JP2008074573A - フィルム剥離方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 まず、剥離テープ貼り付けローラ6の右方向への移動により、幅狭の剥離テープ11をカバーフィルム3の上面の中心部を通る直線上に貼り付ける。次に、剥離テープ貼り付けローラ6を剥離テープ11の上からカバーフィルム11の上面に押し付けた状態において、剥離テープ11の右側をドライフィルムレジスト3の上面に対してほぼ垂直上方に引っ張り、これにより剥離テープ11に付着されたカバーフィルム11をドライフィルムレジスト3から剥離し、且つ、カバーフィルム11の剥離に応じて剥離テープ11に対する引っ張り力により剥離テープ貼り付けローラ6を剥離テープ11の上からカバーフィルム11の上面に押し付けた状態を維持しながら左側に移動させる。
【選択図】 図9
Description
2 半導体ウエハ
3 ドライフィルムレジスト
4 カバーフィルム
5 剥離テープ貼り付け兼剥離テープ引っ張り方向規制手段
6 剥離テープ貼り付けローラ
7、8 剥離テープ引っ張り方向規制ローラ
9 第1のガイドローラ
10 剥離テープ供給ローラ
11 剥離テープ
12 第2のガイドローラ
13 バックアップローラ
14 剥離テープ回収ローラ
15 第3のガイドローラ
16 テンションローラ
17 第4のガイドローラ
18 第5のガイドローラ
Claims (9)
- 平面円形状の対象物の上面全体に積層されたフィルムの上面の中心部を通る直線上に剥離テープを貼り付け、
第1のローラを前記剥離テープの上から前記フィルムの上面の一方側に押し付け、
剥離方向と逆方向であって前記第1のローラの上方側で前記第1のローラを基準として鈍角となるような位置に少なくとも1つの第2のローラが配置され、
前記第1のローラが配置された前記剥離テープの一方側を前記第1のローラおよび前記第2のローラに接触するように持ち上げて引っ張り、
これにより前記剥離テープに付着された前記フィルムを前記対象物から剥離し、且つ、前記フィルムの前記対象物からの剥離に応じて前記剥離テープに対する引っ張り力により前記第1のローラを前記剥離テープの上から前記フィルムの上面に押し付けた状態を維持しながら他方側に移動させることを特徴とするフィルム剥離方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記対象物は半導体ウエハ上に積層されたドライフィルムレジストであり、前記フィルムは前記ドライフィルムレジストの上面に積層されたカバーフィルムであることを特徴とするフィルム剥離方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記第1のローラは、一方側への移動により、前記剥離テープを前記フィルムの上面の中心部を通る直線上に貼り付ける剥離テープ貼り付けローラであることを特徴とするフィルム剥離方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記第2のローラは、前記剥離テープ貼り付けローラと一体的に移動する剥離テープ引っ張り方向規制ローラであることを特徴とするフィルム剥離方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記剥離テープを前記フィルムの上面の中心部を通る直線上に貼り付けるとき、前記剥離テープ貼り付けローラを前記フィルムの一方側縁部に対して数回往復動させることを特徴とするフィルム剥離方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記剥離テープ貼り付けローラと一体的に移動する剥離テープ引っ張り方向規制ローラにより、前記剥離テープの引っ張り方向を前記第1のローラを基準として鈍角となるように規制することを特徴とするフィルム剥離方法。
- 上面に平面円形状の対象物がその上面全体に積層されたフィルムと共に配置されるステージと、剥離テープが巻回された剥離テープ供給ローラと、前記ステージの上方に少なくとも前記ステージの上面に沿って往復動可能に配置された剥離テープ貼り付けローラと、前記剥離テープ貼り付けローラの上方に配置され、前記剥離テープ貼り付けローラと一体的に移動する剥離テープ引っ張り方向規制ローラと、前記剥離テープ供給ローラから繰り出されて前記剥離テープ貼り付けローラおよび前記剥離テープ引っ張り方向規制ローラを通過した後の前記剥離テープを引っ張る剥離テープ引っ張り手段とを備え、
前記剥離テープ貼り付けローラの一方側への移動により、前記剥離テープ供給ローラから繰り出された前記剥離テープを前記ステージ上に配置された前記対象物上の前記フィルムの上面の中心部を通る直線上に貼り付け、
前記剥離テープ貼り付けローラを前記剥離テープの上から前記フィルムの上面の一方側に押し付け、且つ、前記剥離テープ引っ張り方向規制ローラにより前記剥離テープの引っ張り方向を前記剥離テープ貼り付けローラを基準として鈍角となるように規制した状態において、
前記剥離テープ引っ張り手段により前記剥離テープを引っ張り、これにより前記剥離テープに付着された前記フィルムを前記対象物から剥離し、且つ、前記フィルムの前記対象物からの剥離に応じて前記剥離テープに対する引っ張り力により前記剥離テープ貼り付けローラを前記剥離テープの上から前記フィルムの上面に押し付けた状態を維持しながら他方側に移動させることを特徴とするフィルム剥離装置。 - 請求項7に記載の発明において、前記剥離テープを前記フィルムの上面の中心部を通る直線上に貼り付けるとき、前記剥離テープ貼り付けローラを前記フィルムの一方側縁部に対して数回往復動させることを特徴とするフィルム剥離装置。
- 請求項7に記載の発明において、前記対象物は半導体ウエハ上に積層されたドライフィルムレジストであり、前記フィルムは前記ドライフィルムレジストの上面に積層されたカバーフィルムであることを特徴とするフィルム剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256824A JP4992362B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | フィルム剥離方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256824A JP4992362B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | フィルム剥離方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008074573A true JP2008074573A (ja) | 2008-04-03 |
JP4992362B2 JP4992362B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=39347031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006256824A Expired - Fee Related JP4992362B2 (ja) | 2006-09-22 | 2006-09-22 | フィルム剥離方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4992362B2 (ja) |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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