KR101462618B1 - 배출수단이 구비된 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치에 관한 것으로, 적어도 일면에 보호필름이 부착된 기판을 챔버 내부의 테이블 상에 로딩하는 로딩부와, 상기 테이블 상에 위치한 기판을 정렬하는 정렬기와, 상기 정렬기에 안착된 기판의 보호필름의 가장자리에 초기박리부를 형성하여 보호필름을 초기 박리시키는 초기박리수단과, 상기 기판을 흡착하여 일측으로 이동시키기 위한 셔틀과, 상기 초기박리부가 형성된 보호필름의 일측에 테이프를 부착시켜 상기 셔틀이 기판을 일측으로 이동시키는 동안 보호필름을 완전히 박리시키는 테이프 유닛과, 상기 테이프 유닛에 붙어있는 보호필름을 회수하여 회수통에 버리는 클램프 유닛과, 상기 회수통에 담긴 보호필름을 진공압으로 빨아들여 챔버의 외부로 배출하는 배출수단과, 상기 보호필름이 박리된 기판을 언로딩하는 언로딩부를 포함함으로써, 인쇄회로기판에 부착된 보호필름을 안정되고 신속하게 박리하여 제품의 양호한 수율을 보장하고 품질의 신뢰성을 높이면서도, 박리된 보호필름을 외부로 용이하게 배출하여 작업자의 불편함을 해소하고, 장비 내부에 보호필름이 들어감으로 인해 발생하는 문제점 등을 해결할 수 있다.

Description

배출수단이 구비된 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치{Apparatus for Peeling Protect Film of Semiconducter Substrate}

본 발명은 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄회로기판을 보호하는 보호필름을 자동화 공정으로 박리시킨 후 박리된 보호필름을 용이하게 수집하여 분리 처리할 수 있도록 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuits Board)이라 함은 에폭시(Epoxy) 또는 페놀(Phenol) 수지 등으로 제작된 얇은 판에 필요한 회로의 배선을 동박으로 인쇄하여 각 전자소자의 상호 간을 연결하고 전원을 인가 후 회로를 동작시킬 수 있는 기판을 의미하는 것으로, 도전기능·절연기능·지지기능을 가진다.

이러한, 인쇄회로기판은 비교적 간단한 전자기기에는 단면이 사용되고 있으나, 최근에는 양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면 기판 또는, 이를 양면뿐 아니라 복수개의 층으로 확대시킨 다층 기판이 사용이 증가하고 있다.

전술한 바와 같은 인쇄회로기판(PCB)은 그 제조 공정 시 기판 표면에 오염물질이 묻는 것을 방지하도록 제품의 이상 유무를 확인한 제품에 대하여 인쇄회로기판(PCB)의 상하부 표면에 보호필름을 부착시켜 기판 면의 보호가 이루어지도록 하고 있다. 따라서, 이러한 인쇄회로기판에 반도체·컨덴서·저항 등 각종 부품을 끼울 수 있도록 하기 위해서는 인쇄회로기판(PCB) 면에 부착된 보호필름을 제거하여야만 한다.

상기 보호필름을 제거하는 방법으로, 작업자가 수작업으로 보호필름을 제거하는 경우에는 많은 작업인원을 필요로 할 뿐만 아니라 작업자가 한 손으로 회로기판을 잡은 상태에서 다른 한 손으로 보호필름을 벗겨내야 하므로 작업의 정밀도가 떨어지는 것은 물론 작업속도 또한 대단히 늦어지는 등 비능률적인 문제점이 있었다.

특히, 작업자마다 그 숙련도의 차이가 있으므로 보호필름의 박리과정에서 회로기판의 취급 부주의로 인한 회로손상과, 절연층의 손상으로 인한 박리표면의 불균일을 유발하여 제품의 불량률이 높아지는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 한국등록특허 제10-0855078호에는 회로기판에 부착된 보호필름을 자동으로 박리하여 제품의 양호한 수율을 보장하고 품질의 신뢰성을 높일 수 있는 회로기판의 보호필름 박리장치가 개시되어 있다.

그러나, 종래의 선행기술은 보호필름을 박리하기 위한 구성으로 다수개의 점착롤러와, 상기 다수개의 점착롤러에 이격되어 회전가능하게 설치되는 다수개의 지지롤러와, 상기 점착롤러와 지지롤러에 걸어 감기는 이송벨트 등이 구비되는 구조이기 때문에 구성이 매우 복잡하고, 롤러의 교체 수요가 많아 교체하는데 따른 어려움이 발생하는 문제점이 있었다.

또한, 보호필름을 박리한 후 박리된 보호필름을 회수하기 위한 보호필름 회수박스가 장비의 하부에 구비되어 있으므로, 상기 회수박스에 보호필름이 가득 차게 되면 작업자가 직접 회수박스를 장비에서 꺼내어 회수박스 내의 보호필름을 수거하여 배출해야 하므로, 매우 불편한 단점이 있었다.

또한, 장비의 내부에 설치되는 회수박스에 보호필름을 넣다가 보호필름이 회수박스에 가득 차게 되면 보호필름이 장비 안으로 말려 들어가거나, 장비 내 정전기로 인해 보호필름이 장비 내부를 돌아다니는 경우가 발생하여, 박리된 보호필름의 수거가 제대로 되지 않고 장비의 오작동을 발생시킬 수 있는 문제점이 있는 것이다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 인쇄회로기판에 부착된 보호필름을 안정되고 신속하게 박리하여 제품의 양호한 수율을 보장하고 품질의 신뢰성을 높이면서도, 박리된 보호필름을 외부로 용이하게 배출하여 작업자의 불편함을 해소하고, 장비 내부에 보호필름이 들어감으로 인해 발생하는 문제점 등을 해결할 수 있는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치를 제공하고자 하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 적어도 일면에 보호필름이 부착된 기판을 챔버 내부의 테이블 상에 로딩하는 로딩부와, 상기 테이블 상에 위치한 기판을 정렬하는 정렬기와, 상기 정렬기에 안착된 기판의 보호필름의 가장자리에 초기박리부를 형성하여 보호필름을 초기 박리시키는 초기박리수단과, 상기 기판을 흡착하여 일측으로 이동시키기 위한 셔틀과, 상기 초기박리부가 형성된 보호필름의 일측에 테이프를 부착시켜 상기 셔틀이 기판을 일측으로 이동시키는 동안 보호필름을 완전히 박리시키는 테이프 유닛과, 상기 테이프 유닛에 붙어있는 보호필름을 회수하여 회수통에 버리는 클램프 유닛과, 상기 회수통에 담긴 보호필름을 진공압으로 빨아들여 챔버의 외부로 배출하는 배출수단과, 상기 보호필름이 박리된 기판을 언로딩하는 언로딩부를 포함하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치가 제공된다.

상기 초기박리수단은, 레이저 광선을 발생시키는 레이저 발생기와, 상기 레이저 발생기에서 발생된 레이저 광선을 상기 보호필름의 가장자리에 조사하여 상기 초기박리부를 형성시켜 기판과 보호필름 사이에 틈을 형성하는 레이저 조사기로 이루어질 수 있다.

여기서, 상기 보호필름은 기판의 상면과 하면에 부착되고, 상기 레이저 조사기는 상기 기판을 사이에 두고 상부 레이저 조사기와 하부 레이저 조사기로 이루어질 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 셔틀은 기판의 상부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 상부셔틀과, 상기 기판의 하부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 하부셔틀로 이루어지어, 상기 상부셔틀 또는 하부셔틀 중 어느 하나의 셔틀이 테이블 상에서 기판의 일면을 흡착하여 이동하면서 보호필름을 1차적으로 벗기고, 일면의 보호필름이 벗겨진 기판을 나머지 하나의 셔틀이 전달받아 파지하여 이동하면서 보호필름을 2차적으로 벗기도록 구성할 수 있다.

한편, 상기 테이프 유닛은 제1 점착성 테이프를 기판의 하면에 부착된 하부 보호필름의 일측에 부착시키고, 상부셔틀이 기판을 일측으로 이동시키거나 하부 테이프 유닛이 타측으로 이동하여 하부 보호필름을 벗기는 하부 테이프 유닛과, 제2 점착성 테이프를 기판의 상면에 부착된 상부 보호필름의 일측에 부착시키고, 하부셔틀이 기판을 일측으로 이동하거나 상부 테이프 유닛이 타측으로 이동하여 상부 보호필름을 벗기는 상부 테이프 유닛으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 클램프 유닛은 상기 하부 테이프 유닛과 상부 테이프 유닛 사이를 왕복운동하면서 제1 점착성 테이프 또는 제2 점착성 테이프에 부착된 보호필름을 집어서 버리는 필름 클램프가 구비될 수 있다.

여기서, 상기 클램프 유닛은 가로 방향으로 왕복운동하고 상기 필름 클램프가 공압에 의해 보호필름을 집은 후 해제하여 하부의 상기 회수통에 낙하시킬 수 있다.

또한, 상기 클램프 유닛은 보호필름 박리시 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 제거기가 설치될 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 회수통은 상광하협된 형상으로 이루어지며, 그 하단부에는 보호필름을 배출하기 위한 배출공이 형성될 수 있다.

여기서, 상기 배출수단은 상기 회수통의 하단부에 형성된 배출공에 일단이 연결되어 보호필름을 챔버의 외부로 배출시키기 위한 덕트와, 상기 덕트의 타단에 연결되어 상기 보호필름을 진공압으로 빨아들이는 진공펌프와, 상기 덕트의 타단에 설치되어 덕트를 통해 외부로 배출된 보호필름이 낙하되는 수집공간을 구비하는 보호필름 수집기를 포함할 수 있다.

상기 덕트는 상기 회수통의 하단부에서 연결된 일단에서 상방향으로 2차 절곡되어 챔버의 외부로 보호필름을 배출하도록 구성될 수 있다.

여기서, 상기 덕트는 보호필름에 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 방지 코팅막이 형성될 수 있다.

이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 인쇄회로기판에 부착된 보호필름을 안정되고 신속하게 박리하여 제품의 양호한 수율을 보장하고 품질의 신뢰성을 높이면서도, 박리된 보호필름을 외부로 용이하게 배출하여 작업자의 불편함을 해소하고, 장비 내부에 보호필름이 들어감으로 인해 발생하는 문제점 등을 해결할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치의 구성을 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 상부 셔틀을 확대 도시한 정면도이다.
도 3은 본 발명의 상부 테이프 유닛을 확대 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 하부 셔틀을 확대 도시한 정면도이다.
도 5는 본 발명의 하부 테이프 유닛을 확대 도시한 정면도이다.
도 6은 본 발명의 클램프 유닛을 확대 도시한 정면도이다.
도 7은 본 발명의 보호필름 배출수단의 구성을 도시한 정면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 보호필름 박리장치의 작업공정을 순서대로 도시한 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치의 구성을 도시한 정면도이고, 도 2는 본 발명의 상부 셔틀을 확대 도시한 정면도이고, 도 3은 본 발명의 상부 테이프 유닛을 확대 도시한 정면도이고, 도 4는 본 발명의 하부 셔틀을 확대 도시한 정면도이고, 도 5는 본 발명의 하부 테이프 유닛을 확대 도시한 정면도이다.

본 발명의 보호필름 박리장치는 도 1에 도시한 바와 같이, 기판을 챔버(5) 내부의 테이블 상에 로딩하는 로딩부(10), 정렬기(20), 초기박리수단, 셔틀(30)(40), 테이프 유닛(50)(60), 클램프 유닛(70), 배출수단, 상기 보호필름이 박리된 기판을 언로딩하는 언로딩부(90)를 포함한다.

상기 챔버(5)는 도면에서 보는 바와 같이, 대략 상자 형태를 갖는 부재로서 다수의 수평프레임, 수직프레임 및 패널로 구성되며, 가급적 외부의 이물질 유입이 차단되는 구조로 구비되는 것이 바람직하다.

이러한 구성의 상기 챔버(5)는 후술할 테이프 유닛(50)(60)이 보호필름을 박리시킬 때 발생하는 정전기를 제거하기 위하여 내부 일측에 정전기 제거기(도시안함)가 설치되는 것이 바람직하며, 이때의 상기 정전기 제거기는 통상의 공지의 기술에 의해 실시되는 것이므로 상세한 설명은 생략한다.

상기 로딩부(10)는 적어도 일면에 보호필름이 부착된 기판을 챔버(5) 내부에 장입시키고자 하는 것으로, 본 발명의 로딩부(10)는 기판을 수평으로 로딩하여 테이블 상에 안착시키기 위한 로더 암(Loader Arm)(12)을 구비한다.

본 발명에서, 상기 기판은 일면에 회로가 형성된 단면기판이나 양면에 회로가 형성된 양면기판 모두 적용될 수 있다. 그러나, 통상적으로 최근에는 양면기판을 많이 사용하므로, 본 발명의 실시예에서는 상면과 하면에 모두 보호필름이 부착된 양면기판을 예로 들어 설명하기로 한다.

상기 정렬기(20)는 테이블 상에 위치한 기판을 정렬한다.

상기 정렬기(20)에 안착된 기판은 상기 초기박리수단에 의해 보호필름의 가장자리에 초기박리부를 형성하여 보호필름을 초기 박리시킨다.

본 발명에서 초기박리부는 열에 의해 보호필름 일부가 기판으로부터 부풀어올라 갭이 생긴 경우를 포함하는 개념으로, 본 발명의 초기박리수단은 보호필름의 일측(기판이 진행하는 방향 측) 변두리에 초기박리부를 형성시켜 기판과 보호필름 사이에 틈을 형성한다.

본 발명에서는 상기 초기박리수단으로 도 8의 (b)단계에 도시한 바와 같이, 레이저 광선을 발생시키는 레이저 발생기(80)와, 상기 레이저 발생기(80)에서 발생된 레이저 광선을 상기 보호필름의 가장자리에 조사하여 상기 초기박리부를 형성시켜 기판(S)과 보호필름 사이에 틈을 형성하는 레이저 조사기(82)(84)를 포함한다.

상기 레이저 조사기(82)(84)는 상기 기판(S)을 사이에 두고 상부와 하부에 설치되는 상부 레이저 조사기(82)와 하부 레이저 조사기(84)로 이루어질 수 있다.

이와 같은 초기박리수단은 상기 상부 레이저 조사기(82)와 하부 레이저 조사기(84)가 레이저 광선을 기판(S)의 상면과 하면에 부착된 보호필름의 가장자리에 동시에 조사하여 상기 초기박리부를 형성시킴으로써, 상기 기판(S)과 보호필름 사이에 틈을 형성한다. 여기서, 상기 레이저 조사기(82)(84)는 필름이 손상되지 않는 범위에서 필름의 물성만 변화시키는 수준의 레이저 광선을 조사하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 셔틀(30)(40)은 상기 기판을 흡착하여 일측으로 이동시키기 위한 것으로, 본 발명에서의 상기 셔틀(30)(40)은 기판의 상부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 상부셔틀(30)과, 상기 기판의 하부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 하부셔틀(40)로 이루어진다.

이와 같은 본 발명의 셔틀(30)(40)은 상기 상부셔틀(30) 또는 하부셔틀(40) 중 어느 하나의 셔틀이 테이블 상에서 기판의 일면을 흡착하여 이동하면서 보호필름을 1차적으로 벗기고, 일면의 보호필름이 벗겨진 기판을 나머지 하나의 셔틀이 전달받아 파지하여 이동하면서 보호필름을 2차적으로 벗기도록 구성된다.

상기 상부셔틀(30)은 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 가로레일(R1)을 따라 좌우로 왕복운동하는 셔틀프레임(34)과, 상기 셔틀프레임(34)에 일체로 고정된 제1 상하 구동수단(33)와, 제1 상하 구동수단(33)에 의해 상하로 승강되는 상기 중간판(32)과, 상기 중간판(32)의 하부에 연결되고 기판을 진공으로 흡착하는 제1 흡착판부(31)를 포함하여 구성된다.

이와 같은 상부셔틀(30)은 상기 기판(S)을 제1 흡착판부(31)가 진공으로 흡착하여 상기 제1 가로레일(R1)을 따라 기판의 진행방향으로 이동시키며, 후술할 하부셔틀(40)에 기판을 넘겨주는 과정에서 상기 제1 흡착판부(31)의 진공을 해제하여 기판(S)을 하부셔틀(40)에 넘겨주고, 상기 제1 상하 구동수단(33)을 통해 상방향으로 이동한 후 상기 제1 가로레일(R1)을 따라 역방향으로 이동하면서 다음 순서의 기판을 흡착할 수 있도록 준비한다.

한편, 하부셔틀(40)은 도 4에서 보는 바와 같이, 제2 가로레일(R2)을 따라 좌우로 왕복운동하는 셔틀프레임(44)과, 셔틀프레임(44)에 연결되고 기판을 진공으로 흡착하는 제2 흡착판부(41)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

본 발명의 상기 테이프 유닛(50)(60)은 상기 초기박리부가 형성된 보호필름의 일측에 테이프를 부착시켜 상기 셔틀(30)(40)이 기판을 일측으로 이동시키는 동안 보호필름을 완전히 박리시키는 것으로, 상기 테이프 유닛(50)(60)은 상부 테이프 유닛(50)과, 하부 테이프 유닛(60)으로 구성된다.

본 발명에서는 도 8에서 보는 바와 같이, 하부 테이프 유닛(60)이 먼저, 제1 점착성 테이프(도시안함)를 기판(S)의 하면에 부착된 하부 보호필름(F1)의 일측에 부착시켜 하부 보호필름을 벗기고, 상부 테이프 유닛(50)이 제2 점착성 테이프를 기판의 상면에 부착된 상부 보호필름(F2)의 일측에 부착시켜 상부 보호필름을 벗기는 순서로 진행된다.

여기서, 상기 하부 보호필름(F1)을 벗기기 위해서는 상부셔틀(30)이 기판을 일측으로 이동시키거나 하부 테이프 유닛이(60) 타측으로 이동하여 하부 보호필름을 벗길 수 있다. 또한, 상부 보호필름(F2)을 벗기기 위해서는 하부셔틀(40)이 기판을 일측으로 이동하거나 상부 테이프 유닛(50)이 타측으로 이동하여 상부 보호필름(F2)을 벗길 수 있다.

여기서, 하부 테이프 유닛(60)은 도 5에서 보는 바와 같이, 제3 수직프레임(64)에 탑재되어 승강되고, 제3 수직프레임(64)은 제3 가로 구동수단(M3)에 의해 제3 가로레일(R3)을 타고 가로방향으로 왕복운동하고, 롤러(66)에 감겨있는 제1 점착성 테이프(62)가 하부 테이프 유닛(60)의 상부에 노출되어 보호필름을 부착시킬 수 있게 설치된다.

상부 테이프 유닛(50)은 제4 수직프레임(54)에 탑재되어 승강되고, 상기 제4 수직프레임(54)은 제4 가로 구동수단(56)에 의해 제4 가로레일(R4)을 타고 가로방향으로 왕복운동하고, 롤러(58)에 감겨있는 제2 점착성 테이프(52)가 상부 테이프 유닛(50)의 하부에 노출된다.

이와 같이 기판에서 박리된 보호필름은 상기 클램프 유닛(70)이 상기 테이프 유닛(50)(60)에 붙어있는 보호필름을 회수하여 회수통(110)에 버리게 된다.

상기 클램프 유닛(70)은 상기 하부 테이프 유닛(60)과 상부 테이프 유닛(50) 사이를 왕복운동하면서 제1 점착성 테이프 또는 제2 점착성 테이프에 부착된 보호필름을 집어서 상기 회수통(110)에 버리는 것으로, 도 6에 도시한 바와 같이, 제5 가로레일(R5)을 따라 좌우로 왕복운동하는 프레임(72)과, 상기 제1 점착성 테이프 또는 제2 점착성 테이프에 부착된 보호필름을 집을 수 있는 필름 클램프(74)가 구비된다.

상기 프레임(72)은 상기 제5 가로레일(R5)에 일단이 고정된 체인(76)에 의해 제5 가로레일(R5)을 따라 좌우로 왕복운동하며, 제5 가로 구동수단(M5)에서 발생하는 구동력으로 제5 가로레일(R5)을 타고 가로방향으로 왕복운동한다.

상기 필름 클램프(74)는 상기 프레임(72)에 결합 설치되어 제5 가로레일(R5)을 따라 수평방향으로 이동 가능하게 구비되는 것으로, 상기 보호필름에 대한 흡착을 실시하는 중공의 봉 형상을 갖는 부재로 마련되는 것이 바람직하다.

이러한 필름 클램프(74)는 도면에 나타내지는 않았으나 진공펌프(미도시)와 관으로 연결되어 진공압이 작용됨으로써, 공압에 의해 상기 보호필름(F1)(F2)을 집은 후 진공압을 해제하여 하부의 상기 회수통(110)에 낙하시킬 수 있다.

또한, 상기 클램프 유닛(70)은 보호필름 박리시 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 제거기가 설치될 수 있다. 상기 정전기 제거기는 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 필름 클램프(74)의 상측에 설치될 수 있으며, 통상의 기술이 적용될 수 있으므로, 이에 대해서는 상세한 설명을 생략하도록 한다.

한편, 본 발명에서는 상기 회수통(110)에 담긴 보호필름을 진공압으로 빨아들여 챔버(5)의 외부로 배출하는 배출수단이 구비된다.

본 발명에 있어서, 상기 회수통(110)은 상광하협된 형상으로 이루어지며, 그 하단부에는 보호필름을 배출하기 위한 배출공(112)이 형성될 수 있다.

도 7은 본 발명의 보호필름 배출수단의 구성을 도시한 정면도로서, 상기 배출수단은 상기 회수통(110)의 하단부에 형성된 배출공(112)에 일단이 연결되어 보호필름을 챔버(5)의 외부로 배출시키기 위한 덕트(120)와, 상기 덕트(120)의 타단에 연결되어 상기 보호필름을 진공압으로 빨아들이는 진공펌프(도시안함)와, 상기 덕트(120)의 타단에 설치되어 덕트(120)를 통해 챔버(5)의 외부로 배출된 보호필름(F)이 낙하되는 수집공간을 구비하는 보호필름 수집기(130)를 포함할 수 있다.

상기 덕트(120)는 상기 회수통(110)의 하단부에서 연결된 일단에서 상방향으로 2차 절곡되어 상기 챔버(5)의 상면을 관통하여 외부로 설치되며, 바람직하게는 도 1에 보인 바와 같이, 상기 챔버(5)가 설치된 장소의 천정에 설치되어 외부로 보호필름을 배출하도록 구성될 수 있다. 도 7에서는 상기 덕트(120)의 길이방향으로 도시를 생략하여, 상기 보호필름 수집기(130)를 나타내었다.

이와 같은 배출수단은 상기 진공펌프가 빨아들이는 진공압에 의해 회수통(110)에 버려지는 보호필름(F)이 순식간에 보호필름 수집기(130)로 수집될 수 있으며, 이로 인해, 보호필름이 장비 안으로 말려 들어가거나, 장비 내 정전기로 인해 보호필름이 장비 내부를 돌아다니는 종래의 문제점을 해결할 수 있다.

여기서, 상기 덕트(120)는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지어 보호필름에서 발생하는 정전기가 덕트(120) 내부를 이동하는 동안 최소화될 수 있도록 할 수 있다.

또한, 상기 덕트(120)는 보호필름(F)에 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 방지 코팅막이 형성될 수 있다. 상기 정전기 방지 코팅막은 테플론, 불소수지 등의 정전기 코팅을 위한 재질로 이루어질 수 있으며, 본 발명에서는 이를 한정하지 않는다.

이와 같은 본 발명의 보호필름 박리장치의 작업공정을 순서대로 설명하면 다음과 같다.

도 8에 도시한 바와 같이, 적재 이동이 가능한 대차로 리프트에 기판(S)을 적재하면, 로딩부(10)의 진공패드 유닛이 기판(S)을 한 장 흡착하여 정렬기(20)에 안착한다(a).

상기 정렬기(20)에서 기판(S)을 정렬하고, 상부 레이저 조사기(82)와 하부 레이저 조사기(84)로 기판(S)의 상하면에 레이저 광선을 조사하여 초기박리부를 형성한다(b).

이후, 상부셔틀(30)이 정렬기(20)로 이동하여 기판(S)의 상부를 흡착하고, 하부 테이프 유닛(60)은 제1 점착성 테이프(62)를 초기박리부가 형성된 하부 보호필름의 일측에 부착시키고, 상부셔틀(30)이 기판(S)을 일측으로 이동시키면서 동시에 하부 테이프 유닛(60)이 타측으로 이동하여 하부 보호필름(F1)을 벗긴다(d).

하부 테이프 유닛(60)에 붙어있는 필름을 클램프 유닛(70)이 셔틀의 하부에서 회수하여 회수통(110)에 버린다(e).

하부셔틀(40)이 이동하여 상부셔틀(30)로부터 하부 보호필름이 벗겨진 기판(S)을 전달받아 파지한다(f).

하부셔틀(40)에 흡착된 기판(S)을 상부 테이프 유닛(50)이 하강하여 제2 점착성 테이프(52)를 초기박리부가 형성된 상부 보호필름의 일측에 부착시키고, 하부셔틀(40)이 기판(S)을 일측으로 이동시키면셔 상부 테이프 유닛(50)이 타측으로 이동하여 상부 보호필름(F2)을 벗긴다(h).

상부 테이프 유닛(50)이 셔틀 하부로 하강하면 상기 클램프 유닛(70)이 필름을 회수하여 회수동(110)에 버린다(i).

상기 클램프 유닛(70)은 하부 테이프 유닛(60)과 상부 테이프 유닛(50) 사이를 제5 가로레일(R5)을 타고 왕복운동하면서 제1, 제2 점착성 테이프(62, 52)에 부착된 박리된 보호필름(F1, F2)을 필름 클램프(74)의 진공압에 의해 집은 후 해제하여 하부의 회수통(110)에 낙하시킨다.

상기 회수통(110)에 낙하된 보호필름은 상기 덕트(120)를 통해 챔버(5) 외부로 배출된다.

상하면의 필름을 제거한 기판은 진공으로 흡착하여 컨베이어에 내려놓는다(k).

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

5: 챔버 10: 로딩부
20: 정렬기 30: 상부셔틀
31: 제1 흡착판부 32: 중간판
33: 제1 상하 구동수단 34: 셔틀프레임
40: 하부셔틀 41: 제2 흡착판부
44: 셔틀프레임 50: 상부 테이프 유닛
52: 제2 점착성 테이프 54: 제4 수직프레임
60: 하부 테이프 유닛 62: 제1 점착성 테이프
64: 제3 수직프레임 70: 클램프 유닛
72: 프레임 74: 필름 클램프
110: 회수통 112: 배출공
120: 덕트 130: 보호필름 수집기

Claims (12)

1. 적어도 일면에 보호필름이 부착된 기판을 챔버 내부의 테이블 상에 로딩하는 로딩부;
   상기 테이블 상에 위치한 기판을 정렬하는 정렬기;
   상기 정렬기에 안착된 기판의 보호필름의 가장자리에 초기박리부를 형성하여 보호필름을 초기박리시키는 초기박리수단;
   상기 기판을 흡착하여 일측으로 이동시키기 위한 셔틀;
   상기 초기박리부가 형성된 보호필름의 일측에 테이프를 부착시켜 상기 셔틀이 기판을 일측으로 이동시키는 동안 보호필름을 완전히 박리시키는 테이프 유닛;
   상기 테이프 유닛에 붙어있는 보호필름을 회수하여 회수통에 버리는 클램프 유닛;
   상기 회수통에 담긴 보호필름을 진공압으로 빨아들여 상기 챔버의 외부로 배출하는 배출수단; 및
   상기 보호필름이 박리된 기판을 언로딩하는 언로딩부;
   를 포함하며,
   상기 초기박리수단은 레이저 광선을 발생시키는 레이저 발생기와,
   상기 레이저 발생기에서 발생된 레이저 광선을 상기 보호필름의 가장자리에 조사하여 상기 초기박리부를 형성시켜 기판과 보호필름 사이에 틈을 형성하는 레이저 조사기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 보호필름은 기판의 상면과 하면에 부착되고,
   상기 레이저 조사기는 상기 기판을 사이에 두고 상부 레이저 조사기와 하부 레이저 조사기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 셔틀은 기판의 상부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 상부셔틀과,
   상기 기판의 하부를 흡착하여 왕복운동하도록 구성된 하부셔틀로 이루어지어,
   상기 상부셔틀 또는 하부셔틀 중 어느 하나의 셔틀이 테이블 상에서 기판의 일면을 흡착하여 이동하면서 보호필름을 1차적으로 벗기고,
   일면의 보호필름이 벗겨진 기판을 나머지 하나의 셔틀이 전달받아 파지하여 이동하면서 보호필름을 2차적으로 벗기는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 테이프 유닛은 제1 점착성 테이프를 기판의 하면에 부착된 하부 보호필름의 일측에 부착시키고, 상부셔틀이 기판을 일측으로 이동시키거나 하부 테이프 유닛이 타측으로 이동하여 하부 보호필름을 벗기는 하부 테이프 유닛과,
   제2 점착성 테이프를 기판의 상면에 부착된 상부 보호필름의 일측에 부착시키고, 하부셔틀이 기판을 일측으로 이동하거나 상부 테이프 유닛이 타측으로 이동하여 상부 보호필름을 벗기는 상부 테이프 유닛으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 클램프 유닛은 제5 가로레일을 따라 좌우로 왕복운동하는 프레임과, 상기 하부 테이프 유닛과 상부 테이프 유닛 사이를 왕복운동하면서 제1 점착성 테이프 또는 제2 점착성 테이프에 부착된 보호필름을 집어서 버리는 필름 클램프가 구비되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 프레임은 제5 가로 구동수단에서 발생하는 구동력으로 상기 제5 가로레일에 일단이 고정된 체인에 의해 제5 가로레일을 따라 좌우로 왕복운동하며, 상기 필름 클램프가 공압에 의해 보호필름을 집은 후 해제하여 하부의 상기 회수통에 낙하시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
8. 청구항 6에 있어서,
   상기 클램프 유닛은 보호필름 박리시 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 제거기가 설치되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
9. 청구항 1에 있어서,
   상기 회수통은 상광하협된 형상으로 이루어지며, 그 하단부에는 보호필름을 배출하기 위한 배출공이 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 배출수단은 상기 회수통의 하단부에 형성된 배출공에 일단이 연결되어 보호필름을 챔버의 외부로 배출시키기 위한 덕트;
    상기 덕트의 타단에 연결되어 상기 보호필름을 진공압으로 빨아들이는 진공펌프; 및
    상기 덕트의 타단에 설치되어 덕트를 통해 외부로 배출된 보호필름이 낙하되는 수집공간을 구비하는 보호필름 수집기;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 덕트는 상기 회수통의 하단부에서 연결된 일단에서 상방향으로 2차 절곡되어 챔버의 외부로 보호필름을 배출하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.
12. 청구항 10에 있어서,
    상기 덕트는 보호필름에 발생하는 정전기를 제거하기 위한 정전기 방지 코팅막이 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 보호필름 박리장치.

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