KR102458941B1 - 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이블 상에 로딩된 상하면에 보호필름이 부착된 기판을 정렬기가 정렬하고 코너클램프가 상부에서 눌러서 고정하며 상부 테이프 박리로봇에서 점착성 테이프가 구비된 가압롤러가 상부필름을 가압한 상태에서 전후방으로 이동하여 상부필름을 제거하며, 하부 테이프 박리로봇이 상부 테이프 박리로봇과 동일하게 기판의 하부에서 하부필름을 제거하도록 함으로써, 기판의 손상없이 보호필름을 정확하고 신속하며 용이하게 자동으로 박리하여 생산 효율성을 증가시킬 수 있는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법에 관한 것이다.

Description

반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법{Automatically Peel and Automatic Peel Method of Protective Film on Semiconductor Printed Circuit Board}

본 발명은 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이블 상에 로딩된 상하면에 보호필름이 부착된 기판을 정렬기가 정렬하고 코너클램프가 상부에서 눌러서 고정하며 상부 테이프 박리로봇에서 점착성 테이프가 구비된 가압롤러가 상부필름을 가압한 상태에서 전후방으로 이동하여 상부필름을 제거하며, 하부 테이프 박리로봇이 상부 테이프 박리로봇과 동일하게 기판의 하부에서 하부필름을 제거하도록 함으로써, 기판의 손상없이 보호필름을 정확하고 신속하며 용이하게 자동으로 박리하여 생산 효율성을 증가시킬 수 있는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB:Printed Circuits Board)은 에폭시(Epoxy) 또는 페놀(Phenol) 수지 등으로 제작된 얇은 판에 필요한 회로의 배선을 동박으로 인쇄하여 각 전자소자의 상호 간을 연결하고 전원을 인가 후 회로를 동작시킬 수 있는 기판을 의미하는 것으로, 도전기능, 절연기능, 지지기능을 가진다. 따라서, 인쇄회로기판(PCB)의 설계는 제품의 동작, 성능, 수명, 신뢰성에 직접적으로 연관되어 있으므로 전자관련 제품의 제작에서 매우 중요한 위치에 있다. 전술한 바와 같은 인쇄회로기판(PCB)는 반도체, 컨덴서, 저항 등 각종 부품을 끼울 수 있도록 돼 있어 부품 상호 간을 연결시키는 구실을 하는 전자 부품으로써 TV, VTR, 오디오, DVD 플레이어 등 가전제품 전반으로부터 컴퓨터, 이동전화, 인공위성에 이르기까지 모든 전자기기에 사용된다.

한편, 인쇄회로기판(PCB)에는 연성(가요성)인쇄회로기판(FPCB : Flexible Printed Circuits Board)과 경성인쇄회로기판((RPCB : Rigid Printed Circuits Board) 등이 있다. 이러한 인쇄회로기판(PCB) 중 연성인쇄회로기판(FPCB)은 기판이 딱딱한 기존의 경성인쇄회로기판(RPCB)과 달리 재질이 얇고 굴곡성이 있어 전자제품의 멀티미디어 및 경박단소화에 따라 수요가 급증하고 있다. 특히, 전술한 인쇄회로기판(PCB) 중에서도 연성인쇄회로기판(FPCB)은 전자제품이 소형화 및 복잡해지고 있는 추세에 대응하기 위해 개발된 전자부품으로 작업성이 좋고, 내열성과 내곡성 및 내약품성이 우수하며, 치수변경이 적고, 열에 강하다는 장점이 있다. 또한, 조립작업시 작업시간을 절감시킬 수 있다.

전술한 바와 같은 인쇄회로기판(PCB)은 그 제조 공정시 기판 표면에 묻게 되는 오염물질을 제거하여 제품의 이상 유무를 확인한 제품에 대하여 인쇄회로기판(PCB)의 상하부 표면에 보호필름을 부착시켜 기판 면의 보호가 이루어지도록 하고 있다. 따라서, 이러한 인쇄회로기판에 반도체, 컨덴서, 저항 등 각종 부품을 끼울 수 있도록 하기 위해서는 인쇄회로기판(PCB) 면에 부착된 보호필름을 제거하여야만 한다.

한편, 이러한 보호필름 제거과정이 수작업에서 자동화되기는 하였지만 보호필름의 제거 시에 제거가 제대로 이루어지지 않거나, 회로부가 손상을 입거나 하는 등의 불량이 많아 재차 수작업으로 선별해야 하는 번거로움이 있었다.

이에 등록특허공보 제10-0855078호는 투입된 인쇄회로기판을 일측 방향으로 이송시키는 인쇄회로기판 이송수단, 상기 인쇄회로기판을 일시적으로 지지 고정시키는 인쇄회로기판 지지고정수단, 상기 인쇄회로기판 지지고정수단에 의해 지지 고정된 상기 인쇄회로기판 선단부의 보호필름을 초기 박리시키는 보호필름 초기박리수단, 상기 인쇄회로기판의 보호필름을 점착시켜 인쇄회로기판으로부터 보호필름을 완전히 박리시키는 보호필름 점착롤러 및 상기 인쇄회로기판으로부터 박리된 보호필름을 보호필름 회수박스로 배출시키는 수단을 포함한 구성으로 이루어진 인쇄회로기판 보호필름 박리장치에 있어서, 상기 보호필름 배출수단은 상하로 설치된 상기 두 보호필름 점착롤러의 원주면 상에 일정깊이로 형성되어지되 상호 대응하는 위치 상에 일정간격으로 다수 형성된 벨트걸이 홈; 상기 상하의 두 보호필름 점착롤러에 각각 조합되도록 상기 보호필름 점착롤러의 상부측과 하부측 각각에 일정거리 이격되어 회전가능하게 설치되는 제 1 지지롤러; 상기 보호필름 점착롤러의 벨트걸이 홈과 제 1 지지롤러에 일정한 장력으로 걸어감기되어 상기 보호필름 점착롤러의 회전에 의해 회전되는 상, 하부측 제 1 보호필름 이송벨트; 상기 인쇄회로기판 이송수단의 이송라인 상부측의 상부측 제 1 보호필름 이송벨트 전후의 외주에 설치되는 다수의 제 2 지지롤러; 상기 제 2 지지롤러에 걸어감기되어지되 상기 상부측 제 1 보호필름 이송벨트의 후방측과 전방측 외측면 상에 면접촉을 통해 상부측 제 1 보호필름 이송벨트와 동일한 방향으로 회전되도록 구성되어 인쇄회로기판의 상부측으로부터 박리되는 보호필름을 상부측 제 1 보호필름 이송벨트와의 사이에 가압한 상태로 상부측 제 1 보호필름 이송벨트의 후방으로부터 상부를 경유하여 전방의 하부로 이송시키는 상부측 제 2 보호필름 이송벨트; 상기 인쇄회로기판 이송수단의 이송라인 하부측의 하부측 제 1 보호필름 이송벨트 전방측 상하에 병렬로 회전가능하게 설치되는 제 3 지지롤러; 상기 제 3 지지롤러에 걸이감기되어 병렬로 구성되어지되 상호 면접촉되어 상기 상부측 제 1 보호필름 이송벨트와 상부측 제 2 보호필름 이송벨트에 의해 이송된 보호필름을 상부측의 병렬 사이로 넘겨받아 하부측의 보호필름 회수박스로 이송시키는 상부측 제 3 보호필름 이송벨트; 상기 하부측 제 1 보호필름 이송벨트의 후방측에 상하로 회전가능하게 설치되는 다수의 제 4 지지롤러; 및 상기 제 4지지롤러에 걸어감기되어지되 상기 하부측 제 1 보호필름 이송벨트의 후방측 외측면 상에 면접촉을 통해 하부측 제 1 보호필름 이송벨트와 동일한 방향으로 회전되도록 구성되어 인쇄회로기판의 하부측으로부터 박리되는 보호필름을 하부측 제 1 보호필름 이송벨트와의 사이에 가압한 상태로 하부측 제 1 보호필름 이송벨트의 하부측으로 이송시켜 상기 보호필름 회수박스로 회수되도록 하는 하부측 제 2 보호필름 이송벨트를 포함한 구성으로 이루어진 인쇄회로기판 보호필름 박리장치를 게시한다. 종래 기술은 시간당 박리 효율이 떨어지고 박리 작용의 정확도가 떨어지며 장치의 구성이 복잡한 단점이 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해 등록특허공보 제10-1119571호 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 필름 박리방법은 기판의 보호필름을 정확하고 완전하게 박리하고자 하였으나, 기판(S)과 필름(F) 사이에 틈을 형성하는 스크래칭기에서 가열된 고온의 히터의 열로 필름에 틈을 형성하며 흠집을 내므로 기판이 손상이 생길 수 있으며, 상부 보호필름을 박리 후 기판을 회전하여 하부 보호필름을 박리하므로 과정이 복잡해지고 시간이 오래걸리는 단점이 있었다.

KR 20-0433952 (등록번호) 2006.12.07. KR 10-0855078 (등록번호) 2008.08.22. KR 10-1119571 (등록번호) 2012.02.16.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서,

테이블 상에 로딩기에서 로딩된 상하면에 보호필름이 부착된 기판을 정렬기가 정렬하고 코너클램프가 기판의 한쪽 모서리부를 눌러서 고정하며 상부 테이프 박리로봇에서 점착성 테이프가 구비된 가압롤러가 상부필름을 가압한 상태에서 전후방으로 이동하여 흡착 제거하며, 상부 테이프 박리로봇과 동일하게 하부 테이프 박리로봇이 기판의 하부에서 하부필름을 제거하도록 함으로써, 기판의 손상없이 보호필름을 정확하고 신속하며 용이하게 자동으로 박리하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 정렬기에서 기판을 정렬하고 코너클램프에서 기판의 한쪽 모서리부 양측 가장자리부분에 상부필름이 없는 부분만을 눌러서 고정시켜 줌으로써, 가압롤러가 상부필름을 박리시 기판이 따라 올라가지 않도록 하고, 기판으로부터 상부필름을 분리하여 상부 테이프 박리로봇에서 상부필름의 박리가 용이하도록 돕는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 소정의 탄력성을 가지는 고무재질로 이루어지는 가압롤러를 수단으로 하여 점착성 테이프와 보호필름 사이의 신뢰할 수 있는 점착을 도와 점착성 테이프 및 보호필름의 파손과 손상 없이 박리하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 점착성 테이프가 보호필름에 접착되어 보호필름을 용이하게 제거하므로 이물질 발생을 방지하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 기판을 가압하며 점착성 테이프를 이용해 박리하는 단순한 구조로 이루어지는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 두께측정유닛을 활용하여 기판의 두께를 측정하여 보호필름의 2매 투입여부를 확인 및 검출하고, 널링유닛을 통해 기판에 부착된 보호필름의 일부분을 박리하여 테이프 부착이 용이하도록 하며, 널링 동작 후 기판으로부터 이격된 보호필름을 테이핑하여 박리를 실행하되, 보호필름 분리 후 컬러센서를 이용해 보호필름의 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출하는 기능을 갖는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 테이블(10) 상에 로딩기(100)에 의해 로딩된 상하면에 상하필름(F1, F2)이 부착된 기판(S)을 정렬시키는 정렬기(210)와; 정렬된 기판(S)의 일측 모서리 주변 가장자리부분에 상부필름(F1)이 없는 기판(S)의 전면을 상부에서 눌러서 고정시키도록 전후진하는 실린더를 포함하는 코너클램프(220)와; 기판(S)을 흡착하고 상기 코너클램프(220)를 동작시켜 기판(S)의 전면 모서리를 클램핑하고, 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 이동할 때에 전방으로 일정거리 이동하고 복귀하는 하부셔틀(200)과; 상기 기판(S)이 고정된 상태에서 기판(S) 상면 중 가장 전방에 위치한 상부필름(F1) 위로 하강한 후에 상부필름을 가압하면서 후방으로 일정 거리 이동한 후에 전방의 원위치로 이동하고, 이후에 대각선 후방으로 상부필름(F1)을 가압하며 다시 이동후 상승하여 후방으로 이동하며 기판(S)과 상부필름(F1) 사이의 점착력을 약화시키는 동시에 기판(S)과 상부필름(F1)을 분리시키고, 하단에 고무재질의 가압롤러(330)를 포함하는 상부 테이프 박리로봇(300); 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 다수의 가이드롤러(320)와 상부필름(F1)과 부착하여 상부필름(F1)을 제거하는 점착성 테이프(310)가 감겨진 제공롤러(321)와 점착성 테이프(310)를 전달받아 감아주는 권취롤러(322)와 가이드롤러(320) 사이에 구동력을 제공하는 구동롤러(323)를 포함하고; 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강하여 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)가 상부필름(F1)과 접촉한 후 전후 및 대각선 이동할 때에 상기 구동롤러(323)를 회전시켜 점착성 테이프(310)가 가압롤러(330)에서 회전되며, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 이동하기 전에 상기 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)와 부착된 상부필름(F1)을 가압하며 고정시키는 클램프 고정대(340)가 상기 가압롤러(330)의 일측에 설치된다.

본 발명은 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강하여 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)가 상부필름(F1)과 접촉한 후 전후 및 대각선 이동할 때에 상기 구동롤러(323)를 회전시켜 점착성 테이프(310)가 가압롤러(330)에서 회전되며, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 이동하기 전에 상기 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)와 부착된 상부필름(F1)을 가압하며 고정시키는 클램프 고정대(340)가 상기 가압롤러(330)의 일측에 설치된다.

본 발명의 상기 코너클램프(220)는 기판(S)의 꼭지점 부분을 제외한 모서리 양측부를 고정시켜 기판(S)이 점착성 테이프(310)에 의해 상부로 올라가지 못하도록 기판(S)을 잡아준다.

본 발명의 상기 점착성 테이프(310)의 점착력은 상기 기판(S)과 상부필름(F1) 사이의 점착력보다 강하며, 상기 고무재질의 가압롤러(330)는 상부필름(F1)의 상부에서 접촉될 때에 가압에 의해 밀착하며 면접촉한다.

본 발명의 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 기판(S)으로부터 상부필름(F1)이 박리될 때에 수직 상부로 정해진 거리만큼 상승한다.

본 발명의 상기 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기는 상부 테이프 박리로봇(300)과 동일한 형태로 기판의 하부필름을 제거하는 하부 테이프 박리로봇을 포함한다.

본 발명은 로딩기(100)로 상하면에 필름이 부착된 기판(S)을 하부셔틀(200) 상에 로딩하는 단계(S100); 하부셔틀(200)상에 배치된 정렬기(210)로 기판(S)을 정렬하고, 흡착하여 파지한 후 상부필름(F1)이 부착되지 않은 기판(S)의 전면을 코너클램프(220)로 고정시키는 단계(S200); 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강되어 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)를 상부필름(F1)의 끝단과 면접촉시킨 후 구동롤러(323)의 회전과 동시에 상부 테이프 박리로봇(300)을 후진 및 전진시켜 상부필름(F1)과 점착성 테이프(310)를 부착시키는 단계(S300); 상부필름(F1)이 점착성 테이프(310)에 부착된 상태에서 가압롤러(330) 측면에 설치된 클램프 고정대(340)를 전진시켜 상부필름(F1)을 가압롤러(330)에 고정시키는 상부필름(F1) 고정단계(S400); 상부필름(F1)이 가압롤러(330)에 고정된 상태에서 상부 테이프 박리로봇(300)을 상승한 후 후방으로 이동시키면서 동시에 상기 하부셔틀(200)을 전방으로 이동시키는 상부필름 제거단계(S500); 상부필름(F1)이 박리된 상태로 하부셔틀(200)에 의하여 이동된 기판(S)을 상부셔틀이 파지하고, 하부셔틀(200)을 원위치로 이동시키는 단계(S600);를 포함한다.

본 발명은 상기 S600 이후에, 하부 테이프 박리로봇이 상승하여 가압롤러의 외부에 위치한 점착성 테이프를 하부필름의 끝단과 면접촉시킨 후 구동롤러의 회전과 동시에 하부 테이프 박리로봇을 후진 및 전진시켜 하부필름과 점착성 테이프를 부착시키는 단계(S700); 하부필름이 점착성 테이프에 부착된 상태에서 가압롤러 측면에 설치된 클램프 고정대를 전진시켜 하부필름을 가압롤러에 고정시키는 하부필름 고정단계(S800); 하부필름이 가압롤러에 고정된 상태에서 하부 테이프 박리로봇을 후방으로 이동시키며 동시에 상부셔틀을 상승시켜 하부필름을 제거단계(S900);를 더 포함한다.

본 발명은 접촉식 두께측정유닛으로 분리부에 기판(S)이 투입되기 전 정렬동작구간에서 두께를 측정하여 보호필름의 2매 투입 여부를 확인하고 2매 투입 감지시 투입박스에 기판(S)을 수취하고 재투입 작업을 진행하는 투입부 정렬장치와; 원형 널링툴을 박리부 테이블에 안착된 기판(S) 표면에 접촉 후 좌우로 움직이며 보호필름의 일부분을 박리하는 널링유닛과; 상기 널링유닛에서 널링 동작 후 기판(S)으로부터 이격된 보호필름을 접착테이프를 이용해 테이핑하여 박리 동작을 실행하는 박리유닛과; 상기 박리유닛에서 기판(S)으로부터 보호필름 분리 후 보호필름과 코어 간에 미세한 색상차이를 컬러센서를 이용해 보호필름의 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출하는 검출유닛;을 더 포함한다.

따라서, 본 발명의 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기 및 자동박리방법은 테이블 상에 로딩기에서 로딩된 상하면에 보호필름이 부착된 기판을 정렬기가 정렬하고 코너클램프가 기판의 한쪽 모서리부를 눌러서 고정하며 상부 테이프 박리로봇에서 점착성 테이프가 구비된 가압롤러가 상부필름을 가압한 상태에서 전후방으로 이동하여 흡착 제거하며, 상부 테이프 박리로봇과 동일하게 하부 테이프 박리로봇이 기판의 하부에서 하부필름을 제거하도록 함으로써, 기판의 손상없이 보호필름을 정확하고 신속하며 용이하게 자동으로 박리할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 정렬기에서 기판을 정렬하고 코너클램프에서 기판의 한쪽 모서리부 양측 가장자리부분에 상부필름이 없는 부분만을 눌러서 고정시켜 줌으로써, 가압롤러가 상부필름을 박리시 점착성 테이프에 의해 기판이 따라 올라가지 않도록 하고, 기판으로부터 상부필름을 분리하여 상부 테이프 박리로봇에서 상부필름의 박리가 용이하도록 돕는 효과가 있다.

그리고, 본 발명은 소정의 탄력성을 가지는 고무재질로 이루어지는 가압롤러를 수단으로 하여 점착성 테이프와 보호필름 사이의 신뢰할 수 있는 점착을 도와 점착성테이프 및 보호필름의 파손과 손상 없이 박리하는 장점이 있다.

한편, 본 발명은 점착성 테이프가 보호필름에 접착되어 보호필름을 용이하게 제거하므로 이물질 발생을 방지하는 장점도 있다.

또한, 본 발명은 기판을 가압하며 점착성 테이프를 이용해 박리하는 단순한 구조에 의해 간단히 박리할 수 있어 작업성, 경제성을 향상시킴은 물론 기판의 긁힘 손상, 휨 변형 등의 손상이 방지되어 신뢰성을 크게 향상시키게 된다.

그리고, 본 발명은 두께측정유닛을 활용하여 기판의 두께를 측정하여 보호필름의 2매 투입여부를 확인 및 검출하고, 널링유닛을 통해 기판에 부착된 보호필름의 일부분을 박리하여 테이프 부착이 용이하도록 하며, 널링 동작 후 기판으로부터 이격된 보호필름을 테이핑하여 박리를 실행하되, 보호필름 분리 후 컬러센서를 활용하여 보호필름의 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 개략적인 사시도이고,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 로딩기에서 기판을 로딩하여 테이블 상에 배치하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 하부셔틀의 정렬기에서 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 하부셔틀의 정렬기가 전진하여 기판을 정렬하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 정렬기의 사시도이고,
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 정렬기가 기판을 정렬하고, 코너클램프가 기판을 고정하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 7 (a)는 본 발명의 실시 예에 따른 코너클램프가 좌우로 이동하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 7 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 코너클램프가 상하로 이동하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 상부 테이프 박리로봇이 후방으로 이동하고 하강하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 상부 테이프 박리로봇이 기판의 상부에서 후방으로 이동하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 상부 테이프 박리로봇이 기판 상부에서 전방으로 이동하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 상부 테이프 박리로봇이 기판에서 상부필름을 제거하는 상태를 나타낸 사시도이고,
도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기의 상부 테이프 박리로봇이 상부필름을 제거한 상태를 나타낸 사시도이고,
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기에서 상부 테이프 박리로봇이 제2가로레일을 따라 전방으로 이동하고, 하부셔틀이 제3가로레일을 따라 후방으로 이동하는 상태를 나타낸 사시도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명한다.

본 발명은 도 1 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 반도체 인쇄회로기판(이하, 기판(S))의 보호필름 자동박리기로서,

테이블(10) 상에 로딩기(100)에 의해 로딩된 상하면에 상하필름(F1, F2)이 부착된 기판(S)을 정렬시키는 정렬기(210)와,

정렬된 기판(S)의 일측 모서리 주변 가장자리부분에 상부필름(F1)이 없는 기판(S)의 전면을 상부에서 눌러서 고정시키도록 전후진하는 실린더를 포함하는 코너클램프(220)와,

기판을 흡착하고 상기 코너클램프(220)를 동작시켜 기판(S)의 전면 모서리를 클램핑하고, 상부 테이프 박리로봇(300)이 후방으로 상승하여 길게 이동할 때에 전방으로 일정거리만큼 이동하고 복귀하는 하부셔틀(200)과,

상기 기판(S)이 고정된 상태에서 기판(S) 상면 중 가장 전방에 위치한 상부필름(F1) 위로 하강한 후에 상부필름(F1)을 가압하면서 후방으로 일정거리로 약간 이동한 후에 전방의 원위치로 이동하고, 이후에 대각선으로 다시 상부필름(F1)을 가압하면서 이동후 상승하여 후방으로 길게 이동하며, 하단에 고무재질의 가압롤러(330)를 포함하는 상부 테이프 박리로봇(300)을 포함하여 구성된다.

본 발명에서 전방은 로딩기(100)가 기판(S)을 하부셔틀(200)의 테이블(10) 상으로 이송하는 방향이고, 후방은 전방의 반대방향으로 기판(S)이 이송되어온 방향을 의미한다.

상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 다수의 가이드롤러(320)와 상부필름(F1)과 부착하여 상부필름(F1)을 제거하는 점착성 테이프(310)가 감겨진 제공롤러(321)와 점착성 테이프(310)를 전달받아 감아주는 권취롤러(322)와 가이드롤러(230) 사이에 구동력을 제공하는 구동롤러(323)를 포함한다.

또한, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강하여 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)가 상부필름(F1)과 끝단과 접촉한 후 전후 및 대각선 이동할 때에 상기 구동롤러(323)를 회전시켜 점착성 테이프(310)가 가압롤러(330)에서 회전되며, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 길게 이동하기 전에 상기 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)와 부착된 상부필름(F1)을 가압하며 고정시키는 클램프 고정대(340)가 상기 가압롤러(330)의 일측에 설치된다.

상기 기판(S)은 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB)으로, 상부면에 보호필름인 상부필름(F1)이 부착되고, 하부면에 하부필름(F2)이 부착된 상태에서 로딩기(100)에 의해 흡착되어 45도 회전되며 테이블(10) 상에 로딩된다. 그리고, 상기 기판(S)이 테이블(10)에 로딩되면 테이블(10) 측면에서 정렬기(210)가 기판(S)을 정렬하도록 한다.

상기 로딩기(100)는 제1가로레일(R1)을 따라 왕복운동하는 셔틀프레임과, 상기 셔틀프레임에 일체로 고정된 상하 구동수단과, 상기 상하 구동수단에 의해 상하로 승강되는 중간판과, 상기 중간판의 하부에 스프링으로 연결되고 기판(S)을 진공으로 흡착하는 흡착판부를 포함하여 구성된다.

상기 로딩기(100)에서 로딩된 기판(S)은 정렬기(210)가 정렬하고, 코너클램프(220)가 정렬된 기판(S)의 일측 모서리 주변 가장자리에서 상부필름(F1)이 없는 부분을 상부에서 눌러서 고정하도록 한다.

이때, 상기 정렬기(210)는 테이블(10)의 외부측에 설치되는 고정바(211)와, 테이블(10)에 형성된 가로홈(11)과 세로홈(12)을 따라 전후진 하는 스토퍼(212)를 포함하며, 상기 고정바(211)를 테이블(10)의 중심방향으로 전진시켜 기판(S)을 가압하여 테이블(10) 선단에서 기판(S)의 가장자리로 이동한 스토퍼(212)를 기준으로 기판(S)을 정렬하고 다시 고정바(211)를 외곽으로 후진시켜 기판(S)의 가압상태를 해제한다.

상기 정렬기(210)는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 전방에 고정바(211)가 설치되고, 상기 고정바(211)를 전후진하기 위해 실린더로 이루어지는 이송수단(213)과 레일부(214)가 구비된다. 이때, 상기 고정바(211)는 상하로 이동가능하게 설치되고 상기 기판(S)의 상부필름(F1)에 접촉되는 부분에 완충부(211a)를 설치하여 하강하여 기판(S)을 고정할 때 기판(S)의 손상을 막도록 한다. 이러한 정렬기는 다양한 형태로 존재할 수 있으며, 이미 알려진 기판 정렬기를 사용할수도 있다.

그리고, 상기 정렬기(210)가 설치되는 하부셔틀(200)은 상부에 테이블(10)을 구비하고 모서리부분에 코너클램프(220)가 설치되어 기판(S)의 전면 모서리를 클램핑하고, 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 길게 이동할 때 전방으로 일정거리만큼 이동하고 복귀하도록 구비된다.

상기 코너클램프(220)는 기판(S)의 모서리 양측 가장자리를 고정하도록 전, 후진을 위한 제1이송수단(221)과 제2이송수단(222)이 구비되고, 승, 하강을 위한 제3이송수단(223)이 구비되어 기판(S)의 모서리부를 고정할 수 있게 된다.

이와 같이, 상기 정렬기(210)가 기판(S)을 정렬하면 코너클램프(220)가 이동하여 기판(S)의 한쪽 모서리부를 고정하며, 이때, 상기 코너클램프(220)가 기판(S)을 강하게 가압하면 상부 테이프 박리로봇(300)이 테이블(10) 상부에서 하강하여 기판(S)에 접촉되며 기판(S)의 모서리에서 중심측으로 대각선 방향으로 점착성 테이프(310)가 구비되는 가압롤러(330)가 일정거리를 왕복운동하며 상부필름(F1)을 흡착하고 클램프 고정대(340)가 가압롤러(330)에 흡착된 상부필름(F1)을 잡아서 후방으로 이동하여 기판(S)으로부터 박리하도록 한다.

이와 같이 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 상기 하부셔틀(200)의 코너클램프(220)에 의해 기판(S)이 고정된 상태에서 상기 기판(S)의 상면 중 가장 전방에 위치한 상부필름(F1) 위로 하강한 후에 상부필름(F1)을 가압하면서 후방으로 약간 이동한 후에 전방의 원위치로 이동하고, 이후에 상부필름(F1)을 가압하면서 대각선으로 이동 후 상승하여 후방으로 길게 이동하도록 한다.

그리고, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 길게 이동할 때 상기 하부셔틀(200)이 전방으로 일정거리만큼 이동하여 상부필름(F1)의 박리가 용이하도록 한다.

여기서 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하기 전에 왕복하는 거리는 1~2cm 정도의 작은 거리이고, 상승한 후에 이동하는 거리는 상부필름(F1)이 기판에서 박리되기에 충분한 거리여야 한다.

테스트한 결과, 상부 테이프 박리로봇(300)의 점착성 테이프(310)의 점착력이 상부필름(F1)과 기판 사이의 점착력보다 큰 경우에도, 1차로 대각선 이동하는 약간의 상부 테이프 박리로봇(300)에 의해서는 대략 80% 정도의 박리되었고, 2차로 대각선 이동할때에 99.9%의 박리효과가 있었다.

한편, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 다수의 가이드롤러(320)와 상부필름(F1)과 부착하여 상부필름(F1)을 제거하는 점착성 테이프(310)가 감겨진 제공롤러(321)와 점착성 테이프(310)를 전달받아 감아주는 권취롤러(322)와 가이드롤러(230) 사이에 구동력을 제공하는 구동롤러(323)를 포함하여 점착성 테이프(310)의 공급을 원활하게 한다.

이때, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)의 하단에는 점착성 테이프(310)가 외부에 배치되는 고무재질의 가압롤러(330)가 설치되어 기판(S)에 탄력적으로 접촉되며 기판(S)에 손상이 없도록 완충효과를 주게 된다.

그리고, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 승강장치(350)가 구비되어 세로방향의 레일을 따라 이동하며 하강 및 상승하여 기판(S)에 접촉하고 떨어지게 되며, 승강장치(350)에 장착되는 운송수단(351)에 의해 긴 바형태로 이루어지는 제2가로레일(R2)을 따라 전후진하도록 구비된다.

한편, 상기 점착성 테이프(310)의 점착력은 상기 기판(S)과 상부필름(F1) 사이의 점착력보다 강하며, 상기 고무재질의 가압롤러(330)는 상부필름(F1)의 상부에서 접촉될 때에 가압에 의해 밀착하며 면접촉되도록 한다. 이러한 가압은 상부필름과 접촉하면서 약간 이동하는 1차 이동과, 원위치 복귀후 2차 이동할때에 계속하여 이루어져야 한다.

그리고, 상기 코너클램프(220)는 기판(S)의 꼭지점부분을 빼고 모서리 양측부를 고정시켜 기판(S)이 점착성 테이프(310)에 의해 상부로 올라가지 못하도록 기판(S)을 잡아주는 역할을 하게 된다.

또한, 상기 로딩기(100)는 제1가로레일(R1)을 타고 왕복운동을 하고, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 제2가로레일(R2)을 타고 왕복운동하며 상부필름(F1)을 이송하며, 상기 하부셔틀(200)은 제2가로레일(R2)의 하부에 설치되는 제3가로레일(R3)을 타고 왕복운동하게 된다.

그리고, 상기 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기는 상부 테이프 박리로봇(300)과 동일한 형태로 기판(S)의 하부에서 하부필름을 제거하는 하부 테이프 박리로봇을 포함한다.

이때, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)에서 상부필름(F1)이 박리된 기판(S)을 하부셔틀(200)로부터 흡착하고 이송하여 하부필름을 박리하기 위해 상부셔틀이 구비되며, 상기 상부셔틀은, 가로레일을 따라 좌우로 왕복운동하는 셔틀프레임과, 상기 셔틀프레임에 일체로 고정된 상하 구동수단과, 상기 상하 구동수단에 의해 상하로 승강되는 중간판과, 상기 중간판의 하부에 스프링으로 연결되고 기판(S)을 진공으로 흡착하는 흡착판부를 포함하여 구성된다.

그리고, 본 발명은 상기 상부 테이프 박리로봇(300) 및 하부 테이프 박리로봇에서 점착성 테이프에 부착된 박리된 상부필름(F1) 및 하부필름을 집게로 집어 버리는 필름덤퍼가 더 구비될 수 있다.

상기 하부 테이프 박리로봇은 상부셔틀에 의하여 기판(S)이 고정된 상태에서, 상기 기판(S) 하면중 가장 전면에 위치한 하부필름 위로 상승한 후에 하부필름을 가압하면서 후방으로 약간 이동한 후에 전방의 원위치로 이동하고, 이후에 대각선으로 이동한 후 하강하여 후방으로 길게 이동하여 하부필름을 박리하며, 상단에 하부필름을 박리하기 위한 점착서 테이프가 부착된 고무재질의 가압롤러를 포함한다.

한편, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 하강하여 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)가 상부필름(F1)과 접촉한 후 가압하며 전후 및 대각선 이동할때에 상기 구동롤러(323)를 회전시켜 점착성 테이프(310)가 상기 가압롤러(330)에서 회전되고, 상부 테이프 박리로봇(300)이 후방으로 길게 이동하기 전에 상기 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)와 부착된 상부필름(F1)을 가압하며 고정시키는 클램프 고정대(340)가 상기 가압롤러(530)의 일측에 설치되어 상부필름(F1)의 박리를 돕게 된다.

그리고 상기 하부 테이프 박리로봇은 상부 테이프 박리로봇(300)과 동일하게 다수의 가이드 롤러와 하부필름과 부착하여 하부필름을 제거하는 점착성 테이프가 감겨진 제공롤러와 점착성 테이프을 전달받아 감아주는 권취롤러와 가이드 롤러 사이에서 구동력을 제공하는 구동롤러를 포함하며, 하부 테이프 박리로봇이 상승하여 가압롤러의 외부에 위치한 점착성 테이프가 하부필름과 접촉한 후 전후 및 대각선 이동할 때에 상기 구동롤러를 회전시켜 점착성 테이프가 상기 가압롤러에서 회전된다.

이와 같은 본 발명의 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기를 이용한 박리방법은 로딩기(100)로 상하면에 필름이 부착된 기판(S)을 45도 회전시켜 하부셔틀(200) 상에 로딩하고, 상기 하부셔틀(200) 상에 배치된 정렬기(210)로 기판(S)을 정렬하고, 흡착하여 파지한 후 상부필름(F1)이 부착되지 않은 기판(S)의 전면을 코너클램프(220)로 고정시키며, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강되어 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)를 상부필름(F1)의 끝단과 면접촉시킨 후 구동롤러(323)의 회전과 동시에 상부 테이프 박리로봇(300)을 후진 및 전진시켜 상부필름(F1)과 점착성 테이프(310)를 부착시킨다. 그리고, 상기 상부필름(F1)이 점착성 테이프(310)에 부착된 상태에서 가압롤러(330) 측면에 설치된 클램프고정대(340)를 전진시켜 상부필름(F1)을 가압롤러(330)에 고정시키며, 상부필름(F1)이 가압롤러(330)에 고정된 상태에서 상부 테이프 박리로봇(300)을 후방으로 이동시키면서 동시에 상기 하부셔틀(200)을 전방으로 이동시켜 상부필름(F1)을 제거하도록 한다.

이때, 상기 상부필름(F1)이 박리된 상태로 하부셔틀(200)에 의해 이동된 기판(S)을 상부셔틀이 흡착하고 하부셔틀(200)은 원위치로 이동하게 된다.

그리고, 상부셔틀의 하부에서 하부 테이프 박리로봇이 상승하여 상부 테이프 박리로봇과 동일하게 가압롤러의 외부에 위치한 점착성 테이프를 하부필름의 끝단과 면접촉시킨 후 구동롤러의 회전과 동시에 하부 테이프 박리로봇을 후진 및 전진시켜 하부필름과 점착성 테이프를 부착시키고, 하부필름이 점착성 테이프에 부착된 상태에서 가압롤러 측면에 설치된 클램프 고정대를 전진시켜 하부필름을 가압롤러에 고정시키며, 하부필름이 가압롤러에 고정된 상태에서 하부 테이프 박리로봇을 후방으로 이동시키며 동시에 상부셔틀을 상승시켜 하부필름을 제거하도록 한다.

이와 같은 본 발명은 상기 가압롤러(330)의 외측에 배치된 점착성 테이프(310)가 포함된 상부 테이프 박리로봇(300)을 후방으로 1차 이동시키면, 약 80% 정도로 필름이 박리되고, 20%는 그대로 기판에 점착되어 있게 되나, 기판에 남아 있는 20% 정도의 필름을 박리시키기 위해, 상부 테이프 박리로봇(300)을 전방으로 이동시킨 후 대각선으로 이동할때에 필름이 완전히 박리되게 된다.

이와 같은 본 발명의 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기는 수작업으로 인한 작업자의 실수를 배제할 수 있어 제품의 품질이 향상됨과 함께, 보호필름을 박리시키기 위한 별도 장비로의 이동 없이 종래에 설치된 인쇄회로기판 제조 설비 사이에 추가 적용되어 보호필름을 박리시킴으로써, 인쇄회로기판에서 보호필름을 박리시키는 소요시간을 단축할 수 있게 된다.

그리고, 본 발명은 보호필름을 간단한 구조에 의해 간단히 박리할 수 있어 작업성, 경제성을 크게 향상시킴은 물론 기판의 긁힘 손상, 휨 변형 등의 손상이 방지되어 신뢰성을 크게 향상시키게 된다.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기(미도시)는,

접촉식 두께측정유닛으로 분리부에 기판(S)이 투입되기 전 정렬동작구간에서 기판(S)의 두께를 측정하여 보호필름의 2매 투입 여부를 확인하고 2매 투입 감지시 투입박스에 기판(S)을 수취하고 재투입 작업을 진행하는 투입부 정렬장치(미도시)와,

원형 널링툴을 박리부 테이블에 안착된 기판(S) 표면에 접촉 후 좌우로 움직이며 보호필름을 박리하는 널링유닛(미도시)과,

상기 널링유닛에서 널링 동작 후 이격된 보호필름을 접착테이프를 이용해 테이핑하여 박리 동작을 실행하는 박리유닛(미도시)과,

상기 박리유닛에서 보호필름 박리동작 후 보호필름과 코어 간에 미세한 색상차이를 컬러센서를 이용해 보호필름의 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출하는 검출유닛(미도시)를 포함한다.

상기 투입부 정렬장치는 분리부에 기판(S)이 투입되기 전 투입부 테이블에서 기판(S)을 정렬 후 두께측정유닛이 전진하고 하강하며 두께를 측정하되, 두께측정유닛을 활용하여 작업자가 입력한 기판(S)의 두께값을 기준으로 보호필름의 2매 여부를 확인하고 2매 투입을 감지시 투입박스에 기판(S)을 수취하고 재투입작업을 진행하여 기판(S)을 투입하는 과정에서 보호필름의 2매 검출을 방지하도록 한다.

상기 널링유닛은 기판(S)이 박리부 테이블에 안착되면 진입하고 널링툴을 기판(S)에 접촉시켜 좌우 분리동작을 실행한다. 이와 같이 상기 널링유닛은 접착테이프로 보호필름을 박리하기 전에 접착테이프 부착이 용이하도록 부착 부분을 널링툴을 기판(S) 표면에 접촉 후 좌우로 움직여 기판(S)에 부착된 보호필름의 일부분을 박리하도록 한다.

그리고 상기 박리유닛은 널링유닛에서 널링 동작후 접착테이프를 보호필름에 접착하여 테이핑하여 완전한 박리 동작을 실행하도록 한다.

또한, 상기 검출유닛은 박리유닛에서 박리 동작 실행 후 기판(S)으로부터 보호필름이 분리되지 않거나 분리 도중에 찢어짐을 검출하는 기능을 갖으며, 이는 상기 컬러센서에서 보호필름과 코어 간의 미세한 색상차이에 의해 검출한다.

이와 같이 검출유닛을 통해 분리를 검출하는 방식은 1차 분리 검출방식과, 2차 분리 검출방식이 있으며, 1차 분리 검출방식은 1차 분리부 테이블에서 2차 분리부 테이블로 기판(S)을 인계하는 과정에서 2차 분리부 테이블에 설치되어 있는 컬러센서가 1차 분리부 테이블에 흡착되어 있는 기판(S)의 표면을 검사하고, 2차 분리 검출방식은 2차 분리가 완료된 기판(S)을 수취부로 이송하는 중 분리부 프레임 파트에 설치되어 있는 컬러센서가 2차 분리부 테이블에 흡착되어 있는 기판(S)의 표면을 검사하도록 한다.

이처럼 본 발명의 다른 실시 예에 따른 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기를 이용한 박리방법은 두께측정유닛에서 투입되는 기판(S)의 두께값을 측정하여 작업자가 입력한 기판(S)의 두께값을 기준으로 보호필름의 2매 여부를 확인하고, 2매 투입을 감지시 투입박스에 기판(S)을 수취하고 재투입 작업을 진행하며, 접착테이프로 보호필름을 박리하기 전 접착테이프 부착이 용이하도록 부착부분을 널링유닛을 통해 기판(S) 표면에 접촉 후 좌우로 움직이며 기판(S)에 부착된 보호필름의 일부분을 박리하고, 널링동작 후 박리유닛에서 기판(S)으로부터 이격된 보호필름을 테이핑하여 완전한 박리동작을 실행하며, 상기 검출유닛에서 박리 동작 후 보호필름과 기판(S) 간의 미세한 색상차이를 컬러센서를 활용해 보호필름의 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출한다.

따라서, 본 발명의 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기는 테이블(10) 상에 로딩된 상하면에 보호필름이 부착된 기판(S)을 정렬기(210)가 정렬하고 코너클램프(220)가 기판(S)의 한쪽 모서리부를 눌러서 고정하며 상부 테이프 박리로봇(300)에서 점착성 테이프(310)가 구비된 가압롤러(330)가 상부필름(F1)을 가압한 상태에서 전후방으로 이동하여 흡착 제거하며, 상부 테이프 박리로봇(300)과 동일하게 하부 테이프 박리로봇이 기판의 하부에서 하부필름을 제거하도록 함으로써, 기판(S)의 손상없이 보호필름을 정확하고 신속하며 용이하게 자동으로 박리하여 생산 효율성을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 정렬기(210)에서 기판(S)을 정렬하고 코너클램프(220)에서 기판(S)의 한쪽 모서리부 양측 가장자리부분에 상부필름(F1)이 없는 부분만을 눌러서 고정시켜 줌으로써, 가압롤러(330)가 상부필름(F1)을 박리시 점착성 테이프(310)에 의해 기판(S)이 따라 올라가지 않도록 하고, 기판(S)으로부터 상부필름(F1)을 분리하여 상부 테이프 박리로봇(300)에서 상부필름(F1)의 박리가 용이하도록 돕는 효과가 있다.

그리고, 본 발명은 소정의 탄력성을 가지는 고무재질로 이루어지는 가압롤러(330)를 수단으로 하여 점착성 테이프(310)와 보호필름 사이의 신뢰할 수 있는 점착을 도와 점착성 테이프(310) 및 보호필름의 파손과 손상 없이 박리하는 장점이 있다.

한편, 본 발명은 점착성 테이프(310)가 보호필름에 접착되어 보호필름을 용이하게 제거하므로 이물질 발생을 방지하는 장점도 있다.

그리고, 본 발명은 두께측정유닛을 활용하여 기판(S)의 두께를 측정하여 보호필름의 2매 투입여부를 확인 및 검출하고, 널링유닛을 통해 기판에 부착된 보호필름의 일부분을 박리하여 접착테이프 부착이 용이하도록 하며, 널링 동작 후 기판으로부터 이격된 보호필름을 박리유닛에서 테이핑하여 완전한 박리를 실행하되, 보호필름 분리 후 검출유닛에서 컬러센서를 활용하여 미분리 또는 분리도중 보호필름의 찢어짐을 검출하는 기능이 있다.

10 : 테이블 11 : 가로홈
12 : 세로홈 100 : 로딩기
200 : 하부셔틀 210 : 정렬기
211 : 고정바 211a : 완충부
212 : 스토퍼 213 : 이송수단
214 : 레일부 220 : 코너클램프
221 : 제1이송수단 222 : 제2이송수단
223 : 제3이송수단
300 : 상부 테이프 박리로봇 310 : 점착성 테이프
320 : 가이드롤러 321 : 제공롤러
322 : 권취롤러 323 : 구동롤러
330 : 가압롤러 340 : 클램프 고정대
350 : 승강장치 351 : 운송수단

Claims (9)

1. 테이블(10) 상에 로딩기(100)에 의해 로딩된 상하면에 상하필름(F1, F2)이 부착된 기판(S)을 정렬시키는 정렬기(210)와;
   정렬된 기판(S)의 일측 모서리 주변 가장자리부분에 상부필름(F1)이 없는 기판(S)의 전면을 상부에서 눌러서 고정시키도록 전후진하는 실린더를 포함하는 코너클램프(220)와;
   기판(S)을 흡착하고 상기 코너클램프(220)를 동작시켜 기판(S)의 전면 모서리를 클램핑하고, 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 이동할 때에 전방으로 일정거리 이동하고 복귀하는 하부셔틀(200)과;
   상기 기판(S)이 고정된 상태에서 기판(S) 상면 중 가장 전방에 위치한 상부필름(F1) 위로 하강한 후에 상부필름을 가압하면서 후방으로 일정 거리 이동한 후에 전방의 원위치로 이동하고, 이후에 대각선 후방으로 상부필름(F1)을 가압하며 다시 이동후 상승하여 후방으로 이동하며 기판(S)과 상부필름(F1) 사이의 점착력을 약화시키는 동시에 기판(S)과 상부필름(F1)을 분리시키고, 하단에 고무재질의 가압롤러(330)를 포함하는 상부 테이프 박리로봇(300);
   상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 다수의 가이드롤러(320)와 상부필름(F1)과 부착하여 상부필름(F1)을 제거하는 점착성 테이프(310)가 감겨진 제공롤러(321)와 점착성 테이프(310)를 전달받아 감아주는 권취롤러(322)와 가이드롤러(320) 사이에 구동력을 제공하는 구동롤러(323)를 포함하고;
   상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 하강하여 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)가 상부필름(F1)과 접촉한 후 전후 및 대각선 이동할 때에 상기 구동롤러(323)를 회전시켜 점착성 테이프(310)가 가압롤러(330)에서 회전되며, 상기 상부 테이프 박리로봇(300)이 상승하여 후방으로 이동하기 전에 상기 가압롤러(330)의 외부에 위치한 점착성 테이프(310)와 부착된 상부필름(F1)을 가압하며 고정시키는 클램프 고정대(340)가 상기 가압롤러(330)의 일측에 설치되는
   반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기.
   
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3. 제1항에 있어서,
   상기 코너클램프(220)는 기판(S)의 꼭지점 부분을 제외한 모서리 양측부를 고정시켜 기판(S)이 점착성 테이프(310)에 의해 상부로 올라가지 못하도록 기판(S)을 잡아주는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 점착성 테이프(310)의 점착력은 상기 기판(S)과 상부필름(F1) 사이의 점착력보다 강하며, 상기 고무재질의 가압롤러(330)는 상부필름(F1)의 상부에서 접촉될 때에 가압에 의해 밀착하며 면접촉하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 상부 테이프 박리로봇(300)은 기판(S)으로부터 상부필름(F1)이 박리될 때에 수직 상부로 정해진 거리만큼 상승하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기는 상부 테이프 박리로봇(300)과 동일한 형태로 기판의 하부필름을 제거하는 하부 테이프 박리로봇을 포함하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기.
   
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