JP2023163814A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体に接着シートを貼付して保護した保護部が次工程等において汚染されることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートＡＳを供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとを重ね合わせて重なり部ＡＳＰを形成し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付手段２０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、重なり部ＡＳＰの周囲に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰す押し潰し手段３０をさらに備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートの供給方向先端部と供給方向後端部とを重ね合わせて重なり部を形成し、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２２－３０８７７号公報

特許文献１に記載されたテープ貼り付けシステム１（シート貼付装置）では、ウェハＷ（被着体）に貼付した保護テープ２７（接着シート）の重なり部の周囲に空洞が形成される（本願の図２（Ｂ）、（Ｄ）の付番ＨＷ参照）。このように空洞部が形成されると、例えば、接着シートを貼付して特定の保護部を保護した被着体を液体中に浸したり、気体中に晒したりして所定の処理を施す工程やその他の工程等の次工程等において、当該空洞の入口から液体や気体等の異物が侵入し、被着体に接着シートを貼付して保護した保護部が汚染されてしまうという不都合を発生する。

本発明の目的は、被着体に接着シートを貼付して保護した保護部が次工程等において汚染されることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、重なり部の周囲に形成された空洞および当該空洞への入口のうち少なくとも一方を押し潰すので、被着体に接着シートを貼付して保護した保護部が次工程等において汚染されることを防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。 （Ａ）～（Ｅ）は、シート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。（Ｆ）は、シート貼付装置の変形例の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図１（Ａ）に示すＹ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。なお、図１（Ｄ）は、図１（Ａ）のＡＡ矢視図、（Ｅ）は、図１（Ａ）のＢＢ矢視図。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとを重ね合わせて重なり部ＡＳＰ（図２（Ｂ）～（Ｅ）参照）を形成し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する貼付工程を実施する貼付手段２０と、重なり部ＡＳＰの周囲に形成された空洞ＨＷ（図２（Ｂ）参照）および当該空洞ＨＷへの入口ＥＲ（図２（Ｄ）参照）の両方を押し潰す押し潰し工程を実施する押し潰し手段３０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱を付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段４０と、押し潰し手段３０による押し潰しの際、接着シートＡＳが被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３から浮き上がることを規制する浮き上がり規制工程を実施する浮き上がり規制手段５０とを備えている。
なお、本実施形態の接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての熱によって軟化するものが採用されている。ここで、軟化とは、硬いものが柔らかくなることであり、例えば圧縮強さが６０ＭＰａだったものが１０ＭＰａに低下したり、曲げ弾性率が３０００ＭＰａだったものが５００ＭＰａに低下したり、硬度が８０°だったものが２０°に低下したりする現象のことであり、融解や溶融を含む概念とする。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状のものが採用されている。

供給手段１０は、当該供給手段１０を構成する各部材を直接的または間接的に支持する支持部材１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１６と、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与する張力付与手段１７とを備えている。
張力付与手段１７は、トルク制御が可能な駆動機器としての回動モータ１７Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１７Ｂとで原反ＲＳを挟み込む駆動ローラ１７Ｃとを備えている。

貼付手段２０は、図示しないブラケットに回転可能に支持され、供給手段１０で供給された接着シートＡＳにはみ出し領域ＡＳＨが形成されるように、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３に押圧する押圧部材としての押圧ローラ２１と、図示しないブラケットに回転可能に支持された押圧部材としての第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４と、駆動機器としてのリニアモータ２５と、そのスライダ２５Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２６と、その出力軸２６Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２７Ａを有する支持テーブル２７とを備え、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部と、当該一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２の間に位置する外縁端面ＷＫ３とに接着シートＡＳを貼付する構成となっている。支持テーブル２７は、回動モータ２６によってテーブル中心２７Ｃを中心に回転する構成となっている。
なお、本実施形態では、押圧ローラ２１は、図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣがローラ配置中心ＲＣに配置された際、供給手段１０から供給された接着シートＡＳを当該被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３に押圧可能な位置に配置されている。また、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４は、図１（Ｂ）、（Ｄ）～（Ｆ）に示すように、それぞれ上下一対とされ、被着体ＷＫの被着体中心ＷＫＣがローラ配置中心ＲＣに配置された際、当該被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３に貼付された接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを、それぞれ一方の面ＷＫ１方向および他方の面ＷＫ２方向に折り曲げ可能な位置に配設されている。本実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４は、Ｚ軸に対してそれぞれ３０度、６０度、９０度ローラ配置中心ＲＣ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっている。

押し潰し手段３０は、上下一対の駆動機器としての直動モータ３１と、各直動モータ３１の出力軸３１Ａにそれぞれ支持された押圧部材としての押圧板３２とを備えている。
なお、本実施形態では、押し潰し手段３０は、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に接着シートＡＳを押し付けて空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方を押し潰すようになっている。

エネルギー付与手段４０は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器４１を備え、各押圧板３２の内部に配置されている。

浮き上がり規制手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持され、接着シートＡＳを外縁端面ＷＫ３に押圧する規制部材としての規制板５２とを備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）に示すように、先頭の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、被着体中心ＷＫＣがテーブル中心２７Ｃと重なるように、被着体ＷＫを支持面２７Ａ上に載置すると、移動手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、当該支持面２７Ａでの吸着保持を開始する。その後、貼付手段２０がリニアモータ２５を駆動し、図１（Ｂ）に示すように、テーブル中心２７Ｃ（被着体中心ＷＫＣ）がローラ配置中心ＲＣと一致するように被着体ＷＫを左方へ移動させ、リニアモータ２５の駆動を停止する。次に、供給手段１０および貼付手段２０が回動モータモータ１５Ａ、１７Ａ、２６を駆動し、上方から見下ろした上面視で被着体ＷＫを反時計方向ＲＤに回転させつつ接着シートＡＳを供給する。これにより、接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって押圧され、図１（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で外縁端面ＷＫ３に貼付された後、図１（Ｄ）、（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４によってはみ出し領域ＡＳＨが段階的に折り曲げられ、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付される。

そして、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦが剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１５Ａ、１７Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。次いで、先頭の接着シートＡＳの供給方向後端部ＡＳＲのはみ出し領域ＡＳＨが、第３押圧ローラ２４によって被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および他方の面ＷＫ２に貼付されて一体物ＵＰが形成されると、図２（Ｄ）に示すように、供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが相互に重なり合って重なり部ＡＳＰが形成され、当該重なり部ＡＳＰの周囲に空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲが形成される。その後、図２（Ａ）に示すように、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方が押圧板３２の間に位置すると、貼付手段２０が回動モータ２６の駆動を停止する。

次に、浮き上がり規制手段５０が直動モータ５１を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、規制板５２を移動させて重なり部ＡＳＰの側方を外縁端面ＷＫ３に押し付ける。そして、押し潰し手段３０およびエネルギー付与手段４０が直動モータ３１および加熱機器４１を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線および図２（Ｂ）に示すように、押圧板３２を相互に接近させて重なり部ＡＳＰを押圧する。これにより、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとが変形し、図２（Ｃ）、（Ｅ）に示すように、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方が押し潰される。この際、エネルギー付与手段４０によって付与される熱によって接着シートＡＳが軟化するので、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲは押し潰され易くなる。

次いで、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方の押し潰しが完了すると、エネルギー付与手段４０が加熱機器４１の駆動を停止した後、押し潰し手段３０および浮き上がり規制手段５０が直動モータ３１、５１を駆動し、各押圧板３２および規制板５２を初期位置に復帰させる。その後、貼付手段２０がリニアモータ２５を駆動し、支持テーブル２７を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面２７Ａでの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを支持面２７Ａ上から取り去り、当該一体物ＵＰをめっき工程やドライエッチング工程等の次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、重なり部ＡＳＰの周囲に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方を押し潰すので、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付して保護した保護部が次工程等において汚染されることを防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シートを供給可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを所定の長さに切断する切断手段を備えていてもよい。
供給手段１０は、接着シートＡＳが、弾性変形が可能なものとされた場合、外縁端面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付する際、回動モータ１７Ａを駆動し、駆動ローラ１７Ｃを介して接着シートＡＳから加わるトルクを検知して、当該トルクが常に所定の値となるようにしながら接着シートＡＳを供給することで、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。これにより、弾性変形が可能な接着シートＡＳは、内在する弾性復元力により、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢となる。この場合、はみ出し領域ＡＳＨは、折れ曲がり姿勢の状態から第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４を介して、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよいし、折れ曲がり姿勢となることで、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４を介さずに、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよい。
張力付与手段１７は、原反ＲＳや接着シートＡＳを摺動可能に把持し、この把持力を調整して被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与したり、トルク制御ができない回動モータ１７Ａが採用されたりしてもよいし、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件を考慮して接着シートＡＳに付与する所定の張力を使用者が任意に決定することができるし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
なお、上記の実施形態では、張力付与手段１７を供給手段１０の構成物として説明したが、当該張力付与手段１７は、供給手段１０の構成物ではなく独立した構成されてもよく、例えば、剥離板１４と押圧ローラ２１との間に位置し、被着体ＷＫに貼付される接着シートＡＳに張力を付与してもよい。

貼付手段２０は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ押圧部材を移動させ、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３のみに接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１および外縁端面ＷＫ３に接着シートＡＳを貼付したり、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１や他方の面ＷＫ２の中央部に接着シートＡＳを貼付したりしてもよく、どこに貼付してもよいし、保持面２７Ａでの吸着保持ができない支持テーブル２７が採用されてもよいし、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付する際、当該被着体ＷＫを支持テーブル２７とで挟み込む上押え手段を備えていてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４が上下一対でなく、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみまたは他方の面ＷＫ２側のみに設けられていてもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４が、Ｚ軸に対してそれぞれ１３度、４７度、９１度といった角度でローラ配置中心ＲＣ方向に傾斜した回転軸を中心に回転するようになっていてもよいし、前記実施形態では、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４の３体の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを３段階で被着体ＷＫに貼付したが、４体以上の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを４段階以上で被着体ＷＫに貼付したり、２体以下の押圧部材を採用し、接着シートＡＳを２段階以下で被着体ＷＫに貼付したりしてもよいし、押圧部材として第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等を採用し、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、リニアモータ２５、回動モータ２６および支持テーブル２７に代えてまたは併用して、例えば、他の装置や図示しない駆動機器等によって、被着体ＷＫを押圧ローラ２１や第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４に対して相対移動させ、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４がなくてもよい。
貼付手段２０は、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付しつつ、接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとを重ね合わせて重なり部ＡＳＰを形成し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、予め接着シートＡＳの供給方向先端部ＡＳＦと供給方向後端部ＡＳＲとを重ね合わせて重なり部ＡＳＰを形成した後、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよく、重なり部ＡＳＰを形成した後、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する場合、例えば、押圧ローラ２１の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材を採用し、この保持部材で接着シートＡＳを保持する際に重なり部ＡＳＰを形成し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付する構成としてもよい。

押し潰し手段３０は、重なり部ＡＳＰの周囲に形成された空洞ＨＷのみを押し潰したり、重なり部ＡＳＰの周囲に形成された空洞ＨＷへの入口ＥＲのみを押し潰したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方のみを押し潰したり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方のみを押し潰したり、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲの両方を押し潰したりしてもよく、被着体ＷＫの何れの位置に形成された空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰してもよいし、直動モータ３１や押圧板３２が上下一対ではなく、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側のみに配置されていたり、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２側のみに配置されていたり、被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３側のみに配置されていたりしてもよいし、押圧板３２と支持テーブル２７とで空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰す構成としてもよいし、押圧板３２の材質が、ゴムや樹脂等の弾性変形が可能なもので構成されていたり、金属や硝子等の弾性変形が不能なもので構成されていたりしてもよいし、直動モータ３１や押圧板３２に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等で、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰してもよいし、空洞ＨＷ全体を押し潰したり、空洞ＨＷ全体を押し潰すことなく、当該空洞ＨＷの一部のみを押し潰したりしてもよいし、重なり部ＡＳＰ全体を押圧したり、重なり部ＡＳＰ全体ではなくその一部を押圧したりして空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰してもよいし、図１（Ｆ）に示すように、重なり部ＡＳＰを押圧することなく、空洞ＨＷまたは当該空洞ＨＷへの入口ＥＲを形成している接着シートＡＳ部分のみや、空洞ＨＷまたは当該空洞ＨＷへの入口ＥＲを形成している接着シートＡＳ部分を含む重なり部ＡＳＰ以外の接着シートＡＳ部分や、空洞ＨＷまたは当該空洞ＨＷへの入口ＥＲを形成している接着シートＡＳ部分を含む重なり部ＡＳＰ以外の接着シートＡＳ全体を押圧することで、空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰してもよい。

エネルギー付与手段４０は、所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを軟化できるものを任意に採用することができるし、押圧板３２の外部に配置されていてもよいし、規制板５２の内部に配置されていてもよいし、押し潰し手段３０で空洞ＨＷおよび当該空洞ＨＷへの入口ＥＲのうち少なくとも一方を押し潰す前に、接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与して当該接着シートＡＳを軟化させてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

浮き上がり規制手段５０は、規制板５２の材質が、ゴムや樹脂等の弾性変形が可能なもので構成されていたり、金属や硝子等の弾性変形が不能なもので構成されていたりしてもよいし、直動モータ５１や規制板５２に代えてまたは併用して、ガイド板、回行ベルトまたはエアの吹付け等で、接着シートＡＳが被着体ＷＫの外縁端面ＷＫ３から浮き上がることを規制してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、１つまたは複数の被着体ＷＫに１枚の接着シートＡＳを貼付したり、１つまたは複数の被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付したりしてもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材を配置したり貼付したりして、接着シートＡＳで当該被着体ＷＫと支持部材とを一体化させてもよい。
シート貼付装置ＥＡは、接着シートＡＳが所定の第２エネルギーによって変形が可能なものとされた場合、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳに所定の第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与手段６０を備えていてもよい。このような第２エネルギー付与手段６０は、押圧ローラ２１と押し潰し手段３０との間に設けてもよいし、剥離板１４と押圧ローラ２１との間に設けてもよい。このような構成とすることで、シート貼付装置ＥＡは、はみ出し領域ＡＳＨが形成されるようにして接着シートＡＳを外縁端面ＷＫ３に貼付した後、当該はみ出し領域ＡＳＨに第２エネルギーを付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ１方向や他の面ＷＫ２方向に折れ曲がった折れ曲がり姿勢とすることができる。この場合、はみ出し領域ＡＳＨは、折れ曲がり姿勢の状態から第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４を介して、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよいし、折れ曲がり姿勢となることで、第１、第２、第３押圧ローラ２２、２３、２４を介さずに、一方の面ＷＫ１の外縁部および他方の面ＷＫ２の外縁部に貼付されてもよい。
なお、第２エネルギーによって変形が可能な接着シートＡＳとしては、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を第２エネルギーとして変形するものやそれ以外のエネルギーによって変形するものでもよい。
また、第２エネルギー付与手段としては、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートを変形させることができるものを任意に採用することができる。

接着シートＡＳは、所定のエネルギーによって軟化しないものでもよいし、所定の第２エネルギーによって変形しないものでもよい。
所定のエネルギーや所定の第２エネルギーによって軟化したり変形したりする接着シートＡＳは、収縮を伴って軟化したり変形したりしてもよいし、膨張を伴って軟化したり変形したりしてもよいし、収縮も膨張も伴うことなく軟化したり変形したりするものでもよい。
被着体ＷＫは、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、環状または非環状の凸部が形成されていてもよいし、一方の面ＷＫ１側および他方の面ＷＫ２側のうち少なくとも一方に、金属、硝子、樹脂、他の接着シート等の支持部材が取り付けられていてもよい。

本発明における接着シートＡＳ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、他の接着シート、支持部材および被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳや他の接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳや他の接着シートが採用された場合は、当該接着シートＡＳや他の接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳや他の接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、支持部材や被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳや他の接着シートは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた所謂多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等が単体で採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等が直接的又は間接的に組み合わされたものが採用されてもよいし、それら電動機器やアクチュエータ等の出力部に対するトルク制御や速度制御等が可能なものや不能なものが採用されてもよい。

前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラ、押圧板３２または押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材または規制部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や硝子等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…供給手段
１７…張力付与手段
２０…貼付手段
３０…押し潰し手段
４０…エネルギー付与手段
５０…浮き上がり規制手段
６０…第２エネルギー付与手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＦ…供給方向先端部
ＡＳＰ…重なり部
ＡＳＲ…供給方向後端部
ＥＲ…空洞への入口
ＨＷ…空洞
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面
ＷＫ３…外縁端面

Claims (6)

1. 接着シートを供給する供給手段と、
   前記供給手段で供給された前記接着シートの供給方向先端部と供給方向後端部とを重ね合わせて重なり部を形成し、当該接着シートを被着体に貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記重なり部の周囲に形成された空洞および当該空洞への入口のうち少なくとも一方を押し潰す押し潰し手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記接着シートは、所定のエネルギーによって軟化可能とされ、
   前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記貼付手段は、前記被着体の一方の面の外縁部および他方の面の外縁部と、当該一方の面および他方の面の間に位置する外縁端面とに前記接着シートを貼付し、
   前記押し潰し手段は、前記一方の面の外縁部および他方の面の外縁部に前記接着シートを押し付けて前記空洞および当該空洞への入口のうち少なくとも一方を押し潰し、
   前記押し潰し手段による押し潰しの際、前記接着シートが前記被着体の外縁端面から浮き上がることを規制する浮き上がり規制手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
4. 前記接着シートは、弾性変形が可能とされ、
   被着体に貼付される接着シートに張力を付与する張力付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
5. 前記接着シートは、所定の第２エネルギーによって変形が可能とされ、
   前記接着シートに前記所定の第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
6. 接着シートを供給する供給工程と、
   前記供給工程で供給された前記接着シートの供給方向先端部と供給方向後端部とを重ね合わせて重なり部を形成し、当該接着シートを被着体に貼付する貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
   前記重なり部の周囲に形成された空洞および当該空洞への入口のうち少なくとも一方を押し潰す押し潰し工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。