JP2024006765A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】貼付装置の設定に多くの時間が費やされることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】所定の供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを一面ＷＫ３に貼付する貼付手段２０と、一面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを、一面ＷＫ３に隣接する一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付する第１貼付および、接着シートＡＳの他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨを、一面ＷＫ３に隣接する他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第２貼付を行うはみ出し領域貼付手段３０とを備え、はみ出し領域貼付手段３０は、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われないようにした。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２２－３０８７７号公報

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム（シート貼付装置）は、ウェハＷ（被着体）の外周側面（一面）に貼付した保護テープ２７（接着シート）の一端側のはみ出し領域を第１の面（一方の面）に貼付する第１貼付と、他端側のはみ出し領域を第２の面（他方の面）に貼付する第２貼付とが、接着シートの供給方向に直交する単一の直線上で同時に行われる構成となっているため、例えば、第１貼付の押圧力や押圧方向等の設定を変更すると、ダイレクトに第２貼付に影響が及ぶ。そのため、第１貼付の設定を変更すると、第２貼付の再設定も必要となるので、シート貼付の設定に多くの時間が費やされるという不都合を発生する。

本発明の目的は、シート貼付の設定に多くの時間が費やされることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、第１貼付と第２貼付とが接着シートの供給方向に直交する単一の直線上で同時に行われないようにしたので、第１貼付の設定を変更しても、ダイレクトに第２貼付に影響が及ぶことがなくなる。従って、第１貼付の設定を変更しても、第２貼付の再設定が不要となるので、シート貼付の設定に多くの時間が費やされることを防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｂ）～（Ｆ）は、図１（Ａ）を左方から観たポイントＬＰが位置するＹＺ平面での部分断面図であり、図１（Ｃ）～（Ｆ）は、方向を示す矢印は省略。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを所定の供給方向ＳＤに沿って供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給方向ＳＤに沿って供給された接着シートＡＳの当該供給方向ＳＤに沿う一端ＡＳ１側（図１（Ｂ）参照）および他端ＡＳ２側の両方に、被着体ＷＫの所定の一面としての外周面ＷＫ３からはみ出したはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように当該接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨを、外周面ＷＫ３に隣接する一方の面ＷＫ１方向に折り曲げて貼付する第１貼付および、接着シートＡＳの他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨを、外周面ＷＫ３に隣接する他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付する第２貼付を行うはみ出し領域貼付工程を実施するはみ出し領域貼付手段３０と、第１貼付が行われた被着体ＷＫを一方の面ＷＫ１側から支持して移動させる変位工程を実施する変位手段４０とを備え、被着体ＷＫとシート貼付装置ＥＡとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段５０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の接着シートは、所定のエネルギーとしての熱によって変形するものが採用されている。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ２１を備えている。
なお、本実施形態では、押圧ローラ２１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第１基準位置ＲＰ１に配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。

はみ出し領域貼付手段３０は、はみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段であって、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で加熱した熱気を吹き付ける熱風送風機３１を備え、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われないようになっている。具体的には、はみ出し領域貼付手段３０は、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線としてのポイントＬＰを通るＺ軸と平行な直線上で時間差をおいて第１貼付と第２貼付とを行うことで、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われないようになっている。
なお、熱風送風機３１は、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣが第２基準位置ＲＰ２に配置された際、当該被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け可能な位置に配置されている。
本実施形態のはみ出し領域貼付手段３０は、被着体ＷＫを変位手段４０によって移動した後、第２貼付を行うようになっている。

変位手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１と、その出力軸４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有する変位テーブル４２とを備えている。
なお、本実施形態の支持面４２Ａは、変位テーブル４２の外周部に形成された環状凸部４２Ｂの天面（下側の面）となっており、これにより、被着体ＷＫの外縁近くを支持できるようになっている。

移動手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１と、そのスライダ５１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５２と、その出力軸５２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面５３Ａを有する支持テーブル５３と、出力軸５４Ａで変位手段４０を支持する駆動機器としての回動モータ５４とを備えている。
なお、本実施形態の支持面５３Ａは、支持テーブル５３の外周部に形成された環状凸部５３Ｂの天面（上側の面）となっている。
また、支持テーブル５３は、回動モータ５２によってテーブル中心５３Ｃを中心に回転する構成となっており、変位テーブル４２は、回動モータ５４によって第２基準位置ＲＰ２を中心に回転する構成となっている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部が剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心５３Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面５３Ａ上に載置すると、移動手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面５３Ａでの吸着保持を開始する。その後、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心５３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第１基準位置ＲＰ１と一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。次に、供給手段１０および移動手段５０が回動モータ１５Ａ、１７Ａ、５２を駆動し、上方から見下ろした上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させつつ接着シートＡＳを供給方向ＳＤに沿って供給する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって押圧され、一端ＡＳ１側および他端ＡＳ２側の両方にはみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で外周面ＷＫ３に貼付されていく（図１（Ｂ）参照）。そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部が剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部が押圧ローラ２１によって被着体ＷＫに貼付されると、移動手段５０が回動モータ５２の駆動を停止する。

次いで、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、テーブル中心５３Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）が第２基準位置ＲＰ２と一致すると、リニアモータ５１の駆動を停止する。この際、図１（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機３１の熱気吹き付け位置に配置される。その後、はみ出し領域貼付手段３０および移動手段５０が熱風送風機３１および回動モータ５２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第１貼付を行う。これにより、接着シートＡＳの一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨは、熱気によって変形し、図１（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１方向に折れ曲がり、当該一方の面ＷＫ１に貼付されていく。

次に、一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に貼付されて第１貼付が完了すると、はみ出し領域貼付手段３０および移動手段５０が熱風送風機３１および回動モータ５２の駆動を停止する。そして、変位手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１（Ｄ）に示すように、一方の面ＷＫ１に貼付された一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨ上に支持面４２Ａが当接するまで変位テーブル４２を下降させた後、図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面４２Ａでの吸着保持を開始する。

次いで、移動手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面５３Ａでの吸着保持を解除した後、変位手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１（Ｅ）に示すように、変位テーブル４２を初期位置に復帰させて被着体ＷＫを上昇させる。この際、被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳにおける他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨが、熱風送風機３１の熱気吹き付け位置に配置される。その後、はみ出し領域貼付手段３０および移動手段５０が熱風送風機３１および回動モータ５４を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第２貼付を行う。これにより、接着シートＡＳの他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨは、熱気によって変形し、図１（Ｆ）に示すように、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２方向に折れ曲がり、当該他方の面ＷＫ２に貼付されていく。

次に、他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨ全体が被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に貼付されて第２貼付が完了し、一体物ＵＰが形成されると、はみ出し領域貼付手段３０および移動手段５０が熱風送風機３１および回動モータ５４の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持すると、変位手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、移動手段５０がリニアモータ５１を駆動し、支持テーブル５３を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われないようにしたので、第１貼付の設定を変更しても、ダイレクトに第２貼付に影響が及ぶことがなくなる。従って、第１貼付の設定を変更しても、第２貼付の再設定が不要となるので、シート貼付の設定に多くの時間が費やされることを防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側の両方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを一面に貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付した接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよいし、弾性変形が可能な接着シートＡＳが採用された場合、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する際、回動モータ１７Ａを駆動し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていない場合、他の装置や使用者が所定の供給方向に沿って接着シートＡＳを供給すればよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。

貼付手段２０は、押圧ローラ２１に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用し、上記のように接着シートＡＳを外周面ＷＫ３に貼付してもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、外周面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付する構成でもよいし、接着シートＡＳの供給方向先端部と供給方向後端部とが重なり合うようにして当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部側の先端縁と、供給方向後端部の後端縁とが接触するように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したり、接着シートＡＳの供給方向先端部側の先端縁と、供給方向後端部の後端縁との間に隙間ができるように突き合わせ、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外周面ＷＫ３に貼付したりしてもよいし、例えば、押圧ローラ２１の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫの所定の一面に一括で貼付してもよい。

はみ出し領域貼付手段３０は、例えば、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、熱風送風機３１の左方で他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付け可能な別の熱風送風機３２を配置し、はみ出し領域貼付手段３０および移動手段５０が熱風送風機３１、別の熱風送風機３２および回動モータ５２を駆動し、上面視で反時計回転方向ＲＤに被着体ＷＫを回転させながら、熱風送風機３１によって一端ＡＳ１側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第１貼付を行うとともに、別の熱風送風機３２によって他端ＡＳ２側のはみ出し領域ＡＳＨに熱気を吹き付けて第２貼付を行ってもよい。これにより、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する異なる直線上で同時に第１貼付と第２貼付とを行ったり、接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する異なる直線上で時間差をつけて第１貼付と第２貼付とを行ったりすることができ、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われないようにすることができる。
はみ出し領域貼付手段３０は、熱風送風機３１や別の熱風送風機３２に代えてまたは併用して、ローラ、ガイド板、回行ベルト、エアの吹付け、チャックシリンダやチャックモータ等を採用して第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、第１貼付や第２貼付を行う際、被着体ＷＫを支持テーブル５３とで挟み込む押え手段を備えていてもよいし、移動手段５０による被着体ＷＫとの相対移動ではなく、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等による被着体ＷＫとの相対移動によって、第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを一括で一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２方向に折り曲げて第１貼付や第２貼付を行ってもよいし、第１貼付を行う第１はみ出し領域貼付手段と、第２貼付を行う第２はみ出し領域貼付手段とが別体のもので構成されていてもよいし、前記実施形態で示した位置以外の位置に設けられていてもよく、第１貼付と第２貼付とが接着シートＡＳの供給方向ＳＤに直交する単一の直線上で同時に行われない位置であれば、どこに設けられていてもよいし、第１貼付を行う際の所定のエネルギーの種類や強さ等の他、押圧力や押圧方向等といった貼付条件と、第２貼付を行う際の貼付条件とが同じでもよいし、異なっていてもよい。
はみ出し領域貼付手段３０を構成するエネルギー付与手段は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものであればどのようなエネルギーを付与するものであってもよい。
熱風送風機３１は、熱気を吹き付ける方向を変更可能な首振り機構やルーバー機構等の吹き付け方向変更手段を備え、第１貼付を行うときと、第２貼付を行うときとで、熱気を吹き付ける方向を変更してもよいし、熱気を吹き付ける方向が異なる複数の熱気噴き出し口を備え、第１貼付を行うときと第２貼付を行うときとで、熱気噴き出し口を変更してもよい。

変位手段４０は、外周部に環状凸部４２Ｂが形成されていない変位テーブル４２が採用されてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域よりも内側で被着体ＷＫを支持または吸着保持したり、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域を含む一方の面ＷＫ１全体を支持または吸着保持したりする変位テーブル４２が採用されてもよいし、第１貼付が行われた被着体ＷＫを移動させる方向や場所は、上下左右およびその他の方向等どのような方向やどのような場所でもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、変位手段４０が備わっていない場合、例えば、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付される領域よりも内側で被着体ＷＫを支持する支持テーブル５３が採用されればよい。

移動手段５０は、外周部に環状凸部５３Ｂが形成されていない支持テーブル５３が採用されてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域よりも内側で被着体ＷＫを支持または吸着保持したり、はみ出し領域ＡＳＨが折り曲げられて貼付された領域を含む他方の面ＷＫ２全体を支持または吸着保持したりする支持テーブル５３が採用されてもよいし、保持面５３Ａでの吸着保持ができない支持テーブル５３が採用されてもよいし、リニアモータ５１、回動モータ５２および支持テーブル５３に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、貼付手段２０やはみ出し領域貼付手段３０に対して被着体ＷＫを移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側、他方の面ＷＫ２側および外周面ＷＫ３側のうち少なくとも１カ所に、支持部材を配置する支持部材配置手段を備えていてもよい。

接着シートは、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を所定のエネルギーとして変形するものが採用されたり、弾性変形するものや弾性変形しないものが採用されたり、所定のエネルギーによって変形しないものが採用されたりしてもよい。
所定のエネルギーによって変形する接着シートＡＳとしては、収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に支持部材が取り付けられていてもよい。

上記の実施形態では、所定の一面を外周面ＷＫ３としたが、当該一面は、一方の面ＷＫ１と他方の面ＷＫ２とが隣接している面であれば被着体ＷＫのどの面でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、何らかの物体（以下「物体Ａ」という）および当該物体Ａに対して移動する物体（以下「物体Ｂ」という）すなわち、相対移動する物体Ａおよび物体Ｂは、移動することのない物体Ａに対して物体Ｂが移動してもよいし、移動することのない物体Ｂに対して物体Ａが移動してもよいし、物体Ａおよび物体Ｂの両方が移動してもよいく、移動によって達成される結果が同じであれば、物体Ａおよび物体Ｂの何れが移動してもよいし、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
２０…貼付手段
３０…はみ出し領域貼付手段
３１…熱風送風機（エネルギー付与手段）
４０…変位手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＡＳ１…一端
ＡＳ２…他端
ＳＤ…供給方向
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…外周面（一面）

Claims (4)

1. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側の両方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付する貼付手段と、
   前記一面に貼付された前記接着シートの前記一端側の前記はみ出し領域を、前記一面に隣接する一方の面方向に折り曲げて貼付する第１貼付および、前記接着シートの前記他端側の前記はみ出し領域を、前記一面に隣接する他方の面方向に折り曲げて貼付する第２貼付を行うはみ出し領域貼付手段とを備え、
   前記はみ出し領域貼付手段は、前記第１貼付と前記第２貼付とが前記接着シートの前記供給方向に直交する単一の直線上で同時に行われないようにしたことを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記第１貼付が行われた前記被着体を一方の面側から支持して移動させる変位手段を備え、
   前記はみ出し領域貼付手段は、前記被着体を前記変位手段によって移動した後、前記第２貼付を行うことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能に設けられ、
   前記はみ出し領域貼付手段は、前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
4. 所定の供給方向に沿って供給された接着シートの当該供給方向に沿う一端側および他端側の両方に、被着体の所定の一面からはみ出したはみ出し領域が形成されるように当該接着シートを前記一面に貼付する貼付工程と、
   前記一面に貼付された前記接着シートの前記一端側の前記はみ出し領域を、前記一面に隣接する一方の面方向に折り曲げて貼付する第１貼付および、前記接着シートの前記他端側の前記はみ出し領域を、前記一面に隣接する他方の面方向に折り曲げて貼付する第２貼付を行うはみ出し領域貼付工程とを実施し、
   前記はみ出し領域貼付工程では、前記第１貼付と前記第２貼付とが前記接着シートの前記供給方向に直交する単一の直線上で同時に行われないようにしたことを特徴とするシート貼付方法。