CN109867159A - 离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置，其能够在使覆盖层薄膜不产生翘曲、损伤的情况下，将离型膜从单片的叠层薄膜处剥离且去除。本发明的离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置10，将叠层薄膜1的离型膜4侧吸附于叠层薄膜吸附台14，将叠层薄膜1向X(‑)方向移动的同时使用预剥离辊13使覆盖层薄膜2的端部从离型膜4处浮起从而形成预剥离留边部L后，将叠层薄膜1的覆盖层薄膜2侧吸附于吸附头16，通过将叠层薄膜吸附台14以及剥离辊30向X(+)方向移动来转动剥离辊30，从而将离型膜4从叠层薄膜1处卷绕的同时进行剥离，并且通过传送带33来传送且去除。

Description

离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置

技术领域

本发明涉及离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置。

背景技术

以往，被普遍认知的电路基板是将具有热固性粘合剂层的导体图案保护用覆盖层薄膜(cover lay film)粘贴在形成铜箔等导体图案后的基板的导体图案形成面上后使用。在覆盖层薄膜中，作为保护薄膜的离型膜被叠层在热固性粘合剂层表面上(将这称为叠层薄膜)，并且将离型膜从叠层薄膜剥离后，覆盖层薄膜被加热压接在电路基板上。在剥离叠层在粘合剂层的离型膜时，剥离被要求为不能使覆盖层薄膜有翘曲、损伤。

作为将离型膜从单片的叠层薄膜剥离的方法，有一种将空气吹送到叠层薄膜的角部，从而掀起角部上层侧的离型膜，并且将该掀起后的离型膜通过保持装置来进行保持，在吹送空气的同时将保持装置沿角部的对角线移动来剥离离型膜的方法(例如，参照专利文献1)。

此外，在将保护薄膜从叠层有基板材料(电路基板)与保护材料(离型膜)的叠层板材料处剥离的剥离方法中，有一种通过半切割(half cut)将保护材料切割，并且与半切割的断片一起将基板材料通过保持装置抓住后将保护材料剥下的保护材料剥离方法(例如，参照专利文献2)。

【先行技术文献】

【专利文献1】特开2008-37572号公报

【专利文献2】特开2015-83504号公报

但是，专利文献1中记载的剥离方法，是将空气吹送到叠层薄膜的同时将离型膜从叠层薄膜处掀起后剥离的方法，在剥离开始时离型膜的掀起时间里会出现偏差、在剥离过程中离型膜整体会浮起并且由于静电等粘贴在其他地方等，在剥离工序与去除工序中有时会出现阻碍。

此外，专利文献2中记载的剥离方法由于是将保护材料半切割，所以会有损伤基板材料、保护材料没有被完全切割的问题。并且在半切割时，可以想到会产生切割残余物并粘附在基板材料上，必须将半切割后的断片从基板材料剥离去除的问题。

因此，本发明为了解决上述这种问题，目的是提供一种离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置，其能够在使覆盖层薄膜不产生翘曲、损伤的情况下，将离型膜从单片的叠层薄膜处剥离且去除。

发明内容

【1】本发明的离型膜剥离方法，是一种从由具有热固性粘合剂层的覆盖层薄膜与叠层在所述粘合剂层的离型膜所构成的单片的叠层薄膜处将所述离型膜剥离且去除的离型膜剥离方法，其特征在于，包括：将所述叠层薄膜的所述离型膜侧真空吸附于叠层薄膜吸附台的工序；将所述叠层薄膜向一方的方向移动的同时使用预剥离辊将所述叠层薄膜从所述覆盖层薄膜侧按压的同时使所述预剥离辊转动，并且使所述覆盖层薄膜的端部从所述离型膜处浮起从而形成预剥离留边部的工序；解除叠层薄膜对于所述叠层薄膜吸附台的吸附，并且将叠层薄膜的覆盖层薄膜的整个面真空吸附于吸附头的工序；以及在吸附头是将所述叠层薄膜吸附后的状态下，将具有粘贴性的剥离辊接触于所述离型膜后，通过将所述叠层薄膜吸附台以及所述剥离辊向另一方向移动来转动所述剥离辊，从而将所述离型膜从所述叠层薄膜处卷绕的同时进行剥离且去除的工序。

根据本发明的离型膜剥离方法，通过将预剥离辊从叠层薄膜的覆盖层薄膜侧按压的同时使其转动来形成预剥离留边部，并且通过吸附头将覆盖层薄膜的整个面吸附后，使离型膜剥离辊部转动从而将离型膜从叠层薄膜处剥离。通过这样，在单片的叠层薄膜中，就能够在使覆盖层薄膜不产生翘曲、损伤的情况下，将离型膜剥离且去除。

【2】在本发明的离型膜剥离方法中，理想的情况是：在形成所述预剥离留边部的工序中，按压所述覆盖层薄膜的同时使所述预剥离辊转动来使所述覆盖层薄膜的端部从所述离型膜处浮起，并且使空气接触于所述粘合剂层。

热固性粘合剂层能够利用一旦其表面接触于空气如果不进行加热就无法再次粘贴离型膜这一特性来形成预剥离留边部，并且一旦从该预剥离留边部开始剥离，就能够容易地从叠层薄膜处将离型膜剥离。

【3】在本发明的离型膜剥离方法中，理想的情况是：在所述吸附头是将所述叠层薄膜真空吸附的工序中，通过所述吸附头将含有所述预剥离留边部的所述叠层薄膜的整个面吸附。

吸附头由于将含有预剥离留边部的覆盖层薄膜的整个面吸附，所以在剥离离型膜时就能够防止覆盖层薄膜产生翘曲。并且，由于剥离辊没有直接接触于覆盖层薄膜，所以进而就能够防止损伤覆盖层薄膜。

【4】在本发明的离型膜剥离方法中，理想的情况是：在将所述离型膜剥离且去除的工序中，在使用所述剥离辊剥离所述离型膜的同时将剥离后的所述离型膜通过传送带来传送，并且通过分离板从所述剥离辊以及所述传送带处将所述离型膜分离后去除。

当仅使用剥离辊来剥离离型膜时，离型膜会被卷入剥离辊从而会导致难以从剥离辊处将离型膜去除。因此，如果将剥离后的离型膜通过传送带来传送的同时再通过分离板从剥离辊以及传送带处分离的话，就能够在离型膜不会缠绕在剥离辊的情况下，将离型膜从覆盖层薄膜处剥离且去除。

【5】本发明的离型膜剥离装置，是一种从由具有热固性粘合剂层的覆盖层薄膜与叠层在所述粘合剂层的离型膜所构成的单片的叠层薄膜处将所述离型膜剥离且去除的离型膜剥离装置，其特征在于，包括：叠层薄膜吸附台，将所述叠层薄膜的所述离型膜侧真空吸附的同时能够向一个方向往返移动；预剥离辊，从所述覆盖层薄膜侧按压所述叠层薄膜，并且通过向所述叠层薄膜吸附台的一方的方向移动来进行转动的同时在所述叠层薄膜的行进方向侧的端部上形成预剥离留边部；吸附头，将所述叠层薄膜的所述覆盖层薄膜侧真空吸附；以及离型膜剥离辊部，能够与所述叠层薄膜吸附台成为一体后移动，并且在所述吸附头是将所述叠层薄膜吸附后的状态下，在所述预剥离留边部中剥离辊与所述离型膜抵接，并且通过向所述叠层薄膜吸附台的另一方向移动在所述剥离辊转动的同时从所述叠层薄膜处将所述离型膜剥离。

根据本发明的离型膜剥离装置，通过从叠层薄膜的覆盖层薄膜侧按压预剥离辊的同时使其转动，并且使覆盖层薄膜的端部从离型膜处浮起从而形成预剥离留边部，在通过吸附头将覆盖层薄膜的整个面吸附后，剥离辊会转动并且从叠层薄膜处将离型膜剥离。通过这样，在单片的叠层薄膜中，就能够使覆盖层薄膜在没有产生翘曲、损伤的情况下，将离型膜从叠层薄膜处剥离。

【6】在本发明的离型膜剥离装置中，理想的情况是：所述预剥离辊是比垂直于所述叠层薄膜的移动方向的宽度尺寸更长，并且表面具有粘贴性，将所述叠层薄膜按压的同时通过所述叠层薄膜吸附台的移动来进行转动的结构。

由此构成的预剥离辊，利用粘贴性通过没有偏移地按压叠层薄膜的同时向叠层薄膜吸附台相对地移动来进行转动，从而就能够使覆盖层薄膜从被叠层薄膜吸附台真空吸附后的离型膜处浮起并形成预剥离留边部。

【7】在本发明的离型膜剥离装置中，理想的情况是：所述离型膜剥离辊部包括：所述剥离辊，比所述叠层薄膜的宽度尺寸更长，并且表面具有粘贴性；从动辊，配置在所述剥离辊的下方侧，并且在比所述剥离辊更远离所述叠层薄膜吸附台的位置；以及传送带，连结所述剥离辊与所述从动辊并且传送剥离后的所述离型膜，其中，所述剥离辊以及所述从动辊上形成有多个沟，在多个所述沟上各自安装有所述传送带，并且所述传送带是以收纳于所述剥离辊的外周表面的内侧的方式被安装。

通过这样来构成的离型膜剥离辊部，通过具有粘贴性的剥离辊对离型膜的整个宽度以连续并且几乎均匀卷绕的方式进行剥离，被剥离后的离型膜通过传送带被传送至下方。因此，被剥离后的离型膜就能够在不会缠绕于剥离辊的情况下通过传送带从剥离辊处分离后传送。

【8】在本发明的离型膜剥离装置中，理想的情况是：所述离型膜剥离辊部，具有：分离板，被配置为在所述剥离辊与所述从动辊之间与所述传送带交叉，并且所述从动辊侧从该交叉部向所述传送带的外侧突出。

被通过剥离辊剥离时的离型膜，通过传送带被传送至下方侧(远离剥离辊的方向)，并且通过分离板就能够从传送带处被分离后去除。

【9】在本发明的离型膜剥离装置中，理想的情况是：所述吸附头，具有：在吸附被剥离所述离型膜后的所述覆盖层薄膜的状态下，移动至粘贴所述覆盖层薄膜的电路基板的配置位置，并且将所述覆盖层薄膜加热压接在所述电路基板的规定位置的功能。

通过这样来构成，就能够将离型膜剥离装置实现从叠层薄膜处将离型膜剥离且去除的剥离功能，并且兼具将覆盖层薄膜加热压接在电路基板的粘贴功能。

附图说明

图1是展示叠层薄膜1的结构的截面图。

图2是展示实施方式中的离型膜剥离装置10的结构的斜视图。

图3是展示叠层薄膜吸附台单元11的结构的图。

图4是从Y(+)方向观看叠层薄膜吸附台单元11与离型膜剥离辊部15的图。

图5是展示实施方式中的离型膜剥离方法的工序流程图。

图6是将实施方式中的离型膜剥离方法的主要工序简化后来展示的工序说明图。

图7是将离型膜4的剥离·去除工序放大后来展示的图。

具体实施方式

以下，将参照图1～图7来对本发明的实施方式中的离型膜剥离方法以及离型膜剥离装置10进行说明。

【叠层薄膜1的结构】

图1是展示叠层薄膜1的结构的截面图。叠层薄膜1是平面形状为四边形的单片(有时被称为单片或条状)，并且由具有热固性粘合剂层3的覆盖层薄膜2、与叠层在粘合剂层3的离型膜4构成。覆盖层薄膜2是形成导电图案后的柔性(flexible)布线基板等的表面保护用的，聚酰亚胺树脂、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)树脂等的薄膜。离型膜4由PET树脂等构成，并且是用于保护粘合剂层3的表面的薄膜。粘合剂层3与离型膜4是将层之间的空气排除后紧密相接的叠层状态，并且由于粘合剂层3具有热固性，所以粘合剂层3在常温下一旦与空气接触就会成为分离状态，从而就能够成为将离型膜4从粘合剂层3，也就是从覆盖层薄膜2处剥离的结构。

【离型膜剥离装置10的结构】

图2是展示实施方式中的离型膜剥离装置10的结构的斜视图。其中，在之后说明的图中，将图2的图示左右方向使用X来表示，将右方向设为X(+)，左方向设为X(-)，将图示的纵深方向使用Y来表示，将深侧设为Y(-)，近侧设为Y(+)，将垂直于X-Y平面的方向使用Z来表示，将上侧作为Z(+)或上方，下侧作为Z(-)或下方来说明。离型膜剥离装置10具有：叠层薄膜吸附台单元11，将叠层薄膜1在离型膜4(参照图1)侧真空吸附；吸附头单元12，将叠层薄膜1在覆盖层薄膜2(参照图1)侧真空吸附；以及预剥离辊13，将叠层薄膜1从覆盖层薄膜侧向叠层薄膜吸附台14按压。图2所示的叠层薄膜吸附台单元11、吸附头单元12以及叠层薄膜1，是展示运作时的一种状态的配置图。预剥离辊13的材质是例如聚烯烃型橡胶等具有粘贴性的材质，并且也可以在外周表面形成粘贴层。

叠层薄膜吸附台单元11具有：叠层薄膜吸附台14；以及离型膜剥离辊部15，安装在叠层薄膜吸附台14的X(-)方向端部。叠层薄膜吸附台单元11能够向X方向往返移动，并且在将预剥离辊13的下方通过于X(-)方向时，进行离型膜4的预剥离，在将吸附头单元12的下方向X(+)方向移动时，通过离型膜剥离辊部15运作为将离型膜4从覆盖层薄膜2处剥离且去除。叠层薄膜吸附台单元11的详细结构将参照图3、图4，离型膜4的剥离方法将参照图5、图6、图7在之后进行叙述。

吸附头单元12具有：吸附头16，设置在叠层薄膜吸附台单元11的上方(Z(+)侧)，并且面向于叠层薄膜吸附台14；Z轴驱动部17，使吸附头16向Z方向往返移动；以及Y轴驱动部18，使吸附头16向Y方向往返移动。Z轴驱动部17以及Y轴驱动部18通过伺服电机(Servomotor)与滚珠丝杠机构(省略图示)来高精度驱动。吸附头单元12具有将吸附头16向水平方向旋转的θ轴驱动部19，θ轴驱动部19修正吸附后的覆盖层薄膜2的姿势(相对于X轴或Y轴的角度)。在吸附头16上，设置有多个用于真空吸附叠层薄膜1的吸附孔(无图示)。

在离型膜剥离装置10的X(+)方向上，配置有：基板吸附台20，将作为覆盖层薄膜2的粘贴对象的无图示的电路基板(例如，柔性布线基板)进行真空吸附；以及供料单元21，将电路基板供料于基板吸附台20，并且将叠层薄膜1供料于叠层薄膜吸附台14。其中，供料单元21能够向Y轴方向以及Z轴方向各自往返移动。基板吸附台20沿导轨22向X(-)方向移动至吸附头16的下方，并且将覆盖层薄膜2加热压接在电路基板的导体图案形成面上。粘贴覆盖层薄膜2后的电路基板沿导轨22向X(+)方向移动，被通过压接辊23来压接，并且返回至基板供料位置后被除料。

【叠层薄膜吸附台单元11的结构】

图3是展示叠层薄膜吸附台单元11的结构的图，图3(a)是展示叠层薄膜吸附台单元11的整体结构的斜视图，图3(b)是将图3(a)中所示的被虚线B包围的吸附孔形成区域24的一部分放大后来展示的图。叠层薄膜吸附台单元11包括：叠层薄膜吸附台14，具有排列有多个吸附孔25的吸附孔形成区域24；台基部26，放置叠层薄膜吸附台14并将其保持；以及离型膜剥离辊部15，设置在叠层薄膜吸附台14的X(-)方向端部。

离型膜剥离辊部15由比叠层薄膜1的宽度(Y方向的尺寸)更长、并且表面具有粘贴性的剥离辊30，与配置在下方侧远离剥离辊30的位置的从动辊31构成。从动辊31具有与剥离辊30相同的长度。剥离辊30以及从动辊31的两端部被支撑板32可旋转地支撑。支撑板32被固定于台基部26的Y方向两端。作为剥离辊30的材质，也可以是例如聚烯烃型橡胶等材质，并且在外周表面形成粘贴层。剥离辊30与从动辊31被通过截面为圆形的传送带33来连结。传送带33被安装在各自形成于剥离辊30以及从动辊31的沟34、35上。剥离辊30与从动辊31之间，设置有分离板36。剥离辊30、从动辊31以及传送带33的连结关系将参照图4来进行详细说明。

图4是从Y(+)方向观看叠层薄膜吸附台单元11与离型膜剥离辊部15的图。图4(a)是展示图3所示的在切割线A-A切割后的切割面的截面图，图4(b)是将离型膜剥离辊部15(在图4(a)中被虚线C包围的部分)放大后进行展示的图。在叠层薄膜吸附台14中，设置有多个如图3(b)所示般的吸附孔25，并且吸附孔25连通于负压室27。负压室27通过接头28连接于无图示的真空泵，并且通过驱动真空泵，从吸附孔25处吸收空气从而将叠层薄膜1在离型膜4侧进行真空吸附。如图4(a)所示，剥离辊30的外周上面被配置在位于比叠层薄膜吸附台14更高(Z(+)方向)的位置上，从动辊31被配置在位于比剥离辊30更在下方侧、并且远离X(-)方向的位置上。将剥离辊30与从动辊31的轴心连结的直线(在图中，用双点划线表示)，相对于叠层薄膜吸附台14的表面呈角度θ倾斜。

如图4(b)所示，剥离辊30以及从动辊31上各自形成有沟34、35。这些沟34、35上安装有传送带33。沟34、35在Y方向上形成有多个(参照图3(a))。在图3(a)所示的例中，虽然具备10条传送带33，但是剥离后的离型膜4只要是被配置为能够不下垂于传送带33之间，也可以不限定于10条。形成于剥离辊30的沟34，具有传送带33不会从剥离辊30的外周面突出的深度。在形成于从动辊31的沟35中，虽然是传送带33从动辊31的外周面轻微突出的深度，但是也可以是设为不突出的深度。随着叠层薄膜吸附台14相对于真空吸附有叠层薄膜1的吸附头16向X(+)方向移动，剥离辊30通过与叠层薄膜1的摩擦来进行转动。传送带33通过剥离辊30的转动(旋转)在从动辊31间旋转运作，从而将剥离后的离型膜4向下方侧传送。

虽然关于离型膜4的详细剥离方法会在之后进行叙述，但是被剥离辊30剥离后的离型膜4，是通过传送带33被传送向下方的。在离型膜剥离辊部15中，设置有用于将剥离后的离型膜4分离后去除的分离板36。如图3、图4所示，分离板36由向Y方向延伸的板状的分离部37、与设置在分离部37的两端部的固定部38构成。

分离板36通过固定部38被固定于支撑板32(也参照图3(a))。如图4(b)所示，分离部37在外侧远离叠层薄膜吸附台14的方向的上方侧端部与外侧的传送带33(记载为传送带33A)交叉，下方侧倾斜为比传送带33A更向外侧(远离叠层薄膜吸附台14的方向)突出。剥离辊30在图4(b)中向实线箭头所示的方向转动，并且将传送带33向相同方向传送。在这时，传送带33如图3(a)、图4(b)所示般从设置在分离部37的沟39的上方侧进入，并且在下方侧的分离部37的里面侧脱离后到达从动辊31。通过这样，被剥离辊30剥离后的离型膜4，通过传送带33向下方侧传送，并且通过分离板36从剥离辊30以及传送带33处分离后去除。接下来，将参照图5、图6、图7对离型膜的剥离方法进行详细说明。

【离型膜剥离方法】

图5是展示实施方式中的离型膜剥离方法的工序流程图，图6是将实施方式中的离型膜剥离方法的主要工序简化后来展示的工序说明图，图7是展示离型膜4的剥离·去除工序的放大图。根据图5的工序流程图，参照图6、图7来进行说明。首先，如图6(a)所示，将叠层薄膜1供料于叠层薄膜吸附台14，并且将离型膜4侧真空吸附(步骤S1)。通过供料单元21(参照图2)来进行叠层薄膜1向叠层薄膜吸附台14的供料。在该阶段中，预剥离辊13以及吸附头16待机于远离叠层薄膜1以及离型膜剥离辊部15的上方规定位置。

在将叠层薄膜1真空吸附在叠层薄膜吸附台14后，如图6(b)所示，使叠层薄膜吸附台14向X(-)方向移动(步骤S2)，并且在叠层薄膜1的X(-)侧端部到达预剥离辊13的下方之前，使预剥离辊13下降至能够抵接于叠层薄膜1的位置(步骤S3)。并且，如图6(C)所示，一旦使叠层薄膜吸附台14向X(-)方向移动，叠层薄膜1在通过预剥离辊13时被按压，从而仅将包含粘合剂层3的覆盖层薄膜2的前端部从覆盖层薄膜2处浮起。将浮起的覆盖层薄膜2的前端部设为预剥离。

将预剥离的外观放大后如图6(d)所示。覆盖层薄膜2与粘合剂层3具有不易剥离的粘着力，并且由于离型膜4与粘合剂层虽然紧密接触但不粘着，所以一旦被通过预剥离辊13来按压，由于离型膜4被真空吸附于叠层薄膜吸附台14因此覆盖层薄膜2侧从离型膜4处瞬间浮起，从而粘合剂层3会与空气接触。由于粘合剂层3是热固性，所以只要与空气接触一次即使再次按压离型膜4也不会粘着从而就能够容易地进行剥离。将这时的浮起范围设为预剥离留边部L，将通过预剥离辊13使离型膜4浮起的工序设为预剥离留边部形成工序(步骤S4)。预剥离辊13的按压力，可以是在叠层薄膜1移动的时间里与其基本均匀接触的程度，而无需积极地使覆盖层薄膜2翘曲向上。在预剥离留边部L的X(+)侧上，离型膜4没有浮起。预剥离辊13在与叠层薄膜1抵接的状态下通过叠层薄膜1向X(-)方向的移动在与覆盖层薄膜2的摩擦力下来进行转动。

在叠层薄膜1通过预剥离辊13的下方后，如图6(e)所示，使预剥离辊13上升至待机位置(远离叠层薄膜1的位置)(步骤S5)后，将叠层薄膜吸附台14停止(步骤S6)，使吸附头16下降至抵接于叠层薄膜1后(步骤S7)，将叠层薄膜1的覆盖层薄膜2侧真空吸附(步骤S8)。在将叠层薄膜1真空吸附后，解除叠层薄膜1对于叠层薄膜吸附台14的吸附(步骤S9)。接下来，如图6(f)所示，使吸附叠层薄膜1后的吸附头16上升至能够抵接于剥离辊30的上面的高度位置(能够剥离离型膜4的位置)(步骤S10)。

之后，如图6(g)所示，使叠层薄膜吸附台14向X(+)方向移动(步骤S11)，在剥离辊30与离型膜4接触时通过叠层薄膜吸附台14(覆盖层薄膜2)的移动来开始剥离辊30的转动，并且利用剥离辊30的粘贴性来开始离型膜4的剥离(步骤S12)。并且，通过使叠层薄膜吸附台14(覆盖层薄膜2)向X(+)方向移动，将离型膜4从覆盖层薄膜2处分离后去除(步骤S13)。关于离型膜4的去除，将参照图7来详细说明。

如图7所示，剥离辊30通过向叠层薄膜吸附台14的X(+)方向的移动来进行转动，并且利用表面的粘贴性将离型膜4以卷绕的方式剥离。这时，仅在剥离辊30的结构下，虽然剥离辊30将离型膜4卷入，但是通过传送带33，可以在剥离辊30不将离型膜4卷入的情况下将剥离后的离型膜4向下方侧传送(将移动方向使用虚线表示)。在离型膜4的传送过程中由于设置有分离板36，所以通过分离部37就能够将离型膜4从剥离辊30以及传送带33处分离后去除。剥离辊30由于是通过与离型膜4的摩擦来转动所以就难以产生静电。在离型膜4的剥离·去除工序(步骤S13)结束后，叠层薄膜吸附台14返回于供料下一个叠层薄膜1的初始位置。

对于离型膜4的剥离·去除工序(步骤S13)结束后的吸附头16的运作将参照图2进行说明。吸附头单元12在吸附头16吸附被剥离离型膜4后的覆盖层薄膜2的状态下，向Y(-)方向移动至作为覆盖层薄膜2的粘贴对象的电路基板(无图示)的粘贴位置，并且将覆盖层薄膜2加热压接在电路基板上。电路基板在被基板吸附台20真空吸附的状态下，沿导轨22向吸附头16的下方移动并且停止于粘贴位置。因此，离型膜剥离装置10是具有从叠层薄膜1处将离型膜4分离后去除、与将覆盖层薄膜2粘贴于基板上的功能的装置。粘贴覆盖层薄膜2后的电路基板，在返回除料位置时被通过压接辊23来进一步压接。

以上说明过的离型膜剥离方法，是在由具有热固性粘合剂层3的覆盖层薄膜2与叠层在粘合剂层3的离型膜4构成的单片的叠层薄膜1处将离型膜4剥离且去除的剥离方法，并且具有：将叠层薄膜1的离型膜4侧真空吸附于叠层薄膜吸附台14的工序；将叠层薄膜1向一方的方向(X(-)方向)移动的同时使用预剥离辊13将叠层薄膜1从覆盖层薄膜2侧按压的同时使预剥离辊13转动，并且使覆盖层薄膜2的端部从离型膜4处浮起从而形成预剥离留边部L的工序；解除叠层薄膜1对于叠层薄膜吸附台14的吸附，并且将叠层薄膜1的覆盖层薄膜2的整个面真空吸附于吸附头16的工序；以及在吸附头16是将叠层薄膜1吸附后的状态下，将具有粘贴性的剥离辊30接触于离型膜4后，通过将叠层薄膜吸附台14以及剥离辊30向另一方向(X(+)方向)移动来转动剥离辊30，从而将离型膜4从叠层薄膜1处卷绕的同时进行剥离且去除的工序。

根据这种离型膜剥离方法，通过将预剥离辊13从叠层薄膜1的覆盖层薄膜2处按压的同时使其转动来形成预剥离留边部L，并且通过吸附头16将覆盖层薄膜2的整个面吸附后，使剥离辊30转动从而将离型膜2从叠层薄膜1处剥离。通过这样，在单片的叠层薄膜1中，就能够在使覆盖层薄膜2不产生翘曲、损伤的情况下，将离型膜4从叠层薄膜1处剥离且去除。

在形成预剥离留边部L的工序(步骤S4)中，按压覆盖层薄膜2的同时使预剥离辊13转动来使覆盖层薄膜2的端部从离型膜4处浮起，并且使空气接触于粘合剂层3。

热固性粘合剂层3能够利用一旦其表面接触于空气如果不进行加热就无法再次粘贴离型膜这一特性来形成预剥离留边部L，并且一旦从该预剥离留边部L开始剥离，就能够容易地从叠层薄膜1处将离型膜4剥离。

在吸附头16是将叠层薄膜1真空吸附的工序中，通过吸附头16将含有预剥离留边部L的叠层薄膜1的整个面吸附。通过这样，在剥离离型膜4时就能够防止覆盖层薄膜2产生翘曲。并且，由于剥离辊30没有接触于覆盖层薄膜2，所以进而就能够防止损伤覆盖层薄膜2。

在将离型膜4剥离且去除的工序中，使用剥离辊30将离型膜4剥离的同时将剥离后的离型膜4通过传送带33来传送，并且通过分离板36从剥离辊30以及传送带33处将离型膜4剥离且去除。

当仅使用剥离辊30来剥离离型膜4时，离型膜4会被卷入剥离辊30从而会导致难以去除。因此，如果将被通过剥离辊30剥离后的离型膜4使用传送带33来传送的同时再通过分离板36从剥离辊30以及传送带33处分离的话，就能够在离型膜4不会缠绕在剥离辊30的情况下，将离型膜4从覆盖层薄膜2处剥离且去除。

离型膜剥离装置10，包括：叠层薄膜吸附台14，将叠层薄膜1的离型膜4侧真空吸附的同时能够向一个方向(X方向)往返移动；预剥离辊13，从覆盖层薄膜4侧按压叠层薄膜1，并且通过向叠层薄膜吸附台14的一方的方向(X(-)方向)移动来进行转动的同时在叠层薄膜1的行进方向侧的端部上形成预剥离留边部L；吸附头16，将叠层薄膜1的覆盖层薄膜2侧真空吸附；以及离型膜剥离辊部15，能够与叠层薄膜吸附台14成为一体后移动，并且在吸附头16是将叠层薄膜1吸附后的状态下，在预剥离留边部L中剥离辊30与离型膜4抵接，并且通过向叠层薄膜吸附台14的另一方向(X(+)方向)移动在剥离辊30转动的同时从叠层薄膜1处将离型膜4剥离。

根据以上说明过的离型膜剥离装置10，通过从叠层薄膜1的覆盖层薄膜2侧按压预剥离辊13的同时使其转动，并且使覆盖层薄膜2的端部从离型膜4处浮起从而形成预剥离留边部L，在通过吸附头16将覆盖层薄膜2的整个面吸附后，剥离辊16会转动并且从叠层薄膜处将离型膜4以卷绕的方式剥离。通过这样，在单片的叠层薄膜1中，就不会使覆盖层薄膜2产生翘曲。或，由于离型膜剥离辊部没有接触于覆盖层薄膜2，所以就能够在没有损伤的情况下，从叠层薄膜1处将离型膜4剥离。

预剥离辊13是比垂直于叠层薄膜1的移动方向的宽度尺寸(Y方向尺寸)更长，并且表面具有粘贴性，将叠层薄膜1按压的同时通过叠层薄膜吸附台14的移动来进行转动的结构。由此构成的预剥离辊13，利用粘贴性通过没有偏移地按压叠层薄膜1的同时做相对地移动来进行转动，从而就能够使覆盖层薄膜2从被叠层薄膜吸附台14真空吸附后的离型膜4处浮起并形成预剥离留边部L。

离型膜剥离辊部15是由：剥离辊30，比叠层薄膜1的宽度尺寸更长，并且表面具有粘贴性；从动辊31，配置在剥离辊30的下方侧，并且在比剥离辊30更远离叠层薄膜吸附台14的位置；以及传送带33，连结剥离辊30与从动辊31并且传送剥离后的离型膜4的结构所构成，其中，剥离辊30以及从动辊31上形成有多个沟34、35，在多个沟上各自安装有传送带33，并且传送带33是以收纳于剥离辊30的外周表面的内侧的方式被安装。

通过这样来构成的离型膜剥离辊部15，通过具有粘贴性的剥离辊30对离型膜4的整个宽度以连续并且几乎均匀卷绕的方式进行剥离，被剥离后的离型膜通过传送33带被传送至下方。因此，被剥离后的离型膜4就能够在不会缠绕于剥离辊30的情况下通过传送带33从剥离辊30处分离后传送。

此外，离型膜剥离辊部15，具有：分离板36，被配置为在剥离辊30与从动辊31之间与传送带33交叉，并且从动辊31侧从该交叉部向传送带33的外侧突出。被通过剥离辊30剥离时的离型膜4，通过传送带33被传送至下方侧(远离剥离辊30的方向)，并且通过分离板36就能够从传送带33处被分离后去除。

吸附头16的理想的情况是：在吸附被剥离离型膜4后的覆盖层薄膜2的状态下，移动至粘贴覆盖层薄膜2的电路基板(无图示)的配置位置，并且将覆盖层薄膜2加热压接在电路基板的规定位置的功能。通过这样来构成，就能够将离型膜剥离装置10实现从叠层薄膜1处将离型膜剥离且去除的剥离功能，并且兼具将覆盖层薄膜2加热压接在电路基板的粘贴功能。

其中，本发明不被限定于所述的实施方式，在能够达成本发明目的的范围中的变形、改良等也被包含在本发明内。

在所述的实施方式中，虽然说明了从1片单片的叠层薄膜1处将离型膜4剥离且去除的例子，但是不将剥离对象的叠层薄膜的数量限定为1片,而是能够将其数量进一步增加。例如，可以在叠层薄膜吸附台14中，将叠层薄膜在Y方向、或X方向、或Y方向以及X方向上排列多片，并且也可以从其各自处将离型膜进行剥离。在这种情况下，先在基板吸附台20上排列与叠层薄膜的排列相符的电路基板，并且可以粘贴剥离离型膜后的叠层薄膜。

此外，在所述的实施方式中，虽然叠层薄膜1是从形成为单片后将离型膜4剥离的，但是也可以例如，将卷绕在辊上的长尺寸叠层薄膜在供料于叠层薄膜吸附台14之前，对其切割后供料于单片的叠层薄膜。

并且，在所述的实施方式中，虽然离型膜剥离辊部15与叠层薄膜吸附台能够成为一体地向X方向移动，但是在吸附头16将叠层薄膜1吸附后，也可以将离型膜剥离辊部15设为相对于叠层薄膜吸附台是独立并且能够移动的结构。在这种情况下，当吸附头16将叠层薄膜1吸附后，将叠层薄膜吸附台向初始位置移动，之后，如果移动离型膜剥离辊部15，就能够使用与所述的实施方式相同的方法将离型膜4剥离且去除。

【符号说明】

1…叠层薄膜、2…覆盖层薄膜、3…粘合剂层、4…离型膜、10…离型膜剥离装置、11…叠层薄膜吸附台单元、13…预剥离辊、14…叠层薄膜吸附台、15…离型膜剥离辊部、16…吸附头、30…剥离辊、31…从动辊、33…传送带、34、35…沟、36…分离板、L…预剥离留边部

Claims (9)

1.一种离型膜剥离方法，从由具有热固性粘合剂层的覆盖层薄膜与叠层在所述粘合剂层的离型膜所构成的单片的叠层薄膜处将所述离型膜剥离且去除，其特征在于，包括：

将所述叠层薄膜的所述离型膜侧真空吸附于叠层薄膜吸附台的工序；

将所述叠层薄膜向一方的方向移动的同时使用预剥离辊将所述叠层薄膜从所述覆盖层薄膜侧按压的同时使所述预剥离辊转动，并且使所述覆盖层薄膜的端部从所述离型膜处浮起从而形成预剥离留边部的工序；

解除叠层薄膜对于所述叠层薄膜吸附台的吸附，并且将叠层薄膜的覆盖层薄膜的整个面真空吸附于吸附头的工序；以及

在吸附头是将所述叠层薄膜吸附后的状态下，将具有粘贴性的剥离辊接触于所述离型膜后，通过将所述叠层薄膜吸附台以及所述剥离辊向另一方向移动来转动所述剥离辊，从而将所述离型膜从所述叠层薄膜处卷绕的同时进行剥离且去除的工序。

2.根据权利要求1所述的离型膜剥离方法，其特征在于：

其中，在形成所述预剥离留边部的工序中，按压所述覆盖层薄膜的同时使所述预剥离辊转动来使所述覆盖层薄膜的端部从所述离型膜处浮起，并且使空气接触所述粘合剂层。

3.根据权利要求1或2所述的离型膜剥离方法，其特征在于：

其中，在所述吸附头是将所述叠层薄膜真空吸附的工序中，通过所述吸附头将含有所述预剥离留边部的所述叠层薄膜的整个面吸附。

4.根据权利要求1至3的任意1项所述的离型膜剥离方法，其特征在于：

其中，在将所述离型膜剥离且去除的工序中，在使用所述剥离辊剥离所述离型膜的同时将剥离后的所述离型膜通过传送带来传送，并且通过分离板从所述剥离辊以及所述传送带处将所述离型膜分离后去除。

5.一种离型膜剥离装置，从由具有热固性粘合剂层的覆盖层薄膜与叠层在所述粘合剂层的离型膜所构成的单片的叠层薄膜处将所述离型膜剥离且去除，其特征在于，包括：

叠层薄膜吸附台，将所述叠层薄膜的所述离型膜侧真空吸附的同时能够向一个方向往返移动；

预剥离辊，从所述覆盖层薄膜侧按压所述叠层薄膜，并且通过向所述叠层薄膜吸附台的一方的方向移动来进行转动的同时在所述叠层薄膜的行进方向侧的端部上形成预剥离留边部；

吸附头，将所述叠层薄膜的所述覆盖层薄膜侧真空吸附；以及离型膜剥离辊部，能够与所述叠层薄膜吸附台成为一体后移动，并且在所述吸附头是将所述叠层薄膜吸附后的状态下，在所述预剥离留边部中剥离辊与所述离型膜抵接，并且通过向所述叠层薄膜吸附台的另一方向移动在所述剥离辊转动的同时从所述叠层薄膜处将所述离型膜剥离。

6.根据权利要求5所述的离型膜剥离装置，其特征在于：

其中，所述预剥离辊是比垂直于所述叠层薄膜的移动方向的宽度尺寸更长，并且表面具有粘贴性，将所述叠层薄膜按压的同时通过所述叠层薄膜吸附台的移动来进行转动的结构。

7.根据权利要求5或6所述的离型膜剥离装置，其特征在于：

其中，所述离型膜剥离辊部包括：所述剥离辊，比所述叠层薄膜的宽度尺寸更长，并且表面具有粘贴性；从动辊，配置在所述剥离辊的下方侧，并且在比所述剥离辊更远离所述叠层薄膜吸附台的位置；以及传送带，连结所述剥离辊与所述从动辊并且传送剥离后的所述离型膜，

所述剥离辊以及所述从动辊上形成有多个沟，在多个所述沟上各自安装有所述传送带，

所述传送带是以收纳于所述剥离辊的外周表面的内侧的方式被安装。

8.根据权利要求1至7的任意1项所述的离型膜剥离装置，其特征在于：

其中，所述离型膜剥离辊部，具有：分离板，被配置为在所述剥离辊与所述从动辊之间与所述传送带交叉，并且所述从动辊侧从该交叉部向所述传送带的外侧突出。

9.根据权利要求5所述的离型膜剥离装置，其特征在于：

其中，所述吸附头，具有：在吸附被剥离所述离型膜后的所述覆盖层薄膜的状态下，移动至粘贴所述覆盖层薄膜的电路基板的配置位置，并且将所述覆盖层薄膜加热压接在所述电路基板的规定位置的功能。