JP2019177615A - 積層装置 - Google Patents
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Description
上記載置手段が、上記フィルムを保持するフィルム保持部を有し、上記基材と上記フィルム保持部に保持されたフィルムとが所定間隔を空けて互いに所定位置で対峙するよう位置合わせし、上記減圧手段によって形成された減圧雰囲気下で上記基材の表面に上記フィルムを当接させることにより上記基材にフィルムが載置された載置体を形成するようになっており、
上記押圧手段が、上記載置体を押圧することにより、上記載置体を積層体に形成するようになっている積層装置を第1の要旨とする。
[フィルム切断手段D]
まず、フィルム切断手段Dによって、タック性を有するフィルム1を積層対象である基材2に適する形状に切断する。上記フィルム切断手段Dは、フィルム1を吸引して保持するフィルム保持部3と、フィルム保持部3により保持されたフィルム1を切断する超音波カッター4と、を有している。
つぎに、上記フィルム切断手段Dによって所定形状に切断されたフィルム1を、切断フィルム搬送手段Fによって載置手段Aまで搬送する。上記切断フィルム搬送手段Fは、上記フィルム保持部3の吸引を解除せずにフィルム1を保持した状態で、上記フィルム保持部3の向きをフィルム1が水平に保持されるように変え、その状態で水平レール(図示せず)にしたがって載置手段Aまでスライド移動させるものである。これにより、フィルム1の全面をしわなく確実に保持したままフィルム1を載置手段Aまで搬送することができ、また、吸着した状態のままでフィルム1を搬送するため、基材2との位置合わせも容易である。
図1に示す積層装置は、載置手段Aおよび押圧手段Bの周囲を密封して減圧しうる減圧手段C(真空チャンバ7)を有しており、フィルム1を保持したフィルム保持部3が載置手段Aまで搬送された後、載置手段Aが、基材保持部9に保持された基材2と、上記フィルム保持部3に保持されたフィルム1とが所定間隔を設けて互いに対峙するように、正確に位置合わせを行う。その後、上記真空チャンバ7内を減圧する。上記真空チャンバ7内が減圧雰囲気になった後(フィルム1と基材2との間に空気がほぼなくなった後)、上記フィルム保持部3を下降させて基材2の表面にフィルム1を当接させ、上記フィルム保持部3の吸引を止めて、フィルム1の保持を解除することにより上記基材2の表面の予定された位置にフィルム1が正確に載置され、上記基材2とフィルム1との間に空気が入っていない載置体10が形成される。なお、上記フィルム1と基材2との位置合わせと、真空チャンバ7の減圧とは、同時に行うようにしてもよい。同時に行うことにより、載置体10形成に掛かる時間を短縮させることができる。また、フィルム保持部3を下降させるのではなく、基材保持部9を上昇させることにより、基材2の表面にフィルム1を当接させるようにしてもよい。
また、減圧手段Cが、載置手段Aおよび押圧手段Bの周囲を密封し減圧しうるようになっているため、載置手段Aおよび押圧手段Bを配置するスペースが少なくて済み、積層装置の小型化が図られている。さらに、載置体10を押圧手段Bへの移送する際に外気(積層装置外部の空気)に曝すおそれがなくなるため、より確実にボイドやしわの発生を防止することができる。
また、上記載置手段Aのフィルム保持部3が、スポンジ6を介して上記フィルム1を吸引により保持するようになっているため、フィルム1の保護が図られ、フィルム1に傷を付けたり、フィルム1を変形させずに保持することができ、より美麗な積層体を形成できる。
そして、さらにフィルム切断手段Dを有し、積層対象である基材2に適する形状にフィルム1を超音波カッター4で切断するようになっているため、基材2のバリエーションに臨機応変に対応することができ、しかも、フィルム1にチッピングが生じることを効果的に防止し、より美麗な状態の積層体を容易に、より短時間で形成することができる。
2 基材
3 フィルム保持部
10 載置体
A 載置手段
B 押圧手段
C 減圧手段
Claims (6)
- 基材にフィルムを積層する装置であって、基材上にフィルムを載置する載置手段と、フィルムが載置された載置体を押圧する押圧手段と、少なくとも上記載置手段の周囲を密封し減圧しうる減圧手段とを有し、
上記載置手段が、上記フィルムを保持するフィルム保持部を有し、上記基材と上記フィルム保持部に保持されたフィルムとが所定間隔を空けて互いに所定位置で対峙するよう位置合わせし、上記減圧手段によって形成された減圧雰囲気下で上記基材の表面に上記フィルムを当接させることにより上記基材にフィルムが載置された載置体を形成するようになっており、
上記押圧手段が、上記載置体を押圧することにより、上記載置体を積層体に形成するようになっていることを特徴とする積層装置。 - 上記減圧手段が、上記載置手段および上記押圧手段の周囲を密封し減圧しうるようになっている請求項1記載の積層装置。
- 上記減圧手段が、上記載置手段の周囲を密封し減圧しうる第1の減圧部と、上記押圧手段の周囲を密封し減圧しうる第2の減圧部とを有している請求項1記載の積層装置。
- 上記載置手段のフィルム保持部が吸引機能を有し、上記フィルムを吸引により保持するようになっている請求項1〜3のいずれか一項に記載の積層装置。
- 上記載置手段のフィルム保持部が、緩衝材を介して上記フィルムを吸引により保持するようになっている請求項4記載の積層装置。
- さらにフィルム切断手段を有し、そのフィルム切断手段が、積層対象である基材に適する形状に、フィルムを、超音波カッター、レーザーカッターおよび刃型による打ち抜きからなる群から選ばれた少なくとも一つにより切断するものである請求項1〜5のいずれか一項に記載の積層装置。
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CN114801149A (zh) * | 2022-04-29 | 2022-07-29 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 真空膜压机的膜压方法和真空膜压机 |
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