JP5893500B2 - シート貼付装置 - Google Patents

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本発明は、板状部材に接着シートを貼付するシート貼付装置に関する。
従来、ディスク基板の反りを緩和して光ディスクを製造する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に記載の製造装置では、弾性体巻き付けロールによってディスク基板上の一端側から他端側に向けて積層構造のシートを順次押圧し、ディスク基板にシートを貼付する。この貼付の際、光ディスクに反りが生じるおそれがあるため、ディスク基板にシートを貼付した後、光ディスクを回転し、再び弾性体巻き付けロールによってディスク基板にシートを再押圧し、1回目の押圧で発生した方向性のある反りに対して別な方向の反りを与え、ディスク基板の反りを緩和した光ディスクを製造している。
特開2003−157588号公報
ところで、特許文献1に記載の光ディスクを製造する装置では、シートを貼付した後に反りの方向と異なる方向で再押圧を行うため、例えば、シートを複数重ねて多層構造の光ディスクを製造する場合、シートを重ね貼りする度に、そのシートによる反りの方向と異なる方向で再押圧を行わなければならないので、装置動作が多くなり、単位時間当たりに光ディスクを製造する処理能力が低下するという不都合を発生する。
また、ディスク基板にシートを貼付する押圧の回数に加え、再押圧する回数が加算されるので、ディスク基板やシートに余計なダメージを与えてしまうという別の不都合も発生する。
本発明の目的は、単位時間当たりの処理能力を低下させることなく複数の接着シートを重ね貼りすることができるシート貼付装置を提供することである。
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置では、板状部材の被着面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、前記被着面の反対側の面を載置面で受けて当該載置面と平行な面内で前記板状部材を回転可能に支持する支持手段と、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを前記被着面上へ供給し、当該接着シートを前記被着面に押圧する供給手段と、前記支持手段と前記供給手段とを相対移動させる移動手段と、当該シート貼付装置全体の動作を制御可能な制御手段と、を具備し、前記制御手段は、前記移動手段の相対移動により、前記接着シートに張力を作用させた状態で当該接着シートを前記板状部材に貼付した後、先に貼付した接着シートに作用させた張力の方向が前記移動手段の相対移動方向に交差する状態となるまで前記支持手段を回転させ、再度前記移動手段の相対移動により、前記板状部材に貼付された接着シートの他方の面に次の接着シートを重ねて貼付することが可能に設けられ、前記支持手段は、前記板状部材を回転させるときに前記板状部材を前記載置面から離間させ、前記板状部材に前記接着シートを貼付するときに前記板状部材を前記載置面に載置する離間手段と、前記離間手段が前記載置面に載置した前記板状部材を前記載置面に押さえ付ける押さえ手段とを具備する、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、接着シートを重ね貼りする度に、その接着シートによる反りの方向と異なる方向で再押圧を行う必要がなくなるので、装置動作を必要最低限に抑え、単位時間当たりの処理能力が低下するといった不都合を解消することができる。
また、再押圧を行わないので、板状部材や接着シートに余計なダメージを与えることを防止することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。 図1のシート貼付装置の動作説明図。 図1のシート貼付装置による重ね貼りの要領を示す模式図。
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
[シート貼付装置の構成]
図1において、シート貼付装置1は、板状部材としてのディスク基板11の一方の面に接着シートASを重ね貼りする装置である。
ここで、接着シートASは、基材シートBSと、この基材シートBSの一方の面に設けられた接着剤層ADとの2層で1単位とされ、帯状の剥離シートRLに仮着されて原反RSを構成する。また、ディスク基板11は、中央に中央孔13(図2,3参照)を有し、一方の面に接着シートASが貼付される被着面11Aを有する。
シート貼付装置1は、被着面11Aの反対側の面を載置面21Aで受けて当該載置面21Aと平行な面内でディスク基板11を回転可能に支持する支持手段2と、接着シートASを被着面11A上へ供給し、当該接着シートASを被着面11Aに押圧する供給手段3と、支持手段2と供給手段3とを相対移動させる移動手段4と、接着シートASの貼付によりディスク基板11に発生する反り方向を検出する反り方向検出手段5と、パーソナルコンピュータやシーケンサなどで構成され、シート貼付装置1全体の動作を制御可能な制御手段6と、を備えている。
支持手段2は、上面が載置面21Aとされ、図示しない吸引ポンプや真空エジェクタなどの吸引手段に連通された吸気口でディスク基板11を保持可能な支持部21と、ディスク基板11の中央孔13に入り込んでディスク基板11の位置決めと保持が可能な位置決めピン27と、上面が中央領域載置面26Aとされ、上下方向の軸を回転中心として位置決めピン27を回転可能な駆動機器としての回動モータ26と、支持部21の中央に設けられた凹部21B内に配置されるとともに、出力軸25Aが回動モータ26に連結され、当該回動モータ26を上下方向に移動可能に設けられた駆動機器であって離間手段としての直動モータ25(図2)と、出力軸23Aが支持部21に連結されて当該支持部21を載置面21Aに直交する方向(上下方向)に移動させ、ディスク基板11と供給手段3とを相対移動可能に設けられた駆動機器であって間隔調整手段としての直動モータ23と、供給手段3の左方に配置され、下面に形成された図示しない排気口から気体を吹き付け、ディスク基板11を載置面21Aに押さえ付ける押さえ手段24と、を備えている。なお、位置決めピン27は、図示しない駆動機器によって左右方向に移動可能に設けられている。
供給手段3は、図1に示すように、フレーム30に支持され、ロール状に巻回された原反RSを繰出可能に支持する支持軸31と、原反RSを案内するガイドローラ32と、駆動機器としての回動モータ33Aによって駆動される駆動ローラ33と、駆動ローラ33との間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ34と、図示しない駆動機器によって剥離シートRLを回収する回収ローラ35と、原反RSが折り返されるように掛け回されて接着シートASを剥離シートRLから剥離する剥離板36と、剥離されることで供給される接着シートASをディスク基板11に押圧する押圧ローラ37と、駆動機器としての回動モータ38Aによって駆動される駆動ローラ38と、駆動ローラ38との間に原反RSを挟み込むピンチローラ39と、を備えている。なお、駆動ローラ38と回動モータ38Aとピンチローラ39とによって張力調整手段が形成される。張力調整手段は、例えば、駆動ローラ33よって繰り出される原反RSに対し、この原反RSの繰出方向の反対の方向に駆動ローラ38を所定の回転トルクで回転するように構成したり、支持手段2と供給手段3との相対移動速度に対し、駆動ローラ38による原反RSを繰り出す速度を遅くするように構成したりすることで、接着シートASに張力を付与可能に設けられている。
移動手段4は、駆動機器としての単軸ロボット41からなり、この単軸ロボット41のスライダ42に直動モータ23が取り付けられている。
反り方向検出手段5は、光センサや超音波センサ等の各種センサや、CCDカメラや投影機等の撮像手段が例示でき、ディスク基板11の外縁位置を検出し、検出した信号やデータを制御手段6に出力する。
[シート貼付装置の動作]
次に、シート貼付装置1におけるディスク基板11に接着シートASを重ね貼りする工程について説明する。
まず、図1に示すように、原反RSを通紙しておく。そして、図示しない多関節ロボットなどの搬送手段によって、図1中実線で示す位置に停止している支持手段2の載置面21Aの上方所定位置にディスク基板11が配置されると、支持手段2が直動モータ25を駆動し、回動モータ26を上昇させてディスク基板11の中央孔13内に位置決めピン27を挿入させ、中央領域載置面26Aをディスク基板11に当接させる。その後、図示しない駆動機器を駆動し、位置決めピン27を左右方向に開いてディスク基板11を保持すると、図示しない搬送手段が退避する。次いで、支持手段2が直動モータ25を駆動し、ディスク基板11を下降させた後、図示しない吸引手段が駆動し、ディスク基板11を載置面21Aで吸着保持する。次に、支持手段2が直動モータ23を駆動し、ディスク基板11の被着面11Aが貼付レベルSLと同レベルとなるまで支持部21を上昇させる。なお、貼付レベルSLは、押圧ローラ37の下端レベルと同等か下端レベルよりも少々上方の位置である。この後、移動手段4が単軸ロボット41を駆動し、支持部21を貼付方向AA(左方向)に移動させる。そして、支持部21が所定の位置に達したことを図示しない光センサや超音波センサなどの検知手段が検知すると、供給手段3が支持部21の移動に同期させて回動モータ33Aを駆動し、原反RSを繰り出させるとともに、押圧ローラ37で当該接着シートASの供給方向の先端を被着面11Aの一縁DFに押圧する。
次いで、供給手段3が回動モータ38Aを駆動し、接着シートASに所定の張力を付与しつつ、供給手段3および移動手段4が回動モータ33Aおよび単軸ロボット41の駆動を続行することで、1枚目の接着シートASがディスク基板11に貼付される。
1枚目の接着シートASがディスク基板11に貼付されると、図1中二転鎖線で示す位置で移動手段4が単軸ロボット41の駆動を停止する。その後、支持手段2が図示しない吸引手段を停止し、直動モータ25を駆動して、図2(A)に示すように、ディスク基板11を載置面21Aから離間させる。なお、1枚目の接着シートASが貼付された時点では、ディスク基板11は、図3(B)に示すように、張力が付与されて当該ディスク基板11に貼付された接着シートASの弾性復元力によりLA方向の張力が生じ、左右両端が上方に反り上がるように変形する。
この後、支持手段2が回動モータ26を駆動し、載置面21Aと平行な面内でディスク基板11を回転させる。この回転中、ディスク基板11は、外縁の位置が反り方向検出手段5によって検出され、1回転分のデータが制御手段6に出力される。
1回転分のデータが制御手段6に入力されると、制御手段6がディスク基板11の反り方向およびその反りの大きさを認識する。次いで、支持手段2が制御手段6の認識に基づき回動モータ26を駆動し、ディスク基板11に生じている張力の方向、すなわちLA方向が貼付方向AAに交差する状態となるように回転する。本実施形態の場合、図3(C)の矢印SAで示すように、張力LAの方向が貼付方向AAに対して直交した位置となるように、回動モータ26がディスク基板11を回転させる。
ディスク基板11の回転後、支持手段2が直動モータ25を駆動し、ディスク基板11を下降させた後、図示しない吸引手段を駆動し、ディスク基板11を載置面21Aで吸着保持する。この時、ディスク基板11には反りが生じているため、載置面21Aだけの吸引ではディスク基板11を当該載置面21Aに密着させることができない場合があるので、支持手段2が押さえ手段24を駆動し、気体をディスク基板11に貼付された接着シートASに吹き付けるとよい。なお、気体は、大気、窒素ガス、混合気など、使用する気体に何ら限定はない。
そして、支持手段2が直動モータ23を駆動し、貼付した1枚目の接着シートASが押圧ローラ37や接着シートASに接触しない程度に支持部21を下降させ、移動手段4が単軸ロボット41を駆動し、支持手段2を貼付方向AAの反対方向(右方向)に移動し、図1中実線で示す位置で停止する。次いで、支持手段2が直動モータ23Aを駆動し、貼付した1枚目の接着シートASの上面が貼付レベルSLと同レベルとなるまで支持部21を上昇させ、移動手段4が単軸ロボット41を駆動し、支持手段2を貼付方向AAに移動させる。
そして、上記と同様の動作を行うことで、1枚目の接着シートASの上面に2枚目の接着シートASが貼付され、重ね貼りが実施される。
この重ね貼りの際に作用させる張力は、制御手段6が認識した反りの大きさに基づき、供給手段3が回動モータ38Aの回転トルクや回転速度を制御して、重ね貼りする接着シートASに作用させる張力の大きさを調整する。つまり、例えば、ディスク基板11の反りの大きさに対し、回動モータ38Aの回転トルクや回転速度を段階的に定めて予め制御手段6に記憶させておき、ディスク基板11の反りの位置するレンジに対応する回動モータ38Aの回転トルクや回転速度を選択するように構成することができる。なお、回動モータ38Aの回転トルクや回転速度は、経験値から設定すればよい。
2枚目の接着シートASが貼付されると、ディスク基板11は、図3(D)に示すように、2枚目の接着シートASの弾性復元力により更にMA方向の張力が発生し、奥および手前両端に加えて左右両端が上方に反り上がるように変形する(図2(B)参照)。
この後、上記と同様にして制御手段6がディスク基板11の反り方向およびその反りの大きさを認識する。次いで、支持手段2が制御手段6の認識に基づき回動モータ26を駆動して、ディスク基板11に生じている張力の方向、すなわちLA方向およびMA方向が貼付方向AAに交差する状態となるように回転する。本実施形態の場合、図3(E)の矢印TAで示すように、張力LAの方向が貼付方向AAに対して135°傾斜した位置となるように、回動モータ26がディスク基板11を回転させた後、上記と同様の動作を行うことで、3枚目の接着シートASが貼付される。
3枚目の接着シートASが貼付されると、ディスク基板11は、図3(F)に示すように、3枚目の接着シートASの弾性復元力により更にNA方向の張力が発生する。この後、さらにディスク基板11の反りの方向および大きさを検出し、図3(G)の矢印JAで示すように、張力LAの方向が貼付方向AA対して225°傾斜した位置となるように、回動モータ26がディスク基板11を回転させた後、上記と同様の動作を行うことで、4枚目の接着シートASが貼付される。
このように4枚の接着シートASが貼付されると、ディスク基板11は、図3(H)に示すように、ディスク基板11に作用する張力LA,MA,NA,OAが周方向で等分(45°間隔)の位置で作用する状態となり、平坦または若干外縁部が上方に反り上がったお椀形になる。なお、お椀形になることを見越して中央部が上方に反り上がったディスク基板11を採用すれば、ディスク基板11を平坦な状態とすることもできる。
以上のような実施形態によれば、反りのないディスク基板11を製造することができる。
[変形例]
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
例えば、板状部材は、ディスク基板11以外に樹脂シートや金属板など、従来公知の部材を対象とすることができる。
また、接着シートASは、2層を1単にしたもの以外に、1層を1単にしたものや3層以上を1単にしたものであってよい。
さらに、接着シートASは、5枚以上重ね貼りしてもよいし、2枚または3枚重ね貼りしてもよく、重ね貼り回数は適宜設定できる。
また、ディスク基板11は、多少の反りが発生したディスク基板11でも、例えば支持工程でディスク基板11を支持する前に、反り方向検出手段5にて先に反り方向や反りの大きさを検出しておくことで、反りを防止した平坦なディスク基板11とすることができる。
さらに、接着シートASが薄く、重ね貼りの回数もあまり多くなく、重ね貼りする合計の厚さが小さい場合には、接着シートASを貼付する毎に載置面21Aの高さを調整する直動モータ(間隔調整手段)23を設けなくてもよい。
また、支持手段2は、ディスク基板11を吸着により支持したが、吸着に限らず、例えばディスク基板11の周縁を支持するなど、従来公知の各種方法で支持してもよい。
さらに、移動手段4は、支持手段2を停止させておき、供給手段3を移動させたり、支持手段2と供給手段3との双方を移動させたりしてもよい。
また、接着シートASを供給する方法として、接着シートASを吸引してディスク基板11上に移動して一縁から張力を作用させつつ貼付するなど、従来公知の各種方法を適用できる。
さらに、原反RSの繰り出す速度を一定とし、移動手段4で支持手段2および供給手段3を相対移動させる速度を変更して張力を変更可能とする構成としてもよい。
また、押さえ手段24は、気体の吹き付け以外に、ディスク基板11に貼付された接着シートASに接触してディスク基板11を載置面21Aに密着させる構成としてもよい。
さらに、前記実施形態では、ディスク基板11の反り方向を反り方向検出手段5によって検出させた後に、当該反り方向が貼付方向AAに交差するようにディスク基板11を所定角度回転させたが、反り方向検出手段5によって検出させることなくディスク基板11を所定角度回転させてもよい。
また、前記実施形態では、ディスク基板11に作用する張力が周方向で等分(45°間隔)の位置で作用する状態としたが、ディスク基板11に作用する張力は周方向で等分でなくてもよい。
さらに、本発明における接着シートASの種別や材質などは、特に限定されることはなく、例えば、半導体装置の製造工程に使用される保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムや、その他の任意のシート、フィルム、テープなど、任意の用途、形状のシートなどが適用できる。
また、上述の実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボットなどの電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダなどのアクチュエータなどを採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
1……シート貼付装置
2……支持手段
3……供給手段
4……移動手段
5……反り方向検出手段
6……制御手段
11……ディスク基板(板状部材)
11A…被着面
21A…載置面
23……直動モータ(間隔調整手段)
25……直動モータ(離間手段)
AD……接着剤層
AS……接着シート(シート)
BS……基材シート
RL……剥離シート
RS……原反

Claims (1)

  1. 板状部材の被着面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
    前記被着面の反対側の面を載置面で受けて当該載置面と平行な面内で前記板状部材を回転可能に支持する支持手段と、
    基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを前記被着面上へ供給し、当該接着シートを前記被着面に押圧する供給手段と、
    前記支持手段と前記供給手段とを相対移動させる移動手段と、
    当該シート貼付装置全体の動作を制御可能な制御手段と、を具備し、
    前記制御手段は、前記移動手段の相対移動により、前記接着シートに張力を作用させた状態で当該接着シートを前記板状部材に貼付した後、先に貼付した接着シートに作用させた張力の方向が前記移動手段の相対移動方向に交差する状態となるまで前記支持手段を回転させ、再度前記移動手段の相対移動により、前記板状部材に貼付された接着シートの他方の面に次の接着シートを重ねて貼付することが可能に設けられ
    前記支持手段は、前記板状部材を回転させるときに前記板状部材を前記載置面から離間させ、前記板状部材に前記接着シートを貼付するときに前記板状部材を前記載置面に載置する離間手段と、前記離間手段が前記載置面に載置した前記板状部材を前記載置面に押さえ付ける押さえ手段とを具備することを特徴とするシート貼付装置。
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