JP2016139755A - シート転写装置、並びに、シート切断装置および切断方法 - Google Patents

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Yoshiaki Sugishita
芳昭 杉下
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Abstract

【課題】単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制できるシート転写装置および転写方法を提供すること。
【解決手段】シート転写装置10は、第1接着シートAS1における板状部材WFよりも外側を保持する第1シート保持手段20と、第1接着シートAS1における板状部材WFに対応する部分を支持可能な支持手段30と、第1シート保持手段20と支持手段30とを上下方向に相対移動させる移動手段40と、第1シート保持手段20と支持手段30との相対移動によって変位する第1接着シートAS1を切断することで、板状部材WFに貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに第1接着シートAS1を分割する切断手段50と、板状部材WFの上方に第2接着シートAS2を対向配置させる第2シート保持手段60と、第2接着シートAS2を板状部材WFの他方の面WF2に押圧して貼付する押圧手段70とを備えている。
【選択図】図1

Description

本発明は、シート転写装置、並びに、シート切断装置および切断方法に関する。
従来、第1接着シートに貼付された半導体ウエハ(板状部材)(以下、単に「ウエハ」という場合がある)をダイシングしてチップを製造した後、これらのチップを第2接着シートに転写する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2012−244012号公報
しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の装置では、第2接着シートが第1接着シートに貼付しないようにするために、第1シート支持手段(第1シート保持手段)を移動させる工程が終了した後、第1接着シートを切断する工程を行うため、単位時間当たりの処理能力が低下するという不都合がある。
本発明の目的は、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制できるシート転写装置、並びに、シート切断装置および切断方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート転写装置は、板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を保持する第1シート保持手段と、前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持可能な支持手段と、前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる移動手段と、前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する切断手段と、前記板状部材に対する前記支持手段の反対側に第2接着シートを対向配置させる第2シート保持手段と、前記第2接着シートを前記内側シートまたは前記板状部材の他方の面に押圧して貼付する押圧手段とを備えている、という構成を採用している。
この際、本発明のシート転写装置では、前記切断手段は、切断刃と、当該切断刃を旋回させる旋回手段とを有する、ことが好ましい。
また、本発明のシート転写装置では、前記支持手段は、前記板状部材の外縁形状に対応した外縁を有し、前記第1接着シートの変位に応じて弾性変形し、その弾性復元力により前記板状部材から剥離された内側シートの外縁部を当該板状部材に押圧して再貼付する外縁押圧手段を備えている、ことが好ましい。
一方、本発明のシート切断装置は、板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を保持する第1シート保持手段と、前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持可能な支持手段と、前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる移動手段と、前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する切断手段とを備えている、という構成を採用している。
また、本発明のシート切断方法は、板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を第1シート保持手段で保持する工程と、前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持手段で支持する工程と、前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる工程と、前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する工程とを備えている、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、第1シート保持手段と支持手段とを板状部材の面に交差する方向に相対移動させる工程の最中に、第1接着シートを内側シートと外側シートとに分割できるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
この際、切断手段が切断刃を旋回させる旋回手段を備えれば、第1接着シートを切断しやすくなる。
また、支持手段が外縁押圧手段を備えれば、内側シートの外縁部を板状部材に再貼付できる。
本発明の一実施形態に係るシート転写装置の側面図。 図1のシート転写装置の動作説明図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前側から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が図1中手前方向であるY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、シート転写装置10は、板状部材としてのウエハWFの一方の面WF1に貼付された第1接着シートAS1における当該ウエハWFよりも外側を保持する第1シート保持手段20と、ウエハWFまたは第1接着シートAS1におけるウエハWFに対応する部分を支持可能な支持手段30と、第1シート保持手段20と支持手段30とをウエハWFの面に交差する方向としての上下方向に相対移動させる移動手段40と、第1シート保持手段20と支持手段30との相対移動によって変位する第1接着シートAS1を切断することで、ウエハWFに貼付された内側シートAS11(図2(C)参照)と当該内側シートAS11の外側に位置する外側シートAS12(図2(C)参照)とに第1接着シートAS1を分割する切断手段50と、ウエハWFに対する支持手段30の反対側としての上側に第2接着シートAS2を対向配置させる第2シート保持手段60と、第2接着シートAS2を内側シートAS11またはウエハWFの他方の面WF2に押圧して貼付する押圧手段70とを備えている。なお、第1リングフレームRF1と、当該第1リングフレームRF1の開口部全部または一部を塞ぐように貼付された第1接着シートAS1と、第1接着シートAS1に一方の面WF1の全面または一部が貼付されたウエハWFとで第1一体物WK1が形成されている。また、第2リングフレームRF2と、当該第2リングフレームRF2の開口部全部または一部を塞ぐように貼付された第2接着シートAS2とで第2一体物WK2が形成されている。ここで、本実施形態の第1シート保持手段20と、支持手段30と、移動手段40と、切断手段50とで本発明のシート切断装置が構成される。
第1シート保持手段20は、第1リングフレームRF1を受容可能な溝21Aが形成された一対の支持部材21を備え、当該第1リングフレームRF1を介して第1接着シートAS1を保持可能に設けられている。
支持手段30は、ベースプレート31に支持され、平面視すなわち上方から見た外形が円形の支持テーブル32と、支持テーブル32における上端の外縁部に形成され、平面視円環状に切り欠かれた切欠部32A内に設けられ、ウエハWFの外縁形状に対応した外縁を有し、第1接着シートAS1の変位に応じて弾性変形し、その弾性復元力によりウエハWFから剥離された内側シートAS11の外縁部を当該ウエハWFに押圧して再貼付する外縁押圧手段33とを備えている。支持テーブル32の上端面は、支持面32Bとされ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通された複数の図示しない吸引口が設けられている。
外縁押圧手段33は、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性部材で形成され、円環状の溝33Aが形成されている。外縁押圧手段33の上面は、支持面32Bと同一面上に位置するように形成されている。
移動手段40は、それぞれの出力軸41Aで支持部材21を下方から支持し、ベースプレート31の下面に支持された駆動機器としての直動モータ41を備えている。
切断手段50は、外縁押圧手段33の溝33Aに沿って刃縁が配置された円環状の切断刃51と、当該切断刃51を旋回させる旋回手段52と、切断刃51を振動させる超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段53とを有している。旋回手段52は、切欠部32Aを構成する傾斜面32Cに支持され、刃先が斜め上方に向けられた切断刃51を旋回可能に支持する転がり軸受や滑り軸受等の回転軸受52Aと、回転軸受52Aを構成する回転リング52Bの外周面に設けられた噛合部52Cと、噛合部52Cに噛み合うギア52Fを出力軸52Eで支持する駆動機器としての回動モータ52Dとを備えている。
第2シート保持手段60は、第2リングフレームRF2を受容可能な溝61Aが形成された一対の支持部材61と、それぞれの出力軸62Aで支持部材61を上方から支持する駆動機器としての直動モータ62とを備え、第2リングフレームRF2を介して第2接着シートAS2を保持可能に設けられている。
押圧手段70は、駆動機器としてのリニアモータ71のスライダ71Aに支持された駆動機器としての直動モータ72と、直動モータ72の出力軸72Aにブラケット73を介して回転可能に支持された押圧ローラ74とを備えている。
以上のシート転写装置10の動作を説明する。
先ず、図1に示す各部材が初期位置で待機するシート転写装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、第1、第2一体物WK1、WK2の第1、第2リングフレームRF1、RF2をそれぞれ支持部材21、61の溝21A、61Aに挿通させて退避する。このとき、光学センサやカメラ(撮像手段)等の図示しない検知手段と、第1、第2一体物WK1、WK2を移動可能な図示しない位置決め手段とが共動し、ウエハWFと支持テーブル32の支持面32Bと第2接着シートAS2との位置決めを行う。
次に、切断手段50が振動手段53を駆動し、切断刃51を振動させるとともに、移動手段40が直動モータ41を駆動し、支持部材21を下降させる。そして、第1接着シートAS1が支持テーブル32の支持面32Bに当接すると、支持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、第1接着シートAS1を吸着保持する。その後も移動手段40が支持部材21を下降させ続けると、図2(A)に示すように、外縁押圧手段33が外側から徐々に弾性変形し、ウエハWFの外縁部から第1接着シートAS1が徐々に剥離される。次いで、図2(B)に示すように、切断刃51が第1接着シートAS1に突き刺さり、図2(C)に示すように、第1接着シートAS1が内側シートAS11と外側シートAS12とに分割される。このとき、切断手段50が回動モータ52Dを駆動し、切断刃51を旋回させてもよい。第1接着シートAS1が内側シートAS11と外側シートAS12とに分割されると、図2(C)に示すように、ウエハWFから剥離された内側シートAS11の外縁部が外縁押圧手段33の弾性復元力により、ウエハWFに押圧されて再貼付される。また、第1接着シートAS1が分割されると、移動手段40および切断手段50が直動モータ41および振動手段53の駆動を停止する。
なお、移動手段40が直動モータ41を駆動すると同時またはその前後で、第2シート保持手段60が直動モータ62を駆動し、支持部材61を下降させ、図2(A)に示すように、第2接着シートAS2をウエハWFの他方の面WF2に対向配置させる。このとき、第2接着シートAS2をウエハWFの他方の面WF2に当接させてもよいし、当接させなくてもよい。第2接着シートAS2をウエハWFに当接させない場合、第2接着シートAS2と他方の面WF2とが平行な状態としてもよいし、ウエハWFに対する押圧手段70の押圧開始部(左方)が、当該押圧手段70の押圧終了部(右方)よりも当該ウエハWFに接近した傾斜姿勢としてもよい。次いで、押圧手段70が直動モータ72およびリニアモータ71を駆動し、押圧ローラ74を下降させた後、当該押圧ローラ74を右側に移動させることで、図2(C)に示すように、第2接着シートAS2がウエハWFの他方の面WF2に押圧されて貼付される。これにより、一方の面WF1に内側シートAS11が貼付されたウエハWFが、他方の面WF2に貼付された第2接着シートAS2を介して第2リングフレームRF2に支持された第3一体物WK3が形成されて転写が完了する。
第3一体物WK3が形成されると、支持手段30が図示しない減圧手段の駆動を停止し、移動手段40、第2シート保持手段60および押圧手段70が各駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。その後、第3一体物WK3および外側シートAS12が貼付された第1リングフレームRF1をそれぞれ人手または図示しない搬送手段が回収し、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、第1シート保持手段20と支持手段30とをウエハWFの面に交差する方向に相対移動させる工程の最中に、第1接着シートAS1を内側シートAS11と外側シートAS12とに分割できるため、単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
第1シート保持手段20は、ウエハWFが下側となるように第1接着シートAS1を保持してもよく、この場合、第2接着シートAS2とウエハWFとの間に内側シートAS11が配置された第3一体物WK3が形成される。
第1、第2シート保持手段20、60の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段や、接着剤、磁力等で第1、第2接着シートAS1、AS2を支持する構成でもよい。
第1、第2シート保持手段20、60の少なくとも一方は、第1、第2リングフレームRF1、RF2を介することなく、ウエハWFに貼付された第1、第2接着シートAS1、AS2を直接支持してもよい。
第1、第2シート保持手段20、60の少なくとも一方が第1、第2接着シートAS1、AS2を支持する箇所は、1箇所でもよいし、3箇所以上でもよい。
支持手段30は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等で第1接着シートAS1等を保持する構成でもよいし、第1接着シートAS1等を保持しない構成でもよい。
支持テーブル32は、平面視楕円形や三角形や四角形以上の多角形やその他の形状でもよい。
外縁押圧手段33は、平面視楕円形や三角形や四角形以上の多角形やその他の形状でもよく、ウエハWFの外縁の形状に対応していればよく、ウエハWFの外縁方向に沿って点在していてもよいし、なくてもよい。
移動手段40は、第1シート保持手段20の支持部材21を固定しておき支持手段30を移動させてもよいし、支持部材21および支持手段30の両方を移動させてもよい。
移動手段40によって支持部材21と支持手段30とが相対移動する方向は、ウエハWFの面に斜めに交差する方向であってもよい。
切断刃51の平面形状は、楕円環状、三角形や四角形以上の多角形の環状でもよい。
切断手段50は、旋回手段52および振動手段53の少なくとも一方を有さなくてもよい。
切断手段50は、環状でない切断刃を有していてもよく、この場合、旋回手段が切断刃を360°以上回転させて第1接着シートAS1を分割すればよい。
押圧手段70は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
押圧手段70は、平板状の押圧部材と、当該押圧部材をウエハWF方向に移動させることで第2接着シートAS2をウエハWFに押圧して貼付する駆動機器とを備えたものでもよい。
本発明における第1、第2接着シートAS1、AS2および板状部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第1、第2接着シートAS1、AS2が採用された場合は、第1、第2接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第1、第2接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、板状部材としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の板状部材に貼付することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第1シート保持手段は、板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
10…シート転写装置
20、60…第1、第2シート保持手段
30…支持手段
33…外縁押圧手段
40…移動手段
50…切断手段
51…切断刃
52…旋回手段
53…振動手段
AS1、AS2…第1、第2接着シート
AS11…内側シート
AS12…外側シート
WF…ウエハ(板状部材)
WF1…一方の面
WF2…他方の面

Claims (5)

  1. 板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を保持する第1シート保持手段と、
    前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持可能な支持手段と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる移動手段と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する切断手段と、
    前記板状部材に対する前記支持手段の反対側に第2接着シートを対向配置させる第2シート保持手段と、
    前記第2接着シートを前記内側シートまたは前記板状部材の他方の面に押圧して貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート転写装置。
  2. 前記切断手段は、切断刃と、当該切断刃を旋回させる旋回手段とを有することを特徴とする請求項1に記載のシート転写装置。
  3. 前記支持手段は、前記板状部材の外縁形状に対応した外縁を有し、前記第1接着シートの変位に応じて弾性変形し、その弾性復元力により前記板状部材から剥離された内側シートの外縁部を当該板状部材に押圧して再貼付する外縁押圧手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート転写装置。
  4. 板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を保持する第1シート保持手段と、
    前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持可能な支持手段と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる移動手段と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する切断手段とを備えていることを特徴とするシート切断装置。
  5. 板状部材の一方の面に貼付された第1接着シートにおける当該板状部材よりも外側を第1シート保持手段で保持する工程と、
    前記板状部材または前記第1接着シートにおける前記板状部材に対応する部分を支持手段で支持する工程と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段とを前記板状部材の面に交差する方向に相対移動させる工程と、
    前記第1シート保持手段と前記支持手段との相対移動によって変位する前記第1接着シートを切断することで、前記板状部材に貼付された内側シートと当該内側シートの外側に位置する外側シートとに前記第1接着シートを分割する工程とを備えていることを特徴とするシート切断方法。
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JP2018137415A (ja) * 2017-02-23 2018-08-30 日東電工株式会社 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置

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