JP6040814B2 - 剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
F フィルム(第2部材)
10 台
11 吸着面(面)
12 吸引孔(孔)
13 吸引通路(通路)
16 収納室(室)
M、Ma 可動吸着機構(機構)
20 支持部材(支持部)
30 支持軸(支持部)
40 ストッパ(規制部)
P 吸着パッド(吸着部)
SP スプリング(付勢部材)
LS ガイド軸(ガイド部)
90 ローラ
Claims (8)
- 可撓性を有し互いに貼付けられた第1及び第2部材の前記第1部材を吸着する面を有した台と、
前記第2部材の端部に粘着し回転しながら前記面上を相対移動して前記第2部材を巻き取るローラと、
前記ローラに粘着する前に前記第2部材の端部に対応する前記第1部材の端部を、前記台内に収納された状態で吸着すると共に、前記第2部材と共に前記ローラに巻き取られる前記第1部材の端部に追従可能に前記面から所定量突出する可動吸着機構と、を備えた剥離装置。 - 前記可動吸着機構は、前記第1部材に吸着する吸着部、前記吸着部を前記面から突出可能に支持する支持部、前記吸着部の前記面から突出量を規制する規制部、を含む、請求項1の剥離装置。
- 前記支持部は、前記ローラの軸と平行な方向の周りに回転可能に前記吸着部を支持する、請求項2の剥離装置。
- 前記台の面には、前記第1部材を吸着させるための孔が設けられ、
前記可動吸着機構は、前記孔よりも、前記第2部材が前記ローラに巻き取られる際の相対移動する前記台の進行方向の前方側に位置している、請求項1乃至3の何れかの剥離装置。 - 前記台は、前記孔に連通した通路、前記通路と隔てられ前記可動吸着機構を収納する室、を含む、請求項4の剥離装置。
- 前記台には、前記第2部材から剥離した前記第1部材に吸着する前記可動吸着機構を前記台内に戻す付勢部材が設けられている、請求項1乃至6の何れかの剥離装置。
- 前記台には、前記第2部材から剥離した前記第1部材に吸着する前記可動吸着機構を自重で前記台内に戻すためのガイド部を備えている、請求項1乃至7の何れかの剥離装置。
- 可撓性を有し互いに貼付けられた第1及び第2部材の前記第1部材を台の面に吸着し、
前記台の面から所定量だけ突出可能な可動吸着機構を前記第1部材の端部に吸着させ、
前記第1部材の端部に対応する前記第2部材の端部にローラを粘着し回転しながら前記面上を相対移動させて前記第2部材を巻き取る、剥離方法。
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- 2013-03-18 JP JP2013054914A patent/JP6040814B2/ja not_active Expired - Fee Related
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