JP2005159101A

JP2005159101A - 積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法

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Publication number: JP2005159101A
Application number: JP2003396945A
Authority: JP
Inventors: Shogo Murosawa; 尚吾室澤; Shigeki Sato; 佐藤　　茂樹; Tsuneo Suzuki; 常雄鈴木
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2003-11-27
Filing date: 2003-11-27
Publication date: 2005-06-16

Abstract

【課題】セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法る。
【解決手段】第一の加圧ローラ１５の温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シート１および第二の支持シートを、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給するのに先立って、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度が所定の温度以上になるように、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
【選択図】図６

Description

本発明は、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを効果的に防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法に関するものである。

近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。

積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するためには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、ブチラール樹脂などのバインダと、フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルエチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、誘電体ペーストを調製する。

次いで、誘電体ペーストを、エクストルージョンコーターやグラビアコーターを用いて、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。

さらに、セラミックグリーンシート上に、ニッケルなどの電極ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。

電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シートから剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。

最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。

電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを３μｍあるいは２μｍ以下にすることが要求され、３００以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されている。

しかしながら、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、内部電極用の電極ペーストを印刷して、電極層を形成する場合には、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ、その一方で、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むという不具合があり、短絡不良の原因になるという問題があった。

そこで、特開昭６３−５１６１６号公報および特開平３−２５０６１２号公報は、内部電極パターンペーストを、別の支持シートに印刷して、電極層を形成した後に、電極層を乾燥させ、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写する方法を提案している。
特開昭６３−５１６１６号公報特開平３−２５０６１２号公報

しかしながら、この方法では、セラミックグリーンシートの表面に転写された電極層から、支持シートを剥離することが難しいという問題があった。

また、乾燥した電極層を、セラミックグリーンシートの表面に熱転写して、接着するためには、高温下で、高い圧力を加える必要があり、したがって、セラミックグリーンシートおよび電極層が変形し、場合によっては、セラミックグリーンシートが部分的に破壊するという問題があった。

したがって、本発明は、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法、積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法および積層電子部品の製造装置を提供することを目的とするものである。

本発明のかかる目的は、その表面に、接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシートが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記接着層と前記セラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記接着層から剥離して、前記接着層を前記セラミックグリーンシートの表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記セラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記接着層および前記第二の支持シートの表面に形成された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、セラミックグリーンシートの表面に接着された接着層を介して、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写して、積層体ユニットを作製することが可能になるから、低い圧力で、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を乾燥させた後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着することが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

さらに、本発明によれば、接着層を、第一の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写することが可能になるから、接着剤溶液が、セラミックグリーンシートに染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

また、本発明によれば、接着層を、第一の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写し、接着層を介して、電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写することが可能になるから、接着剤溶液が、電極層およびスペーサ層に染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

さらに、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、デラミネーションが発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。

また、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された接着層ならびに第二の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシートの少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、接着層と、セラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、接着層の表面に、さらに、電極層、スペーサ層および剥離層ならびに第二の接着層を、順次、転写して、第二の支持シートの表面に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および第二の接着層が積層された積層体ユニットを形成し、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、剥離層、電極層および前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層が積層された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記電極層および前記スペーサ層と前記接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記剥離層から剥離して、前記剥離層、前記電極層および前記スペーサ層を含む積層体を、前記接着層の表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記電極層および前記スペーサ層と前記接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの前記電極層および前記スペーサ層ならびに前記第二の支持シートの前記接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、セラミックグリーンシートの表面に接着された接着層を介して、剥離層ならびに電極層およびスペーサ層が、セラミックグリーンシートの表面に転写されて、積層体ユニットが作製されているから、低い圧力で、剥離層ならびに電極層およびスペーサ層を、セラミックグリーンシートの表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を、第一の支持シートの表面に形成して、乾燥させた後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着させることが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

さらに、本発明によれば、接着層を乾燥させた後に、セラミックグリーンシートの表面に転写し、接着層を介して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を接着することが可能になるから、接着剤溶液が、電極層およびスペーサ層に染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

また、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層が形成された多数の積層体ユニットを積層する場合には、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されているため、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形し、あるいは、デラミネーションが発生することがあるが、本発明によれば、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されているから、こうして得られた多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層体が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。

さらに、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された電極層およびスペーサ層および第二の支持シートの接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、電極層およびスペーサ層と、接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、電極層およびスペーサ層と接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、剥離層の表面に、さらに、第二の接着層を転写して、第二の支持シートの表面に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および第二の接着層が積層された積層体ユニットを形成し、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記接着層と前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記接着層から剥離して、前記接着層を前記剥離層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記接着層および前記第二の支持シートの前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、セラミックグリーンシートの表面に接着された第二の接着層を介して、電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が、セラミックグリーンシートの表面に転写され、さらに、剥離層の表面に、第一の接着層が転写されて、積層体ユニットが作製されているから、低い圧力で、電極層およびスペーサ層ならびに剥離層を、セラミックグリーンシートの表面に転写することができ、したがって、セラミックグリーンシートの変形および破壊を確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

また、本発明によれば、電極層およびスペーサ層を乾燥させた後に、第二の接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着することが可能になるから、電極ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解あるいは膨潤させることを確実に防止することができ、同時に、セラミックグリーンシート中に、電極ペーストが染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

さらに、本発明によれば、第一の接着層を、第一の支持シートの表面に形成し、乾燥させた後に、剥離層の表面に転写することが可能になるから、接着剤溶液が、電極層およびスペーサ層に染み込むことを確実に防止して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を含む積層体ユニットを製造することが可能になる。

さらに、本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層および第二の支持シートの剥離層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の接着層と剥離層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の接着層と剥離層とを、所望の接着強度で、接着して、積層体ユニットを作製することが可能になるから、第二の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、スペーサ層、剥離層および第一の接着層が積層された積層体ユニット上に、次々に、第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットを積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、第二のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層とが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第二の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第二の接着層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第二の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第二の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートおよび第二の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと、第二の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと、第二の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一のセラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層と、第二のセラミックグリーンシートとが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二のセラミックグリーンシートの表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層および第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二のセラミックグリーンシートとの接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二のセラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層および第二の剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層と、第二のセラミックグリーンシートと、第三の接着層とが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層、前記第一のスペーサ層および前記第一の剥離層を前記第三の接着層の表面に転写し、前記第二の接着層を介して、２つの積層体ユニットが積層された積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層ならびに前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層ならびに第三の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の剥離層の表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層および積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第三の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートおよび第三の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一のセラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第一の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一のセラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層と、第二のセラミックグリーンシートとが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二のセラミックグリーンシートの表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層および第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二のセラミックグリーンシートとの接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層と第二のセラミックグリーンシートとを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、電極層、スペーサ層および剥離層を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第一の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層および第二の剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層と、第二のセラミックグリーンシートと、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層を前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第四の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層ならびに前記第四の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層ならびに第四の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第四の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された第一の電極層および第一のスペーサ層と、第四の接着層とを、所望の接着強度で、接着することが可能になるから、第一の剥離層の表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、セラミックグリーンシートを転写し、セラミックグリーンシートの表面に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、電極層、スペーサ層および剥離層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、あるいは、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第一の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第一のセラミックグリーンシートが積層されて、第一の積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、第二のセラミックグリーンシート、第二の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の剥離層が積層された第二の積層体ユニットと、第三の接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の積層体ユニットの前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の積層体ユニットを、前記第三の接着層の表面に転写し、前記第一の積層体ユニットと前記第二の積層体ユニットが、前記第三の接着層を介して、積層し、２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートおよび第三の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートと第三の接着層とを、所望の接着強度で、接着して、第一の積層体ユニットと第二の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一の積層体ユニットの第一の剥離層上に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む積層体を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの前記剥離層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された第一の接着層および第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の接着層と、積層体ユニットセットの剥離層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の接着層と積層体ユニットセットの剥離層とを、所望の接着強度で、接着して、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一の接着層の表面に、さらに、支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む積層体を転写し、剥離層の表面に、第四の接着層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第一のセラミックグリーンシートが積層されて、積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二のセラミックグリーンシート、第二の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを、前記積層体ユニットの前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットを、前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法によって達成される。

本発明によれば、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定されている（ここに、Ｔｇ１は第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の支持シートの温度が、第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の支持シートの温度が、第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）から、第一の支持シートの温度を第一の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ１未満に保持し、第二の支持シートの温度を第二の支持シートのガラス転移点温度Ｔｇ２未満に保持することができ、その一方で、第一の支持シートおよび第二の支持シートを、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートおよび第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの表面に位置する第四の接着層の少なくとも一方が予熱されるように構成されているから、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートと第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの第四の接着層との接触面を、十分な接着強度が得られる温度に加熱することができ、したがって、第一の支持シートおよび第二の支持シートに皺が発生することを防止しつつ、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一のセラミックグリーンシートと第二の支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの第四の接着層とを、所望の接着強度で、接着して、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを作製することが可能になるから、第一の支持シートの表面に形成された積層体ユニットの第一の剥離層上に、さらに、接着層を転写し、接着層の表面に、支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む積層体を転写し、剥離層の表面に、接着層を転写する工程を繰り返して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを、第二の支持シート上に形成し、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、接着層を転写した後に、第二の支持シートを積層体ユニットセットから剥離し、積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作製し、多数の積層体ブロックを加圧し、積層して、積層セラミック部品を作製する際に、第二の支持シートに形成された皺に起因する不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明において、セラミックグリーンシートを形成するために用いる誘電体ペーストは、通常、誘電体材料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。

誘電体材料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いることができる。誘電体材料は、通常、平均粒子径が約０．１μｍないし約３．０μｍ程度の粉末として用いられる。誘電体材料の粒径は、セラミックグリーンシートの厚さより小さいことが好ましい。

有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、アクリル樹脂などの通常の各種バインダが用いることができるが、セラミックグリーンシートを薄層化するためには、ポリビニルブチラールなどのブチラール系樹脂が、好ましく用いられる。

有機ビヒクルに用いられる有機溶剤も、とくに限定されるものではなく、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエンなどの有機溶剤が用いられる。

本発明において、誘電体ペーストは、誘電体材料と、水中に水溶性バインダを溶解させたビヒクルを混練して、生成することもできる。

水溶性バインダは、とくに限定されるものではなく、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、水溶性アクリル樹脂、エマルジョンなどが用いられる。

誘電体ペースト中の各成分の含有量は、とくに限定されるものではなく、たとえば、約１重量％ないし約５重量％のバインダと、約１０重量％ないし約５０重量％の溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製することができる。

誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、誘電体、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約１０重量％以下にすることが望ましい。バインダ樹脂として、ブチラール系樹脂を用いる場合には、可塑剤の含有量は、バインダ樹脂１００重量部に対して、約２５重量部ないし約１００重量部であることが好ましい。可塑剤が少なすぎると、生成されたセラミックグリーンシートが脆くなる傾向があり、多すぎると、可塑剤が滲み出して、取り扱いが困難になり、好ましくない。

本発明において、セラミックグリーンシートは、それぞれ、誘電体ペーストを、支持シート上に塗布し、乾燥して、作製される。

誘電体ペーストは、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。

その表面に、セラミックグリーンシートが形成される支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

こうして形成された塗膜は、たとえば、約５０℃ないし約１００°Ｃの温度で、約１分ないし約２０分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。

本発明において、乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは、それぞれ、３μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、１．５μｍ以下である。

本発明において、電極層およびスペーサ層は、それぞれ、支持シート上に、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、印刷される。

その表面に、電極層およびスペーサ層が形成される支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではなく、セラミックグリーンシートが形成される支持シートの厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

本発明において、支持シート上に、電極層およびスペーサ層を形成するのに先立って、まず、誘電体ペーストが調製され、誘電体ペーストが支持シート上に塗布されて、剥離層が、支持シート上に形成される。

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。誘電体材料の粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料の粒子の粒径と同じでもよいが、より小さいことが好ましい。

バインダとしては、たとえば、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、または、これらの共重合体、または、これらのエマルジョンを用いることができる。

剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダを同系であっても、同系でなくてもよいが、同系のバインダであることが好ましい。

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５重量部ないし約３０重量部、とくに好ましくは、約８重量部ないし約３０重量部のバインダを含んでいる。

可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部の可塑剤を含んでいる。

剥離層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。

剥離層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約１００重量部、好ましくは、約２重量部ないし約５０重量部、さらに好ましくは、約５重量部ないし約２０重量部の剥離剤を含んでいる。

本発明において、剥離層に含まれる誘電体材料に対するバインダの含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対するバインダの含有割合と同等、あるいは、それよりも低いことが好ましい。また、剥離層に含まれる誘電体材料に対する可塑剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対する可塑剤の含有割合と同等、あるいは、高いことが好ましい。さらに、剥離層に含まれる誘電体材料に対する離型剤の含有割合が、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料に対する離型剤の含有割合よりも高いことが好ましい。

このような組成を有する剥離層を形成することにより、セラミックグリーンシートをきわめて薄層化しても、剥離層の強度を、セラミックグリーンシートの破壊強度よりも低くすることができ、剥離層から、支持シートを剥離する際に、セラミックグリーンシートが破壊されることを確実に防止することが可能になる。

剥離層は、ワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に、誘電体ペーストを塗布することによって、形成される。

剥離層の厚さは、その上に形成される電極層の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層の厚さの約６０％以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約３０％以下である。

剥離層の形成後、剥離層は、たとえば、約５０℃ないし約１００℃で、約１分ないし約１０分にわたって、乾燥される。

剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層が、所定パターンで形成される。

本発明において、電極層を形成するために用いられる電極ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、調製される。

電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ｎｉ、Ｎｉ合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。導電体材料の形状は、とくに限定されるものではなく、球状でも、鱗片状でも、あるいは、これらの形状のものが混合されていてもよい。また、導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約０．１μｍないし約２μｍ、好ましくは、約０．２μｍないし約１μｍの導電性材料が用いられる。

有機ビヒクルに用いられるバインダは、とくに限定されるものではなく、エチルセルロース、アクリル樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリオレフィン、ポリウレタン、ポリスチレン、あるいはは、これらの共重合体などを用いることができるが、とくに、ポリビニルブチラールなどのブチラール系バインダが好ましく用いられる。

電極ペーストは、導電体材料１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２０重量部のバインダを含んでいる。

溶剤としては、たとえば、テルピネオール、ブチルカルビトール、ケロシンなど、公知の溶剤を用いることができる。溶剤の含有量は、電極ペースト全体に対して、好ましくは、約２０重量％ないし約５５重量％である。

接着性を改善するために、電極ペーストが、可塑剤を含んでいることが好ましい。

電極ペーストに含まれる可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸ベンジルブチル（ＢＢＰ）などのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。電極ペーストは、バインダ１００重量部に対して、好ましくは、約１０重量部ないし約３００重量部、さらに好ましくは、約１０重量部ないし約２００重量部の可塑剤を含んでいることが好ましい。

可塑剤の添加量が多すぎると、電極層の強度が著しく低下する傾向があり、好ましくない。

電極層は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極ペーストを印刷することによって、形成される。

電極層の厚さは、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。

支持シート上に形成された剥離層の表面の電極層が形成されていない部分には、さらに、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極層と相補的なパターンによって、誘電体ペーストが印刷されて、スペーサ層が形成される。

電極層の形成に先立って、支持シート上に形成された剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することもできる。

本発明において、スペーサ層を形成するために用いる誘電体ペーストは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストと同様にして、調製される。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子以外に、バインダと、任意成分として、可塑剤および剥離剤を含んでいる。

スペーサ層に含まれる誘電体材料の粒子の粒径は、セラミックグリーンシートに含まれる誘電体材料の粒子の粒径と同じでもよいが、とくに限定されるものではない。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、誘電体材料の粒子１００重量部に対して、好ましくは、約２．５重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約４重量部ないし約１５重量部、とくに好ましくは、約６重量部ないし約１０重量部のバインダを含んでいる。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれている可塑剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができるスペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部の可塑剤を含んでいる。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなく、たとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。

スペーサ層を形成するための誘電体ペーストは、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約１００重量部、好ましくは、約２重量部ないし約５０重量部、より好ましくは、約５重量部ないし約２０重量部の剥離剤を含んでいる。

本発明において、電極層およびスペーサ層は、０．７≦ｔｓ／ｔｅ≦１．３（ｔｓは、スペーサ層の厚さであり、ｔｅは、電極層の厚さである。）を満たすように形成されることが好ましく、より好ましくは、０．８≦ｔｓ／ｔｅ≦１．２、さらに好ましくは、０．９≦ｔｓ／ｔｅ≦１．２を満たすように形成される。

電極層およびスペーサ層は、たとえば、約７０℃ないし１２０℃の温度で、約５分ないし約１５分にわたって、乾燥される。電極層およびスペーサ層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。

セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層は、接着層を介して、接着され、接着層を形成するために、別の支持シートが用意される。

接着層を形成するための支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

接着層は、支持シート上に、接着剤溶液が塗布されて、形成される。

本発明において、接着層を形成するための接着剤溶液は、バインダと、任意成分として、帯電防止剤、可塑剤、剥離剤およびセラミックグリーンシートに含まれている誘電体と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子とを含んでいる。

接着剤溶液中の誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましく、好ましくは、接着剤溶液は、バインダ重量に対して、０．５重量％ないし２５重量％の誘電体材料の粒子を含んでいる。

本発明において、接着剤溶液中の誘電体材料の粒径は、接着層の厚さ以下であることが好ましい。

接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でなくてもよい。

接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系でなくてもよい。

可塑剤の含有量は、バインダ１００重量部に対して、約０重量部ないし約２００重量部、好ましくは、約２０重量部ないし約２００重量部、さらに好ましくは、約５０重量部ないし約１００重量部である。

本発明において、好ましくは、接着剤溶液は、バインダ重量の０．０１重量％ないし１５重量％の帯電防止剤を含み、さらに好ましくは、０．０１重量％ないし１０重量％の帯電防止剤を含んでいる。

本発明において、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤は、吸湿性を有する有機溶剤であればよく、たとえば、エチレングリコール；ポリエチレングリコール；２−３ブタンジオール；グリセリン；イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤などが、接着剤溶液に含まれる帯電防止剤として使用することができる。

これらの帯電防止剤の中では、少量で、静電気を防止することが可能であるとともに、小さい剥離力で、接着層から、支持シートを剥離することが可能であるため、イミダゾリン系界面活性剤、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの両性界面活性剤が好ましく、イミダゾリン系界面活性剤は、とくに小さな剥離力で、接着層から、支持シートを剥離することができるため、とくに好ましい。

接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、支持シート上に塗布される。

本発明において、接着層は、好ましくは、約０．３μｍ以下、より好ましくは、約０．０２μｍないし約０．３μｍ、さらに好ましくは、約０．０２μｍないし約０．２μｍの厚さを有するように、支持シート上に、形成される。接着層の厚さが、約０．０２μｍ未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層の厚さが、約０．３μｍを越えると、欠陥（隙間）の発生原因となり、好ましくない。

接着層は、たとえば、室温（２５℃）ないし約８０℃の温度で、約１分ないし約５分にわたって、乾燥される。接着層の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。

支持シート上に形成された接着層は、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写される。

支持シート上に形成された接着層を、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、接着層が形成された支持シートと、セラミックグリーンシートが形成された支持シートとを、接着層が形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、接着層が形成された支持シートと、セラミックグリーンシートが形成された支持シートとを加圧することによって、接着層とセラミックグリーンシートとが接着され、その後に、支持シートが接着層から剥離される。

本発明においては、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定される。ここに、Ｔｇ１は接着層が形成された支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、接着層が形成された支持シートの温度が、接着層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートの温度が、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。

本発明において、接着層が形成された支持シートと、セラミックグリーンシートが形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、接着層とセラミックグリーンシートとの接触面の温度が、接着層とセラミックグリーンシートとを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成された接着層を、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写するに先立って、支持シート上に形成された接着層ならびに支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの少なくとも一方が予熱され、好ましくは、支持シート上に形成された接着層ならびに支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの双方が予熱される。

本発明において、接着層とセラミックグリーンシートは、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、接着層とセラミックグリーンシートが接着される。

こうして、接着層が、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写された後に、支持シートを巻き取るときは、支持シートの巻き取りに先立って、中間シートを、接着層の表面に付着させることが好ましい。

中間シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどを用いることができるが、後の工程において、接着層からの中間シートの剥離を容易にさせるためには、中間シートとして、接着層を形成した支持シートと実質的に同一の物性を有するシートを用いることが好ましい。

本発明において、さらに好ましくは、中間シートの接着層に付着させるべき表面に、剥離性を改善するために、接着層を形成した支持シートの表面と同等の表面処理が施され、たとえば、中間シートの表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。

本発明において、中間シートを接着層に付着させたときに、中間シートと接着層との間に、エアが保持されて、中間シートに皺が生じたり、あるいは、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体を巻き取る際に、積層体が蛇行することを防止するために、接着層を形成した支持シートと実質的に同一の物性を有するシートに代えて、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし１０μｍの凹凸が形成されている中間シートを用いることもでき、かかる中間シートとしては、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし５μｍの凹凸が形成されていることが、より好ましい。

本発明において、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、凹凸が形成されている中間シートを用いる場合には、少なくとも中間シートの接着層に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし５μｍの凹凸が、１ｍｍ^２あたりに、８００個以上形成されていることがより好ましい。

本発明において、さらに、中間シートを接着層に付着させたときに、中間シートと接着層との間に、エアが保持されて、中間シートに皺が生じたり、あるいは、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体を巻き取る際に、積層体が蛇行することを防止するために、ガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満の中間シートを用いることもできる。

中間シートのガーレー透気度は、ＪＩＳＰ８１１７に準拠して、測定され、本明細書においては、中間シートを、５０ｍｌのエアが透過するのに要する秒数によって定義される。

本発明において、少なくとも接着層に付着されるべき表面に、凹凸が形成されている中間シートを用いる場合あるいはガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満の中間シートを用いる場合においても、中間シートの接着層に付着させるべき表面に、剥離性を改善するために、接着層を形成した支持シートの表面と同等の表面処理が施されていることが好ましく、たとえば、中間シートの表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。

本発明において、中間シートを接着層の表面に付着させる場合、中間シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

中間シートを、接着層の表面に付着させるにあたっては、接着層が形成された支持シートと、中間シートとを、プレス機を用いて、加圧しても、一対の加圧ローラを用いて、加圧してもよいが、一対の加圧ローラによって、支持シートと中間シートとを加圧することが好ましい。

中間シートが、接着層の表面に付着されると、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体が、ローラによって巻き取られる。

このように、中間シートを、接着層の表面に付着させることによって、接着層が支持シートに付着することを確実に防止して、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体を、ローラによって巻き取ることができ、したがって、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

次いで、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とが、接着層を介して、接着される。

セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層を、接着層を介して、接着するにあたっては、まず、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体が巻回されたローラが、接着装置にセットされる。

次いで、ローラから、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体が繰り出されて、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離され、その結果、接着層が露出される。

ローラから、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体が繰り出され、中間シートが接着層から剥離されるのと同期して、表面に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成され、ローラに巻回された支持シートが、ローラから繰り出されて、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが、第一の加圧ローラに接触し、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給される。

本発明においては、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定される。ここに、Ｔｇ１は剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２はセラミックグリーンシートが形成された支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートの温度が、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、セラミックグリーンシートが形成された支持シートの温度が、セラミックグリーンシートが形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように、決定される。

本発明において、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、セラミックグリーンシートが形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、剥離層、電極層およびスペーサ層と、セラミックグリーンシートの表面に転写された接着層との接触面の温度が、剥離層、電極層およびスペーサ層と接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成された剥離層、電極層およびスペーサ層を、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシート上の接着層の表面に転写するに先立って、支持シート上に形成された剥離層、電極層およびスペーサ層および支持シート上に形成された接着層の少なくとも一方が予熱され、好ましくは、支持シート上に形成された剥離層、電極層およびスペーサ層およびに支持シート上に形成された接着層の双方が予熱される。

本発明において、剥離層、電極層およびスペーサ層と接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、剥離層、電極層およびスペーサ層と接着層が接着される。

剥離層、電極層およびスペーサ層と接着層が接着された後、剥離層、電極層およびスペーサ層から、支持シートが剥離される。

こうして、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層が積層された積層体ユニットが作製され、作製された積層体ユニットは、ローラによって巻き取られる。

以上のようにして、積層体ユニットが作製され、さらに、多数の積層体ユニットが、接着層を介して、積層されて、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックが作製され、あるいは、支持シート上に、接着層を介して、さらに、多数の積層体ユニットが形成されて、積層体ブロックが作製される。

多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、電極層およびスペーサ層の表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写される。

積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された積層体ユニットを、ローラによって巻き取る場合には、さらに、接着層に表面に、中間シートが付着された後、積層体ユニットが、ローラによって巻き取られる。

多数の積層体ユニットを積層して、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製する場合には、次いで、積層体ユニットが巻回されたローラが、裁断装置あるいは積層装置にセットされる。

積層体ユニットが巻回されたローラが、裁断装置にセットされた場合には、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離され、表面に接着層が形成された積層体ユニットが、所定のサイズに、裁断される。

所定のサイズに、裁断された多数の積層体ユニットは、接着層を介して、積層されて、積層体ブロックが作製される。

多数の積層体ユニットの積層にあたっては、まず、支持体が、基板上に固定され、支持体の表面に、接着層が密着するように、積層体ユニットが位置決めされて、積層体ユニット上に圧力が加えられる。

支持体としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。

支持体の厚さは、積層体ユニットを支持可能な厚さであれば、とくに限定されるものではない。

支持体の表面に、接着層が接着されると、積層体ユニットのセラミックグリーンシートから、支持シートが剥離される。

さらに、剥離層の表面に、接着層が転写された新たな積層体ユニットが、接着層が、支持体に接着された積層体ユニットのセラミックグリーンシートに密着するように、支持体に接着された積層体ユニット上に位置決めされて、新たな積層体ユニットが、基板に向けて、加圧され、支持体に接着された積層体ユニット上に、新たな積層体ユニットが積層される。

次いで、新たに積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートから、支持シートが剥離される。

同様にして、所定の数の積層体ユニットが積層されて、積層体ブロックが作製され、所定の数の積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。

これに対して、積層体ユニットが巻回されたローラが、積層体ユニット積層装置にセットされた場合には、まず、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。

中間シートが積層体ユニットの接着層から剥離されるのと同期して、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層およびセラミックグリーンシートが積層された新たに積層すべき別の積層体ユニットが、ローラから繰り出され、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、新たに積層すべき積層体ユニットが形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体ユニットセットが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給される。

本発明においては、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ１＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定される。ここに、Ｔｇ１は、第一の加圧ローラに接触する支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は、第二の加圧ローラに接触する支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、第一の加圧ローラに接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、第二の加圧ローラに接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。

本発明において、積層体ユニットと積層体ユニットセットとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層と、積層体ユニットセットの接着層との接触面の温度が、剥離層と接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層を、積層体ユニットセットの接着層の表面に転写するに先立って、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層および積層体ユニットセットの接着層の少なくとも一方が予熱され、好ましくは、新たに積層すべき積層体ユニットの剥離層および積層体ユニットセットの接着層の双方が予熱される。

本発明において、積層体ユニットと積層体ユニットセットは、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、剥離層と接着層が接着される。

次いで、新たに積層された積層体ユニットの剥離層から、支持シートが剥離され、２つの積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製される。

こうして作製された積層体ユニットセットは、ローラによって、巻き取られる。

さらに、積層体ユニットセットが、ローラから繰り出され、剥離層の表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットセットの剥離層の表面に、接着層が転写され、次いで、接着層が転写されるのと同期して、支持シート上に、剥離層、電極層、スペーサ層およびセラミックグリーンシートが積層された新たに積層すべき別の積層体ユニットが、ローラから繰り出され、積層体ユニットの剥離層と、別の積層体ユニットのセラミックグリーンシートを、接着層を介して、接着したのと同様にして、積層体ユニットセットの剥離層と、新たに積層すべき積層体ユニットのセラミックグリーンシートが、接着層を介して、加圧されて、積層体ユニットセットの剥離層と、新たに積層すべき積層体ユニットのセラミックグリーンシートが、接着層を介して、接着される。

同様にして、次々に、積層体ユニットが積層され、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

こうして作製された積層体ブロックが積層されて、積層セラミック電子部品が製造される。

一方、支持シート上に形成された積層体ユニット上、接着層を介して、さらに、多数の積層体ユニットを形成して、多数の積層体ユニットを含む積層体ブロックを作製する場合には、積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写され、接着層の表面に、中間シートが付着された積層体ユニットが巻回されたローラが積層装置にセットされる。

次いで、積層体ユニットが、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。

中間シートが積層体ユニットの接着層から剥離されるのと同期して、表面に、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが、ローラから繰り出され、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層上に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが転写される。

支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層上に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとを、セラミックグリーンシートが形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体ユニットが形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとを加圧することによって、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層とが接着され、その後に、支持シートがセラミックグリーンシートから剥離される。

本発明においては、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定される。ここに、Ｔｇ２は、セラミックグリーンシートが形成された支持シートおよび積層体ユニットが形成された支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、セラミックグリーンシートが形成された支持シートの温度が、セラミックグリーンシートが形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能で、かつ、積層体ユニットが形成された支持シートの温度が、積層体ユニットが形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。

本発明において、セラミックグリーンシートが形成された支持シートと、積層体ユニットが形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、セラミックグリーンシートと積層体ユニットの表面に転写された接着層との接触面の温度が、セラミックグリーンシートと積層体ユニットの表面に転写された接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、支持シート上に形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層の表面に転写するのに先立って、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートおよび積層体ユニットの表面に転写された接着層の少なくとも一方が予熱され、好ましくは、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートおよび積層体ユニットの表面に転写された接着層の双方が予熱される。

本発明において、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シートに形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートと、支持シートに形成された積層体ユニットの表面に転写された接着層が接着される。

こうして、セラミックグリーンシートから、支持シートが剥離され、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層およびセラミックグリーンシートが積層された積層体が作製され、ローラによって巻き取られる。

さらに、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層およびセラミックグリーンシートが積層された積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体のセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写される。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された積層体を、ローラによって巻き取る場合には、さらに、接着層に表面に、中間シートが付着された後、積層体が、ローラによって巻き取られる。

次いで、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層、セラミックグリーンシート、接着層および中間シートが積層された積層体が巻回されたローラが積層装置にセットされて、積層体が、ローラから繰り出され、接着層の表面に付着された中間シートが接着層から剥離される。

中間シートが積層体の接着層から剥離されるのと同期して、表面に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが、ローラから繰り出され、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体の接着層上に、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層が転写される。

支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層を、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体の接着層上に転写するにあたっては、その温度が制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとの間に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとを、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートが第一の加圧ローラに接触し、積層体が形成された支持シートが第二の加圧ローラに接触するように供給し、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラとによって、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとを加圧することによって、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層、剥離層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体の接着層とが接着され、その後に、支持シートが剥離層から剥離される。

本発明においては、第一の加圧ローラの温度が（Ｔｇ３＋α）以下に設定され、第二の加圧ローラの温度が（Ｔｇ２＋β）以下に設定される。ここに、Ｔｇ２は、積層体が形成された支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ３は、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ３＋α）に設定し、第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートの温度が、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能で、かつ、積層体が形成された支持シートの温度が、積層体が形成された支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。

本発明において、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成された支持シートと、積層体が形成された支持シートとが、第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラによって、加圧される際に、電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度が、電極層およびスペーサ層と接着層とを所定の接着強度で接着するのに必要な接着温度以上になるように、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層を、支持シート上に形成された積層体の接着層の表面に転写するのに先立って、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層ならびに支持シートに形成された積層体の接着層の少なくとも一方が予熱され、好ましくは、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層ならびに支持シートに形成された積層体の接着層の双方が予熱される。

本発明において、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シートに形成された積層体の接着層は、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの圧力で、好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａの圧力で、加圧されて、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層と、支持シートに形成された積層体の接着層が接着される。

支持シートに形成された積層体の接着層と、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層が接着されると、剥離層から、支持シートが剥離される。

こうして、支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層からなる積層体ユニットが、接着層を介して、積層され、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが作製され、作製された積層体ユニットは、ローラによって巻き取られる。

さらに、２つの積層体ユニットが、接着層を介して、積層された積層体ユニットセットが巻回されたローラが、積層装置にセットされ、セラミックグリーンシートの表面に、支持シートの表面に形成された接着層を転写したのと同様にして、積層体ユニットセットの表面の剥離層の表面に、接着層が転写される。

こうして、支持シート上に、２つの積層体ユニットが積層されて、積層体ユニットセットが作製され、積層体ユニットセットの表面の剥離層の表面に、接着層が転写されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

あるいは、同様にして、次々に、積層体ユニットが、支持シート上の積層体ユニットセット上に積層されて、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製されると、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

本発明によれば、セラミックグリーンシートの変形および破壊を防止するとともに、電極ペースト中の溶剤がセラミックグリーンシート中に染み込むことを防止することができ、セラミックグリーンシートと電極層とが積層された積層体ユニットを、所望のように、製造することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法、積層体ユニットを含む積層電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法および積層電子部品の製造装置を提供することが可能になる。

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法につき、詳細に説明を加える。

積層セラミックコンデンサを製造するにあたっては、まず、セラミックグリーンシートを製造するために、誘電体ペーストが調製される。

誘電体ペーストは、通常、誘電体材料と、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。

調製された誘電体ペーストは、たとえば、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。

誘電体ペーストを塗布する支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シートの厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

次いで、塗膜が、たとえば、約５０℃ないし約１００℃の温度で、約１分ないし約２０分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。

乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは３μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、１．５μｍ以下である。

また、セラミックグリーンシートが形成される支持シートの幅は、通常、１００ｍｍないし４００ｍｍ程度である。

図１は、支持シートの表面上に、セラミックグリーンシートが形成された状態を示す略断面図である。

実際には、支持シート１は、長尺状をなし、セラミックグリーンシート２は、長尺状の支持シート１の表面に、連続的に形成される。

セラミックグリーンシート２が形成された後、支持シート１は、ローラ（図示せず）によって、巻き取られる。

一方、セラミックグリーンシート２を形成する支持シート１とは別の支持シートが用意されて、別の支持シート上に、剥離層、電極層およびスペーサ層が形成される。

図２は、その表面上に、剥離層および電極層が形成された支持シートの略一部断面図である。

実際には、支持シート４は、長尺状をなし、剥離層５は、長尺状の支持シート４の表面に、連続的に形成され、剥離層５の表面に、電極層６が、所定のパターンで形成される。

支持シート４の表面に、剥離層５を形成するにあたっては、まず、セラミックグリーンシート２を形成する場合と同様にして、剥離層５を形成するための誘電体ペーストが調製される。

剥離層５を形成するための誘電体ペーストは、好ましくは、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含んでいる。

剥離層５を形成するための誘電体ペーストに含まれているバインダは、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダと同系であっても、同系でなくてもよいが、同系であることが好ましい。

こうして、誘電体ペーストが調製されると、たとえば、ワイヤーバーコーター（図示せず）を用いて、支持シート４上に、誘電体ペーストが塗布され、剥離層５が形成される。

剥離層５の厚さは、電極層６の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層６の厚さの約６０％以下、さらに好ましくは、電極層６の厚さの約３０％以下である。

剥離層５を形成すべき支持シート４としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シート４の厚さは、とくに限定されるものではなく、セラミックグリーンシート２を形成すべき支持シート１の厚さと同じであっても、異なっていてもよいが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

剥離層５の形成後、剥離層５は、たとえば、約５０℃ないし約１００℃で、約１分ないし約１０分にわたって、乾燥される。

剥離層５が乾燥された後、剥離層５の表面上に、焼成後に、内部電極層を構成する電極層６が、所定のパターンで形成される。

電極層６は、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。

電極層６を、剥離層５上に形成するに際しては、まず、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、有機溶剤中にバインダを溶解させた有機ビヒクルとを混練して、電極ペーストが調製される。

電極ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、Ｎｉ、Ｎｉ合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。

導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約０．１μｍないし約２μｍ、好ましくは、約０．２μｍないし約１μｍの導電性材料が用いられる。

電極層６は、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などの印刷機を用いて、電極ペーストを、剥離層５上に印刷することによって形成される。

剥離層５の表面上に、所定パターンの有する電極層６を、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によって、形成した後に、電極層６が形成されていない剥離層５の表面に、電極層６と相補的なパターンで、スペーサ層が形成される。

図３は、剥離層５の表面上に、電極層６およびスペーサ層が形成された状態を示す略一部断面図である。

スペーサ層７は、剥離層５の表面に、電極層６を形成するのに先立って、電極層６が形成されるべき部分を除く剥離層５の表面に形成することもできる。

スペーサ層７を形成するにあたっては、セラミックグリーンシート２を作製したときに用いた誘電体ペーストと、実質的に同一組成の誘電体材料の粉末を含む同様な組成の誘電体ペーストが調製され、スクリーン印刷法やグラビア印刷法により、誘電体ペーストが、電極層６が形成されていない剥離層５の表面に、電極層６と相補的なパターンで、印刷される。

本実施態様においては、スペーサ層７は、ｔｓ／ｔｅ＝１．１になるように、剥離層５上に形成される。ここに、ｔｓはスペーサ層７の厚さであり、ｔｅは電極層６の厚さである。

剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された後、支持シート４は、ローラ（図示せず）によって巻き取られる。

本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７は、接着層を介して、接着されるように構成されており、さらに、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１ならびに電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４とは別の支持シートが用意され、新たに用意された支持シート上に、接着層が形成されて、接着シートが作製される。

図４は、支持シートの表面上に、接着層が形成された接着シートの略一部断面図である。

実際には、支持シート９は、長尺状をなし、接着層１０は、長尺状の支持シート９の表面に、連続的に形成される。

接着層１０を形成すべき支持シート９としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、その両表面に、剥離性を改善するために、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。支持シート９の厚さは、とくに限定されるものではないが、好ましくは、約５μｍないし約１００μｍである。

接着層１０を形成するにあたっては、まず、接着剤溶液が調製される。

本実施態様においては、接着剤溶液は、バインダ、誘電体材料の粉末、可塑剤および帯電防止剤と、任意成分として、剥離剤とを含んでいる。

接着剤溶液に含まれるバインダは、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系のバインダであることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でないバインダであってもよい。

本実施態様においては、接着剤溶液は、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粒子と実質的に同一の組成を有し、その粒径が、接着層１０の厚さ以下の誘電体材料の粒子を含んでいる。

接着剤溶液中の誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合は、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子のバインダ重量に対する割合より小さいことが好ましく、接着剤溶液中の誘電体材料の粒子の含有量は、バインダ重量の０．５重量％ないし２５重量％であることが好ましい。

接着剤溶液に含まれる可塑剤は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれる可塑剤と同系の可塑剤であることが好ましいが、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系でない可塑剤であってもよい。

本実施態様において、接着剤溶液は、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％の帯電防止剤を含んでいる。

本実施態様においては、帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤が用いられている。

こうして調製された接着剤溶液は、たとえば、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、支持シート９の表面上に塗布され、好ましくは、約０．３μｍ以下、より好ましくは、約０．０２μｍないし約０．３μｍ、さらに好ましくは、約０．０２μｍないし約０．２μｍの厚さを有する接着層１０が形成される。接着層１０の厚さが、約０．０２μｍ未満の場合には、接着力が低下し、一方、接着層１０の厚さが、約０．３μｍを越えると、欠陥（隙間）の発生原因となり、好ましくない。

接着層１０は、たとえば、室温（２５℃）ないし約８０℃の温度で、約１分ないし約５分にわたって、乾燥される。接着層１０の乾燥条件は、とくに限定されるものではない。

支持シート９の表面に、接着層１０が形成されて形成された接着シート１１は、ローラ（図示せず）によって巻き取られる。本実施態様においては、支持シート９は、その両表面に、剥離性を改善するために、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされているから、ローラによって巻き取ったときに、接着層１０が支持シート９の裏面に接着することが防止される。

こうして、支持シート９上に形成された接着層１０は、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写される。

図５は、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置の略断面図である。

図５に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備えている。

図５には図示されていないが、転写装置のシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂ、シート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆおよびシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅは、それぞれ、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の一縁部を検出するセンサと、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の幅方向に沿って、配置され、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の長手方向に垂直な面内で、揺動可能なローラを備えており、センサが検出した支持シート９、中間シート１９および支持シート４の一縁部の位置に応じて、ローラを揺動させることによって、支持シート９、中間シート１９および支持シート４の蛇行を修正することができるように構成されている。

図５には図示されていないが、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されている。

本実施態様においては、第一の予熱器２４および第二の予熱器２５は、それぞれ、遠赤外線ヒータによって構成されている。

本実施態様においては、上方に配置された第一の加圧ローラ１５は、金属ローラによって構成され、下方に配置された第二の加圧ローラ１６は、ゴムローラによって構成されている。

第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６には、それぞれ、加熱機構（図示せず）が設けられ、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度が、独立して、制御可能に構成されている。

支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラがセットされる。

さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ２１が転写装置にセットされる。

中間シート１９は、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、接着層１０がセラミックグリーンシート２の表面に転写された支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート１の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。

支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された接着シート１１は、シート蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、予熱される。

第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１およびセラミックグリーンシート２が予熱される。

支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、十分に高い接着強度を有するように、接着層１０を貼り合わせるためには、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、接着層１０とセラミックグリーンシート２を加熱することが必要であるが、本発明者の研究によれば、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６を加熱し、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６から伝達される熱のみによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、接着層１０とセラミックグリーンシート２を加熱する場合には、第一の加圧ローラ１５の温度を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１よりもはるかに高い温度に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２よりもはるかに高い温度に設定することが必要になり、その結果、支持シート９の温度が支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１を越え、支持シート１の温度が支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ２を越え、支持シート９および支持シート１が変形しやすくなって、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６から加えられる圧力によって、支持シート９および支持シート１に皺が発生しやすくなることが認められている。ここに、本実施態様においては、支持シート１および支持シート９は、いずれも、ポリエチレンテレフタレートによって形成されているから、Ｔｇ１＝Ｔｇ２である。

そこで、図５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９が支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがなく、支持シート１が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、接着シート１１の接着層１０を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱することによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度の向上が図られている。

すなわち、図５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、セラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート４および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した接着シート１１および第二の予熱器２５を通過した支持シート１は、それぞれ、支持シート９が上方の第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方の第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に送られる。

接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図５および図６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。

表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、セラミックグリーンシート２の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接着される。

図５および図６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、セラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、セラミックグリーンシート２が、第二の予熱器２５によって、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート９に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においても、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。

こうして、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図５に示されるように、支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート１を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

次いで、図５に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０をセラミックグリーンシート２の表面に接着させた後に、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０がセラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においても、中間シート１９は、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を、所望のように、接着層１０の表面に付着させることができる。

このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８に巻き取られるように構成されているから、接着層１０が支持シート１に接着することがない。

次いで、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写される。

図７は、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置の略断面図である。

図７に示されるように、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１、セラミックグリーンシート２および接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃにより、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、セラミックグリーンシート２および接着層１０が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された支持シート４は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が予熱される。

図７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱されることがなく、かつ、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、電極層６およびスペーサ層７を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度の向上が図られている。ここに、Ｔｇ３は、支持シート４のガラス転移温度であり、本実施態様においては、支持シート１および支持シート４は、いずれも、ポリエチレンテレフタレートによって形成されているから、Ｔｇ１＝Ｔｇ２＝Ｔｇ３である。

すなわち、図７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ３＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した支持シート４および第二の予熱器２５を通過した支持シート１は、それぞれ、支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図７および図８に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ３＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

表面に、セラミックグリーンシート２および接着層１０が積層されたの支持シート１および表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図８に示されるように、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、表面に、セラミックグリーンシート２および接着層１０が積層された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層１０の表面が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、その一方で、図８に示されるように、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が積層された支持シート４は、一対の加圧ローラ１７、１８の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、セラミックグリーンシート２の表面に接着した電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から剥離される。

図７および図８に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、電極層６およびスペーサ層７が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

一方、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７がセラミックグリーンシート２の表面に接着した支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート１を搬送可能に構成されているから、剥離層５がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、電極層６およびスペーサ層７が接着層１０に接着された後に、剥離層５から、支持シート４を剥離する際に、支持シート４とともに、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においては、接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート５２を付着させるように構成されているから、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート５２が積層された支持シート１を、ローラ５４によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。

したがって、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を防止することが可能になるから、こうして得られたセラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の積層体を積層して、積層セラミックコンデンサを作製する際の積層精度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様においては、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成されているから、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２上に転写する際に、加圧によって、スペーサ層７が圧縮され、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２とを確実に接着させることができ、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、剥離することを確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、支持シート４上に、形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。

以上のようにして、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５から、支持シート４が剥離された後、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

こうして、支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０が形成される。

次いで、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。

図９は、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。

図９に示されるように、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置および図７に示された転写装置と同一の構成を有している。

積層体ユニット２０の電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１が巻回された第二の巻き取りローラ１８がセットされる。

次いで、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された接着シート１１は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、予熱される。

第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１が繰り出される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１および積層体ユニット２０が予熱される。

図９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９が支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがなく、支持シート１が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、接着シート１１の接着層１０を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、剥離層５を加熱することによって、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した接着シート１１および第二の予熱器２５を通過した支持シート１は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

接着層１０を、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図１０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図９および図１０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図１０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、その表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０の電極層６およびスペーサ層７が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着される。

図９および図１０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図１０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様においては、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を効果的に防止することが可能になる。

支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０の電極層６およびスペーサ層７の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図９に示されるように、支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

次いで、図９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、積層体ユニット２０が形成された支持シート１が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０を電極層６およびスペーサ層７の表面に接着させた後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が、電極層６およびスペーサ層７から剥離することを確実に防止することが可能になる。

以上のようにして得られた積層体ユニット２０が、裁断装置（図示せず）によって、所定のサイズに裁断されて、支持シート４の表面上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された所定のサイズを有する積層体ユニット２０が作製される。

図１１は、こうして、裁断装置によって、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０の略断面図である。

図１１に示されるように、積層体ユニット２０は、支持シート１の表面上に形成され、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含み、剥離層５上には、接着層１０が転写されている。

同様にして、支持シート１の表面上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を積層し、剥離層５の表面に、接着層１０を転写して、それぞれが、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含み、剥離層５上に、接着層１０が転写された多数の積層体ユニット２０が作製される。

こうして作製された多数の積層体ユニット２０を、剥離層５の表面に転写された接着層１０を介して、積層することによって、積層セラミックコンデンサが作製される。

図１２は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。

図１２に示されるように、積層体ユニット２０の積層にあたっては、まず、多数の孔３６が形成された基板３５上に、支持体３８がセットされる。

支持体３８としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられる。

支持体３８は、基板３５に形成された多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定される。

図１３は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。

次いで、図１３に示されるように、剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面が、支持体３８の表面に接触するように、積層体ユニット２０が位置決めされて、積層体ユニット２０の支持シート１が、プレス機などによって、加圧される。

その結果、積層体ユニット２０が、剥離層５の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定された支持体３８上に接着されて、積層される。

図１４は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。

積層体ユニット２０が、剥離層５の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定された支持体３８上に接着されて、積層されると、図１４に示されるように、支持シート１が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２から剥離される。

こうして、剥離層５の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に積層された積層体ユニット２０の剥離層５上に、さらに、積層体ユニット２０が積層される。

図１５は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。

次いで、図１５に示されるように、剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面が、基板３５に固定された支持体３８に接着された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、新たな積層体ユニット２０が位置決めされて、新たな積層体ユニット２０の支持シート１が、プレス機などによって、加圧される。

その結果、新たな積層体ユニット２０が、剥離層５の表面に転写された接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に接着された積層体ユニット２０上に、積層される。

積層体ユニット２０を作製する過程で、積層体ユニット２０の支持シート１に皺が形成された場合には、積層体ユニット２０を、基板３５上に固定された支持体３８上に積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート１が加圧されたときに、支持シート１の皺が、セラミックグリーンシート２に転写され、さらに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に、別の積層体ユニット２０を積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート１が加圧されたときに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺が、積層すべき積層体ユニット２０の接着層１０や剥離層５の表面に転写されて、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、セラミックグリーンシート２や、接着層１０あるいは剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持されるため、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することが困難なるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、支持シート１の温度がポリエチレンテレフタレートのガラス転移温度Ｔｇ２以上にならないように制御して、支持シート１に、皺が生じることが効果的に防止されているから、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することができる。

図１６は、積層体ユニット２０の積層プロセスの第五のステップを示す略一部断面図である。

新たな積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、基板３５上に固定されている支持体３８上に接着された積層体ユニット２０上に、積層されると、図１６に示されるように、新たに積層された積層体ユニット２０の支持シート１が、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２から剥離される。

本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート１のみを、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２から、確実に剥離することが可能になる。

同様にして、積層体ユニット２０が、次々に積層されて、所定の数の積層体ユニット２０が、基板３５に固定された支持体３８上に積層されて、積層体ブロック５０が作製される。

所定の数の積層体ユニット２０が、基板３５に固定されている支持体３８上に積層されて、積層体ブロックが作製されると、基板３５に固定されている支持体３８上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層された積層体ブロックが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層される。

図１７は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。

図１７に示されるように、まず、多数の孔４１が形成された基台４０上に、接着層４２が形成された外層４３がセットされる。

外層４３は、基台４０に形成された多数の孔４１を介して、エアにより吸引され、基台４０上の所定の位置に固定される。

さらに、図１７に示されるように、多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０が、最後に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面が、外層４３上に形成された接着層４２の表面に接触するように、位置決めされる。

次いで、エアによる支持体３８の吸引が停止されて、基板３５が、積層体ブロック５０を支持している支持体３８から取り去られる。

基板３５が、支持体３８から取り去られると、プレス機などによって、支持体３８が加圧される。

その結果、積層体ブロック５０が、接着層４２を介して、基台４０上に固定された外層４３上に接着されて、積層される。

図１８は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。

積層体ブロック５０が、接着層４２を介して、基台４０上に固定された外層４３上に接着されて、積層されると、図１８に示されるように、支持体３８が、積層体ブロック５０の接着層１０から剥離される。

こうして、接着層４２を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層された積層体ブロック５０が積層される。

接着層４２を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に、積層体ブロック５０が積層されると、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０の最上の積層体ユニット２０の接着層１０上に、さらに、図１２ないし図１６に示されたステップにしたがって、基板３５に固定されている支持体３８上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されて、作製された新たな積層体ブロック５０が積層される。

図１９は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。

図１９に示されるように、多数の孔３６を介して、エアにより吸引され、基板３５上の所定の位置に固定されている支持体３８上に新たに積層された積層体ブロック５０が、最後に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面が、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０の最上の積層体ユニット２０の接着層１０の表面に接触するように、位置決めされる。

その結果、新たに積層された積層体ブロック５０が、接着層１０を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０に接着されて、積層される。

図２０は、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。

新たに積層された積層体ブロック５０が、接着層１０を介して、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０に接着されて、積層されると、図２０に示されるように、支持体３８が、新たに積層された積層体ブロック５０の接着層１０から剥離される。

こうして、基台４０上に固定されている外層４３上に積層された積層体ブロック５０上に、接着層１０を介して、新たに積層された積層体ブロック５０が接着されて、積層される。

同様にして、基板３５に固定されている支持体３８上に積層された積層体ブロック５０が、次々に積層されて、所定の数の積層体ブロック５０、したがって、所定の数の積層体ユニット２０が、積層セラミックコンデンサの外層４３上に積層される。

こうして、積層セラミックコンデンサの外層４３上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されると、他方の外層（図示せず）が、接着層を介して、接着されて、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が作成される。

本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。

次いで、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。

次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

本実施態様によれば、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。

また、本実施態様によれば、支持シート４上に形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。

さらに、接着層１０から、支持シート９を剥離する際、静電気が発生し、塵埃が付着したり、接着層１０が、支持シート９に引き付けられ、所望のように、支持シート９を、接着層１０から剥離することが困難になることがあるが、本実施態様によれば、接着層１０が、バインダに対して、０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるから、静電気の発生を、効果的に防止することが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート１に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、セラミックグリーンシート２が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、かつ、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１および支持シート９に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２の接着強度を向上させることが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、支持シート４に形成された電極層６およびスペーサ層７を、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に転写する際に、電極層６およびスペーサ層７が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、かつ、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１および支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート１に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニット２０の剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、かつ、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と積層体ユニット２０の剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

したがって、積層体ユニット２０を作製する過程で、積層体ユニット２０の支持シート１に皺が形成された場合には、積層体ユニット２０を、基板３５上に固定された支持体３８上に積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート１が加圧されたときに、支持シート１の皺が、セラミックグリーンシート２に転写され、さらに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２上に、別の積層体ユニット２０を積層するために、プレス機などによって、積層体ユニット２０の支持シート１が加圧されたときに、支持体３８上に積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺が、積層すべき積層体ユニット２０の接着層１０や剥離層５の表面に転写されて、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、セラミックグリーンシート２や、接着層１０あるいは剥離層５の表面に転写された皺に、エアが保持されるため、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することが困難なるが、本実施態様によれば、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート１に、皺が生じることが効果的に防止されているから、多数の積層体ユニット２０を、所望のように、積層して、積層コンデンサを作製することができる。

さらに、本実施態様によれば、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１を満たすように形成されているから、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２上に転写する際に、一対の加圧ローラ１７、１８によって、スペーサ層７が圧縮されて、スペーサ層７のみならず、電極層６も、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に確実に接着され、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、セラミックグリーンシート２から剥離することを効果的に防止することができる。

また、本実施態様によれば、接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０をセラミックグリーンシート２の表面に接着させた後に、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０がセラミックグリーンシート２から剥離することを確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、電極層６およびスペーサ層７が接着層１０に接着された後に、剥離層５から、支持シート４を剥離する際に、支持シート４とともに、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様によれば、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、接着層１０を電極層６およびスペーサ層７の表面に接着させた後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が、電極層６およびスペーサ層７から剥離することを確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート１のみを、積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２から、確実に剥離することが可能になる。

また、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層体を作製する積層プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンチップの焼成プロセス中に、セラミックグリーンシート２と接着層１０との間、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との間あるいは剥離層５と接着層１０との間で、デラミネーションが発生することを効果的に防止することが可能になる。

また、本実施態様によれば、接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート５２を付着させるように構成されているから、その表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０および中間シート５２が積層された支持シート１を、第二巻き取りローラ１８によって巻き取っても、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート１の表面に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

さらに、図５、図７および図９に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する転写装置および積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、同一の構成を有しているから、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するステップ、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写するステップおよび積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するステップを、一つの転写装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。

図２１は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。

本実施態様にかかる転写装置は、図７に示された転写装置によって作製され、支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写し、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、中間シートを付着させて、巻き取るように構成されている。

図２１に示されるように、図７に示された転写装置によって作製された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する本実施態様にかかる転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置および図９に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１が巻回されたローラがセットされる。

本実施態様において、中間シート１９は、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、剥離層５の表面に、接着層１０が転写された積層体ユニット２０を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート１の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。

図２１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９がガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがなく、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、接着シート１１の接着層１０を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、剥離層５を加熱することによって、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図２１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート４および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

図２２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図２１および図２２に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

図２２に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、その表面に、積層体ユニット２０が形成された支持シート１は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０の剥離層５が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

図２１および図２２に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、かつ、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図２２に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、剥離層５の表面に接着した接着層１０から剥離される。

接着層１０から剥離された支持シート９は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

こうして、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０が接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図２２に示されるように、支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

次いで、図２１に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート１上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が、この順に積層された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

本実施態様においては、剥離層５および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を接着した後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、剥離層５から剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においても、中間シート１９は、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。

このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、支持シート１上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が、この順に積層された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られるように構成されているから、接着層１０が積層体ユニット２０の支持シート１に接着することがない。

こうして、支持シート１上に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が、この順に積層されて、形成された積層体ユニット２０の表面に、接着層１０が転写され、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着されて、形成された積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

一方、こうして作製された積層体とは別に、支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が、この順に積層されて、別の積層体ユニット２０が作製される。

支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が、この順に積層された積層体ユニット２０を作製するにあたっては、まず、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０が転写される。

図２３は、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置の略断面図である。

図２３に示されるように、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置および図２１に示された転写装置を同一の構成を有している。

支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラがセットされる。

中間シート１９は、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、接着層１０が電極層６およびスペーサ層７の表面に転写された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート４の表面に接着することを防止するものであり、本実施態様においては、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、中間シート１９の接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成される支持シート９と同じ表面処理が施されている。

支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２から、接着シート１１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が繰り出される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート４は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が予熱される。

図２３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがなく、かつ、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、接着層１０を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、電極層６およびスペーサ層７を加熱することによって、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図２３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ３＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート９および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した接着シート１１および第二の予熱器２５を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート９が上方の第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方の第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に送られる。

接着層１０を、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図２４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図２３および図２４に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４および表面に、接着層１０が形成された支持シート９の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図２４に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方に位置する第一の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触し、電極層６およびスペーサ層７の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に接着される。

図２３および図２４に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、セラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、電極層６およびスペーサ層７が、第二の予熱器２５によって、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図２４に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

こうして、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０が接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図２３に示されるように、支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、接着層１０がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

次いで、図２３に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０とスペーサ層７との接着性を向上させることができ、支持シート９を、接着層１０から剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が電極層６およびスペーサ層７から剥離することを確実に防止することが可能になる。

このように、本実施態様においては、接着層１０の表面に、中間シート１９が付着された後に、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８に巻き取られるように構成されているから、接着層１０が支持シート４に接着することがない。

次いで、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写される。

図２５は、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置の略断面図である。

図２５に示されるように、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置および図２３に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

本実施態様においては、中間シート１９の表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されているから、中間シート１９を接着層１０から、所望のように、剥離させて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取ることができる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃにより、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された支持シート１は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート１およびその表面に形成されたセラミックグリーンシート２が予熱される。

図２５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがなく、かつ、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート１および支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図２５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ３＋β）に設定されたときに、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能で、かつ、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した支持シート１および第二の予熱器２５を通過した支持シート４は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図２６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図２５および図２６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ２＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

その表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１およびその表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７および接着層１０が積層された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図２６に示されるように、その表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方に位置する第一の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、その表面に、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４が、下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触し、電極層６およびスペーサ層７が、接着層を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、その一方で、図２６に示されるように、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、電極層６およびスペーサ層７の表面に接着したセラミックグリーンシート２から剥離される。

図２５および図２６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ３＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、セラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１および支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

セラミックグリーンシート２から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

一方、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２が電極層６およびスペーサ層７の表面に接着した支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート４の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、セラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離する際に、セラミックグリーンシート２が、支持シート１とともに、接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においては、接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート４を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート４の表面に付着することがなく、したがって、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを、接着層１０を介して、接着して、積層体ユニットを作製する転写装置を、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とは、接着層１０を介して、接着され、従来のように、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７に含まれているバインダの粘着力や、セラミックグリーンシート２、電極層６およびスペーサ層７の変形を利用して、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着してはいないから、たとえば、約０．２ＭＰａないし約１５ＭＰａの低い圧力で、セラミックグリーンシート２と、電極層６およびスペーサ層７とを接着することができる。

さらに、本実施態様においては、電極層６および電極層６よりも密度が小さく、圧縮率が高いスペーサ層７が、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成されているから、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２上に転写する際に、加圧によって、スペーサ層７が圧縮され、接着層１０を介して、電極層６およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２とを確実に接着させることができ、したがって、剥離層５から、支持シート４を剥離するときに、電極層６が、支持シート４とともに、剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においては、支持シート４上に形成された電極層６が乾燥した後に、接着層１０を介して、セラミックグリーンシート２の表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、電極ペーストを印刷して、電極層６を形成する場合のように、電極ペーストが、セラミックグリーンシート２に含まれているバインダを溶解させ、あるいは、膨潤させることがなく、また、電極ペーストがセラミックグリーンシート２中に染み込むこともなく、所望のように、セラミックグリーンシート２の表面に、電極層６を形成することが可能になる。

以上のようにして、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、セラミックグリーンシート２から、支持シート１が剥離された後、その表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された支持シート４が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

こうして、支持シート４の表面に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された積層体ユニット２０が作製される。

次いで、こうして作製された積層体ユニット２０が、図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０の剥離層５２上に転写された接着層１０に、接着されて、２つの積層体ユニット２０が積層され、積層体ユニットセットが作製される。

図２７は、図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０の剥離層５上に転写された接着層１０に、図２５および図２６に示された転写装置によって作製された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製する積層装置の略断面図である。

図２７に示されるように、積層装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置および図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置および図２５に示された転写装置と同一の構成を有している。

図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニット２０の剥離層５２上に転写された接着層１０に、図２５および図２６に示された転写装置によって作製され、支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するにあたっては、第一の繰り出しローラ１２として、図２５および図２６に示された転写装置によって作製され、支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された新たに積層すべき積層体ユニット２０が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、図２１および図２２に示された転写装置によって、作製され、支持シート１上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、図２１および図２２に示された転写装置によって、作製され、支持シート１上に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された積層体が繰り出されて、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された積層体ユニット２０を含む積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、積層体ユニット２０および接着層１０が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート４と、その上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された支持シート４と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体は、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート４および積層体ユニット２０が予熱される。

図２７に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱されることがなく、かつ、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図２７に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ３＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに第二の予熱器２５を通過した支持シート１、積層体ユニット２０および接着層１０が積層された積層体は、それぞれ、支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図２８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図２７および図２８に示された積層装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに支持シート１、積層体ユニット２０および接着層１０が積層された積層体の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図２８に示されるように、支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート１、積層体ユニット２０および接着層１０が積層された積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層を介して、剥離層５が、支持シート２上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が接着されて、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０上に、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０が積層され、その一方で、図２８に示されるように、支持シート４は、一対の加圧ローラ１７、１８の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着した積層体ユニット２０から剥離される。

図２７および図２８に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、セラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１および支持シート４に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

接着層１０に接着された積層体ユニット２０から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

一方、接着層１０を介して、２つの積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットが、その表面に形成された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

さらに、本実施態様においては、スペーサ層７および接着層１０には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることが可能になり、したがって、接着層１０の表面に、セラミックグリーンシート２を接着させた後、積層体ユニット２０の剥離層５から、支持シート４を剥離する際に、電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、支持シート４とともに、接着層１０から、剥離することを確実に防止することが可能になる。

また、本実施態様においては、接着層１０を、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、積層体ユニット２０、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する積層装置を、支持シート１の表面に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

次いで、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。

図２９は、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。

図２９に示されるように、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置および図２７に示された積層装置と同一の構成を有している。

支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８がセットされる。

第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体が繰り出される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１および積層体ユニットセットが予熱される。

図２９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート４および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した接着シート１１および第二の予熱器２５を通過した支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

支持シート９に形成された接着層１０を、剥離層５の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図３０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図２９および図３０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体および接着シート１１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図３０に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着される。

図２９および図３０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が、（Ｔｇ１＋）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート９に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図３０に示されるように、接着シート１１は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、したがって、支持シート９が、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図３０に示されるように、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

さらに、本実施態様においては、スペーサ層７、接着層１０および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性および接着層１０と剥離層５との接着性を向上させることができ、したがって、積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を接着した後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が積層体ユニットセットの剥離層５から剥離し、あるいは、積層体ユニットセットの電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、積層体ユニットセットの接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。

次いで、図２９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

さらに、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が接着されて、３つの積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットが、支持シート１上に形成される。

図３１は、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置の略断面図である。

図３１に示されるように、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置および図２９に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、支持シート４と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９よりなる積層体が巻回されたローラが、積層装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９よりなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート４、積層体ユニットセットおよび接着層１０が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート４の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート４と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された支持シート４と、新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体は、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート４およびその表面に形成された積層体ユニット２０が予熱される。

図３１に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱されることがなく、かつ、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図３１に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ３＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに第二の予熱器２５を通過した支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、それぞれ、支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図３２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図３１および図３２に示された積層装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体ならびに支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図３２に示されるように、支持シート４および新たに積層すべき積層体ユニット２０よりなる積層体は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート４が上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給され、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、接着層を介して、表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５が、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６間に供給される。

その結果、支持シート１上に形成された表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が接着され、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットに、支持シート４上に形成された積層体ユニット２０が積層され、その一方で、図３２に示されるように、支持シート４は、一対の加圧ローラ１７、１８の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着した積層体ユニット２０から剥離される。

本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性、接着層１０とスペーサ層７との接着性および剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、多数の積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート４のみを、積層体ユニット２０の剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。

図３１および図３２に示された積層装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、セラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

接着層１０に接着した積層体ユニット２０から剥離された支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

一方、接着層１０を介して、互いに積層された３つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、その表面に形成された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

また、本実施態様においては、接着層１０を、積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、その表面に、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９が積層された支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、支持シート１の巻き取りに際して、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層して、積層体ユニットセットを作製する積層装置を、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

次いで、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと全く同様にして、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。

さらに、支持シート１上に形成された積層体ユニットセット上への積層体ユニット２０の積層および積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面への接着層１０の転写が繰り返され、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、支持シート１上に形成されると、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０が転写された後、支持シート１が積層体ユニットセットから剥離され、さらに、裁断装置（図示せず）によって、積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロック５０が形成される。

こうして形成された積層体ブロック５０は、多数の孔３６が形成された基板３５上に固定された支持体３８上にセットされ、図１７ないし図２０と全く同様にして、積層セラミックコンデンサの外層上に、所定の数の積層体ブロック５０が積層されて、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体が形成される。

積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート１に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート１上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート４に形成された皺が、セラミックグリーンシート２の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２上に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図２１および図２２に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図２５および図２６に示された転写装置を用いて、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７上に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ２＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ３＋β）以下に設定し、図２７および図２８に示された積層装置を用いて、支持シート４上に形成された積層すべき積層体ユニット２０を、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５上に転写された接着層１０に接着させて、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図２９および図３０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図３１および図３２に示された積層装置を用いて、支持シート４上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５上に積層して、３つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定して、支持シート１の温度が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３以上にならないように制御し、支持シート１に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。

本実施態様によれば、長尺状の支持シート１上に、積層体ユニット２０を次々に積層して、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロック５０を作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０を１つづつ、積層して、積層体ブロック５０を作製する場合に比して、積層体ブロック５０の製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート９に形成された接着層１０を、支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２の表面に転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニット２０の剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、接着層１０と積層体ユニット２０の剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と積層体ユニット２０の剥離層５の接着強度を向上させることが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、支持シート１上の積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２が積層された別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層する際に、新たに積層すべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４によって、あらかじめ加熱され、支持シート４上の積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ以上に加熱することなく、新たに積層すべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２と、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、新たに積層すべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２と、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、接着シート１１の接着層１０を、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、接着シート１１の接着層１０と、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着シート１１の接着層１０と、積層体ユニットセットの剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、支持シート１上の積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された新たに積層されるべき積層体ユニット２０を積層する際に、支持シート４上に形成された新たに積層されるべき積層体ユニット２０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写された接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ以上に加熱することなく、新たに積層されるべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２と、積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に、皺が発生することを防止しつつ、新たに積層されるべき積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２と、積層体ユニットセットの剥離層５の表面に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

したがって、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート１に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート１上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート１に形成された皺が、セラミックグリーンシート２の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様によれば、積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート１に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。

また、本実施態様によれば、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を転写した後、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させているから、表面に、接着層１０が転写された積層体ユニット２０を含む支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取っても、接着層１０が支持シート１に接着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する積層装置を、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０を転写する転写装置を並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

さらに、図２１、図２３、図２５、図２７、図２９および図３１に示されるように、支持シート１の表面に、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が積層された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置、支持シート９上に形成された接着層１０を、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７の表面に転写する転写装置、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０を介して、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７上に転写する転写装置、積層体ユニット２０の剥離層５上に転写された接着層１０に、別の積層体ユニット２０を接着して、２つの積層体ユニット２０を積層し、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製する積層装置、支持シート１の表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置および支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの剥離層５上に、接着層１０を介して、支持シート１上に形成され、剥離層５、電極層６、スペーサ層７、接着層１０およびセラミックグリーンシート２を含む新たに積層すべき積層体ユニット２０を積層する積層装置は、同一の構成を有しているから、これらのステップを、一つの装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。

図３３は、本発明の他の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。

本実施態様にかかる転写装置は、図２１および図２２に示された転写装置によって作製された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を接着させた後に、セラミックグリーンシート２から、支持シート１を剥離して、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７、剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２よりなる積層体を作製し、積層体を巻き取るように構成されている。

図３３に示されるように、本実施態様にかかる転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５と、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置および図３１に示された積層装置と同一の構成を有している。

図２１および図２２に示された転写装置によって作製された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシートを接着させるにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が巻回されたローラが、転写装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート１およびセラミックグリーンシート２が予熱される。

図３３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図３３に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１ならびに第二の予熱器２５を通過した支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、それぞれ、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、積層体の支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図３４は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図３３および図３４に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

また、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６のニップ圧力は、好ましくは、約０．２ないし約１５ＭＰａ、より好ましくは、約０．２ＭＰａないし約６ＭＰａに設定される。
支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体と、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図３４に示されるように、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給され、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０が、支持シート１に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給される。

その結果、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、一方で、図３４に示されるように、支持シート１は、一対の加圧ローラ１５、１６の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、セラミックグリーンシート２から剥離される。

図３３および図３４に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５ならびに第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、セラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

セラミックグリーンシート２から剥離された支持シート１は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られ、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着されて、形成された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート１を搬送可能に構成されているから、セラミックグリーンシート２がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０と剥離層５との接着性、剥離層５とその表面に転写された接着層１０との接着性および接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート１のみを、セラミックグリーンシート２から、確実に剥離することが可能になる。

次いで、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写される。

図３５は、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。

図３５に示されるように、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５とを備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置および図３３に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、積層装置にセットされる。

さらに、中間シート１９が巻回された中間シート繰り出しローラ１９ａが転写装置にセットされる。

中間シート１９は、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写された積層体を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート１の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。

第一の繰り出しローラ１２からの接着シート１１の繰り出しに同期して、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体が繰り出される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が予熱される。

図３５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート９が支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上の温度に加熱されることがなく、支持シート４が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、接着シート１１の接着層１０を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱することによって、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図３５に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、セラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート４および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した接着シート１１ならびに第二の予熱器２５を通過した支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体は、それぞれ、支持シート９が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート４が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

支持シート９に形成された接着層１０を、セラミックグリーンシート２の表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図３６は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図３５および図３６に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、セラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体と、接着シート１１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図３６に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給され、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体の表面のセラミックグリーンシート２が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給される。

その結果、支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体の表面のセラミックグリーンシート２の表面に接着される。

図３５および図３６に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、セラミックグリーンシート２５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱することなく、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図３６に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、一対の加圧ローラ１５、１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、その結果、支持シート９が、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

本実施態様においては、スペーサ層７、接着層１０および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、スペーサ層７と接着層１０との接着性、接着層１０と剥離層５との接着性およびセラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を接着した後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、支持シート９とともに、接着層１０が積層体のセラミックグリーンシート２から剥離し、あるいは、積層体の電極層６およびスペーサ層７ならびに剥離層５が、積層体の接着層１０から剥離することを確実に防止することが可能になる。

支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に接着され、セラミックグリーンシート２の表面に接着した接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図３５に示されるように、接着層１０が転写された積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

さらに、図３５に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

さらに、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４の上の剥離層５の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、剥離層５から、支持シート４が剥離されて、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が接着層１０の表面に転写される。

図３７は、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４上の剥離層５の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着し、剥離層５から、支持シート４を剥離して、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を接着層１０の表面に転写する転写装置の略断面図である。

図３７に示されるように、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４の上の剥離層５の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着し、剥離層５から、支持シート４が剥離して、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を接着層１０の表面に転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート１のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置および図３５に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４の上の剥離層５の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を接着するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が巻回されたローラが、転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃにより、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２、接着層１０ならびに中間シート１９からなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート４、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が予熱される。

図３７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４がガラス転移温度Ｔｇ３以上の温度に加熱され、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、電極層６およびスペーサ層７を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図３７に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ３＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート４の温度が、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート４がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した支持シート４および第二の予熱器２５を通過した支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体は、それぞれ、支持シート４が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図３８は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図３７および図３８に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、加圧ローラ１５の温度Ｔ１および加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体と、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図３８に示されるように、表面に、剥離層５、電極層６およびスペーサ層７が形成された支持シート４は、支持シート４に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給され、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０が、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給される。

その結果、セラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０に、支持シート４上に形成された電極層６およびスペーサ層７が接着され、その一方で、図３８に示されるように、支持シート４は、一対の加圧ローラ１７、１８の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート４が、剥離層５から剥離される。

こうして、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットが作製される。

本実施態様においては、接着層１０、スペーサ層７および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、剥離層５と接着層１０との接着性、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着性およびセラミックグリーンシート２と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート４のみを、剥離層５から、確実に剥離することが可能になる。

また、図３７および図３８に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ３＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、電極層６およびスペーサ層７が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート４をガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

剥離層５から剥離した支持シート４は、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

一方、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットは、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

本実施態様においては、シートテンション調整ローラ２３ｅは、長手方向に沿った断面が略Ｈ字状をなし、支持シート１の両縁部を支持しつつ、支持シート４を搬送可能に構成されているから、剥離層５がシートテンション調整ローラ２３ｅに付着することを効果的に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様においては、接着層１０を、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させるように構成されているから、セラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０が転写された積層体を第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取っても、接着層１０が、支持シート１の表面に付着することがなく、したがって、積層体の接着層１０に、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を転写する転写装置を、積層体のセラミックグリーンシート２の表面に、接着層１０を転写するための転写装置と並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

こうして、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、さらに、接着シート１１の接着層１０が転写される。

図３９は、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置の略断面図である。

図３９に示されるように、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５を備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置および図３７に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、接着シート１１が巻回されたローラが転写装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットが巻回された第二の巻き取りローラ１８が、積層装置にセットされる。

中間シート１９は、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に付着され、表面側に位置する剥離層５の表面に、接着層１０が転写された積層体ユニットセットを、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取った際に、接着層１１が支持シート１の表面に接着することを防止するものであり、接着層１０が形成された支持シート９を同じ材料によって形成され、支持シート９を同一の厚さを有し、接着層１０に付着される表面には、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成されるべき支持シート９と同じ表面処理が施されている。

次いで、第一の繰り出しローラ１２から、支持シート９上に接着層１０が形成された接着シート１１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された接着シート１１は、蛇行修正デバイス２２ａによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート９および接着層１０が予熱される。

第二の繰り出しローラ１３から繰り出された支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１および２つの積層体ユニットセットが予熱される。

図３９に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ１＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート９の温度が、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１および支持シート９がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

支持シート９に形成された接着層１０を、積層体ユニットセットの表面に転写する場合には、中間シート巻き取りローラ１４は駆動されない。

図４０は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図３９および図４０に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

図４０に示されるように、接着シート１１は、支持シート９に加えられる引張り力によって、支持シート９が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給され、支持シート１と、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットよりなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面が、支持シート９上に形成された接着層１０の表面に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給される。

図３９および図４０に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ１＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、接着層１０と積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート９をガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、図４０に示されるように、接着層１０が形成された支持シート９は、一対の加圧ローラ１５、１６の間から、斜め上方に向けて、搬送され、その結果、支持シート９が、積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着した接着層１０から剥離され、シート蛇行修正デバイス２２ｂによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、第一の巻き取りローラ１７によって巻き取られる。

本実施態様においては、接着層１０および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、接着層１０と剥離層５との接着性を向上させることが可能になり、したがって、剥離層５の表面に、接着層１０を接着させた後、接着層１０から、支持シート９を剥離する際に、接着層１０が、支持シート９とともに、剥離層５から剥離することを確実に防止することが可能になる。

支持シート９上に形成された接着層１０が、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に接着され、接着層１０から、支持シート９が剥離されると、図４０に示されるように、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットおよび接着層１０よりなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅに送られ、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向に位置が調整され、さらに、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆに送られて、そのテンションが調整される。

さらに、図３９に示されるように、中間シート繰り出しローラ２１から、中間シート１９が繰り出され、必要に応じて、シート蛇行修正デバイス２２ｆによって、その幅方向の位置が調整された後、接着層１０の表面に付着され、次いで、支持シート１、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセット、接着層１０および中間シート１９よりなる積層体が、第二の巻き取りローラ１８によって、巻き取られる。

さらに、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着され、次いで、セラミックグリーンシート２から支持シート４が剥離されて、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が転写される。

図４１は、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を接着させ、セラミックグリーンシート２から支持シート４を剥離して、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する転写装置の略断面図である。

図４１に示されるように、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を接着させ、セラミックグリーンシート２から支持シート４を剥離して、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する転写装置は、第一の繰り出しローラ１２と、第二の繰り出しローラ１３と、中間シート巻き取りローラ１４と、第一の加圧ローラ１５、第二の加圧ローラ１６と、第一の巻き取りローラ１７と、第二の巻き取りローラ１８と、中間シート１９を繰り出す中間シート繰り出しローラ２１と、支持シート１の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ａ、２２ｂと、中間シート１９の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｃ、２２ｆと、支持シート４の蛇行を修正するシート蛇行修正デバイス２２ｄ、２２ｅと、支持シート４のテンションを調整するシートテンション調整ローラ２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆと、第一の予熱器２４と、第二の予熱器２５とを備え、図５に示された転写装置、図７に示された転写装置、図９に示された転写装置、図２１に示された転写装置、図２３に示された転写装置、図２５に示された転写装置、図２７に示された積層装置、図２９に示された転写装置、図３１に示された積層装置、図３３に示された転写装置、図３５に示された転写装置、図３７に示された転写装置および図３９に示された転写装置と同一の構成を有している。

支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を接着するにあたっては、まず、第一の繰り出しローラ１２として、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が巻回されたローラが、積層装置にセットされ、第二の繰り出しローラ１３として、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０と、接着層１０の表面に付着された中間シート１９とからなる積層体が巻回された第二の巻き取りローラ１８が、転写装置にセットされる。

次いで、第二の繰り出しローラ１３から、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０と、接着層１０の表面に付着された中間シート１９とからなる積層体が繰り出され、接着層１０の表面に付着した中間シート１９が剥離され、剥離された中間シート１９は、シート蛇行修正デバイス２２ｃによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整されて、中間シート巻き取りローラ１４によって巻き取られる。

中間シート１９が接着層１０から剥離された支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、テンション調整ローラ２２ａ、２２ｂおよび２２ｃによって、そのテンションが調整され、第二の予熱器２５内に送られて、支持シート１、積層体ユニットセットおよび接着層１０が予熱される。

一方、第二の繰り出しローラ１３からの支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０とからなる積層体の繰り出しに同期して、第一の繰り出しローラ１２から、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が繰り出される。

第一の繰り出しローラ１２から繰り出された表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、蛇行修正デバイス２２ａにより、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、第一の予熱器２４内に送られて、支持シート１およびセラミックグリーンシート２が予熱される。

図４１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度および第二の加圧ローラ１６の温度を、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって、支持シート１がガラス転移温度Ｔｇ２以上の温度に加熱されることがないような温度に設定しても、第一の予熱器２４により、あらかじめ、セラミックグリーンシート２を加熱し、第二の予熱器２５により、あらかじめ、接着層１０を加熱することによって、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の温度、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が制御されており、それによって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接着強度の向上が図られている。

すなわち、図４１に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下で（ここに、αおよびβは、第一の加圧ローラ１５の温度が（Ｔｇ２＋α）に設定され、第二の加圧ローラ１６の温度が（Ｔｇ２＋β）に設定されたときに、支持シート１の温度が、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）であって、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、設定されている。第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件は実験的に決定され、支持シート１がポリエチレンテレフタレートによって形成されている場合には、αおよびβは、たとえば、５ないし１０℃に設定される。

第一の予熱器２４を通過した表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１と、第二の予熱器２５を通過した支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、それぞれ、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１が上方に位置する第一の加圧ローラ１５に接触し、積層体の支持シート１が下方に位置する第二の加圧ローラ１６に接触するように、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の間に供給される。

図４２は、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６の近傍の略拡大断面図である。

図４１および図４２に示された転写装置においては、上述のように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下に、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下に設定され、かつ、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１および第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件とともに、設定されている。

支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０とからなる積層体ならびに表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１の供給速度は、たとえば、２ｍ／分に設定される。

図４２に示されるように、表面に、セラミックグリーンシート２が形成された支持シート１は、支持シート１に加えられる引張り力によって、支持シート１が、上方の加圧ローラ１５に巻回されるように、斜め上方から、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給され、一方、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットと、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０とからなる積層体は、支持シート１が、下方の加圧ローラ１６に接触し、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０が、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に接触するように、略水平方向に、一対の加圧ローラ１５、１６間に供給される。

その結果、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート５が接着され、一方で、図４２に示されるように、支持シート１は、一対の加圧ローラ１７、１８の間から、斜め上方に向けて、搬送されるから、支持シート１が、セラミックグリーンシート２から剥離される。

本実施態様においては、接着層１０および剥離層５には、セラミックグリーンシート２に含まれている誘電体材料の粉末と実質的に同一組成を有する誘電体材料の粉末が含まれているから、剥離層５と接着層１０との接着性を向上させることができ、したがって、支持シート１のみを、セラミックグリーンシート２から確実に剥離することが可能になる。

図４１および図４２に示された転写装置においては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２、第一の予熱器２４の温度条件および第二の予熱器２５の温度条件が、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１が（Ｔｇ２＋α）以下で、かつ、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２が（Ｔｇ２＋β）以下であり、第一の予熱器２４、第二の予熱器２５および第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加熱された結果、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように設定され、セラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４によって、あらかじめ加熱され、接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されているから、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６により、支持シート１をガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

一方、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が接着されて、形成された支持シート１、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０およびセラミックグリーンシート２からなる積層体は、シート蛇行修正デバイス２２ｅによって、必要に応じて、その幅方向の位置が調整され、シートテンション調整ローラ２３ｄ、２３ｅ、２３ｆによって、そのテンションが調整されて、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取られる。

さらに、図３５および図３６に示された転写装置を用いて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと同様にして、支持シート１、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０およびセラミックグリーンシート２からなる積層体のセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０が転写され、図３７および図３８に示された転写装置を用いて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６、スペーサ層７および剥離層５を転写したのと同様にして、支持シート１、積層体ユニット２０、接着層１０、積層体ユニット２０、接着層１０およびセラミックグリーンシート２からなる積層体のセラミックグリーンシート２の表面に転写された接着層１０の表面に、さらに、支持シート４上に形成された電極層６、スペーサ層７および剥離層５が転写されて、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む３つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットが作製され、図３９および図４０に示された転写装置を用いて、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写したのと同様にして、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む３つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、さらに、接着シート１１の接着層１０が転写される。

さらに、同様にして、支持シート１上に形成された積層体ユニットセット上への積層体ユニット２０の積層および積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面への接着層１０の転写が繰り返され、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットが、支持シート１上に形成されると、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に、接着層１０が転写され、次いで、裁断装置（図示せず）によって、支持シート１および積層体ユニットセットが、所定のサイズに裁断され、積層体ブロック５０が形成される。

こうして形成された積層体ブロック５０は、図１７ないし図２０と全く同様にして、多数の孔３６が形成された基板３５上に固定された支持体３８上にセットされ、積層セラミックコンデンサの外層上に、所定の数の積層体ユニット２０が積層されて、積層体が形成される。

積層体ユニット２０を作製する過程で、支持シート１に皺が形成された場合には、多数の積層体ユニット２０を積層して、支持シート１上に、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを形成する際に、第一の加圧ローラ１５および第二の加圧ローラ１６によって加えられる圧力によって、支持シート１に形成された皺が、セラミックグリーンシート２の表面に転写され、多数の積層体ブロック５０を積層する際に、積層体ブロック５０のセラミックグリーンシート２の表面に転写された皺に、エアが保持され、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層することが困難になるが、本実施態様においては、図５および図６に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図７および図８に示された転写装置を用いて、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０を介して、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２上に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図２１および図２２に示された転写装置を用いて、接着層１０を、支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図３３および図３４に示された転写装置を用いて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する際には、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ２＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図３５および図３６に示された転写装置を用いて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図３７および図３８に示された転写装置を用いて、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層６、スペーサ層７および剥離層５を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ３＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図３９および図４０に示された転写装置を用いて、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ１＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定し、図４１および図４２に示された転写装置を用いて、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写するに際しては、第一の加圧ローラ１５の温度Ｔ１を（Ｔｇ２＋α）以下に設定するとともに、第二の加圧ローラ１６の温度Ｔ２を（Ｔｇ２＋β）以下に設定して、支持シート１の温度が支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３以上にならないように制御し、支持シート１に、皺が生じることが効果的に防止されているから、所望のように、多数の積層体ブロック５０を積層して、積層コンデンサを作製することが可能になる。

本実施態様によれば、長尺状の支持シート１上に形成された積層体ユニット２０の表面上に、接着層１０の転写、セラミックグリーンシート２の転写、接着層１０の転写ならびに電極層６、スペーサ層７および剥離層５の転写を繰り返して、積層体ユニット２０を次々に積層して、所定の数の積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロック５０を作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニット２０を１つづつ、積層して、積層体ブロック５０を作製する場合に比して、積層体ブロック５０の製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に転写する際に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニット２０上の接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、それに接触する支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６により、それに接触する支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、セラミックグリーンシート２と接着層１０の接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、支持シート９に形成された接着層１０を転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱することなく、接着層１０と積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２との接着強度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された電極層５、スペーサ層７および剥離層５を転写する際に、支持シート４上に形成された電極層５およびスペーサ層７が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、セラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート４を、支持シート４のガラス転移温度Ｔｇ３以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、支持シート４上に形成された電極層５およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート４および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、支持シート４上に形成された電極層５およびスペーサ層７と、セラミックグリーンシート２上に転写された接着層１０との接着強度を向上させることが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する際に、接着層１０が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、支持シート９を、支持シート９のガラス転移温度Ｔｇ１以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６により、支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、接着層１０と積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート９および支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、接着層１０と積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０の表面に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する際に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２が、第一の予熱器２４により、あらかじめ加熱され、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０が、第二の予熱器２５により、あらかじめ加熱されるように構成されているから、第一の加圧ローラ１５によって、それに接触する支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱し、第二の加圧ローラ１６により、それに接触する支持シート１を、支持シート１のガラス転移温度Ｔｇ２以上に加熱することなく、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２と、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５との接触面の温度Ｔが、所望の接着温度以上になるように制御することができ、したがって、支持シート１に皺が発生することを防止しつつ、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２と、積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５との接着強度を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、積層体の表面に、接着層１０を転写した後、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させているから、表面に、接着層１０が転写された積層体を備えた支持シート１を、第二の巻き取りローラ１８によって巻き取っても、接着層１０が支持シート１に接着することがなく、したがって、積層体ユニット２０を積層する転写装置を、積層体の表面に、接着層１０を転写する転写装置を並列的に配置することができるから、製造ラインが徒に長くなることを防止することが可能になる。

さらに、図３３、図３５、図３７、図３９、図４１に示されるように、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する転写装置、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０ならびにセラミックグリーンシート２からなる積層体の接着層１０に転写されたセラミックグリーンシート２の表面に、接着シート１１の接着層１０を転写する転写装置、支持シート１、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む積層体ユニット２０、接着層１０、セラミックグリーンシート２ならびに接着層１０からなる積層体の接着層１０の表面に、支持シート４上に形成された剥離層５、電極層６およびスペーサ層７を転写する転写装置、支持シート１上に、それぞれ、セラミックグリーンシート２、接着層１０、電極層６、スペーサ層７および剥離層５を含む２つの積層体ユニット２０が、接着層１０を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層５の表面に、支持シート９上に形成された接着層１０を転写する転写装置ならびに支持シート１上に形成された２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニット２０の剥離層５の表面に転写された接着層１０上に、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を転写する転写装置は、同一の構成を有しているから、これらのステップを、一つの装置を用いて、実行することができ、したがって、製造設備のスペースを大幅に縮小させることが可能になる。

以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。

実施例１
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製
以下の組成を有する誘電体粉末を調製した。

ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０２」）
１００重量部
ＭｇＣＯ_３０．７２重量部
ＭｎＯ０．１３重量部
（Ｂａ_０．６Ｃａ_０．４）ＳｉＯ_３１．５重量部
Ｙ_２Ｏ_３１．０重量部
こうして調製した誘電体粉末１００重量部に対して、以下の組成を有する有機ビヒクルを加え、ボールミルを用いて、２０時間にわたって、混合し、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製した。

ポリビニルブチラール樹脂（バインダ）６重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル）３重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
エタノール７８重量部
ｎ−プロパノール７８重量部
キシレン１４重量部
ミネラルスピリット７重量部
分散剤０．７重量部
剥離層用の誘電体ペーストの調製
ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０１」）を用いた以外は、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製したのと、全く同様にして、誘電体ペーストを調製し、エタノールと、プロパノールと、キシレンの混合溶液（混合比４２．５：４２．５：１５）によって、誘電体ペーストを希釈して、剥離層用の誘電体ペーストを調製した。

接着剤ペーストの調製
以下の組成を有する有機ビヒクルを調製し、得られた有機ビヒクルを、メチルエチルケトンによって、１０倍に希釈して、接着剤用のペーストを調製した。

ポリビニルブチラール樹脂（バインダ）１００重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル）５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
メチルエチルケトン９００重量部
電極用のペーストの調製
１００重量部の平均粒径が０．２μｍのＮｉ粒子に対して、以下の組成の溶液を加え、ボールミルによって、２０時間にわたり、混合して、スラリーを得た。

ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０１」）
２０重量部
有機ビヒクル５８重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル）５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
ターピネオール５重量部
分散剤１重量部
アセトン４５重量部
ここに、有機ビヒクルは、８重量部のポリビニルブチラール樹脂を、９２重量部のターピネオールに溶解して、調製した。

こうして得られたスラリーを、４０℃で、加熱し、攪拌して、余剰のアセトンを揮発させ、電極層用のペーストを調製した。

スペーサ層用の誘電体ペーストの調製
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製するのに用いた誘電体粉末１００重量部に対して、以下の組成を有する溶液を加え、ボールミルを用いて、２０時間にわたり、混合して、スラリーを得た。

有機ビヒクル７１重量部
フタル酸ビス（２エチルヘキシル）５０重量部
（ＤＯＰ：可塑剤）
ターピネオール５重量部
分散剤１重量部
アセトン６４重量部
ここに、有機ビヒクルは、８重量部のポリビニルブチラール樹脂を、９２重量部のターピネオールに溶解して、調製した。

こうして得られたスラリーを、４０℃で、加熱し、攪拌して、余剰のアセトンを揮発させ、スペーサ層用のペーストを調製した。

セラミックグリーンシートの作製
ワイヤーバーコーターを用いて、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを塗布し、乾燥させ、１．０μｍの厚さのセラミックグリーンシートを作製した。

剥離層、電極層およびスペーサ層の形成
ワイヤーバーコーターを用いて、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、剥離層用の誘電体ペーストを塗布して、乾燥させ、０．２μｍの厚さの剥離層を形成した。

こうして形成された剥離層の表面に、スクリーン印刷法を用いて、所定のパターンで、電極層用のペーストを印刷し、１．０μｍの厚さの電極層を形成した。

次いで、電極層が形成されていない剥離層の表面に、スクリーン印刷法を用いて、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層用の誘電体ペーストを印刷して、１．２μｍの厚さのスペーサ層を形成した。

接着層の形成
第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの両表面に、シリコン樹脂を塗布して、剥離性改善処理を施した後、ワイヤーバーコーターを用いて、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、接着剤ペーストを塗布し、０．１μｍの厚さの接着層を形成した。

接着層の転写
図５および図６に示された転写装置を用いて、セラミックグリーンシートの表面に、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に形成された接着層を接着し、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した。

第一の予熱器としては、接着層とセラミックグリーンシートが接触すべき位置から、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送経路に沿って、３０ｃｍだけ上流側に配置された遠赤外線ヒータを用い、第二の予熱器としては、接着層とセラミックグリーンシートが接触すべき位置から、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの搬送経路に沿って、２０ｃｍだけ上流側に配置された遠赤外線ヒータを用いた。

また、一対の加圧ローラの温度は９０℃に、第一の予熱器である遠赤外線ヒータの加熱温度は４５℃に、第二の予熱器である遠赤外線ヒータの加熱温度は７２．５℃に、それぞれ、設定した。

一対の加圧ローラのニップ圧力は、１ＭＰａであった。

このとき、接着層の表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。

電極層およびスペーサ層の表面へのセラミックグリーンシートの転写
図７および図８に示された転写装置を用いて、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層を介して、セラミックグリーンシートと、電極層およびスペーサ層とを接着するとともに、電極層およびスペーサ層から、第二のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した。

一対の加圧ローラのニップ圧力は５ＭＰａで、一対の加圧ローラの温度、第一の予熱器の温度および第二の予熱器の温度は、接着層の転写時と同様に設定した。

接着層の転写時と同様に、電極層およびスペーサ層の表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。

接着層の転写
さらに、ワイヤーバーコーターを用いて、両表面に、シリコン樹脂を塗布して、剥離性改善処理を施した第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、接着剤ペーストを塗布して、０．１μｍの厚さの接着層を形成し、図９および図１０に示された転写装置を用いて、接着層を介して、セラミックグリーンシート上に転写された電極層およびスペーサ層の表面に、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に形成された接着層を接着し、第三のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離して、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写し、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された積層体ユニットを作製した。

一対の加圧ローラのニップ圧力は５ＭＰａで、一対の加圧ローラの温度、第一の予熱器の温度および第二の予熱器の温度は、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写したときと同様に設定した。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写したときと同様に、接着層の表面の中央部および両縁部に、サーモラベルを貼着し、接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度を測定したところ、８０℃であった。

表面粗さ計を用いて、こうして得られた積層体ユニットの第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳＢ０６１０にしたがって、測定したところ、１．３２で、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに皺の発生はほとんど認められなかった。

さらに、積層体ユニットから、１０ｍｍ×１０ｍｍの試験片を切り出し、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面および接着層の表面に、両面テープを貼着して、８ｍｍ／分の速度で、２枚の両面テープを引き離して、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３６．５５Ｎ／ｃｍ^２で、十分な接着強度が得られていることが判明した。

実施例２
セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際に、第一の予熱器をオフし、第二の予熱器である遠赤外線ヒータの加熱温度を８０℃に設定した点を除き、実施例１と同様にして、積層体ユニットを作成した。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度は、いずれも、８０℃であった。

実施例１と同様にして、得られた積層体ユニットの第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳＢ０６１０にしたがって、測定したところ、１．２３で、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに皺の発生はほとんど認められなかった。

さらに、実施例１と同様の方法により、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３５．９６Ｎ／ｃｍ^２で、十分な接着強度が得られていることが判明した。

比較例１
セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際に、第一の予熱器である遠赤外線ヒータの加熱温度を８０℃に設定し、第二の予熱器をオフした点を除き、実施例１と同様にして、積層体ユニットを作成した。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度は、いずれも、７５℃であった。

実施例１と同様にして、得られた積層体ユニットの第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳＢ０６１０にしたがって、測定したところ、１．４５で、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに皺の発生はほとんど認められなかった。

さらに、実施例１と同様の方法により、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３３．１３Ｎ／ｃｍ^２で、接着強度が不十分であることが判明した。

これは、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度が、いずれも、７５℃で、低すぎたためと考えられる。

比較例２
セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際に、第一の予熱器および第二の予熱器をオフした点を除き、実施例１と同様にして、積層体ユニットを作成した。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度は、いずれも、７２．５℃であった。
実施例１と同様にして、得られた積層体ユニットの第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳＢ０６１０にしたがって、測定したところ、１．９２で、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに皺の発生はほとんど認められなかった。

さらに、実施例１と同様の方法により、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３２．２７Ｎ／ｃｍ^２で、接着強度が不十分であることが判明した。

これは、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度が、いずれも、７２．５℃で、低すぎたためと考えられる。

比較例３
セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際に、一対の加圧ローラの温度を１００℃に設定し、第一の予熱器および第二の予熱器をオフした点を除き、実施例１と同様にして、積層体ユニットを作成した。

セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度は、いずれも、８０℃であった。
実施例１と同様にして、得られた積層体ユニットの第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面のろ波中心線うねり（Ｗｃａ）を、ＪＩＳＢ０６１０にしたがって、測定したところ、１３．８９で、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに、きわめて多くの皺が発生したことが認められた。

さらに、実施例１と同様の方法により、積層体ユニットの接着強度を測定したところ、３５．７５Ｎ／ｃｍ^２で、十分な接着強度が得られていることが判明した。

比較例３においては、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際の接着層と、セラミックグリーンシートとの接触面の温度、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際の電極層およびスペーサ層と接着層との接触面の温度ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際の接着層と電極層およびスペーサ層との接触面の温度は、いずれも、８０℃で、十分に高かったため、積層体ユニットの接着強度が十分に高くなったが、その一方で、一対の加圧ローラの温度を１００℃に設定したため、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写した際、セラミックグリーンシートの表面に形成された接着層上に、電極層およびスペーサ層を転写した際ならびに電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写した際に、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムの温度がガラス転移温度Ｔｇを越え、その結果、第一のポリエチレンテレフタレートフィルムに、きわめて多くの皺が発生したものと考えられる。

本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

たとえば、図３３ないし図４２に示された実施態様においては、３以上の積層体ユニット２０が積層された積層体ユニットセットの表面に、接着層１０を転写した後、裁断装置（図示せず）によって、支持シート１および積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断し、積層体ブロック５０を形成して、３以上の積層体ユニット２０を含む積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に、積層するように構成されているが、図３９および図４０に示された転写装置によって、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ユニットセットの表面に、接着層１０を形成した後、支持シート１および積層体ユニットセットを、所定のサイズに裁断し、積層体ブロック５０を形成して、２つの積層体ユニット２０を含む積層体ブロック５０を、積層セラミックコンデンサの外層上に、積層するように構成することもできる。

さらに、図５および図６に示された転写装置、図９および図１０に示された転写装置、図２１および図２２に示された転写装置、図２３および図２４に示された転写装置、図２９および図３０に示された転写装置、図３５および図３６に示された転写装置ならびに図３９および図４０に示された転写装置は、それぞれ、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着した後、ただちに、支持シート９を、接着層１０から剥離するように構成されているが、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着した後、ただちに、支持シート９を、接着層１０から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート９の表面に形成された接着層１０を、電極層６およびスペーサ層７、セラミックグリーンシート２あるいは剥離層５の表面に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート９を、接着層１０から剥離するように構成することもできる。

また、図７および図８に示された転写装置ならびに図３７および図３８に示された転写装置は、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成されているが、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート４の表面に形成された電極層６およびスペーサ層７を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成することもできる。

さらに、図２５および図２６に示された転写装置、図３３および図３４に示された転写装置ならびに図４１および図４２に示された転写装置は、それぞれ、支持シート１上に形成されたセラミック２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離するように構成されているが、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート１上に形成されたセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート１を、セラミックグリーンシート２から剥離するように構成することもできる。

また、図２７および図２８に示された積層装置ならびに図３１および図３２に示された積層装置は、支持シート４の表面に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成されているが、支持シート４の表面に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着した後、ただちに、支持シート４を、剥離層５から剥離することは必ずしも必要でなく、接着装置を用いて、支持シート４の表面に形成された積層体ユニット２０のセラミックグリーンシート２を、接着層１０に接着して、積層体を形成し、積層体をローラに巻き取った後、積層体をローラから繰り出す際に、中間シート１９を、中間シート巻き取りローラ１４によって、接着層１０から剥離させて、巻き取ったのと同様にして、支持シート４を、剥離層５から剥離するように構成することもできる。

さらに、前記実施態様においては、図５および図６に示された転写装置、図７および図８に示された転写装置、図９および図１０に示された転写装置、図２１および図２２に示された転写装置、図２３および図２４に示された転写装置、図２５および図２６に示された転写装置、図２９および図３０に示された転写装置、図３３および図３４に示された転写装置、図３５および図３６に示された転写装置、図３７および図３８に示された転写装置、図４０および図４１に示された転写装置ならびに図４１および図４２に示された転写装置は、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４を備え、前記実施態様においては、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４の双方をオンさせているが、第一の加圧ローラ１５の温度を（Ｔｇｋ＋αｊ）以下に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇｍ＋βｎ）した状態で（ここに、Ｔｇｋは第一の加圧ローラ１５に接触する支持シートのガラス転移温度、Ｔｇｍは第二の加圧ローラ１６に接触する支持シートのガラス転移温度で、αｊおよびβｎは、、第一の加圧ローラ１５の温度を（Ｔｇｋ＋αｊ）に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇｍ＋βｎ）したときに、第一の加圧ローラ１５に接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇｋ未満に保持可能で、かつ、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇｍ未満に保持可能なように決定される。）、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面の温度、接着層１０と剥離層５との接触面の温度、接着層１０と剥離層５との接触面の温度、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度、接着層１０と剥離層５との接触面の温度、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面の温度、接着層１０と剥離層５との接触面の温度ならびに接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面の温度が、それぞれ、所望の接着温度以上になるように、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面、電極層６およびスペーサ層７と接着層１０との接触面、接着層１０と剥離層５との接触面、接着層１０と剥離層５との接触面、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面、接着層１０と剥離層５との接触面、接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面、接着層１０と電極層６およびスペーサ層７との接触面、接着層１０と剥離層５との接触面ならびに接着層１０とセラミックグリーンシート２との接触面を加熱することができればよく、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４の双方をオンさせることは必ずしも必要でなく、また、図５および図６に示された転写装置、図７および図８に示された転写装置、図９および図１０に示された転写装置、図２１および図２２に示された転写装置、図２３および図２４に示された転写装置、図２５および図２６に示された転写装置、図２９および図３０に示された転写装置、図３３および図３４に示された転写装置、図３５および図３６に示された転写装置、図３７および図３８に示された転写装置、図４０および図４１に示された転写装置ならびに図４１および図４２に示された転写装置が、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４を備えていることも必ずしも必要でない。

また、図２７および図２８に示された積層装置ならびに図３１および図３２に示された積層装置は、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４を備え、前記実施態様においては、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４の双方をオンさせているが、第一の加圧ローラ１５の温度を（Ｔｇｋ＋αｊ）以下に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇｍ＋βｎ）した状態で（ここに、Ｔｇｋは第一の加圧ローラ１５に接触する支持シートのガラス転移温度、Ｔｇｍは第二の加圧ローラ１６に接触する支持シートのガラス転移温度で、αｊおよびβｎは、、第一の加圧ローラ１５の温度を（Ｔｇｋ＋αｊ）に設定し、第二の加圧ローラ１６の温度を（Ｔｇｍ＋βｎ）したときに、第一の加圧ローラ１５に接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇｋ未満に保持可能で、かつ、第二の加圧ローラ１６に接触する支持シートの温度が、その支持シートのガラス転移温度Ｔｇｍ未満に保持可能なように決定される。）、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面の温度が、所望の接着温度以上になるように、セラミックグリーンシート２と接着層１０との接触面を加熱することができればよく、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４の双方をオンさせることは必ずしも必要でなく、また、図２７および図２８に示された積層装置ならびに図３１および図３２に示された積層装置が、第一の予熱器２３および第二の予熱器２４を備えていることも必ずしも必要でない。

さらに、前記実施態様においては、接着層１０が形成された支持シート９と同じ材料によって形成され、支持シート９と同一の厚さを有し、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されている中間シート１９が用いられているが、接着層１０が形成された支持シート９と同じ材料によって形成され、支持シート９と同一の厚さを有し、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされ、接着層１０が形成された支持シート９と同じ表面処理が施されている中間シート１９を用いることは必ずしも必要でなく、接着層１０に付着されるべき表面に、高さ１μｍないし１０μｍの凹凸が形成されたシートを、中間シート１９として用い、あるいは、ガーレー透気度が１００００ｓ／５０ｍｌ未満のシートを、中間シート１９として用いて、エアを、接着層１０と中間シート１９の間の空間から速やかに排出させるようにして、中間シート１９に皺が生じることを防止するとともに、中間シート１９が付着された積層体が巻き取り時に蛇行することを防止することもできる。

さらに、前記実施態様においては、セラミックグリーンシート２あるいは電極層６およびスペーサ層７の表面に、接着層１０を転写した後に、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体を巻き取り、同一の構成を有する転写装置を用いて、積層体ユニット２０あるいは積層体ユニットセットを作製するように構成されているが、十分に長い製造ラインを設けるスペースが存在する場合には、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体を巻き取ることなく、連続的に、転写操作および接着操作を繰り返して、積層体ユニット２０あるいは積層体ユニットセットを作製することもでき、あるいは、製造ラインを設けるべきスペースの長さに応じて、二またはそれ以上の転写装置を一ラインに配置し、一ラインの転写装置における接着層１０の転写完了時にのみ、接着層１０の表面に、中間シート１９を付着させて、積層体をローラに巻き取り、別のラインの転写装置に、巻き取ったローラをセットして、次の転写操作および接着操作を実行するようにしてもよい。

また、前記実施態様においては、接着層１０が、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいるが、接着層１０が、バインダの０．０１重量％ないし１５重量％のイミダゾリン系界面活性剤を含んでいることは必ずしも必要でない。本発明において、接着層１０のための帯電防止剤として、イミダゾリン系界面活性剤を用いることが最も好ましいが、ポリアルキレングリコール誘導体系界面活性剤、カルボン酸アミジン塩系界面活性剤などの他の両性界面活性剤も、接着層１０のための帯電防止剤として、好ましく用いることができ、さらに、エチレングリコール、ポリエチレングリコール、２−３ブタンジオール、グリセリンなどを、接着層１０のための帯電防止剤として、用いることもできる。

さらに、前記実施態様においては、接着剤溶液中に、イミダゾリン系界面活性剤を添加しているが、接着剤溶液中に、イミダゾリン系界面活性剤などの帯電防止剤を添加することは必ずしも必要でない。

また、前記実施態様においては、剥離層５の表面に、電極層６およびスペーサ層７を、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成している（ｔｓはスペーサ層７の厚さであり、ｔｅは電極層６の厚さである。）が、０．７≦ｔｓ／ｔｅ≦１．３となるように、好ましくは、０．８≦ｔｓ／ｔｅ≦１．１、さらに好ましくは、０．９≦ｔｓ／ｔｅ≦１．１となるように、電極層６およびスペーサ層７を形成すればよく、電極層６およびスペーサ層７を、ｔｓ／ｔｅ＝１．１となるように形成することは必ずしも必要でない。

図１は、支持シートの表面上に、セラミックグリーンシートが形成された状態を示す略一部断面図である。図２は、その表面上に、剥離層および電極層が形成された支持シートの略一部断面図である。図３は、剥離層の表面上に、電極層およびスペーサ層が形成された状態を示す略一部断面図である。図４は、支持シートの表面上に、接着層が形成された接着シートの略一部断面図である。図５は、支持シート上に形成された接着層を、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写する転写装置の略断面図である。図６は、図５に示された転写装置の一対の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図７は、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層を、接着層を介して、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に転写する転写装置の略断面図である。図８は、図７に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図９は、積層体ユニットの剥離層の表面に、接着シートの接着層を転写する転写装置の略断面図である。図１０は、図９に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図１１は、裁断装置によって、所定のサイズに裁断された積層体ユニットの略断面図である。図１２は、積層体ユニットの積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。図１３は、積層体ユニットの積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。図１４は、積層体ユニットの積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。図１５は、積層体ユニットの積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。図１６は、積層体ユニットの積層プロセスの第五のステップを示す略一部断面図である。図１７は、基板に固定されている支持体上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第一のステップを示す略一部断面図である。図１８は、基板に固定されている支持体上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第二のステップを示す略一部断面図である。図１９は、基板に固定されている支持体上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第三のステップを示す略一部断面図である。図２０は、基板に固定されている支持体上に積層された積層体ブロックを、積層セラミックコンデンサの外層上に積層する積層プロセスの第四のステップを示す略一部断面図である。図２１は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。図２２は、図２１に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図２３は、接着シートの接着層を、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写する転写装置の略断面図である。図２４は、図２３に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図２５は、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを、接着層を介して、支持シート上に形成された電極層およびスペーサ層の表面に転写する転写装置の略断面図である。図２６は、図２５に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図２７は、図２１および図２２に示された転写装置によって、積層体ユニットの剥離層上に転写された接着層に、図２５および図２６に示された転写装置によって作製された別の積層体ユニットを接着して、２つの積層体ユニットを積層し、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製する積層装置の略断面図である。図２８は、図２７に示された積層装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図２９は、支持シートの表面に形成された積層体ユニットセットの剥離層の表面に、接着シートの接着層を転写する転写装置の略断面図である。図３０は、図２９に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図３１は、支持シート上に形成された２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットの剥離層の表面に、接着層を介して、支持シート上に形成され、剥離層、電極層、スペーサ層、接着層およびセラミックグリーンシートを含む新たに積層すべき積層体ユニットを積層する積層装置の略断面図である。図３２は、図３１に示された積層装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図３３は、本発明の他の好ましい実施態様にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法に用いられる転写装置の略断面図である。図３４は、図３３に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図３５は、支持シート、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む積層体ユニット、接着層ならびにセラミックグリーンシートからなる積層体の接着層に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、接着シートの接着層を転写する転写装置の略断面図である。図３６は、図３５に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図３７は、支持シート、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む積層体ユニット、接着層、セラミックグリーンシートならびに接着層からなる積層体の接着層の表面に、支持シートの上の剥離層の表面に形成された電極層およびスペーサ層を接着し、剥離層から、支持シートを剥離して、電極層、スペーサ層および剥離層を接着層の表面に転写する転写装置の略断面図である。図３８は、図３７に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図３９は、支持シート上に、それぞれ、セラミックグリーンシート、接着層、電極層、スペーサ層および剥離層を含む２つの積層体ユニットが、接着層を介して、積層されて、作製された積層体ユニットセットの表面側に位置する剥離層の表面に、支持シート上に形成された接着層を転写する転写装置の略断面図である。図４０は、図３９に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。図４１は、支持シート上に形成された２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニットの剥離層５の表面に転写された接着層に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを接着させ、セラミックグリーンシートから支持シートを剥離して、支持シート上に形成された２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットの表面側に位置する積層体ユニットの剥離層の表面に転写された接着層上に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートを転写する転写装置の略断面図である。図４２は、図４１に示された転写装置の第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの近傍の略拡大断面図である。

符号の説明

１第一の支持シート
２セラミックグリーンシート
３第二の支持シート
５剥離層
６電極層
７スペーサ層
９第三の支持シート
１０接着層
１１接着シート
１２第一の繰り出しローラ
１３第二の繰り出しローラ
１４中間シート巻き取りローラ
１５、１６加圧ローラ
１７第一の巻き取りローラ
１８第二の巻き取りローラ
１９中間シート
２０積層体ユニット
２１中間シート繰り出しローラ
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｅ、２２ｆシート蛇行修正デバイス
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ、２３ｅ、２３ｆシートテンション調整ローラ
２４第一の予熱器
２５第二の予熱器
３５基板
３６孔
３８支持体
４０基台
４１孔
４２接着層
４３積層セラミックコンデンサの外層
５０積層体ブロック

Claims

その表面に、接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシートが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記接着層と前記セラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記接着層から剥離して、前記接着層を前記セラミックグリーンシートの表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記セラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記接着層および前記第二の支持シートの表面に形成された前記セラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
その表面に、剥離層、電極層および前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層が積層された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシートおよび接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記電極層および前記スペーサ層と前記接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記剥離層から剥離して、前記剥離層、前記電極層および前記スペーサ層を含む積層体を、前記接着層の表面に転写し、積層セラミック電子部品用の積層体ユニットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記電極層および前記スペーサ層と前記接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの前記電極層および前記スペーサ層ならびに前記第二の支持シートの前記接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記接着層と前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記接着層から剥離して、前記接着層を前記剥離層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記接着層と前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記接着層および前記第二の支持シートの前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、第二のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層とが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第二の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第二の接着層の表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第二の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第二の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層と、第二のセラミックグリーンシートとが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二のセラミックグリーンシートの表面に転写し、少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする少なくとも１つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層および第二の剥離層が積層された積層体ユニットと、第二の接着層と、第二のセラミックグリーンシートと、第三の接着層とが形成された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層、前記第一のスペーサ層および前記第一の剥離層を前記第三の接着層の表面に転写し、前記第二の接着層を介して、２つの積層体ユニットが積層された積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層ならびに前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一のセラミックグリーンシートが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二のセラミックグリーンシート、第一の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一のセラミックグリーンシートから剥離して、前記第一のセラミックグリーンシートを前記第三の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一のセラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層と、第二のセラミックグリーンシートとが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記第二のセラミックグリーンシートの表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記第二のセラミックグリーンシートとの接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二のセラミックグリーンシートの少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の剥離層、第一の電極層および前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第一のセラミックグリーンシート、第一の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層および第二の剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第二の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第三の接着層と、第二のセラミックグリーンシートと、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層を前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層と前記第四の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の電極層および前記第一のスペーサ層ならびに前記第四の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第一のセラミックグリーンシートが積層されて、第一の積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、第二のセラミックグリーンシート、第二の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の剥離層が積層された第二の積層体ユニットと、第三の接着層が積層された第二の支持シートを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の積層体ユニットの前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の積層体ユニットを、前記第三の接着層の表面に転写し、前記第一の積層体ユニットと前記第二の積層体ユニットが、前記第三の接着層を介して、積層し、２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第三の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする２つの積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の接着層が形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、セラミックグリーンシート、第二の接着層、電極層、前記電極層と相補的なパターンで形成されたスペーサ層および剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層されて、２つの積層体ユニットを含む積層体ユニットセットが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層と、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記剥離層とを接着し、前記第一の支持シートを前記第一の接着層から剥離して、前記第一の接着層を前記積層体ユニットセットの前記剥離層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一の接着層と前記剥離層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記第一の接着層および前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの前記剥離層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。
その表面に、第一の剥離層、第一の電極層、前記第一の電極層と相補的なパターンで形成された第一のスペーサ層、第一の接着層および第一のセラミックグリーンシートが積層されて、積層体ユニットが形成された第一の支持シートと、その表面に、それぞれが、第二のセラミックグリーンシート、第二の接着層、第二の電極層、前記第二の電極層と相補的なパターンで形成された第二のスペーサ層、第二の剥離層が、この順に積層されて、形成された少なくとも２つの積層体ユニットが、第三の接着層を介して、積層された積層体ユニットセットと、第四の接着層とが形成された第二の支持シートとを、互いに対向し、温度制御された第一の加圧ローラおよび第二の加圧ローラの間に、前記第一の支持シートが前記第一の加圧ローラに接触し、前記第二の支持シートが前記第二の加圧ローラに接触するように供給し、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラによって、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを加圧して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートと、前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層とを接着し、前記第一の支持シートを、前記積層体ユニットの前記第一の剥離層から剥離して、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットを、前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層の表面に転写し、複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットを製造する方法であって、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）以下に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）以下に設定するとともに（ここに、Ｔｇ１は前記第一の支持シートのガラス転移温度、Ｔｇ２は前記第二の支持シートのガラス転移温度であり、αおよびβは、前記第一の加圧ローラの温度を（Ｔｇ１＋α）に設定し、前記第二の加圧ローラの温度を（Ｔｇ２＋β）に設定したときに、前記第一の支持シートの温度が、前記第一の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ１未満に保持可能で、かつ、前記第二の支持シートの温度が、前記第二の支持シートのガラス転移温度Ｔｇ２未満に保持可能なように決定される。）、前記第一の支持シートおよび前記第二の支持シートを、前記第一の加圧ローラおよび前記第二の加圧ローラの間に供給するのに先立って、前記第一のセラミックグリーンシートと前記第三の接着層との接触面の温度が所定の温度以上になるように、前記第一の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットの前記第一のセラミックグリーンシートおよび前記第二の支持シートの表面に形成された前記積層体ユニットセットの表面に位置する前記第四の接着層の少なくとも一方を予熱することを特徴とする複数の積層体ユニットを含む積層セラミック電子部品用の積層体ユニットセットの製造方法。