JP2015082617A - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
シート貼付装置および貼付方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015082617A JP2015082617A JP2013220536A JP2013220536A JP2015082617A JP 2015082617 A JP2015082617 A JP 2015082617A JP 2013220536 A JP2013220536 A JP 2013220536A JP 2013220536 A JP2013220536 A JP 2013220536A JP 2015082617 A JP2015082617 A JP 2015082617A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- pressing
- cutting
- speed
- sticking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】シート貼付装置1は、被着体WFを臨む位置に接着シートASを供給する供給手段3と、供給手段3で供給された接着シートASと被着体WFとの間に設けられた閉ループ状の切断刃41を有する切断手段4と、供給手段3で供給された接着シートASに対して切断刃41の反対側となる初期位置から被着体WF側に向かって移動することで、接着シートASを切断刃41に押し当てて当該接着シートASから貼付用シートAS1を形成する押圧部材62を有するとともに、当該貼付用シートAS1を前記押圧部材62で被着体WFに押圧して貼付する切断押圧動作が可能な切断押圧手段6とを備え、切断押圧手段6は、切断押圧動作中に押圧部材62の移動速度を制御する。
【選択図】図1
Description
また、本発明のシート貼付装置では、前記切断押圧手段は、前記押圧部材が前記接着シートを前記被着体に押圧した押圧位置から、前記初期位置に前記押圧部材を戻すときの当該押圧部材の移動速度を前記第1速度、または、前記第2速度よりも速く前記第1速度よりも遅い第3速度とする、ことが好ましい。
また、押圧部材を押圧位置から初期位置に戻すとき、押圧部材の移動速度を例えば、当該押圧部材を移動させることができる最高速度の第1速度とした場合、単位時間当たりの貼付能力が低下することを防止することができる。また、押圧部材の移動速度を第2速度よりも速く第1速度よりも遅い第3速度とすれば、単位時間当たりの貼付能力が低下することを極力防止し、切断押圧手段の保護も図ることができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、作業者が図1に示すように接着シートASをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、切断押圧手段6が接着増強手段63を駆動し、押圧部材62の押圧面62Aを加熱する。次に、供給手段3が回動モータ32A、34Aおよび図示しない駆動機器を駆動し、ウエハWFの被着面WF1に接着シートASの未使用部分が臨むように当該接着シートを所定長さ繰り出して、シート貼付装置1がスタンバイ状態となる。その後、人手または図示しない搬送手段によってウエハWFを支持面22A上に載置すると、支持手段2が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハWFを吸着保持する。次いで、支持手段2が直動モータ23を駆動し、内側テーブル22を上昇させ、図1中二点鎖線で示すように、検知手段24で被着面WF1が検知されると、直動モータ23の駆動を停止する。このように、被着面WF1の位置を所定の位置とすることで、ウエハWFの厚みが異なる場合にでも、直動モータ61の昇降ストロークや押圧部材62の移動速度変更位置を変更しなくてもよくなる。
その後も、切断押圧手段6が直動モータ61の駆動を継続し、時T3において接着シートASを切断刃41の刃先41C全体に同時に押し当てて当該接着シートASから貼付用シートAS1の形成を開始し、押圧面62Aが刃先41Cを通過した時T4において貼付用シートAS1の形成が完了する。
その後さらに、切断押圧手段6が直動モータ61の駆動を継続し、時T5において切断押圧手段6が直動モータ61を制御し、時T6までの間に押圧部材62の移動速度を第2速度V2まで減速させ、その後も押圧部材62を第2速度V2で等速下降させる。
その後もさらに、切断押圧手段6が直動モータ61の駆動を継続し、第2速度V2で等速下降させている間の時T7において、図示しない押圧検知手段により、押圧面62Aで吸着保持された貼付用シートAS1がウエハWFの被着面WF1に押圧されたことが検知されると、直動モータ61を制御し、時T8までの間に押圧部材62の移動を停止させる。
そして、ウエハWFに押圧された貼付用シートAS1は、接着増強手段63によって加熱されてウエハWFに貼付される。
その後も、切断押圧手段6が直動モータ61の駆動を継続し、時T12において押圧部材62の上昇速度が減速され、時T13において当該押圧部材62が図1中実線で示す初期位置に復帰される。この復帰の際、変位抑制手段7によって、貼付用シートAS1の抜き孔内に押圧部材62が嵌り込んだままとなり、不要シートUSの回収ができなくなることを防止することができる。なお、本実施形態の場合、0〜時T13までの時間は、約1秒ほどで行われるが、1秒以下でも1秒以上でもよい。また、第1速度V1は、例えば、100メートル/秒、第2速度V2は、例えば、5メートル/秒で行うことができるが、それら以上の速度であってもよいしそれら以下の速度であってもよい。また、第1速度V1は、例えば、押圧部材62を移動させることができる最高速度、または、直動モータ61の駆動最高速度とすることができ、この場合、単位時間当たりの貼付能力が低下することを極力防止することができる。
そして、支持手段2が直動モータ23を駆動し、内側テーブル22を図1中実線で示す位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、ウエハWFの保持を解除する。その後、貼付用シートAS1が貼付されたウエハWFは、人手または図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
図3に示す変形例において、第1速度V1から第4速度V4に減速する前に、第1速度V1より遅くかつ第4速度V4よりも速い第5速度に減速し、押圧部材62を当該第5速度で等速下降させた後、第4速度V4まで減速して等速下降させてもよい。
押圧部材62の上昇速度を初期だけ例えば第3速度V3のように遅くし、その後第1速度V1のような速い移動速度としてもよい。
支持手段2は、直動モータ23を設けなくてもよい。
外側テーブル21の平面視の外形は、矩形状の多角形や円形、楕円形等、他の形状でもよい。
切断刃41は、平面視形状が三角形や四角形以上の多角形、あるいは楕円等、真円以外の閉ループ状にその刃先41Cを形成してもよく、押圧面62Aの平面形状もそれに合わせて刃先41Cの平面形状に対して小さめの相似形状にすることができる。
供給手段3が供給する接着シートASは、枚葉のものでもよい。
押圧部材62は、静電チャックや粘着剤等によって接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持する構成であってもよいし、接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持するまでもなく貼付用シートAS1をウエハWFに貼付できる場合、接着シートAS(貼付用シートAS1)を保持しない構成としてもよい。
接着増強手段63は、貼付用シートAS1が形成された後に加熱を行ったり、当該貼付用シートAS1がウエハWFに当接するまでの間に加熱を行ったり、貼付用シートAS1をウエハWFに押圧してから加熱したりしてもよい。
例えば、検知手段24、逃げ部41D、接着増強手段63、変位抑制手段7等、本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
3…供給手段
4…切断手段
6…切断押圧手段
41…切断刃
62…押圧部材
AS…接着シート
AS1…貼付用シート
WF…ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体を臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された接着シートと前記被着体との間に設けられた閉ループ状の切断刃を有する切断手段と、
前記供給手段で供給された接着シートに対して前記切断刃の反対側となる初期位置から前記被着体側に向かって移動することで、前記接着シートを前記切断刃に押し当てて当該接着シートから貼付用シートを形成する押圧部材を有するとともに、当該貼付用シートを前記押圧部材で前記被着体に押圧して貼付する切断押圧動作が可能な切断押圧手段とを備え、
前記切断押圧手段は、前記切断押圧動作中に前記押圧部材の移動速度を制御可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記切断押圧手段は、前記接着シートから前記貼付用シートを形成するときの前記押圧部材の移動速度を第1速度とし、前記貼付用シートを前記被着体に押圧するときの前記押圧部材の移動速度を前記第1速度より遅い第2速度とすることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記切断押圧手段は、前記押圧部材が前記接着シートを前記被着体に押圧した押圧位置から、前記初期位置に前記押圧部材を戻すときの当該押圧部材の移動速度を前記第1速度、または、前記第2速度よりも速く前記第1速度よりも遅い第3速度とすることを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
- 被着体を臨む位置に接着シートを供給する工程と、
供給された前記接着シートを押圧部材で閉ループ状の切断刃に押し当てて当該接着シートから貼付用シートを形成するとともに、前記押圧部材で前記貼付用シートを前記被着体に押圧して貼付する切断押圧動作を行う工程とを備え、
前記切断押圧動作を行う工程において、前記押圧部材の移動速度を制御する工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013220536A JP2015082617A (ja) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | シート貼付装置および貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013220536A JP2015082617A (ja) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | シート貼付装置および貼付方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015082617A true JP2015082617A (ja) | 2015-04-27 |
Family
ID=53013056
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013220536A Pending JP2015082617A (ja) | 2013-10-23 | 2013-10-23 | シート貼付装置および貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015082617A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6428109U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-17 | ||
JPH0714977A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-17 | Hitachi Cable Ltd | リードフレームへのフィルム貼付け方法 |
JPH1168021A (ja) * | 1997-08-11 | 1999-03-09 | Hitachi Cable Ltd | リードフレームへのフィルム打抜き貼付け方法 |
JP2010080838A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
-
2013
- 2013-10-23 JP JP2013220536A patent/JP2015082617A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6428109U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-17 | ||
JPH0714977A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-17 | Hitachi Cable Ltd | リードフレームへのフィルム貼付け方法 |
JPH1168021A (ja) * | 1997-08-11 | 1999-03-09 | Hitachi Cable Ltd | リードフレームへのフィルム打抜き貼付け方法 |
JP2010080838A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP2014150232A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6336312B2 (ja) | 積層装置および積層方法 | |
JP6219197B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2014229636A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP6216606B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2015082618A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6211393B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2015082617A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6312472B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3201070U (ja) | シート剥離装置 | |
JP2014139983A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6349195B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6255279B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6226660B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP3220364U (ja) | 保持装置 | |
JP2017199844A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP3210844U (ja) | シート繰出装置 | |
JP7016679B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP3186428U (ja) | シート貼付装置 | |
JP6220706B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6473356B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6085179B2 (ja) | 分離装置及び分離方法 | |
JP6315751B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6297869B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160817 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170712 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170912 |