JP4955629B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1には、接着シートを構成する保護テープをウエハに貼付するシート貼付装置が開示されている。同装置は、円形穴を有する貼り付けテーブル上に帯状の保護テープを繰り出した状態で保護シートの非粘着面側を吸着テーブルで吸着し、保護テープをウエハの形状に合わせて切断を行った後に、当該保護テープを減圧ケース内でウエハに貼付する構成が採用されている。
従って、特許文献1の構成では、切断によって形成される各保護シートの間隔を大きく確保しなければならないことになるため、その分が無駄に消費されてしまう、という不都合を招来する。かかる不都合は、特殊な機能を有する高価なシート基材が採用されている場合には一層顕在化する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、材料の無駄な消費を抑制してコスト低下を図ることのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、剥離シートに接着シート基材が仮着された原反を繰り出す途中で接着シートを形成する構成では、接着シートを予め形成する工程を省くことができる他、被着体の大きさに合わせて接着シートをリアルタイムで形成することができる。
ここにおいて、前記ケース11、テーブル22、挟込凸部37、配管26、28、29及び三方電磁弁27により貼付手段16が構成されている。
また、補助テープTは、接着シートSを仮着して一時的に保持するために利用されるものであるため、廉価に入手できる汎用タイプのテープを利用すれば足り、しかも、回収ローラ60に回収された後に、繰出ローラ46に巻き戻すことによって使い回すことができ、実質的なコスト負担は生じないものとなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
このような構成とすれば、処理されるウエハの枚数に応じた分だけの接着シートSを形成してウエハWに貼付することができる他、大きさの異なるウエハを貼付対象としても、これに対応するカッターダイを用いることで、対応することができる。
11 ケース(貼付手段)
12 第1繰出手段
13 ピールプレート(第1剥離手段)
14 第2繰出手段
15 仮貼付手段
17 第2剥離手段
22 テーブル(貼付手段)
33 挟込手段(貼付手段)
26、28、29 配管(貼付手段)
70 接着シート形成手段
A 接着剤層
C 減圧室(貼付手段)
R、R1 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
T 補助テープ
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 減圧室を形成する開閉可能なケース内に被着体を配置するとともに、当該被着体に相対する位置に接着シートを供給した状態でケース内を減圧することで前記被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて接着シートが仮着された原反を繰り出す第1繰出手段と、前記原反を繰り出す途中で接着シートを剥離シートから剥離する第1剥離手段と、前記第1繰出手段に併設されるとともに一方の面に接着剤層を有する帯状の補助テープを繰り出す第2繰出手段と、剥離シートから剥離される接着シートの非接着面側を前記補助テープの接着剤層に仮着する仮貼付手段と、前記補助テープに仮着された接着シートを開放したケース内の被着体に相対させるとともに、当該ケースを閉塞して減圧することで被着体に接着シートを貼付する貼付手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。 - 減圧室を形成する開閉可能なケース内に被着体を配置するとともに、当該被着体に相対する位置に接着シートを供給した状態でケース内を減圧することで前記被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す第1繰出手段と、前記接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成して接着シートを形成する接着シート形成手段と、前記原反を繰り出す途中で接着シートを剥離シートから剥離する第1剥離手段と、前記第1繰出手段に併設されるとともに一方の面に接着剤層を有する帯状の補助テープを繰り出す第2繰出手段と、剥離シートから剥離される接着シートの非接着面側を前記補助テープの接着剤層に仮着する仮貼付手段と、前記補助テープに仮着された接着シートを、開放したケース内の被着体に相対させるとともに、当該ケースを閉塞して減圧することで被着体に接着シートを貼付する貼付手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。 - 減圧雰囲気で被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す途中で接着シートを剥離シートから剥離する工程と、
一方の面に接着剤層を有する帯状の補助テープを繰り出して剥離シートから剥離される接着シートの非接着面側を補助テープの接着剤層に仮着させる工程と、
前記補助テープに仮着された接着シートを所定のケース内に配置された被着体に相対させて、当該ケース内を減圧することで被着体に接着シートを貼付する工程とを備えたことを特徴とするシート貼付方法。 - 減圧雰囲気で被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す工程と、
前記接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成して接着シートを形成する工程と、
前記原反を繰り出す途中で接着シートを剥離シートから剥離する工程と、
一方の面に接着剤層を有する帯状の補助テープを繰り出して剥離シートから剥離される接着シートの非接着面側を補助テープの接着剤層に仮着させる工程と、
前記補助テープに仮着された接着シートを所定のケース内に配置された被着体に相対させて、当該ケース内を減圧することで被着体に接着シートを貼付する工程とを備えたことを特徴とするシート貼付方法。
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