JP2006186151A - テープ剥離方法と装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一側面に粘着面20が設けられた剥離テープ18を供給するテープ供給リール16と、剥離テープ18を巻き取るテープ巻取リール30とを有する。半導体ウエハ12の表面に貼付された保護テープ14に、剥離テープ18を貼付する貼付ローラ24を備える。剥離テープ18に保護テープ14が貼付された状態で、次の半導体ウエハ12の保護テープ14に、剥離テープ18に貼付された保護テープ14の一部を重ね合わせるとともに、剥離テープ18を半導体ウエハ12上の保護テープ14の端縁部の一部に貼付して、半導体ウエハ12上の保護テープ14を剥離する。テープ供給リール16は、保護テープ14の直径より僅かに長く送り方向に駆動され、保護テープ14の直径よりも小さい長さ分戻されるように駆動される。
【選択図】図1
Description
12 半導体ウエハ
14 保護テープ
16 テープ供給リール
18 剥離テープ
20 粘着面
24 貼付ローラ
26 テーブル
30 テープ巻取リール
Claims (3)
- 半導体ウエハを載置するテーブルと、一側面に粘着面が設けられた剥離テープと、この剥離テープを供給するテープ供給リールと、前記剥離テープを巻き取るテープ巻取リールと、前記半導体ウエハの表面に貼付された保護テープに前記剥離テープを貼付する貼付ローラとを備え、前記剥離テープに前記保護テープが貼付された状態で、次の前記半導体ウエハの保護テープに前記剥離テープに貼付された保護テープの一部を重ね合わせるとともに、前記剥離テープを前記半導体ウエハ上の保護テープの端縁部の一部に貼付して、前記半導体ウエハ上の保護テープを剥離することを特徴とするテープ剥離方法。
- 前記テープ供給リールは、前記保護テープの直径より僅かに長く送り方向に駆動され、前記保護テープの直径よりも小さい長さ分戻されるように駆動されることを特徴とする請求項1記載のテープ剥離方法。
- 半導体ウエハを載置するテーブルと、一側面に粘着面が設けられた剥離テープと、この剥離テープを供給するテープ供給リールと、前記剥離テープを巻き取るテープ巻取リールと、前記半導体ウエハの表面に貼付された保護テープに前記剥離テープを貼付する貼付ローラとを備え、前記テープ供給リールと前記テープ巻取リール及び前記貼付ローラは、前記剥離テープに前記保護テープが貼付された状態で、次の前記半導体ウエハの保護テープに前記剥離テープに貼付された保護テープの一部が重なり合うとともに、前記剥離テープが前記半導体ウエハ上の保護テープの端縁部の一部に貼付されるように駆動されることを特徴とするテープ剥離装置。
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