JP3882004B2 - 粘着チャック装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば液晶ディスプレー（ＬＣＤ）やプラズマディスプレー（ＰＤＰ）などのフラットパネルディスプレーの製造過程において、ＣＦガラスやＴＦＴガラスなどのガラス製基板か又は合成樹脂製基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置などに用いられる粘着チャック装置に関する。
詳しくは、基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置に関する。

従来、二枚の基板を重ね合わせる基板貼り合わせ機では、静電チャックで基板を保持していたが、近年の基板の大型化に伴い、大きなサイズの静電チャックを製作することが難しくなり、また仮に製作できても非常に高価な物となっていた。
そこで、これらの問題を解決するため、基板の保持に粘着材を使用した粘着チャック装置がある。
このような粘着チャック装置の一例として、一対のローラに亘り巻き取り自在に張られた粘着シートに対し、上基板を貼り付け保持した後、上基板と下基板の貼り合わせを行ない、その後、複数のモータの駆動で、スピンドルを回転させて粘着シートを巻き取ると同時に、その巻き取り速度と同期した速さで同巻き取り方向へ該スピンドル及び一方のローラを水平移動させることにより、上基板の上面から粘着シートを徐々に剥がすものがある（例えば、特許文献１参照）。
そして、上述したスピンドルによる粘着シートの巻き取りに代えて、両基板を貼り合わせてセルができた後に、複数のアクチュエータの駆動で、カッタ台及びカッタベースを複数のアクチュエータによりカッタの刃の下端位置まで上昇させてから、粘着シートの幅方向へカッタを移動させることにより、上基板が貼り付いている粘着シートを切断し、この粘着シートが付いたままセルを取り出し、適宜な時点でセルから粘着シートを剥ぎ取るようにしている。
更に他の例として、上方の加圧板に開孔を複数設け、これら開孔内にアクチュエータを夫々備え、各アクチュエータから下方に向かって伸びた軸の先端に粘着部材が貼着され、上記アクチュエータの動作により開孔内で粘着部材を下降させ、粘着部材の下面が上基板と接触すると、その粘着作用で加圧板の下面に密着した形で保持され、また基板の貼り合わせ後に上基板から粘着材を剥がす時は、アクチュエータにより開孔内で粘着部材を上昇させると、開孔の周縁部が上基板の移動を阻止して粘着部材から上基板を引き離すものがある（例えば、特許文献２参照）。
また、上方の加圧板に開口を複数設け、これら開口内に回転用アクチュエータと上下駆動用アクチュエータを夫々備え、夫々の回転用アクチュエータから下方に向かって伸びた回転軸の先端に粘着部材が取り付けられ、上下駆動用アクチュエータの動作により開口内で各粘着部材を下降させ、これら粘着部材と吸引吸着で上基板を保持して、位置決めしながら貼り合わせを行い、粘着部材を加圧板内に退行させる時は、粘着部材を基板面に対して回転用アクチュエータにより捻りながら、又は捻ってから上下駆動用アクチュエータにより退行させて、粘着部材を上基板から剥がすものがある（例えば、特許文献３参照）。

特開２００１−１３３７４５号公報（第３−５頁、図１−図７） 特開２００３−２４１１６０号公報（第５頁、図７） 特開２００３−２７３５０８号公報（第５頁、図１−５）

しかし乍ら、このような従来の粘着チャック装置では、特許文献１の場合、粘着部材と基板とを剥がすために、粘着シートを巻き取りながら巻き取り速度と同期した速さで同巻き取り方向へ水平移動させるか、又はカッタ台及びカッタベースを上昇させカッタで粘着シートを切断しなければならず、夫々の作動には複数のモータやアクチュエータなどの駆動源が多く必要になって構造が複雑化するという問題があった。
更に、特許文献２の場合には、加圧板の開孔内で粘着部材を上昇させるために複数のアクチュエータが各粘着部材毎に夫々必要になり、また特許文献３の場合には、粘着部材を捻りながら退行させるための回転用アクチュエータ及び上下駆動用アクチュエータが各粘着部材毎に夫々必要に必要になって構造が複雑化するという問題があった。
従って、特許文献１〜３は、特に剥離構造が複雑であるため、故障の発生率が高いだけでなく、更に基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や基板搬送装置などに配備する場合には、既設の静電チャックなどの基板保持機構を本発明の粘着チャック装置へ置き換えることが困難であるという問題があった。

本発明のうち請求項１記載の発明は、簡単な構造で基板を確実に着脱することを目的としたものである。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明の目的に加えて、基板粘着構造を簡単に製作することを目的としたものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明の目的に加えて、全体構造を更に簡素化することを目的としたものである。
請求項４記載の発明は、請求項２または３に記載の発明の目的に加えて、吸引用配管系や吸引制御を容易に実現しながら基板を確実に保持することを目的としたものである。

前述した目的を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、保持板の基板側に、基板の裏面と対向して粘着保持する粘着部材と、該基板側面と交差する方向へ出没変形可能な変形膜とを設け、この変形膜の出没変形で粘着部材の粘着表面と基板を当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離して剥離することを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の構成に、前記粘着部材と変形膜を一体に形成した構成を加えたことを特徴とする。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明の構成に、前記変形膜の一部に粘着部材の粘着表面を配設した構成を加えたことを特徴とする。
請求項４記載の発明は、請求項２または３記載の発明の構成に、前記板状体の一部に通気孔を開設し、この通気孔から基板の裏面を吸引吸着した構成を加えたことを特徴とする。

本発明のうち請求項１記載の発明は、保持板の基板側に、基板の裏面と対向して粘着保持する粘着部材と、該基板側面と交差する方向へ出没変形可能な変形膜とを設け、この変形膜の出没変形で粘着部材の粘着表面と基板を当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離すことにより、粘着部材の粘着表面から基板が無理なく剥離される。
従って、簡単な構造で基板を確実に着脱することができる。
その結果、粘着部材と基板とを剥がすためにモータやアクチュエータなどの駆動源が多く必要な従来のものに比べ、特に剥離構造が簡単であるため、故障の発生率を著しく低下でき、更に基板貼り合わせ機を含む基板組立装置や基板搬送装置などに配備する場合には、既設の静電チャックなどの基板保持機構を本発明の粘着チャック装置へ容易に置き換えることができて、製造コストの大幅な低減化が図れる。
また、静電吸着により基板を保持しないから、静電気を自発的に発生させないという利点もある。

請求項２の発明は、請求項１の発明の効果に加えて、粘着部材と変形膜を一体に形成することにより、保持板の基板側に配設するだけで粘着部材と変形膜が同時に配置される。
従って、基板粘着構造を簡単に製作することができる。

請求項３の発明は、請求項１または２の発明の効果に加えて、変形膜の一部に粘着部材の粘着表面を配設することにより、保持板の基板側を変形膜で覆うだけで粘着部材の粘着表面が同時に配置される。
従って、全体構造を更に簡素化することができる。
その結果、変形膜とは別個に粘着部材を切り貼りする必要がないため、低コストで短時間に製造できて、大量生産に向いている。
更に、粘着部材の粘着表面を変形膜の表面と面一状に一体形成した場合には、これら粘着表面と変形膜の表面との間に段差が発生しないため、基板貼り合わせ機に用いて一対の基板を貼り合わせると、これら基板同士を歪みなく均一に圧着することができるだけでなく、その他の悪影響を最小に抑えることができる。

請求項４の発明は、請求項２または３の発明の効果に加えて、板状体の一部に通気孔を開設し、この通気孔から基板の裏面を吸引吸着することにより、粘着部材による粘着保持と真空吸着による保持と併用される。
従って、吸引用配管系や吸引制御を容易に実現しながら基板を確実に保持することができる。

本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネルなどのガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備された場合を示す。
この基板貼り合わせ機は、図１〜図６に示す如く、上下に配置された保持板１，２の平行に対向する保持面１ａ，２ａに二枚のガラス製基板Ａ，Ｂを夫々保持させ、それらの周囲に区画形成された閉空間Ｓ内が所定の真空度に達してから、上下保持板１，２を相対的にＸＹθ方向へ調整移動し、基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせが行われ、その後、上保持板１の保持面１ａから上基板Ａを強制的に剥離して下基板Ｂ上の環状接着剤（シール材）Ｃへ瞬間的に圧着することにより、両者間を封止して重ね合わせ、その後は、両基板Ａ，Ｂの内外に生じる気圧差で両基板Ａ，Ｂの間を所定のギャップまで加圧するものである。

詳しく説明すれば、上下保持板１，２が昇降手段（図示せず）でＺ方向へ相対的に移動可能に支持され、これら上下保持板１，２を上下方向へ離した状態で、夫々の保持面１ａ，２ａに基板Ａ，Ｂがセットされ、その後、この昇降手段の作動により上下保持板１，２を接近させることにより閉空間Ｓが区画形成される。

そして、この閉空間Ｓから吸気手段（図示せず）の作動により、空気を抜いて所定の真空度に達したところで、水平移動手段（図示せず）の作動により、上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対しＸＹθ方向へ調整移動させることで、それらに保持された基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせ（アライメント）として粗合わせと微合わせが順次行われる。

これらの位置合わせが完了して上下基板Ａ，Ｂを重ね合わせた後は、閉空間Ｓ内に空気や窒素を供給して、該閉空間Ｓ内の雰囲気を大気圧に戻すことにより、両基板Ａ，Ｂの内外に生じる気圧差で均等に加圧され、液晶が封入された状態で所定のギャップまで押し潰れて製品を完成させている。

更に、前記保持板１，２の基板側に、本発明の粘着チャック装置を備えている。
詳しく説明すれば、図１、図３及び図５に示す如く、上下保持板１，２の基板側である保持面１ａ，２ａのどちらか一方か又は両方に、基板Ａ，Ｂの裏面Ａ１，Ｂ１と対向して粘着保持する粘着部材３，３′と、該基板側の保持面１ａ，２ａと交差する方向へ出没変形可能な変形膜４とを設け、この変形膜４の出没（凹凸）変形で粘着部材３，３′の粘着表面３ａ，３ａ′と基板Ａ，Ｂを当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離すことにより、粘着部材３の粘着表面３ａ，３ａ′から基板Ａ，Ｂが無理なく剥離されるようにしている。
以下、本発明の各実施例を図面に基づいて説明する。

この実施例１は、図１〜図２に示す如く、上下保持板１，２が例えば金属やセラミックスなどの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの平板状に形成された定盤であり、これらのうち上保持板１の基板側のみを、複数の粘着部材３と複数の変形膜（加圧膜）４からなる板状体４′で覆い、これら変形膜４を該上保持板１の基板側から加圧で突出（凸状）変形させることにより、粘着部材３の粘着表面３ａから上基板Ａを強制的に引き離して剥離する場合を示すものである。

この上保持板１の保持面１ａには、複数か又は単数の凹部１ｂを凹設し、この凹部１ｂと例えば真空ポンプやコンプレッサなどの吸気源（図示せず）とを通気路１ｃで連絡して、該吸気源の作動により凹部１ｂ内の気体を外部へ給排気させ、上記凹部１ｂの周囲に粘着部材３を着脱自在に固着すると共に、凹部１ｂの開口を変形膜４で被蓋している。

図示例では図２に示す如く、上保持板１の保持面１ａに、概ね等間隔毎に配置された隔壁１ｄを介して円形の凹部１ｂが多数凹設され、これら全ての凹部１ｂの開口を一枚の変形膜４で夫々密閉状に覆い、この変形膜４で上記隔壁１ｄの先端面と対応する位置に、該変形膜４の表面に重ねて、円環状の粘着部材３を固着している。

この粘着部材３は、例えばシリコン系、アクリル系やフッ素系などの粘着材料からなる粘着シートであり、その粘着表面３ａを後述する変形膜４と可能な限り接近させて配置することが望ましく、更に該粘着表面３ａの面積を、上基板Ａが吊持可能な粘着力を有する範囲内で小さく設定すると共に、粘着部材３を簡単に貼り替え可能に取り付けることが望ましい。

図示例の場合には、前記ガラス製基板Ａと接触する粘着部材３の粘着表面３ａの粘着力を、上保持板１の保持面１ａ側に配置された変形膜４と接触する固着裏面３ｂの粘着力より弱くして、基板Ａとの粘着時にその重量で、保持面１ａ側から粘着部材３は剥離しないが、必要に応じて粘着部材３はいつでも変形膜４の表面から剥離可能にしている。

そして、前記板状体４′及び変形膜４は、例えばステンレスなどの金属製薄板か又はゴムやエンジニアリング−プラスチックなどの合成樹脂か或いはその以外の弾性材料で成型されたシートからなる弾性変形可能なダイヤフラムであり、隔壁１ｄの先端面に対して例えば電子ビーム溶接などの溶着か又は接着材などにより接着され、上記通気路１ｃを介して各凹部１ｂ内から気体を外部へ排気することで、該変形膜４を各凹部１ｂ内へ凹むように撓み変形させ、これと逆に各凹部１ｂ内へ外部から気体を供給することで、該変形膜４を各凹部１ｂの開口から突出するように撓み変形させている。

更に、上記板状体４′の取り付け方法は、上述した溶着や接着材による接着に限定されず、例えば各凹部１ｂ間の隔壁１ｄに対し抑え板（図示せず）をネジなどの固定手段で取り付け、これら隔壁１ｄの先端面と抑え板との間に該板状体４′を着脱自在に挟持しても良い。

また必要に応じて、上記変形膜４には図２に示す如く、各凹部１ｂの略中心と対応する位置に、小孔４ａを夫々貫通開穿しても良い。

次に、斯かる基板貼り合わせ機の作動について説明する。
先ず、図１（ａ）に示す如く、上下保持板１，２が上下方向へ離れた状態で、夫々の保持面１ａ，２ａに上下基板Ａ，Ｂをセットするが、この際、上保持板１の保持面１ａに形成された凹部１ｂ内を真空引きして減圧することにより、変形膜４を凹状に撓ませる。

この状態で、基板搬送用ロボット（図示せず）により上基板Ａが移送され、その裏面Ａ１を上保持板１の保持面１ａへ向け移動して、粘着部材３の粘着表面３ａに所定圧力で接触させれば、該粘着表面３ａの粘着力によって上基板Ａが保持される。

また、図２に示す如く、変形膜４に各凹部１ｂと対応して小孔４ａを開穿した場合には、これら小孔４ａから真空吸引すれば、上基板Ａが更に強く吸着保持される。

その後、図１（ｂ）に示す如く、上下保持板１，２が接近して閉空間Ｓ内が所定の真空度に達してから、上下保持板１，２のどちらか一方を他方に対してＸＹθ方向へ調整移動して、それらに保持された基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせが行われる

この位置合わせが完了してから、図１（ｃ）に示す如く、上保持板１の保持面１ａに形成された凹部１ｂ内に気体を導入して、変形膜４をその背面側から加圧して凸状に撓ませ、その先端を粘着部材３の粘着表面３ａよりも突出させる。

それにより、粘着部材３の粘着表面３ａに粘着保持された上基板Ａが強制的に引き離されて、粘着部材３の粘着表面３ａから上基板Ａを無理なく剥離すると同時に、これら変形膜４の突出圧力で該上基板Ａを下基板Ｂ上の環状接着剤Ｃに押し付けて重ね合わせる。

この際、変形膜４に小孔４ａを開穿した場合には、これら小孔４ａから上基板Ａの裏面Ａ１へ例えば窒素ガスなどの気体を噴き出すことで、該粘着部材３の粘着表面３ａから上基板Ａを強制的に剥離して下基板Ｂ上の環状接着剤Ｃへ瞬間的に圧着し、両者間が封止される。
従って、ガラス製の上下基板Ａ，Ｂを歪みなく真空中で均一に基板Ａ，Ｂ同士を圧着することができ、その加圧力も容易に変えることができる。

そして、上保持板１の基板側を、複数の粘着部材３と複数の変形膜４からなる板状体４′で覆ったため、上基板Ａの複数箇所が同時に粘着保持されると共に、同時剥離が可能となり、上基板Ａが大型であっても確実に保持と剥離ができる。

更に、上記粘着部材３と変形膜４とを可能な限り接近させて配置したため、変形膜４の突出圧力で粘着表面３ａからガラス製の上基板Ａを引き剥がす時に、上基板Ａの一部が大きく撓むことがなく、これによって位置合わせが完了した上下基板Ａ，Ｂに位置ズレが生じたり、液晶を封止する環状接着剤Ｃが切れたりするという不具合が発生しない。

また、粘着部材３の面積を小さく設定したため、粘着表面３ａからガラス製の上基板Ａを引き剥がす時に、大きな力が必要とならず、ガラスの破壊などの事故が防止されると共に、粘着部材３を簡単に貼り替え可能に取り付けたため、繰り返して上基板Ａの粘着接触と離隔を行うことによって異物の付着や粘着力の低下が懸念されるものの、その際には粘着部材３を貼り替えることで解消される。

この実施例２は、図３〜図４に示す如く、前記上保持板１の保持面１ａに形成された隔壁１ｄから粘着部材３及び変形膜４に亘って、複数の通気孔１ｅを貫通状に開設し、これら通気孔１ｅと例えば真空ポンプやコンプレッサなどの吸気源（図示せず）とを連絡する通気路１ｆを、前記凹部１ｂの通気路１ｃと別系統で形成した構成が、前記図１〜図２に示した実施例１とは異なり、それ以外の構成は図１〜図２に示した実施例１と同じものである。

上記構成により、図３（ａ）に示す如く、上保持板１の保持面１ａに上基板Ａをセットする際に通気孔１ｅから吸引することで、上基板Ａが更に強い力で吸着保持され、また図３（ｃ）に示す如く、基板Ａ，Ｂ同士の位置合わせ後の剥離時に、通気孔１ｅから例えば圧縮空気や窒素ガスなどの気体を噴き出すことにより、粘着部材３の粘着表面３ａから上基板Ａを更に強い力で強制的に剥離して下基板Ｂ上の環状接着剤Ｃへ瞬間的に圧着させる。
その結果、図３〜図４に示す実施例２は、上述した図１〜図２に示した実施例１と同様な作用効果が得られ、更に実施例１の粘着部材３による上基板Ａの粘着保持に加えて、通気孔１ｅからの吸引による上基板Ａの真空吸着保持が追加されるため、吸引用配管系などの構成や吸引制御の実現が容易でありながら上基板Ａを更に確実に保持できると共に、変形膜４の突出加圧ムラによる上基板Ａの位置ズレを完全に防止できるという利点がある。

この実施例３は、図５〜図６に示す如く、上述した円環状の粘着部材３に代えて、前記変形膜４の一部に粘着部材３′を配設することで、複数の変形膜４と粘着部材３′からなる板状体４″が構成され、この板状体４″で上保持板１の基板側を覆うと共に、これら変形膜４をフラットにした状態で、該粘着部材３′の粘着表面３ａ′を上基板Ａに当接させて粘着保持し、また変形膜４を該上保持板１の基板側の減圧で没入（凹状）変形させることにより、粘着部材３′の粘着表面３ａ′を上基板Ａから強制的に引き離して剥離する構成が、前記図１〜図２に示した実施例１及び図３〜図４に示した実施例２とは異なり、それ以外の構成は図１〜図２に示した実施例１及び図３〜図４に示した実施例２と同じものである。

上記変形膜４の一部に粘着部材３′を配設する方法としては、弾性材料からなる変形膜４を表面処理するか又はそれに類似する加工を行うことにより、その表面の所望箇所のみに粘着表面３ａ′を、該変形膜４の表面と面一状に一体形成するか又は一体的に設けて、板状体４″としている。
この板状体４″の形状は、図示した平坦な板状に限定されず、上保持板１の保持面１ａに形成された凹部１ｂ内へ向けて変形膜４を部分的に凹ませるなど、完全な平板状でなくても良い。

図示例の場合には、上記変形膜４の略中心位置に円形状の粘着表面３ａ′を部分的に一体形成しているが、上基板Ａの裏面Ａ１を確実に保持できれば、それ以外の形状にすることも可能である。
更に図示例では、上述した小孔４ａを変形膜４に開穿していないが、必要に応じて前記実施例１の図２や実施例２の図４に示したものと同様に、粘着部材３′の略中心位置に小孔４ａを夫々貫通開穿することも可能である。

上記構成により、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す如く、上保持板１の保持面１ａに形成された凹部１ｂ内に気体を導入し、変形膜４をその背面側から加圧して凸状に撓ませることにより、粘着部材３′の粘着表面３ａ′を上基板Ａに当接させれば、その粘着力によって上基板Ａが保持される。

上下基板Ａ，Ｂの重ね合わせた後に閉空間Ｓ内の雰囲気を大気圧に戻してから、図５（ｃ）に示す如く、凹部１ｂ内を真空引きして減圧させるなどの減圧駆動により、変形膜４を凹状に撓ませて粘着部材３′の粘着表面３ａ′を凹部１ｂ内に没入させれば、粘着表面３ａ′が上基板Ａから強制的に引き離される。
これと同時に、通気孔１ｅから例えば圧縮空気や窒素ガスなどの気体を噴き出せば、粘着部材３′の粘着表面３ａ′から上基板Ａを更に強い力で強制的に剥離できる。

その結果、図５〜図６に示す実施例３は、上述した図１〜図２に示した実施例１や図３〜図４に示す実施例２と同様な作用効果が得られ、更に変形膜４の一部に粘着部材３′の粘着表面３ａ′を配設したので、上保持板１の基板側である保持面１ａ及び凹部１ｂ全体を板状体４′で覆うだけで粘着部材３′の粘着部材３′が同時に配置され、それにより粘着チャック装置の全体構造が更に簡素化され、実施例１や実施例２のように変形膜４とは別個に粘着部材３を切り貼りする必要がないから低コストで短時間に製造できるという利点がある。

また、粘着部材３′の粘着表面３ａ′を表面処理などで変形膜４の表面と面一状に一体形成した場合には、これら粘着表面３ａ′と変形膜４の表面との間に段差が発生しないため、上下基板Ａ，Ｂの貼り合わせ時において、これら基板Ａ，Ｂ同士を歪みなく均一に圧着することができるだけでなく、その他の悪影響を最小に抑えることができるという利点がある。

尚、本発明の粘着チャック装置が、液晶ディスプレー（ＬＣＤ）パネルなどのガラス基板を粘着保持して貼り合わせる基板貼り合わせ機に配備される場合を示したが、これに限定されず、この基板貼り合わせ機以外の基板組立装置や、基板を搬送する基板搬送装置に配備したり、ＬＣＤパネル用ガラス基板以外の基板を粘着保持しても良い。
更に、真空中で基板Ａ，Ｂを貼り合わせる基板貼り合わせ機を説明したが、これに限定されず、大気中で基板Ａ，Ｂを貼り合わせる基板貼り合わせ機でも良く、この場合でも、上述した真空貼り合わせ機と同じ作用効果が得られる。

また、前示実施例では、上保持板１の基板側である保持面１ａのみに粘着部材３と変形膜４を配置したが、これに限定されず、下保持板２の基板側である保持面２ａにも同様に、下基板Ｂの裏面Ｂ１と対向して粘着保持する粘着部材３を固着すると共に、上下方向へ弾性変形可能な変形膜４を設けても良い。

また更に、上保持板１の保持面１ａに円形の凹部１ｂを多数凹設し、これら全ての凹部１ｂの開口を一枚の板状体４′，４″で覆ったが、これに限定されず、凹部１ｂの形状を円形以外の形状に変えたり、各凹部１ｂを複数枚の変形膜４で別々に覆っても良い。

［図１］本発明の粘着チャック装置の実施例１を示す部分的な縦断正面図であり、その作動工程を（ａ）〜（ｃ）に示している。
［図２］図１の（２）−（２）線に沿える部分的な横断底面図である。
［図３］本発明の粘着チャック装置の実施例２を示す部分的な縦断正面図であり、その作動工程を（ａ）〜（ｃ）に示している。
［図４］図３の（４）−（４）線に沿える部分的な横断底面図である。
［図５］本発明の粘着チャック装置の実施例３を示す部分的な縦断正面図であり、その作動工程を（ａ）〜（ｃ）に示している。
［図６］図５の（６）−（６）線に沿える部分的な横断底面図である。

符号の説明

Ａ 基板（上基板） Ａ１ 裏面
Ｂ 基板（下基板） Ｂ１ 裏面
Ｃ 環状接着剤 Ｓ 閉空間
１ 上保持板（上定盤） １ａ 基板側面（保持面）
１ｂ 凹部 １ｃ 通気路
１ｄ 隔壁 １ｅ 通気孔
１ｆ 通気路 ２ 下保持板（下定盤）
２ａ 基板側面（保持面） ３，３′ 粘着部材
３ａ，３ａ′ 粘着表面 ３ｂ 固着裏面
４ 変形膜 ４ａ 小孔
４′，４″ 板状体

Claims (4)

1. 基板を保持板に対し、粘着で着脱自在に保持する粘着チャック装置において、
   前記保持板の基板側に、基板の裏面と対向して粘着保持する粘着部材と、該基板側面と交差する方向へ出没変形可能な変形膜とを設け、この変形膜の出没変形で粘着部材の粘着表面と基板を当接させて粘着すると共に、これら両者を強制的に引き離して剥離することを特徴とする粘着チャック装置。
2. 前記粘着部材と変形膜を一体に形成した請求項１記載の粘着チャック装置。
3. 前記変形膜の一部に粘着部材の粘着表面を配設した請求項１または２記載の粘着チャック装置。
4. 前記板状体の一部に通気孔を開設し、この通気孔から基板の裏面を吸引吸着した請求項２または３記載の粘着チャック装置。

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