고(스텝 S7), 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)측을 진공 흡착한다(스텝 S8). 적층 필름(1)을 진공 흡착한 후, 적층 필름 흡착 테이블(14)에 의한 적층 필름(1)의 흡착을 해제한다(스텝 S9). 이어서, 도 6의 (f)에 도시한 바와 같이, 적층 필름(1)을 흡착한 흡착 헤드(16)를, 박리 롤(30)의 상면에 맞닿음 가능한 높이 위치[릴리스 필름(4)의 박리 가능 위치]까지 상승시킨다(스텝 S10).
계속해서, 도 6의 (g)에 도시한 바와 같이, 적층 필름 흡착 테이블(14)을 X(＋)방향으로 이동시키고(스텝 S11), 박리 롤(30)이 릴리스 필름(4)에 접촉했을 때부터 적층 필름 흡착 테이블(14)[커버레이 필름(2)]의 이동에 의해 박리 롤(30)이 전동을 개시하고, 박리 롤(30)의 점착성을 이용하여 릴리스 필름(4)의 박리를 개시한다(스텝 S12). 또한, 적층 필름 흡착 테이블(14)[커버레이 필름(2)]을 X(＋)방향으로 이동시킴으로써, 릴리스 필름(4)을 커버레이 필름(2)으로부터 박리하고, 제거한다(스텝 S13). 릴리스 필름(4)의 제거에 대해서는, 도 7을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 박리 롤(30)은 적층 필름 흡착 테이블(14)의 X(＋)방향으로의 이동에 의해 전동하고, 표면의 점착성을 이용하여 릴리스 필름(4)을 권취하도록 하여 박리한다. 이때, 박리 롤(30)만의 구성인 경우에는, 박리 롤(30)이 릴리스 필름(4)을 말려들게 해 버리지만, 이송 벨트(33)에 의해, 박리 롤(30)이 릴리스 필름(4)을 말려들게 하는 일 없이 하방측으로 박리된 릴리스 필름(4)을 이송한다(이동 방향을 점선으로 나타냄). 릴리스 필름(4)의 이송 도중에는 분리판(36)이 배치되어 있기 때문에, 릴리스 필름(4)을 분리부(37)에 의해 박리 롤(30) 및 이송 벨트(33)로부터 분리하고, 제거하는 것이 가능하게 되어 있다. 박리 롤(30)은 릴리스 필름(4)과의 마찰에 의해 전동하기 때문에 정전기는 발생하기 어렵다. 릴리스 필름(4)의 박리·제거 공정(스텝 S13)이 종료 후, 적층 필름 흡착 테이블(14)은 다음의 적층 필름(1)이 재료 공급되는 초기 위치로 복귀한다.
릴리스 필름(4)의 박리·제거 공정(스텝 S13)이 종료 후의 흡착 헤드(16)의 동작에 대하여 도 2를 참조하여 설명한다. 흡착 헤드 유닛(12)은 릴리스 필름(4)이 박리된 커버레이 필름(2)을 흡착 헤드(16)가 흡착한 상태에서, 커버레이 필름(2)의 접착 대상인 회로 기판(도시하지 않음)의 접착 위치까지 Y(－)방향으로 이동하고, 커버레이 필름(2)을 회로 기판에 가열 압착한다. 회로 기판은 기판 흡착 테이블(20)에 진공 흡착된 상태에서, 가이드 레일(22)을 따라 흡착 헤드(16)의 하방으로 이동하고 접착 위치에 정지하고 있다. 따라서, 릴리스 필름 박리 장치(10)는 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리·제거하는 기능과, 커버레이 필름(2)을 기판에 접착하는 기능을 갖는 장치이다. 커버레이 필름(2)이 접착된 회로 기판은 재료 제거 위치로 복귀될 때에 압착 롤(23)에 의해 더욱 압착된다.
이상 설명한 릴리스 필름 박리 방법은 열경화성의 접착제층(3)을 갖는 커버레이 필름(2)과 접착제층(3)에 적층된 릴리스 필름(4)으로 구성되는 단판의 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하고, 제거하는 릴리스 필름 박리 방법이며, 적층 필름(1)의 릴리스 필름(4)측을 적층 필름 흡착 테이블(14)에 진공 흡착하는 공정과, 적층 필름(1)을 한쪽 방향[X(－)방향]으로 이동하면서 예비 박리 롤(13)로 적층 필름(1)을 커버레이 필름(2)측으로부터 누르면서 상기 손가락 박리 롤을 전동시키고, 커버레이 필름(2)의 단부를 릴리스 필름(4)으로부터 부상시켜 예비 박리 여유부(L)를 형성하는 공정과, 적층 필름 흡착 테이블(14)로의 적층 필름(1)의 흡착을 해제하고, 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)의 전체면을 흡착 헤드(16)에 진공 흡착하는 공정과, 흡착 헤드(16)가 적층 필름(1)을 흡착한 상태에서, 릴리스 필름(4)에 점착성을 갖는 박리 롤(30)을 접촉시키고, 적층 필름 흡착 테이블(14) 및 박리 롤(30)을 타방향[X(＋) 방향]으로 이동시킴으로써 박리 롤(30)을 전동하고, 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 권취하면서 박리하고, 제거하는 공정을 포함하고 있다.
이와 같은 릴리스 필름 박리 방법에 의하면, 예비 박리 롤(13)을 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)측으로부터 누르면서 전동시킴으로써 예비 박리 여유부(L)를 형성하고, 흡착 헤드(16)에 의해 커버레이 필름(2)의 전체면을 흡착한 후, 박리 롤(30)을 전동시켜 릴리스 필름(2)을 적층 필름(1)으로부터 박리한다. 이와 같이 함으로써, 단판의 적층 필름(1)에 있어서, 커버레이 필름(2)에 휨을 발생시키거나, 흠집을 내거나 하지 않고, 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하고, 제거하는 것이 가능해진다.
예비 박리 여유부(L)를 형성하는 공정(스텝 S4)에서는, 커버레이 필름(2)을 누르면서 예비 박리 롤(13)을 전동시키고 커버레이 필름(2)의 단부를 릴리스 필름(4)으로부터 부상시켜, 접착제층(3)에 공기를 닿게 한다.
열경화성의 접착제층(3)은 표면이 공기에 닿으면, 가열하지 않으면 다시 릴리스 필름이 부착되는 일이 없는 것을 이용하여 예비 박리 여유부(L)를 형성하는 것이 가능해지고, 이 예비 박리 여유부(L)로부터 박리를 개시하면, 용이하게 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리할 수 있다.
흡착 헤드(16)가 적층 필름(1)을 진공 흡착하는 공정에서는, 흡착 헤드(16)에 의해 예비 박리 여유부(L)를 포함하는 적층 필름(1)의 전체면을 흡착한다. 이와 같이 함으로써, 릴리스 필름(4)을 박리할 때에 커버레이 필름(2)에 휨이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 박리 롤(30)이 커버레이 필름(2)에 접촉하는 일이 없으므로 커버레이 필름(2)에 흠집을 내 버리는 것을 방지할 수 있다.
릴리스 필름(4)을 박리하고, 제거하는 공정에서는, 박리 롤(30)로 릴리스 필름(4)을 박리하면서 박리된 릴리스 필름(4)을 이송 벨트(33)로 이송하고, 분리판(36)에 의해 박리 롤(30) 및 이송 벨트(33)로부터 릴리스 필름(4)을 분리하고, 제거한다.
릴리스 필름(4)을 박리 롤(30)만으로 박리하면, 릴리스 필름(4)이 박리 롤(30)에 말려들어 버려 제거하는 것이 곤란해진다. 그래서, 박리 롤(30)에 의해 박리된 릴리스 필름(4)을 이송 벨트(33)로 이송하면서 분리판(36)으로 박리 롤(30) 및 이송 벨트(33)로부터 분리하면, 릴리스 필름(4)이 박리 롤(30)에 권취해 버리는 일이 없고, 커버레이 필름(2)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하고, 제거하는 것이 가능해진다.
릴리스 필름 박리 장치(10)는 적층 필름(1)의 릴리스 필름(4)측을 진공 흡착하면서 일방향(X방향)으로 왕복 이동 가능한 적층 필름 흡착 테이블(14)과, 커버레이 필름(4)측으로부터 적층 필름(1)을 누르고, 적층 필름 흡착 테이블(14)의 한쪽 방향[X(－)방향]으로의 이동에 의해 전동하면서 적층 필름(1)의 진행 방향측의 단부에 예비 박리 여유부(L)를 형성하는 예비 박리 롤(13)과, 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)측을 진공 흡착하는 흡착 헤드(16)와, 적층 필름 흡착 테이블(14)과 일체가 되어 이동 가능하고, 흡착 헤드(16)가 적층 필름(1)을 흡착한 상태에서, 예비 박리 여유부(L)에 있어서 박리 롤(30)이 릴리스 필름(4)에 맞닿고, 적층 필름 흡착 테이블(14)의 타방향[X(＋)방향]으로의 이동에 의해 박리 롤(30)이 전동하면서 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하는 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 갖고 있다.
이상 설명한 릴리스 필름 박리 장치(10)에 의하면, 예비 박리 롤(13)을 적층 필름(1)의 커버레이 필름(2)측으로부터 누르면서 전동시킴으로써 릴리스 필름(4)으로부터 커버레이 필름(2)의 단부를 부상시켜 예비 박리 여유부(L)를 형성하고, 흡착 헤드(16)에 의해 커버레이 필름(2)의 전체면을 흡착한 후, 박리 롤(16)이 전동하여 릴리스 필름(4)을 권취하도록 하여 적층 필름으로부터 박리된다. 이와 같이 함으로써, 단판의 적층 필름(1)에 있어서, 커버레이 필름(2)에 휨이 발생하는 일이 없다. 또한, 커버레이 필름(2)에 릴리스 필름 박리 롤부가 접촉하지 않으므로 흠집을 내는 일 없이, 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하는 것이 가능해진다.
예비 박리 롤(13)은 적층 필름(1)의 이동 방향에 대하여 직교하는 폭 치수(Y 방향 치수)보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖고 있고, 적층 필름(1)을 누르면서 적층 필름 흡착 테이블(14)의 이동에 의해 전동하는 구성이다. 이와 같이 구성되는 예비 박리 롤(13)은 점착성을 이용하여 치우침 없이 적층 필름(1)을 누르면서 상대적으로 이동함으로써 전동하고, 적층 필름 흡착 테이블(14)에 흡착된 릴리스 필름(4)으로부터 커버레이 필름(2)을 부상시켜 예비 박리 여유부(L)를 형성하는 것이 가능해진다.
릴리스 필름 박리 롤부(15)는 적층 필름(1)의 폭 치수보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖는 박리 롤(30)과, 박리 롤(30)의 하방측에, 적층 필름 흡착 테이블(14)로부터 박리 롤(30)보다도 이격된 위치에 배치되는 종동 롤(31)과, 박리 롤(30)과 종동 롤(31)을 연결하고 박리된 릴리스 필름(4)을 이송하는 이송 벨트(33)로 구성되고, 박리 롤(30) 및 종동 롤(31)에는 복수의 홈(34, 35)이 형성되어 있고, 복수의 홈 각각에 이송 벨트(33)가 장착되고, 이송 벨트(33)가 박리 롤(30)의 외주 표면의 내측에 들어가도록 장착되어 있다.
이와 같이 구성되는 릴리스 필름 박리 롤부(15)는 점착성을 갖는 박리 롤(30)에 의해 릴리스 필름(4)의 폭 전체에 걸쳐서 거의 균등하게 권취하도록 박리해도 되고, 박리된 릴리스 필름은 이송 벨트(33)에 의해 하방으로 이송된다. 따라서, 박리된 릴리스 필름(4)은 박리 롤(30)에 권취하는 일 없이 이송 벨트(33)에 의해 박리 롤(30)로부터 분리하여 이송하는 것이 가능해진다.
또한, 릴리스 필름 박리 롤부(15)는 박리 롤(30)과 종동 롤(31) 사이에 있어서 이송 벨트(33)와 교차하고, 그 교차부로부터 종동 롤(31)측이 이송 벨트(33)의 외측으로 돌출되도록 배치되는 분리판(36)을 갖고 있다. 박리 롤(30)에 의해 박리되고 있는 릴리스 필름(4)은 이송 벨트(33)에 의해 하방측[박리 롤(30)로부터 이격되는 방향]으로 이송되고, 분리판(36)에 의해 이송 벨트(33)로부터 분리되고, 제거하는 것이 가능해진다.
또한, 흡착 헤드(16)는 릴리스 필름(4)이 박리된 커버레이 필름(2)을 흡착한 상태에서, 커버레이 필름(2)을 접착하는 회로 기판(도시하지 않음)의 배치 위치까지 이동하고, 회로 기판의 소정 위치에 커버레이 필름(2)을 가열 압착하는 기능을 갖고 있는 것이 바람직하다. 이와 같은 구성으로 함으로써, 적층 필름(14)으로부터 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 박리 기능과, 커버레이 필름(2)을 회로 기판에 가열 압착하는 접착 기능을 겸비하는 릴리스 필름 박리 장치(10)를 실현하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명은 전술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서의 변형, 개량 등은 본 발명에 포함되는 것이다.
전술한 실시 형태에서는, 1매의 단판의 적층 필름(1)으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하고, 제거하는 예를 설명했지만, 박리 대상의 적층 필름의 수를 1매로 한정하지 않고 더 늘리는 것이 가능하다. 예를 들어, 적층 필름 흡착 테이블(14)에, 적층 필름을 Y방향, 또는 X방향, 또는 Y방향 및 X방향으로 복수매씩 배열하고, 각각으로부터 릴리스 필름을 박리하도록 해도 된다. 이와 같은 경우에는, 적층 필름의 배열에 맞추어 기판 흡착 테이블(20)에 회로 기판을 배열해 두고, 릴리스 필름이 박리된 커버레이 필름을 접착하면 된다.
또한, 전술한 실시 형태에서는, 적층 필름(1)은 단판으로 형성한 것으로부터 릴리스 필름(4)을 박리하고 있지만, 예를 들어 롤에 권회된 긴 적층 필름을, 적층 필름 흡착 테이블(14)에 재료 공급하기 직전에 있어서, 단판의 적층 필름으로 절단하여 재료 공급하도록 해도 된다.
또한, 전술한 실시 형태에서는, 릴리스 필름 박리 롤부(15)는 적층 필름 흡착 테이블과 일체로 X방향으로 이동 가능하게 되어 있지만, 흡착 헤드(16)가 적층 필름(1)을 흡착한 후에, 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 적층 필름 흡착 테이블에 대하여 독립하여 이동 가능한 구성으로 해도 된다. 이와 같은 경우에는, 흡착 헤드(16)가 적층 필름(1)을 흡착한 후에, 적층 필름 흡착 테이블을 초기 위치로 이동하고, 그 후, 릴리스 필름 박리 롤부(15)를 이동하면, 전술한 실시 형태와 동일한 방법으로 릴리스 필름(4)을 박리, 제거하는 것이 가능해진다.
1 : 적층 필름
2 : 커버레이 필름
3 : 접착제층
4 : 릴리스 필름
10 : 릴리스 필름 박리 장치
11 : 적층 필름 흡착 테이블 유닛
13 : 예비 박리 롤
14 : 적층 필름 흡착 테이블
15 : 릴리스 필름 박리 롤부
16 : 흡착 헤드
30 : 박리 롤
31 : 종동 롤
33 : 이송 벨트
34, 35 : 홈
36 : 분리판
L : 예비 박리 여유부

Claims (9)

  1. 열경화성의 접착제층을 갖는 커버레이 필름과 상기 접착제층에 적층된 릴리스 필름으로 구성되는 단판의 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 릴리스 필름 박리 방법이며,
    상기 적층 필름의 상기 릴리스 필름측을 적층 필름 흡착 테이블에 진공 흡착하는 공정과,
    상기 적층 필름을 한쪽 방향으로 이동하면서 예비 박리 롤로 상기 적층 필름을 상기 커버레이 필름측으로부터 누르면서 상기 예비 박리 롤을 전동시키고, 상기 커버레이 필름의 단부를 상기 릴리스 필름으로부터 부상시켜 예비 박리 여유부를 형성하는 공정과,
    상기 적층 필름 흡착 테이블로의 상기 적층 필름의 흡착을 해제하고, 상기 적층 필름의 상기 커버레이 필름측을 흡착 헤드에 진공 흡착하는 공정과,
    상기 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 흡착한 상태에서, 상기 릴리스 필름에 점착성을 갖는 박리 롤을 접촉시키고, 상기 적층 필름 흡착 테이블 및 상기 박리 롤을 타방향으로 이동시킴으로써 상기 박리 롤을 전동하고, 상기 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 권취하면서 박리하고, 제거하는 공정
    을 포함하는,
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 예비 박리 여유부를 형성하는 공정에서는, 상기 커버레이 필름을 누르면서 상기 예비 박리 롤을 전동시키고 상기 커버레이 필름의 단부를 상기 릴리스 필름으로부터 부상시켜, 상기 접착제층에 공기를 닿게 하는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 진공 흡착하는 공정에서는, 상기 흡착 헤드에 의해 상기 예비 박리 여유부를 포함하는 상기 적층 필름의 전체면을 흡착하는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 공정에서는, 상기 박리 롤로 상기 릴리스 필름을 박리하면서 박리된 상기 릴리스 필름을 이송 벨트로 이송하고, 분리판에 의해 상기 박리 롤 및 상기 이송 벨트로부터 상기 릴리스 필름을 분리하고, 제거하는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 방법.
  5. 열경화성의 접착제층을 갖는 커버레이 필름과 상기 접착제층에 적층된 릴리스 필름으로 구성되는 단판의 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하고, 제거하는 릴리스 필름 박리 장치이며,
    상기 적층 필름의 상기 릴리스 필름측을 진공 흡착하면서 일방향으로 왕복 이동 가능한 적층 필름 흡착 테이블과,
    상기 커버레이 필름측으로부터 상기 적층 필름을 누르고, 상기 적층 필름 흡착 테이블의 한쪽 방향으로의 이동에 의해 전동하면서 상기 적층 필름의 진행 방향측의 단부에 예비 박리 여유부를 형성하는 예비 박리 롤과,
    상기 적층 필름의 상기 커버레이 필름측을 진공 흡착하는 흡착 헤드와,
    상기 적층 필름 흡착 테이블과 일체로 되어 이동 가능하고, 상기 흡착 헤드가 상기 적층 필름을 흡착한 상태에서, 상기 예비 박리 여유부에 있어서 박리 롤이 상기 릴리스 필름에 맞닿고, 상기 적층 필름 흡착 테이블의 타방향으로 이동에 의해 상기 박리 롤이 전동하면서 상기 적층 필름으로부터 상기 릴리스 필름을 박리하는 릴리스 필름 박리 롤부
    를 갖는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 예비 박리 롤은, 상기 적층 필름의 이동 방향에 대하여 직교하는 폭 치수보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖고 있고, 상기 적층 필름을 누르면서 상기 적층 필름 흡착 테이블의 이동에 의해 전동하는 구성인
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 릴리스 필름 박리 롤부는, 상기 적층 필름의 폭 치수보다도 길고, 또한 표면에 점착성을 갖는 상기 박리 롤과, 상기 박리 롤의 하방측에, 상기 적층 필름 흡착 테이블로부터 상기 박리 롤보다도 이격된 위치에 배치되는 종동 롤과, 상기 박리 롤과 상기 종동 롤을 연결하고 박리된 상기 릴리스 필름을 이송하는 이송 벨트를 갖고,
    상기 박리 롤 및 상기 종동 롤에는 복수의 홈이 형성되어 있고, 복수의 상기 홈 각각에 상기 이송 벨트가 장착되고,
    상기 이송 벨트가 상기 박리 롤의 외주 표면의 내측에 들어가도록 장착되어 있는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 장치.
  8. 제5항 또는 제6항에 기재된 릴리스 필름 박리 장치에 있어서, 상기 릴리스 필름 박리 롤부는, 상기 박리 롤과 상기 종동 롤 사이에 있어서 상기 이송 벨트와 교차하고, 그 교차부로부터 상기 종동 롤측이 상기 이송 벨트의 외측으로 돌출되도록 배치되는 분리판을 갖고 있는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 흡착 헤드는, 상기 릴리스 필름이 박리된 상기 커버레이 필름을 흡착한 상태에서, 상기 커버레이 필름을 접착하는 회로 기판의 배치 위치까지 이동하고, 상기 회로 기판의 소정 위치에 상기 커버레이 필름을 가열 압착하는 기능을 갖고 있는
    것을 특징으로 하는 릴리스 필름 박리 장치.
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