KR101458399B1

KR101458399B1 - 시트 첩부장치 및 첩부방법

Info

Publication number: KR101458399B1
Application number: KR1020107014120A
Authority: KR
Inventors: 칸 나카타; 요타 아오키
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2007-12-20
Filing date: 2008-11-28
Publication date: 2014-11-05
Also published as: US20100252191A1; KR20100109913A; JP4773419B2; WO2009081690A1; CN101903997B; CN101903997A; JP2009152363A

Abstract

반도체 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(11)을 수용하는 제 1 케이스(20)와, 당해 제 1 케이스(20)와 함께 감압실(C)을 형성하는 제 2 케이스(21)와, 반도체 웨이퍼(W)에 면하는 위치에 접착 시트(S)를 공급하는 공급 수단(15)을 구비하고 있다. 제 2 케이스(21)에는, 단일의 감압실(C)을 형성한 상태에서, 상기 감압실(C)로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실(C1)을 형성하는 격벽(30)이 설치되고, 감압실(C)을 감압 상태로 하여, 압력 조정실(C1)의 압력을 상대적으로 상승시킴으로써 감압하에서 접착 시트(S)를 반도체 웨이퍼(W)에 첩부한다.

Description

시트 첩부장치 및 첩부방법{APPARATUS AND METHOD FOR ADHERING SHEET}

본 발명은 시트 첩부장치 및 첩부방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 감압하에서 피착체에 접착 시트를 첩부할 수 있는 시트 첩부장치 및 첩부방법에 관한 것이다.

종래로부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고 칭함)는 그 회로면이나 이면에 접착 시트가 첩부되어, 이면 연삭이나 다이싱 등, 여러 처리가 시행된다.

특허문헌 1에는, 상기 접착 시트의 첩부장치가 개시되어 있다. 동 장치는, 마운트 테이블을 수용하는 하측 하우징과, 당해 하측 하우징의 상단에 맞대지는 상측 하우징을 포함하고, 이들 하우징 사이에 접착 시트를 끼워 넣어 당해 접착 시트로 칸막이 된 상하 2개의 감압실(처리실)을 형성 가능하게 하여, 감압하에서 접착 시트를 웨이퍼에 첩부하는 구성으로 되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개 소60-80249호 공보

그렇지만, 특허문헌 1의 시트 첩부장치는, 접착 시트에 의해 2개의 감압실을 상하에 형성하는 것이다. 이러한 구성의 시트 첩부 장치에서는, 시트 첩부에 앞서 감압실 내를 감압상태로 할 때에, 2개의 감압실에 압력차가 생겨 버리면, 접착 시트가 변형되어, 감압이 완료하기 전에 당해 접착 시트가 웨이퍼에 붙거나, 웨이퍼의 반대 방향으로 당겨져서 찢어지거나 하기 때문에, 각각의 감압실을 동일한 압력으로 유지하면서 감압하지 않으면 안 된다. 그 때문에, 그 압력 제어가 대단히 복잡하게 된다고 하는 문제가 있다. 또, 2개의 감압실에 공통의 감압 수단을 사용했다고 해도, 감압실 용적의 차에 의해 소정 감압상태로 될 때까지 시간차가 생기기 때문에, 상기 동일한 문제가 해소되지 않는다.

본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은, 감압 제어에 복잡한 제어를 하지 않고, 감압하에서 접착 시트를 피착체에 첩부할 수 있는 시트 첩부장치 및 첩부방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고, 상기 케이스를 폐색하여 감압하에서 상기 접착 시트를 피착체에 첩부하는 시트 첩부장치에 있어서, 상기 테이블은 상기 피착체를 지지한 상태에서 당해 피착체의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기로 설치되고, 상기 케이스를 폐색하여 단일의 감압실을 형성한 상태에서, 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 밀어 붙임으로써, 당해 감압실 내에 상기 피착체와 당해 피착체 상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 격벽을 구비한다, 라고 하는 구성을 채용하고 있다.

또, 본 발명은, 반도체 웨이퍼를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 개구부가 설치된 제 1 케이스와, 상기 개구부를 폐색하고 제 1 케이스로 감압실을 형성하는 제 2 케이스와, 상기 반도체 웨이퍼에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고, 감압하에서 상기 접착 시트를 반도체 웨이퍼에 첩부하는 시트 첩부장치에 있어서, 상기 테이블은 상기 반도체 웨이퍼를 지지한 상태에서 당해 반도체 웨이퍼의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기로 설치되고, 상기 제 1 케이스를 제 2 케이스로 폐색하여 단일의 감압실을 형성한 상태에서, 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 밀어 붙임으로써, 당해 감압실 내에 상기 반도체 웨이퍼와 당해 반도체 웨이퍼상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 격벽이 설치된다, 라고 하는 구성을 채용할 수 있다.

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또, 본 발명은, 피착체의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기를 가진 테이블로 상기 피착체를 지지하는 공정과, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공정과, 상기 테이블과 피착체와 접착 시트를 수용하여 단일의 감압실을 형성하는 공정과, 상기 감압실 내를 감압하는 공정과, 상기 감압실 내에서 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 밀어 붙임으로써, 상기 피착체와 당해 피착체 상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 공정과, 상기 감압실에 대하여 상기 압력 조정실의 압력을 상대적으로 상승시킴으로써, 상기 접착 시트를 피착체에 첩부하는 공정을 갖는다, 라고 하는 수법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 감압실이 접착 시트에 의해 복수로 구획되지 않기 때문에, 단일의 감압실로서 취급할 수 있어, 복수의 감압실을 형성한 경우의 각각의 감압실을 동일한 압력으로 유지하면서 감압하는 것과 같은 복잡한 압력 제어는 불필요하게 된다. 따라서, 감압실을 감압한 상태에서, 상기 압력 조정실을 형성하여 당해 압력 조정실의 압력을 상대적으로 높게 하는 것만으로, 접착 시트를 피착체에 첩부할 수 있다.

또, 상기 테이블이 격벽을 향하여 진퇴 가능하게 설치되어 있기 때문에, 감압실을 전체적으로 감압한 후에, 테이블을 격벽에 밀어붙임으로써 상기 압력 조정실을 형성할 수 있다.

또한, 본 명세서에 있어서, 감압은 진공도 포함하는 개념으로서 사용된다.

도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부장치의 일부를 단면으로 한 개략 정면도.
도 2는 도 1의 일부를 생략한 개략 평면도.
도 3은 감압실이 형성된 상태를 나타내는 개략 정면도.
도 4는 압력 조정실이 형성된 상태를 나타내는 개략 단면도.
도 5는 웨이퍼에 기포 없이 접착 시트가 첩부된 상태를 나타내는 부분 확대도.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는, 본 실시형태에 따른 시트 첩부장치의 개략 정면도가 도시되며, 도 2에는, 도 1의 일부를 생략한 개략 평면도가 도시되어 있다. 이들 도면에 있어서, 시트 첩부장치(10)는 피착체로서의 대략 원형의 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(11)과, 당해 테이블(11)을 수용함과 아울러, 내부에 감압실(C)을 형성하는 케이스(14)와, 당해 케이스(14)를 개방한 상태에서, 상기 웨이퍼(W)의 상면이 되는 피착면에 면하는 위치에 감압 접착성의 접착 시트(S)를 공급하는 공급 수단(15)을 구비하여 구성되어 있다. 여기에서, 접착 시트(S)는 감압실(C)을 상하로 차단하지 않는 폭 치수의 것이 채용되고, 도 2에 도시되는 바와 같이, 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)의 피착면에 면하는 위치에 공급했을 때, 케이스(14)의 내주부분을 당해 접착 시트(S)가 막아 버리지 않아 간극(C2)이 형성되게 되어 있다. 또한, 간극(C2)은 감압실(C)을 복수로 차단하지 않기 위한 배관, 관통구멍 등의 통로 이어도 된다.

상기 테이블(11)은 웨이퍼(W)를 중앙에 지지한 상태에서, 당해 웨이퍼(W)의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면(11A)을 형성하는 크기로 설치되어 있고, 도시하지 않은 유지 수단에 의해 웨이퍼(W)를 유지 가능하게 되어 있다. 이 테이블(11)의 하면측에는 직동 모터(16)의 출력축(17)이 고정되어 있고, 당해 직동 모터(16)의 구동에 의해 테이블(11)이 상하로 진퇴 가능하게 설치되어 있다.

상기 케이스(14)는 도 1 중 하부측에 위치하는 제 1 케이스(20)와, 상부측에 위치하는 제 2 케이스(21)로 이루어진다. 제 1 케이스(20)는 상기 직동 모터(16)를 통하여 테이블(11)을 지지하는 대략 사각형의 바닥부(22)와, 당해 바닥부(22)의 외주에 이어짐과 아울러, 중앙부에 대략 원형의 오목부(23)를 형성하는 기립부(24)를 구비하여 상단이 개구부가 되는 바닥 있는 용기 형상으로 설치되어 있다. 제 1 케이스(20)는 기립부(24)에 접속된 배관(25) 및 제 1 전자 밸브(26)를 통하여 도시하지 않은 감압 펌프에 접속되어 있음과 아울러, 도시하지 않은 승강 수단을 통하여 승강 가능하게 설치되어 있다.

상기 제 2 케이스(21)는 평면 형상이 대략 사각형의 정상부(27)와, 당해 정상부(27)의 외주에 이어지는 수하부(28)와, 정상부(27)의 내면측에 설치된 원통 형상의 격벽(30)으로 구성되어 있다. 격벽(30)의 내경은 웨이퍼(W)의 외경보다도 크고, 격벽(30)의 외경은 테이블(11)의 외경보다도 작게 설정되어 있다. 수하부(垂下部)(28)의 하단면에는, 당해 수하부(28)의 전체둘레에 오목 홈(31)이 형성되어 있고, 이 오목 홈(31) 내에 패킹재로서의 O링(33)이 수용되어 있다. 또한 격벽(30)의 하단면에도 동일한 오목 홈(34)이 형성되고, 당해 오목 홈(34) 내에 O링(35)이 수용되어 있다.

상기 제 2 케이스(21)는 도시하지 않은 이동 수단을 통하여 상하방향으로 이동할 수 있게 지지되어 있고, 제 1 케이스(20)측으로 하강하여 수하부(28)의 하단면이 기립부(24)의 상단측에 밀어 붙여지고, 제 1 케이스(20)와 서로 작용하여 감압실(C)을 형성하게 되어 있다. 또한, 상기 격벽(30)은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 상기 테이블(11)이 상승했을 때, 접착 시트(S)를 사이에 끼운 상태에서, 격벽(30)의 하단면이 테이블(11)의 외주 표출면(11A)에 밀어 붙여지고, 웨이퍼(W)와 당해 웨이퍼(W) 상의 접착 시트(S)를 둘러싸고 감압실(C)과는 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실(C1)을 형성한다. 제 2 케이스(21)의 정상부(27)에는, 배관(37) 및 제 2 전자 밸브(38)를 통하여 도시하지 않은 감압 펌프가 접속되어, 이들 전자 밸브(38), 감압 펌프를 통하여 압력 조정실(C1)의 압력 제어를 독립해서 행할 수 있다.

상기 공급 수단(15)은, 상기 띠 형상의 접착 시트(S)의 접착제층측에 띠 형상의 박리 시트(RL)가 임시 부착된 롤 형상의 원재료 시트(R)를 지지하는 로킹 기구를 갖는 지지 롤러(40)와, 박리 시트(RL)를 회수하는 권취 수단(41)과, 상기 박리 시트(RL)를 접착 시트(S)로부터 박리하는 필 플레이트(42)와, 상기 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)의 피착면 즉 상면에 면하는 위치로 끌어냄과 아울러, 웨이퍼(W)에 첩부된 접착 시트(S)의 외주측이 되는 불필요 접착 시트(S1)를 권취하는 인출권취 수단(45)과, 웨이퍼(W)에 첩부된 접착 시트(S)를 웨이퍼(W)의 크기에 맞춰 절단하는 도시하지 않은 절단 수단과, 인출권취 수단(45)을 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 지지하는 이동 수단(48)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 절단 수단으로서는, 본 출원인에 의해 이미 출원된 일본 특원 2006-115106호에 기재된 다관절형 로봇을 사용할 수 있다.

상기 권취 수단(41)은, 구동 롤러(50)와, 당해 구동 롤러(50)와의 사이에 박리 시트(RL)를 끼워 넣는 핀치 롤러(51)와, 박리 시트(RL)를 권취하는 박리 시트 권취 롤러(44)에 의해 구성되고, 구동 롤러(50)와 박리 시트 권취 롤러(44)는 프레임(F1)에 지지된 모터(M1)에 의해 동기 회전 가능하게 설치되어 있다.

상기 인출권취 수단(45)은, 구동 롤러(53)와, 당해 구동 롤러(53)와의 사이에 불필요 접착 시트(S1)을 끼워 넣는 핀치 롤러(54)와, 불필요 시트 권취 롤러(47)로 구성되고, 구동 롤러(53)와 불필요 시트 권취 롤러(47)는 프레임(F2)에 지지된 모터(M2)에 의해 동기 회전 가능하게 설치되어 있다.

상기 이동 수단(48)은 도 1 중 좌우방향으로 뻗는 단축 로봇(55)에 의해 구성되고, 당해 단축 로봇(55)의 슬라이더(56)에 상기 프레임(F2)이 고정되어 인출권취 수단(45)이 좌우방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

다음에, 본 실시형태에 따른 시트 첩부방법에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하면서 설명한다.

우선, 제 2 케이스(21)가 상승위치에 있어 케이스(14)를 개방하고 있는 상태에서, 지지 롤러(40)에 지지된 원재료 시트(R)의 리드 끝을 소정 길이 끌어내고, 필 플레이트(42)의 선단 위치에서 박리 시트(RL)를 접착 시트(S)로부터 박리하고, 당해 박리 시트(RL)의 리드 끝을 박리 시트 권취 롤러(44)에 고정한다. 한편, 접착 시트(S)는 도 1 중 2점쇄선으로 표시되는 위치에 있는 인출권취 수단(45)의 불필요 시트 권취 롤러(47)에 고정한다.

웨이퍼(W)가 테이블(11)에 재치되면, 구동 롤러(53) 및 불필요 시트 권취 롤러(47)의 회전을 로킹한 상태에서, 인출권취 수단(45)이 도 1 중 2점쇄선 위치로부터 실선으로 표시되는 위치로 이동함과 아울러, 이 동작에 동기하여, 상기 권취 수단(41)이 구동하여 박리 시트(RL)의 회수가 행해진다. 이것에 의해, 제 1 케이스(20)의 상방을 가로지르는 상태, 즉, 웨이퍼(W)의 상면에 면하는 위치에 접착 시트(S)가 공급되게 된다.

이어서, 상기 제 1 케이스(20)가 상승함과 아울러, 제 2 케이스(21)가 하강하고, 제 1 케이스(20)와 서로 작용하여 감압실(C)이 형성된다(도 3 참조). 이때, 감압실(C)은 접착 시트(S)에 의해 상하로 차단되는 일은 없다. 또, 이 단계에서는, 압력 조정실(C1)도 형성되어 있지 않아, 제 1 및 제 2 케이스(20, 21)의 내부가 전체적으로 연통하는 단일의 감압실(C)을 형성하게 된다. 이 상태에서, 전자 밸브(26)를 제어하고, 배관(25)을 통하여 감압실(C)이 감압되어, 소정의 설정 압력에 달하면, 테이블(11)이 상승하여 테이블(11)의 외주 표출면(11A)에 접착 시트(S)를 사이에 두고 격벽(30)의 하단면이 밀어 붙여져, 감압실(C)로부터 독립하여 압력 제어 가능하게 되는 압력 조정실(C1)이 형성되게 된다.

그리고, 전자 밸브(38)를 제어하여, 배관(37)을 통하여 압력 조정실(C1)의 압력을 서서히 대기압에 근접시킨다(최종적으로 대기압으로 함). 이 동작에 의해 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)가 첩부된다. 이러한 감압하에서의 첩부를 행하면, 도 5 중 2점쇄선으로 나타내는 바와 같은 웨이퍼(W)의 외주단이나, 웨이퍼(W)에 형성된 범프(B) 주변에 존재하는 공간은 상압(대기압)으로 되었을 때 사라져 버려, 기포 없이 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)를 첩부할 수 있다.

접착 시트(S)의 첩부가 완료되면, 전자 밸브(26)를 제어하여 압력 조정실(C1)을 제외한 감압실(C)을 서서히 대기압에 근접시키고, 대기압으로 된 시점에서, 상기 제 2 케이스(21)가 상승하여 케이스(14)를 개방한다. 그리고, 도시하지 않은 절단 수단을 통하여, 웨이퍼(W)의 외주를 따라 접착 시트(S)가 닫힌 루프 형상으로 절단된다.

접착 시트(S)의 절단이 행해진 후는, 지지 롤러(40)와 구동 롤러(50)를 로킹한 상태에서, 구동 롤러(53) 및 불필요 시트 권취 롤러(47)가 회전하면서 도 1 중 2점쇄선으로 표시되는 위치로 이동하고, 이것에 의해, 상기 절단에 의해 발생한 불필요접착 시트(S1)가 권취되게 된다.

접착 시트(S)가 첩부된 웨이퍼(W)는 도시하지 않은 반송 수단을 통하여 다음 공정 혹은 소정의 스토커에 반송되고, 다음 첩부대상이 되는 웨이퍼(W)가 테이블(11) 상에 옮겨 실리고, 이후, 마찬가지로 접착 시트(S)의 첩부가 행해지게 된다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 단일의 감압실(C) 내에서 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실(C1)을 형성하여 웨이퍼(W)에 접착 시트(S)를 첩부하는 구성이기 때문에, 종래와 같은, 복수의 감압실을 동일한 압력으로 유지하면서 감압하는 것과 같은 복잡한 압력 제어는 불필요하게 되어, 감압실(C) 내의 감압 제어도 극히 간단한 것으로 된다. 또, 이러한 감압하에서의 시트 첩부는, 특히, 웨이퍼(W)가 범프를 구비하여 요철면으로 되어 있는 경우의 기포 혼입의 문제를 회피할 수 있다.

본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 이상의 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시하고, 또한, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에 기술한 실시형태에 대하여, 형상, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 여러 변형을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 접착 시트(S)로서 감압성 접착 시트를 사용했는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 다이본딩용의 감열접착성의 접착 시트 등을 채용할 수도 있다. 이 경우, 테이블(11)에 히터를 내장시키거나, 배관(37)을 통하여 공급되는 공기를 온풍으로 하면 된다. 또, 접착 시트(S)는 낱장 타입의 접착 시트를 사용해서 공급할 수 있게 해도 된다.

또한, 피착체는 웨이퍼(W)에 한하지 않고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 범프를 갖지 않는 판 형상 부재도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다.

10 시트 첩부장치
11 테이블
14 케이스
15 공급 수단
20 제 1 케이스
21 제 2 케이스
30 격벽
C 감압실
C1 압력 조정실
S 접착 시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)

Claims

피착체를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 내부에 감압실을 형성하는 개폐 가능한 케이스와, 상기 피착체에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고,
상기 케이스를 폐색하고 감압하에서 상기 접착 시트를 피착체에 첩부하는 시트 첩부장치에 있어서,
상기 테이블은 상기 피착체를 지지한 상태에서 당해 피착체의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기로 설치되고,
상기 케이스를 폐색하여 단일의 감압실을 형성한 상태에서, 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 밀어 붙임으로써, 당해 감압실 내에 상기 피착체와 당해 피착체 상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 격벽을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부장치.
반도체 웨이퍼를 지지하는 테이블과, 당해 테이블을 수용함과 아울러 개구부가 설치된 제 1 케이스와, 상기 개구부를 폐색하고 제 1 케이스와 감압실을 형성하는 제 2 케이스와, 상기 반도체 웨이퍼에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단을 포함하고,
감압하에서 상기 접착 시트를 반도체 웨이퍼에 첩부하는 시트 첩부장치에 있어서,
상기 테이블은 상기 반도체 웨이퍼를 지지한 상태에서 당해 반도체 웨이퍼의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기로 설치되고,
상기 제 1 케이스를 제 2 케이스로 폐색하여 단일의 감압실을 형성한 상태에서, 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 누름으로써, 당해 감압실 내에 상기 반도체 웨이퍼와 당해 반도체 웨이퍼상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 격벽이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부장치.
피착체의 외측으로 튀어나오는 외주 표출면을 형성하는 크기를 가진 테이블로 상기 피착체를 지지하는 공정과,
상기 피착체에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공정과,
상기 테이블과 피착체와 접착 시트를 수용하여 단일의 감압실을 형성하는 공정과,
상기 감압실 내를 감압하는 공정과,
상기 감압실 내에서 상기 외주 표출면에 상기 접착 시트를 밀어 붙임으로써, 상기 피착체와 당해 피착체 상의 접착 시트를 둘러싸고 상기 감압실로부터 독립하여 압력 제어 가능한 압력 조정실을 형성하는 공정과,
상기 감압실에 대하여 상기 압력 조정실의 압력을 상대적으로 상승시킴으로써, 상기 접착 시트를 피착체에 첩부하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 시트 첩부방법.
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