JP2017143176A - シートの剥離きっかけ形成方法、剥離きっかけ形成装置、および積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】カット刃を用いることなく粒子と樹脂成分を含むシートを所定の位置で切り離すことが可能で、切り離された後に残る、キャリアフィルムに保持されたシートに、剥離を容易にするための剥離きっかけを形成することが可能な剥離きっかけの形成方法、剥離きっかけを形成するために用いる装置、および、積層セラミック電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】シート２を保持した剥離機構３と基材１とを引き離すように移動させて、シートを剥離機構に保持された部分と基材に保持された部分の間の所定箇所Ｘで切り離すとともに、シートを所定箇所で切り離す際に、所定箇所に対して、基材１のシート保持面１ａに対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用するように剥離機構３と基材とを引き離してシートを切り離し、基材に保持されて残ったシートの、切り離された箇所の近傍に、剥離きっかけＹとなる、基材から剥離した領域を形成する。【選択図】図３

Description

本発明は、例えばセラミックグリーンシートなどの、粒子と樹脂成分を含むシートの剥離きっかけ形成方法、剥離きっかけ形成装置、および積層セラミック電子部品の製造方法に関し、詳しくは、キャリアフィルム（樹脂フィルム）などの基材上に形成された、粒子と樹脂成分を含むシートに剥離きっかけを形成するための方法、それに用いられる装置、および上述の方法で剥離きっかけが形成されたシートを用いて積層セラミック電子部品を製造する方法に関する。

例えば、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を製造する場合、セラミックグリーンシートを積層する工程を経て、所定の積層構造を有する積層セラミック電子部品を製造する方法が広く知られている。

そして、上述のようなセラミックグリーンシートを形成する方法として、特許文献１には、キャリアフィルム（基材フィルム）上に保持された、長尺状のセラミックグリーンシートをカット刃により切断して、所定の寸法のセラミックグリーンシートを得る方法が提案されている。
そして、この特許文献１の方法では、セラミックグリーンシートの下に、弾性体からなる下敷きシートを配置した状態で、カット刃によりセラミックグリーンシートを切断することにより、カット後にキャリアフィルムからの剥離性に優れたセラミックグリーンシートが得られるようにしている。

また、特許文献２には、所定の大きさに切り分けたグリーンシートを保持する工程と、グリーンシートに微動を与えることによりグリーンシートの端部と基材フィルムとの間に剥離のきっかけとなる隙間を形成する工程と、剥離のきっかけとなる隙間を広げて、基材フィルム（キャリアフィルム）からグリーンシートを剥離する工程を備えたグリーンシートの剥離方法が開示されている。

特開２００４−１６０７３９号公報 特開２００３−１３３１５９号公報

しかし、特許文献１および２のいずれの方法の場合にも、基材フィルム上のグリーンシートを、カット刃を押し付けることにより切断する切断工程を備えており、この切断工程で基材フィルムにまでカット刃が侵入し，基材フィルムが損傷する。そのため、一度使用した基材フィルムを再利用することができず、製造コストを押し上げる原因になるばかりでなく、資源の有効利用の見地からも好ましくないという問題点がある。また、シートに、いわゆる「カットひげ」などの異物が付着するという問題点がある。

本発明は、上記問題点を解決するものであり、例えばセラミックグリーンシートのような、粒子と樹脂成分とを含むシートを、カット刃を用いることなく所定の位置で切り離すことが可能で、切り離された後に残る、キャリアフィルムに保持されたシートに、剥離を容易にするための剥離きっかけを形成することが可能な剥離きっかけの形成方法、剥離きっかけを形成するために用いられる剥離きっかけの形成装置、および、積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の粒子と樹脂成分を含むシートの剥離きっかけ形成方法は、
基材上に保持された粒子と樹脂成分を含むシートを、前記基材上から剥離するきっかけを形成するための方法であって、
前記基材に保持された前記シートに、前記シートを保持する保持力が、前記基材の、前記シートを保持するシート保持面よりも大きい剥離機構を当接させ、
前記シートを保持した前記剥離機構と前記基材とが引き離されるように前記剥離機構と前記基材とを相対移動させて、前記シートを前記剥離機構に保持された部分と前記基材に保持された部分の間の所定箇所で切り離すとともに、
前記シートを前記所定箇所で切り離す際に、前記所定箇所に対して、前記基材の前記シート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用するように、前記シートを保持した前記剥離機構と前記基材とを引き離して前記シートを切り離し、前記基材に保持されて残った前記シートの、前記切り離された箇所の近傍に、剥離きっかけとなる、前記基材から剥離した領域を形成すること
を特徴としている。

本発明のシートの剥離きっかけ形成方法においては、前記角度θが、３°以上９０°以下であることが好ましい。

角度θを、３°以上９０°以下とすることで、シートを剥離機構に保持された部分と基材に保持された部分の間の所定箇所で確実に切り離すことが可能になり、本発明をより実効あらしめることができる。

また、本発明のシートの剥離きっかけ形成装置は、
基材上に保持された粒子と樹脂成分を含むシートを、前記基材上から剥離するきっかけを形成するための装置であって、
前記シートを保持する保持力が、前記基材の、前記シートを保持するシート保持面よりも大きい剥離機構と、
前記剥離機構と前記基材とを、両者が互いに接近する方向と、離れる方向とに相対移動させる駆動機構とを備え、
前記駆動機構が、前記シートの一部を保持した状態の前記剥離機構と前記基材とを相対移動させることにより、前記シートの前記剥離機構に保持された部分と前記基材に保持された部分の間の所定箇所に対して、前記基材の前記シート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、前記シートが前記所定箇所で切り離される態様で、前記剥離機構と前記基材とを引き離すことができるように構成されていること
を特徴としている。

本発明のシートの剥離きっかけ形成装置においては、前記角度θが、３°以上９０°以下であることが好ましい。

角度θを、３°以上９０°以下とすることで、シートを剥離機構に保持された部分と基材に保持された部分の間の所定箇所で確実に切り離すことが可能になる。

また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、
（ａ）基材上にセラミックスラリーを塗布して乾燥することにより、前記基材上にセラミックグリーンシートを形成する工程と、
（ｂ）請求項１または２記載のシートの剥離きっかけ形成方法により、前記セラミックグリーンシートに剥離きっかけを形成する工程と、
（ｃ）前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを前記基材から剥離し、所定枚数積層して積層体を形成するか、または、任意のセラミックグリーンシート上に、前記基材に保持され、前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、前記基材を剥離し、さらに前記積層後に前記基材が剥離されたセラミックグリーンシート上に、再び、前記基材に保持され、前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、前記基材を剥離することを繰り返して積層体を形成する工程と
を具備することを特徴としている。

上述のように、本発明のシートの剥離きっかけ形成方法は、シートを保持した剥離機構と基材とが引き離されるように剥離機構と基材とを相対移動させて、シートを剥離機構に保持された部分と基材に保持された部分の間の所定箇所で切り離す（引き千切る）とともに、シートを切り離す際に、上記所定箇所に対して、基材のシート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用するように剥離機構と基材とを引き離してシートを切り離すようにしているので、基材に保持されて残ったシートの、切り離された箇所（上記所定箇所）の近傍に、剥離きっかけとなる、基材から剥離した領域を確実に形成することが可能になる。

すなわち、本発明のシートの剥離きっかけ形成方法によれば、連続するシートのうち、剥離機構に保持されて切り離された部分とつながっていた部分であって、基材に保持されて残った先端側の部分が、基材から剥離した領域となり、この領域がその後にシートを剥離する際の剥離きっかけとなる。そのため、本発明によれば、シートに剥離きっかけを確実に形成することが可能になる。

また、本発明のシートの剥離きっかけ形成方法によれば、シートを切り離すのにカット刃を用いる必要がないため、基材を傷付けることがなく、再利用が可能になる。また、シートに、いわゆる「カットひげ」などの異物が付着することを抑制、防止することができる。

なお、本発明において、前記角度θが３°未満になると、シートの切り離される箇所（所定箇所）のばらつきが大きくなり、また、１１０°を越えると、シートが切り離される前に基材から剥離されて、シートを所定箇所で切り離すことが困難になるため、角度θは、上述のように、３°以上１１０°以下の範囲とすることが望ましい。

また、本発明において、剥離きっかけを形成する対象となる粒子と樹脂成分とを含むシートとしては、例えば、セラミック粉末（粒子）に樹脂成分を添加し、有機溶媒（水系溶媒でもよい）で溶解分散したスラリーをシート状に成形し、乾燥することにより形成されるセラミックグリーンシート、金属粒子と樹脂成分を含む導電性樹脂シートなどが挙げられるが、これら以外の粒子と樹脂成分とを含むシートを対象とすることも可能である。

また、本発明のシートの剥離きっかけ形成装置は、シートを保持する保持力が、基材の、シートを保持するシート保持面よりも大きい剥離機構と、剥離機構と基材とを、両者が互いに接近する方向と、離れる方向とに相対移動させる駆動機構とを備え、駆動機構が、シートの一部を保持した状態の剥離機構と基材とを相対移動させることにより、シートの剥離機構に保持された部分と基材に保持された部分の間の所定箇所に対して、基材のシート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、シートが上記所定箇所で切り離される態様で、剥離機構と基材とを引き離すことができるように構成されているので、上述の本発明のシートの剥離きっかけ形成方法を確実に実施して、シートに剥離きっかけを形成することができる。

また、本発明の積層セラミック電子部品の製造方法は、（ａ）基材上にセラミックスラリーを塗布、乾燥してセラミックグリーンシートを形成し、（ｂ）本発明のシートの剥離きっかけ形成方法により、セラミックグリーンシートに剥離きっかけを形成した後、（ｃ）剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを基材から剥離し、所定枚数積層して積層体を形成するか、または、任意のセラミックグリーンシート上に、基材に保持され、剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、基材を剥離し、さらに積層後に基材が剥離されたセラミックグリーンシート上に、再び、基材に保持され、剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、基材を剥離することを繰り返して積層体を形成するようにしているので、セラミック粒子を含み、剥離きっかけとなる微少な剥離部分（自立した部分）を形成しにくいセラミックグリーンシートに、確実に剥離きっかけを形成することが可能で、セラミックグリーンシートを積層する工程を経て製造される積層セラミック電子部品を効率よく製造することが可能になる。

本発明の一実施形態（実施形態１）にかかるシートの剥離きっかけ形成装置およびそれを用いたシートの剥離きっかけ形成方法の一工程を示す図である。 図１に示したシートの剥離きっかけ形成装置を用いた、本発明の一実施形態にかかるシートの剥離きっかけ形成方法の他の工程を示す図である。 図１に示したシートの剥離きっかけ形成装置を用いた、本発明の一実施形態にかかるシートの剥離きっかけ形成方法のさらに他の工程を示す図である。 本発明における剥離きっかけの大きさ（剥離きっかけ量）を説明するための図である。 （ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の他の実施形態（実施形態２）にかかるシートの剥離きっかけ形成装置およびそれを用いたシートの剥離きっかけ形成方法を示す図である。 本発明のさらに他の実施形態（実施形態３）にかかるシートの剥離きっかけ形成装置およびそれを用いたシートの剥離きっかけ形成方法を示す図である。

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。

［実施形態１］
図１、図２および図３は、本発明の一実施形態（実施形態１）にかかる、粒子と樹脂成分を含むシートの剥離きっかけ形成装置を示すとともに、それを用いてセラミックグリーンシートなどの、粒子と樹脂成分を含むシートに剥離きっかけを形成する方法の一例を説明する図である。

この実施形態１にかかる、シートの剥離きっかけ形成装置Ａ１は、図１、図２および図３に示すように、基材１上に保持された、粒子と樹脂成分を含有するシート２に対して、基材１上からの剥離を容易にするきっかけ（剥離きっかけ）を形成するための装置であり、シート２を保持する保持力が、基材１がシート２を保持する保持力よりも大きい剥離機構３と、基材１がシート２を保持する力よりも大きい力で基材１を保持することができるように構成されたステージ４とを備えている。

剥離機構３は、剥離機構本体３ａと、その下面側に設けられた、シート２を保持する保持力（この実施形態では粘着力）が、基材１がシート２を保持する保持力よりも大きく、シート２と当接して，シート２の一部（不要部分）２ａを基材１から剥離させて保持する機能を有するシート保持部３ｂを備えている。なお、シート保持部３ｂは、例えば、粘着性を有する材料から構成することができる。
ただし、剥離機構３としては、上述のような粘着性を有する材料からなるシート保持部３ｂを備えたものに限らず、例えば、真空吸引の方法によりシート２を吸着するように構成されたもの、静電気や磁力によりシート２を保持するように構成されたものなどを用いることも可能である。

また、この実施形態１の剥離きっかけ形成装置Ａ１は、剥離機構３を、基材１に保持されたシート２に向かう方向と、基材１から離れる方向とに移動させることができるように構成された駆動機構５を備えている。なお、駆動機構５の構成に特に制約はなく、公知の種々の構成のものを用いることができる。

そして、駆動機構５は、剥離機構３をシート２に向かって移動させ、図２に示すように、駆動機構３のシート保持部３ｂをシート２に押し付けて、シート２の一部（不要部分）２ａを駆動機構３のシート保持部３ｂに保持させることができるように構成されているとともに、その後に、図３に示すように、シート２の剥離機構３に保持された部分（不要部分）２ａと基材１に保持された部分の間の所定箇所Ｘ（図３）に対して、基材１のシート保持面１ａに対する角度θ（図３）が、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、シート２が所定箇所Ｘで切り離される態様で、剥離機構３と基材１とを引き離すことができるように構成されている。

なお、本発明の方法により剥離きっかけを形成する対象となるシート、すなわち粒子と樹脂成分を含有するシート２としては、例えば、セラミック粉末（粒子）に樹脂成分を添加し、有機溶媒（水系溶媒でもよい）で溶解分散したスラリーをシート状に成形し、乾燥することにより得られるセラミックグリーンシート、金属粒子などの導電成分と樹脂成分を含む導電性樹脂シートなどが例示されるが、その他の粒子と樹脂成分を含む種々のシートを、剥離きっかけを形成する対象とすることができる。

また、本発明の剥離きっかけの形成方法が適用されるシート２は、厚みが通常は０．１μｍ以上５００μｍ以下程度のシートであることが望ましい。ただし、必ずしもこの範囲に限られるものではなく、場合によっては、０．０５μｍ以上３０００μｍ以下のシートにも適用することが可能である。

また、シート２が保持される基材１としては、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）やＰＰ（ポリプロピレン）などからなる樹脂フィルムが例示される。
樹脂フィルムは、長尺状のフィルムであっても、短冊状のフィルムであってもよい。

また、基材１は、ただし、その他の材料からなるものを用いることも可能であり、金属ベルトや金属板であってもよく、また、金属ロールもしくはドラムなどであってもよい。基材１の形状によっては、ステージ４を用いずに別の手段で基材１を保持してもよい。

次に、剥離きっかけ形成装置Ａ１を用いて、シート１に剥離きっかけを形成する方法について説明する。
まず、図１に示すように、基材１上に保持されたシート２上の所定の位置に、シート２を保持する保持力が、基材１のシート２を保持するシート保持面１ａよりも大きい剥離機構３（のシート保持部３ｂ）を位置させる。

それから、図２に示すように、駆動機構５により剥離機構３を下降させ、剥離機構３のシート保持部３ｂをシート２に押し付けて、シート２の一部（不要部分）２ａを剥離機構３のシート保持部３ｂに粘着保持させる。

それから、図３に示すように、駆動機構５によりシート２の一部（不要部分）２ａを保持した剥離機構３を、ステージ４に保持された基材１から引き離す方向に移動させる（すなわち、剥離機構３を上昇させる）。

これにより、シート２の一部（不要部分）２ａ、すなわち、剥離機構３に保持された部分２ａと基材１に保持された部分（有用部分）２ｂの間に、剥離機構３に保持されず、基材１から剥離された領域（剥離領域）２ｃが形成される。

この状態で、さらに、剥離機構３を、基材１から引き離す方向に移動させることにより、シート２の剥離領域２ｃの所定箇所Ｘで、シート２が切り離される（引き千切られる）。
そして、この実施形態１では、シート２を上記所定箇所Ｘで切り離す際に、所定箇所Ｘに対して、基材１のシート保持面１ａに対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用するような態様で、剥離機構３を基材１から引き離して、シート２を所定箇所Ｘで切り離す。

このように構成することにより、図３および図４に示すように、基材１に保持されて残ったシート２（有用部分２ｂ）の、切り離された箇所（上記所定箇所Ｘ（図３））の近傍に、剥離きっかけとなる、基材１から剥離した領域（剥離きっかけ）Ｙ（図４）を確実に形成することができる。

すなわち、シート２の、剥離機構３に保持されて切り離された部分２ａに対する、基材１に保持されて残ったシートの先端部分が、基材１から剥離した領域Ｙとなり、この領域Ｙがその後にシート２を基材１から剥離する際の剥離きっかけとなるため、シートを容易に剥離することができるようになる。

また、シート２の上述の所定箇所Ｘに作用する引張り力の、基材１のシート保持面１ａに対する角度θは、３°以上１１０°以下であることが望ましいが、３°以上９０℃以下とすることがより望ましい。

また、上記実施形態１のシートの剥離きっかけ形成方法によれば、カット刃を用いないため、基材を傷付けることがなく、再利用が可能になり、コストの低減を図ることができる。また、シートにおける、いわゆる「カットひげ」などの異物の付着を抑制することができる。

また、この実施形態１では、駆動機構５により、剥離機構３を動作させることにより、剥離機構３と基材１とを相対移動させてシート２が切り離されるように構成したが、シート２を保持する基材１（基材１を保持するステージ４）側を動作させるように構成することも可能である。また、場合によっては、剥離機構３側と基材１側の両方を動作させるように構成することも可能である。

＜評価試験＞
本発明の効果を確認するため、上述の図１、図２および図３に示した剥離きっかけ形成装置Ａ１を用いて、厚みが１０μｍのシート（この試験では、セラミックグリーンシート）に、剥離きっかけを形成した場合における、剥離きっかけの大きさ（剥離きっかけ量）と、上記角度θの関係を調べた。

なお、図４は剥離きっかけの大きさ（剥離きっかけ量）を説明するための図である。ここで剥離きっかけの大きさ（剥離きっかけ量）とは、剥離機構３を基材１から引き離してシート（セラミックグリーンシート）２を切り離した場合に、図４に示すように、シート２の基材１に保持されて残った部分（有用部分）２ｂ側の、図３における基材１から剥離した領域２ｃの、基材１に保持されて残った部分の先端２ｃ₁から、剥離した領域２ｃの基材１に保持されて残った部分の基端２ｃ₂までの、基材１のシート保持面１ａに沿う方向の距離（すなわち、シート２の基材１から剥離した領域Ｙ（図３における剥離領域２ｃの一部）の、基材１のシート保持面１ａに沿う方向の距離）Ｔをいう。

なお、角度θは、シート２が切り離される際の、シート２と基材１のシート保持面１ａの角度を高速カメラで撮影することで調べた。
表１に、角度θ（図３参照）、剥離きっかけの大きさ（剥離きっかけ量）Ｔ、評価の関係を示す。表１の評価において、「良」は、剥離きっかけの形成後に、容易に剥離することができることを意味している。一方、「不良」は、剥離きっかけの形成後にも、剥離が困難であることを意味している。

表１に示すように、角度θが０゜の場合、剥離きっかけ量Ｔが１０μｍ未満となり、その後の工程での剥離が困難であることが確認された。

これに対し、角度θが３°，９０°，１１０°の場合、剥離きっかけ量Ｔが、それぞれ、１０μｍ，７８μｍ，１６０μｍと大きく、その後の工程での剥離も容易になることが確認された。

また、角度θが１２０°になると、剥離機構を基材から引き離す方向に移動させても、剥離が進行するだけで、シートは引き千切られることがなく、剥離きっかけが形成されないことが確認された。

なお、以上の結果から、剥離を容易にするためには、剥離きっかけ量Ｔが１０μｍ以上であることが望ましく、そのためには、角度θを３°以上１１０°以下とすることが必要であることが分かる。

また、上述のように、剥離きっかけ量Ｔは、小さすぎると（１０μｍ未満であると）次の加工工程でシートを剥離することができなくなるが、大きすぎる場合にも、しわやめくれなどによる不良の原因となる。そのため、剥離きっかけ量Ｔは、適切な大きさに制御することが必要であり、上限は、通常１００μｍ以下であることが望ましい。
ただし、剥離きっかけ量の適切な大きさは、シートの厚みや柔軟性、強度、基材のシートを保持する保持力の大きさなどが関係するので、具体的な剥離きっかけ量の適切な大きさは、角度θだけでなく、上述のような各種を勘案して適切に定めることが望ましい。

［実施形態２］
図５（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の他の実施形態にかかるシートの剥離きっかけ形成装置Ａ２およびそれを用いた剥離きっかけ形成方法の一例を示す図である。

この実施形態２の、剥離きっかけを形成するための剥離きっかけ形成装置Ａ２も、上記実施形態１の剥離きっかけ形成装置Ａ１と同様に、基材１上に保持されたシート２に対して、基材（例えば、ポリエチレンテレフタレート）１上からの剥離を容易にするためのきっかけを形成するための装置であり、シート２を保持する保持力が、基材１がシート２を保持する保持力よりも大きい剥離機構３と、シート２を保持する基材１を支持しつつ、基材１をＤの方向に搬送することができるように構成された複数の支持ローラ１４とを備えている。支持ローラ１４の代わりに、上述の実施形態１の場合のようなステージ４を備えた構成とすることも可能である。

そして、この実施形態２の剥離きっかけ形成装置Ａ２においては、剥離機構３は、基材１がローラ１３ａの外周を、ローラ１３ａの回転に伴って矢印Ｃの方向に搬送される、シート２を保持する保持力が、基材１の、シート２を保持するシート保持面１ａよりも大きい粘着フィルム１３ｂを備えている。そして、剥離機構３は、特に図示しない駆動機構により、基材１に保持されたシート２に向かう方向と、基材１から離れる方向に移動させることができるように構成されている。
なお、ローラ１３ａとしては、例えば、直径が１０〜３００ｍｍのローラを用いることが望ましい。

また、シート２を保持する基材１は、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）やＰＰ（ポリプロピレン）などからなる樹脂フィルムであり、支持ローラ１４上を矢印Ｄの方向に搬送されるように構成されている。
次に、この剥離きっかけ形成装置Ａ２を用いて剥離きっかけを形成する方法について説明する。
なお、図５（ａ）〜（ｃ）は、シート２の右側の図示されていない領域に、一つ前の剥離きっかけが形成されたシート２に、次の剥離きっかけＹ（図５（ｃ））を形成する場合の剥離きっかけの形成方法を示している。

この実施形態２の剥離きっかけ形成装置Ａ２を用いて、剥離きっかけを形成する場合、図５（ａ）に示すように、外周面に粘着フィルム１３ｂがセットされた剥離機構３を、シート２の所定の位置と対向するように位置させる。

そして、図５（ｂ）に示すように、基材１上のシート２の所定の位置に、ローラ１３ａの外周に位置させた粘着フィルム１３ｂを押し付け、基材１を矢印Ｄの方向に移動させるとともに、ローラ１３ａを矢印Ｃの方向に回転させて、所定量だけシート２を巻き取る。
なお、シート２の矢印Ｄ方向への搬送速度（移動速度）は、例えば、２．５ｍｍ／ｍｉｎとする。

そして、シート２の、剥離きっかけ形成に寄与するがシートとしては用いられない部分である不要部分２ａと、シート２の有用部分２ｂの境界部が、図５（ｃ）に示すように、ローラ１３ａの真下にきた時点で、ローラ１３ａを基材１から引き離す（上方に移動させる）。
なお、剥離機構３（ローラ１３ａ）を基材１から引き離す速度は、例えば、４０ｍｍ／ｓとする。

そして、このとき、シート２の剥離機構３（粘着フィルム１３ｂ）に保持された部分２ａと基材１に保持された部分の間の所定箇所Ｘに対して、基材１のシート保持面１ａに対する角度が、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、シート２が所定箇所Ｘで切り離される態様で、剥離機構３を基材１から引き離す。

これにより、剥離きっかけ形成に寄与するがシートとしては用いられない部分である不要部分２ａが粘着フィルム１３ｂに保持されるとともに、基材１に保持されている側のシート２（有用部分２ｂの端部）には剥離きっかけＹが形成される。

このように、基材１から剥離した領域（剥離きっかけ）Ｙを、シート２の所定位置Ｘの近傍に確実に形成することで、後工程でシート２を基材１から容易に剥離させることが可能になる。
また、粘着フィルム１３ｂのうち、シート２の不要部分２ａを保持した部分が、図５（ｃ）の状態から、さらにローラ１３ａにより搬送されて、ローラ１３ａを通り過ぎることにより、図５（ａ）に示すように、ローラ１３ａ上の粘着フィルム１３ｂの、シート２を保持していない部分がシート２と正対することになり、次の剥離きっかけ形成の準備が完了する。

［実施形態３］
図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明の他の実施形態にかかるシートの剥離きっかけ形成装置Ａ３およびそれを用いた剥離きっかけ形成方法の一例を示す図である。

この実施形態３の、剥離きっかけを形成するための剥離きっかけ形成装置Ａ３も、上記実施形態１および２の剥離きっかけ形成装置Ａ１，Ａ２と同様に、基材１上に保持されたシート２に対して、基材１上からの剥離を容易にするためのきっかけを形成するための装置である。

そして、剥離機構３として、外周面が、シートを吸着する機能を備えたローラ２３が用いられている。すなわち、ローラ２３の外周面がシート保持部として機能するように構成されている。

また、ローラ２３（剥離機構３）は、特に図示しない駆動機構により、基材（この実施形態３では金属板）１に保持されたシート２に向かう方向と、基材１から離れる方向に移動させることができるように構成されている。

なお、この実施形態３では、基材１として金属板が用いられており、金属板が基材として用いられる樹脂フィルムなどと比べて剛性が高く、シート２を平坦に保持する機能は優れている。なお、金属板を基材１として用いる場合、基材１は通常ステージ上に保持される。
ただし、この実施形態３の場合にも、実施形態２の場合のように、基材１としてポリエチレンテレフタレートなどの樹脂からなるもの（樹脂フィルム）を用いることも可能である。

なお、シート２を外周面に吸着する機能を備えたローラ２３としては、真空吸引の方法によりシート２を吸着するように構成されたものが例示される。また、剥離機構２３としては、静電気や磁力によりシートを保持（広義の吸着）するように構成されたローラを用いることも可能である。
吸着機能を利用したローラ２３は、粘着式のものと比べて、シート２の保持のＯＮ、ＯＦＦを容易に切り換えることが可能で、シート２の有用部分２ｂを保持するのに適している。すなわち、ローラ２３の吸着を適宜ＯＮ、ＯＦＦすることで、シート２の有用部分２ｂを後工程で用いる保持手段（例えば他のローラ）に移載して積層工程に供したり、弱粘着フィルムに剥離可能に保持させて、後工程の使用に備えたりすることができる。

また、実施形態３の剥離きっかけ形成装置Ａ３においては、シート２が金属板からなる基材１とともに矢印Ｄで示す方向に搬送されるように構成されている。
その他の構成は、上述の実施形態２の剥離きっかけ形成装置Ａ２と同様であり、詳しい説明は省略する。

次に、この実施形態３の剥離きっかけ形成装置Ａ３を用いて、シート２を剥離し、さらに次のシート２に剥離きっかけを形成する場合について説明する。

この実施形態３の剥離きっかけ形成装置Ａ３を用いて、剥離きっかけを形成する場合、まず、図６（ａ）に示すように、剥離機構３（ローラ２３）を、シート２の所定の位置と対向するように位置させる。

そして、図６（ｂ）に示すように、基材１上のシート２の所定の位置に、ローラ２３を押し付け、基材１を矢印Ｄの方向に移動させるとともに、ローラ２３を矢印Ｃの方向に回転させて、所定量だけシート２を巻き取る。
なお、シート２の矢印Ｄ方向への搬送速度（移動速度）は、例えば、２．５ｍｍ／ｍｉｎとする。

そして、シート２の、剥離きっかけ形成に寄与するがシートとしては用いられない部分である不要部分２ａと、シート２の有用部分２ｂの境界部が、ローラ２３の真下にきた時点で、図６（ｃ）に示すように、ローラ２３を基材１から引き離す（上方に移動させる）。

そして、このとき、シート２の剥離機構３（ローラ２３）に保持された部分（不要部分）２ａと、基材１に保持された部分（有用部分２ｂ）の間の所定箇所Ｘに対して、基材１のシート保持面１ａに対する角度が、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、シート２が所定箇所Ｘで切り離される態様で、剥離機構３（ローラ２３）を基材１から引き離す。
なお、剥離機構３（ローラ２３）を基材１から引き離す速度は、例えば、４０ｍｍ／ｓとする。

これにより、上述の実施形態１および２の場合と同様に、剥離きっかけ形成に寄与するがシートとしては用いられない部分である不要部分２ａがローラ２３に保持されるとともに、基材１に保持されている側のシート２（有用部分２ｂの端部）には剥離きっかけＹが形成される。

なお、実施形態３では、ローラ２３として、外周面がシートを吸着する機能を備えたローラを用いているが、外周面が粘着性を有するローラを用いるように構成することも可能である。
なお、外周面が粘着性を有するローラ２３としては、例えば、直径が１０〜３００ｍｍのローラを用いることが望ましい。

なお、上述の実施形態１，２および３のシートの剥離きっかけ形成装置Ａは、例えば、
（ａ）連続するシートの先端において、剥離きっかけ形成用部分（不要部分）を剥離、除去して、先頭の剥離きっかけを形成する場合や、
（ｂ）連続するシートの途中部分において、不要部分を剥離、除去して、シートを途中部分で分断したり、シートの途中部分に剥離きっかけを形成したりする場合に適用することができるとともに、
（ｃ）連続するシートの終端の不要部を除去する場合にも適用することができる。
また、例えば、セラミックスラリーをキャリアフィルム上に塗布してセラミックグリーンシートを形成する際の、塗布開始部分や塗布終了部分は、膜厚が安定しないなどの理由で、電子部品には使えないことが多いが、本発明の方法により、そのような不要部分を効率よく分離することができる。

［実施形態４］
この実施形態４では、上述の実施形態１〜３の方法で示したシートの剥離きっかけ形成方法を利用して、例えば、積層セラミックコンデンサや、積層コイルなどの積層セラミック電子部品を製造する方法について説明する。

＜成膜（シート形成）工程＞
（ａ）セラミック粉末（粒子）に樹脂成分を添加し、有機溶媒（水系溶媒でもよい）で溶解分散したスラリー（セラミックスラリー）を、例えばダイコータ、ドクターブレード、ロールコータ、インクジェット型コータなどの成膜装置を用いて、基材上に塗布して乾燥することにより、基材上にセラミックグリーンシートを形成する。

シートを乾燥する方法としては、熱風により乾燥する方法、基材の外周面を加熱する方法、真空乾燥法などが採用されるが、溶媒の性質に応じてスラリーを乾燥させる手段であれば、任意に選択可能である。

基材としては、長尺の樹脂フィルム、短冊状の樹脂フィルム、金属ロールもしくはドラム、金属ベルト、金属板などが用いられる。

＜電極形成工程＞
上述のようにして形成したセラミックグリーンシートの内の所定のセラミックグリーンシートに、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、スタンプ印刷法、インクジェット印刷法、およびそれらで形成されたパターンを用いたオフセット印刷法などの方法で、電極材料を印刷し、必要に応じて乾燥することにより電極（電極パターン）を形成する。なお、電極の形成には、めっき法や、種々の薄膜形成法を用いることができる場合もある。

電極材料の乾燥は、セラミックグリーンシートを乾燥させる場合と同様の方法で実施することができる。

＜セラミックグリーンシートの剥離、積み重ね工程＞
上述のような方法で基材上に形成したセラミックグリーンシートに、上記実施形態１〜３で説明したような方法で、剥離きっかけを形成する。

それから、剥離きっかけの形成された複数のセラミックグリーンシートを、順次、積層用テーブル（支持体）上に積層・圧着し、セラミック積層体を形成する。このとき、公知の種々の積層装置を用いることが可能である。
また、積層の工程で用いる積層用テーブル（支持体）の構成についても特別の制約はなく、種々の構成のものを用いることができる。

また、セラミックグリーンシートの積層・圧着は、基材からの剥離後に実施してもよく、また、基材からの剥離前に実施してもよい。具体的には、基材から剥離しておいた、所定枚数のセラミックグリーンシートを順次積層してもよく、また、基材上に形成されたセラミックグリーンシートを基材ごと積層し、１枚積層するごとに基材のみ剥離するようにしてもよい。

剥離工程においては、事前に形成された剥離きっかけから剥離が進展するため、セラミックグリーンシートが剥離されないような不良の発生を抑制することが可能になる。

剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを剥離するにあたっては、セラミックグリーンシートをほぼ全面ごと一挙に剥離する面剥離方式を採用して、剥離きっかけが形成された部分から剥離してもよく、セラミックグリーンシートを剥離きっかけが形成された部分から順次剥離する線剥離方式を採用してもよい。

なお、電極を形成するにあたっては、基材上に成膜されたセラミックグリーンシート上に電極を形成し、その後、電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積み重ねてセラミック積層体を形成してもよいが、積層用テーブル（支持体）上に積み重ねられたセラミックグリーンシートの表面に電極パターンを形成し、さらにその上に別のセラミックグリーンシートを積み重ねることを繰り返してセラミック積層体を形成してもよい。

＜その後の工程＞
積層用テーブル（支持体）上に積層されたセラミック積層体を、例えば、剛体プレスや、静水圧プレスなどの方法で圧着した後、所定の大きさにカットして、個々の積層体（電子部品素子）に分割する。

その後、個々の積層体を焼成し、外部電極の形成、外部電極表面へのめっき膜の形成などの工程を実施する。
これらの工程を経て、積層セラミックコンデンサや、積層コイルなどの積層セラミック電子部品が効率よく製造される。

なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。

Ａ１，Ａ２，Ａ３ シートの剥離きっかけ形成装置
１ 基材
１ａ シート保持面
２ シート
２ａ シートの不要部分
２ｂ シートの有用部分
２ｃ シートの剥離領域
２ｃ₁ 基材から剥離した領域の先端
２ｃ₂ 基材から剥離した領域の基端
３ 剥離機構
３ａ 剥離機構本体
３ｂ シート保持部
４ ステージ
５ 駆動機構
１３ａ 剥離機構を構成するローラ
１３ｂ 粘着フィルム
１４ 支持ローラ
２３ 外周面がシートを吸着する機能を備えたローラ
Ｄ シートの搬送方向
Ｃ 回転方向
Ｔ 剥離きっかけ量
Ｘ シートの剥離領域の所定箇所
Ｙ 基材から剥離した領域（剥離きっかけ）
θ Ｘにかかる力の、基材のシート保持面に対する角度

Claims (5)

1. 基材上に保持された粒子と樹脂成分を含むシートを、前記基材上から剥離するきっかけを形成するための方法であって、
   前記基材に保持された前記シートに、前記シートを保持する保持力が、前記基材の、前記シートを保持するシート保持面よりも大きい剥離機構を当接させ、
   前記シートを保持した前記剥離機構が前記基材から引き離されるように前記剥離機構と前記基材とを相対移動させて、前記シートを前記剥離機構に保持された部分と前記基材に保持された部分の間の所定箇所で切り離すとともに、
   前記シートを前記所定箇所で切り離す際に、前記所定箇所に対して、前記基材の前記シート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用するように、前記シートを保持した前記剥離機構と前記基材とを引き離して前記シートを切り離し、前記基材に保持されて残った前記シートの、前記切り離された箇所の近傍に、剥離きっかけとなる、前記基材から剥離した領域を形成すること
   を特徴とするシートの剥離きっかけ形成方法。
2. 前記角度θが、３°以上９０°以下であることを特徴とする請求項１記載のシートの剥離きっかけ形成方法。
3. 基材上に保持された粒子と樹脂成分を含むシートを、前記基材上から剥離するきっかけを形成するための装置であって、
   前記シートを保持する保持力が、前記基材の、前記シートを保持するシート保持面よりも大きい剥離機構と、
   前記剥離機構と前記基材とを、両者が互いに接近する方向と、離れる方向とに相対移動させる駆動機構とを備え、
   前記駆動機構が、前記シートの一部を保持した状態の前記剥離機構と前記基材とを相対移動させることにより、前記シートの前記剥離機構に保持された部分と前記基材に保持された部分の間の所定箇所に対して、前記基材の前記シート保持面に対する角度θが、３°以上１１０°以下の引張り力が作用し、前記シートが前記所定箇所で切り離される態様で、前記剥離機構と前記基材とを引き離すことができるように構成されていること
   を特徴とするシートの剥離きっかけ形成装置。
4. 前記角度θが、３°以上９０°以下であることを特徴とする請求項３記載のシートの剥離きっかけ形成装置。
5. （ａ）基材上にセラミックスラリーを塗布して乾燥することにより、前記基材上にセラミックグリーンシートを形成する工程と、
   （ｂ）請求項１または２記載のシートの剥離きっかけ形成方法により、前記セラミックグリーンシートに剥離きっかけを形成する工程と、
   （ｃ）前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを前記基材から剥離し、所定枚数積層して積層体を形成するか、または、任意のセラミックグリーンシート上に、前記基材に保持され、前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、前記基材を剥離し、さらに前記積層後に前記基材が剥離されたセラミックグリーンシート上に、再び、前記基材に保持され、前記剥離きっかけが形成されたセラミックグリーンシートを積層した後、前記基材を剥離することを繰り返して積層体を形成する工程と
   を具備することを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。

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