JP2019184751A - 貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】第一ワークの表面に沿って変形可能な第二ワークを無気泡で且つシワ無く均一に貼り合わせる。【解決手段】第一保持部材１は、第二保持部材２に保持された第二ワークＳの外周部Ｓ２と対向する押圧部１２を有し、制御部６は、駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動に伴い、押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部に接し、調圧部５で貼り合わせ空間が減圧雰囲気に減圧され、その後の第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動により、押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２に対して第二ワークＳの中心側から外周側へ向かう張力を与えながら、第一ワークＷの表面と第二ワークＳの内側面Ｓ１が重ね合わされるように制御する。【選択図】図１

Description

本発明は、例えばフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やタッチパネルや３Ｄ（３次元）ディスプレイなどのような、硬質の基板からなる変形不能な板状の第一ワークに対し、枚葉のシート状又はフィルム状の変形可能（フレキシブル）な第二ワークを、無気泡で且つシワ無く均一に貼り合せるために用いられる貼合デバイスの製造装置、及び、貼合デバイスを生産するための製造方法に関する。

従来、この種の貼合デバイスの製造装置として、配線パターンが形成された基板にドライフィルムレジストを貼り付ける際、ヒータが内蔵されたローラで、基板上に供給されたドライフィルムレジストを基板の配線パターン形成面に押圧しながら、配線パターン形成面の一端縁側から他端縁側まで移動させることにより、基板の配線パターン形成面とドライフィルムレジストとの間に気泡が混入することを可及的に防止し、気泡が混入した際には速やかに気泡を解消することが可能なドライフィルムレジスト貼付装置がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−２８８２５５号公報

ところで、貼り合せ対象となる基板の表面には、配線パターンなどの微細な凹凸や曲面を有するものがあり、微細な凹凸や曲面に対しても、フレキシブルなシートやフィルムを無気泡で且つシワ無く均一に貼り合せたいという需要がある。
しかし乍ら、特許文献１では、ローラの移動による押圧で基板とドライフィルムレジストとの間に残った気泡を追い出して貼り合せる。このため、基板の表面（配線パターン形成面）に微細な凹凸面や曲面がある場合には、微細な凹凸面や曲面とドライフィルムレジスト面との間に気泡が残って、シートやフィルムにシワを生じさせる原因にもなり、これらの気泡やシワを除去することが困難となる。
これにより、表面に微細な凹凸面や曲面がある基板とドライフィルムレジストを完全に密着させることができず、高精度な貼り合せが行えないという問題があった。

このような課題を解決するために本発明に係る貼合デバイスの製造装置は、変形不能な第一ワークを着脱自在に保持する第一保持部材と、変形可能な第二ワークを着脱自在に保持する第二保持部材と、前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させる駆動部と、前記第一保持部材に保持された前記第一ワークと前記第二保持部材に保持された前記第二ワークとの間に形成される貼り合わせ空間と、前記貼り合わせ空間を大気雰囲気から所定真空度の減圧雰囲気まで内圧調整する調圧部と、前記駆動部及び前記調圧部を作動制御する制御部と、を備え、前記第一保持部材は、前記第二保持部材に保持された前記第二ワークの外周部と対向する押圧部を有し、前記制御部は、前記駆動部による前記第一ワークと前記第二ワークの接近移動に伴い、前記押圧部が前記第二ワークの前記外周部を挟んで前記第二保持部材の外側部に接し、前記調圧部で前記貼り合わせ空間が減圧雰囲気に減圧され、その後の前記第一ワークと前記第二ワークの接近移動により、前記押圧部が前記第二ワークの前記外周部に対して前記第二ワークの中心側から外周側へ向かう張力を与えながら、前記第一ワークの表面と前記第二ワークの内側面が重ね合わされるように制御することを特徴とする。
また、このような課題を解決するために本発明に係る貼合デバイスの製造方法は、変形不能な第一ワークが着脱自在に保持された第一保持部材又は変形可能な第二ワークが着脱自在に保持された第二保持部材のいずれか一方若しくは両方を駆動部で相対的に接近移動させて両者間に貼り合せ空間を形成する接近移動工程と、前記貼り合わせ空間を調圧部で大気雰囲気から所定真空度の減圧雰囲気まで減圧させる減圧工程と、前記駆動部による前記第一保持部材と前記第二保持部材の相対的な接近移動に伴って前記第一ワーク及び前記第二ワークを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わされた前記第一ワーク及び前記第二ワークの周囲を前記調圧部で前記大気雰囲気に戻す大気開放工程と、を含み、少なくとも前記重ね合わせ工程では、前記第一保持部材の押圧部が前記第二ワークの前記外周部に対して前記第二ワークの中心側から外周側へ向かう張力を与えながら、前記第一ワークの表面と前記第二ワークの内側面を重ね合わせることを特徴とする。

本発明の実施形態（第一実施形態）に係る貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が初期状態（搬入工程）の縦断正面図、（ｂ）（ｃ）が中間状態（接近移動工程，減圧工程）の縦断正面図、（ｄ）が貼り合せ完了状態（大気開放工程，搬出工程）の縦断正面図である。 同底面図及び同平面図で、（ａ）が図１（ａ）の（２Ａ）−（２Ａ）線に沿える第一保持部材及び第一ワークの縮小底面図、（ｂ）が図１（ａ）の（２Ｂ）−（２Ｂ）線に沿える第二保持部材及び第二ワークの縮小平面図である。 押圧部の変形例を示す説明図であり、（ａ）〜（ｆ）が押圧部の部分拡大縦断正面図である。 本発明の第二実施形態に係る貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が初期状態（搬入工程）の縦断正面図、（ｂ）（ｃ）が中間状態（接近移動工程，減圧工程）の縦断正面図、（ｄ）が貼り合せ状態（重ね合わせ工程，大気開放工程，搬出工程）の縦断正面図である。 本発明の第三実施形態に係る貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が初期状態（搬入工程）の縦断正面図、（ｂ）（ｃ）が中間状態（接近移動工程，減圧工程）の縦断正面図、（ｄ）が貼り合せ状態（重ね合わせ工程，大気開放工程，搬出工程）の縦断正面図である。 本発明の第四実施形態に係る貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が初期状態（搬入工程）の縦断正面図、（ｂ）（ｃ）が中間状態（接近移動工程，減圧工程）の縦断正面図、（ｄ）が貼り合せ状態（重ね合わせ工程，大気開放工程，搬出工程）の縦断正面図である。 本発明の第五実施形態に係る貼合デバイスの製造装置及び貼合デバイスの製造方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が初期状態（搬入工程）の縦断正面図、（ｂ）（ｃ）が中間状態（接近移動工程，減圧工程）の縦断正面図、（ｄ）が貼り合せ状態（重ね合わせ工程，大気開放工程，搬出工程）の縦断正面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ及び製造方法は、図１〜図７に示すように、変形不能な第一ワークＷを第一保持部材１に保持するとともに、変形可能な枚葉の第二ワークＳを第二保持部材２に保持し、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方若しくは両方の相対的な接近移動により、第一ワークＷと第二ワークＳ減圧雰囲気ＤＰで貼り合わせるワーク貼合装置及びワーク貼合方法である。
貼合デバイスＡは、例えばＬＣＤなどのＦＰＤやタッチパネルや３Ｄ（３次元）ディスプレイなどのような、第一ワークＷと第二ワークＳの貼り合せによって構成部品が一体的に組み付けられたモジュールなどを含む薄板状の構造体である。
第一ワークＷは、ガラスなどの硬質材料やそれに類似する剛性の高い材料で略矩形（長方形及び正方形を含む角が直角の四辺形）又は円形などの板状に形成される。第一ワークＷの具体例としては、第二ワークＳとＺ方向へ対向する表面Ｗ１に配線パターンなどの微細な凹凸面や曲面を有するものが含まれる。
第二ワークＳは、合成樹脂などの軟質材料やそれに類似する剛性の低いフレキシブルな材料で略矩形又は円形などのシート状又はフィルム状に形成される。第二ワークＳの具体例としては、第一ワークＷとＺ方向へ対向する内側面Ｓ１にＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｌｅａｒ Ａｄｈｅｓｉｖｅ）が形成されたシート、ドライフィルムレジスト（ドライレジストフィルム）などが挙げられる。

詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂは、第一ワークＷを着脱自在に保持する第一保持部材１と、第二ワークＳを着脱自在に保持する第二保持部材２と、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させる駆動部３と、第一保持部材１に保持された第一ワークＷと第二保持部材２に保持された第二ワークＳとの間に形成される貼り合わせ空間４１と、貼り合わせ空間４１の内圧を調整する調圧部５と、駆動部３や調圧部５などを作動制御する制御部６と、を主要な構成要素として備えている。
貼合デバイスＡの製造方法は、第一保持部材１と第二保持部材２が対向して配置され、大気中で第一保持部材１に第一ワークＷを保持するとともに、第二保持部材２に第二ワークＳを保持する。その後、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させることにより、第一ワークＷと第二ワークＳが貼り合せ空間４１を挟んで互いに接近する。この接近移動と連動して貼り合せ空間４１を真空に減圧した後に、第一ワークＷと第二ワークＳを重ね合わせて貼り合せる（合着する）。これに続いて、第一ワークＷ又は第二ワークＳのいずれか一方の保持を解除した後に、第一ワークＷ及び第二ワークＳの周囲を大気圧に戻す。これによって、第一ワークＷ及び第二ワークＳの間に形成される封止空間と外部との圧力差が生じ、この圧力差により所定ギャップまで均等に加圧されて貼合デバイスＡが完成する。
なお、第一保持部材１と第二保持部材２は、図１〜図７に示されるように通常、上下方向へ対向して昇降するか或いは反転して相対的に接近又は隔離移動するように設けられる。第一保持部材１及び第二保持部材２の相対的な接近移動によって第一ワークＷと第二ワークＳが重なり合う方向を以下「Ｚ方向」という。Ｚ方向と交差する第一ワークＷ及び第二ワークＳに沿った方向を以下「ＸＹ方向」という。

第一保持部材１は、金属などの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの定盤などからなり、第一ワークＷの外形寸法よりも大きい略矩形又は円形などの平板状に形成され、第一ワークＷの裏面Ｗ２とＺ方向へ対向する第一ワーク接触面１ａを有している。
第一ワーク接触面１ａは、第一保持部材１の中央側に配置され、第一ワークＷの裏面Ｗ２の形状に対応した平滑な平面状又は曲面状などに形成される。第一ワーク接触面１ａには、搬入された第一ワークＷの裏面Ｗ２と接触することで着脱自在に保持（吊持）するための保持チャック１１が設けられる。
保持チャック１１の具体例としては、貼り合わせ空間４１が所定真空度の減圧雰囲気ＤＰになっても第一ワークＷが落下しないように、第一ワークＷに粘着する粘着チャックを用いることが好ましい。保持チャック１１となる粘着チャックは、その全体又は一部が例えばフッ素ゴムやエラストマー、ブチルゴム、感光性樹脂、アクリル系やシリコン系などの粘着材料からなり、第一ワークＷの非貼り合せ面を直接的に粘着保持するように構成される。
また、保持チャック１１の他の例としては、粘着チャックに代え静電チャックを用いることや、粘着チャックに加えて減圧雰囲気の気圧よりも低い気圧からなる真空吸着チャックや静電チャックを併用することなどの変更も可能である。
なお、必要に応じて第一保持部材１は、第一ワークＷを所定温度に加熱するためのヒーター（図示しない）が内蔵されてもよい。

さらに第一保持部材１は、後述する第二保持部材２に保持された第二ワークＳの外周部Ｓ２とＺ方向へ対向する押圧部１２を有し、押圧部１２が第一ワーク接触面１ａよりも外側に配置される。
押圧部１２は、合成樹脂やゴムやシリコーンなどの弾性変形可能な軟質材料やそれに類似する可撓性を有する材料か、又は硬質材料やそれに類似する変形不能な材料で、保持チャック１１で保持した第一ワークＷの周囲を囲む額縁状（四角枠状）や環状（円環状）などに形成される。押圧部１２の形状は、第二ワークＳとの接触時において押圧部１２により貼り合わせ空間４１の内外に圧力差が生じないように連通性を有する構造に構成することが好ましい。さらに押圧部１２は、第一ワーク接触面１ａの保持チャック１１で保持した第一ワークＷよりもＺ方向へ突出する先端部位１２ａを有している。
これに加えて押圧部１２は、第一保持部材１（第一ワークＷ）と第二保持部材２（第二ワークＳ）の接近移動に伴い、押圧部１２の先端部位１２ａが第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２（外側部２２）と突き当たって接して、第二ワークＳの外周部Ｓ２をその中心側から外周側へ向け押し広げるように構成される。これにより、第二ワークＳの全体がＸＹ方向へ引っ張られ、第二ワークＳに対してその中心側から外周側へ向かう張力が与えられる。

第二保持部材２は、金属などの剛体で歪み（撓み）変形しない厚さの定盤などからなり、第一ワークＷや第二ワークＳの外形寸法よりも大きい略矩形又は円形などの平板状に形成される。第二保持部材２は、第二ワークＳの外側面Ｓ３や第二ワークＳを挟んで第一ワークＷの表面Ｗ１とＺ方向へ対向する第二ワーク接触面２ａを有している。
第二ワーク接触面２ａは、第二保持部材２の中央側に配置され、第一ワークＷの表面Ｗ１の形状と対応して第一ワークＷの表面Ｗ１と嵌り合う平面状又は曲面状などの形状に形成される。第二ワーク接触面２ａには、搬入された第二ワークＳの外側面Ｓ３と接触することで移動不能に仮止めするための位置決め部２１が設けられる。
第二ワークＳの位置決め部２１は、吸着手段などからなるチャック機構であり、第二ワーク接触面２ａの一部又は全体に配置されてもよい。
位置決め部２１となるチャック機構の具体例としては、第二ワーク接触面２ａの全体に配置する必要はなく、第二ワーク接触面２ａの略中心部分のみに配置するだけでも、第二ワークＳの外側面Ｓ３を移動不能で且つ着脱自在に仮止め保持可能となる。
また、位置決め部２１となるチャック機構の他の例としては、吸着手段を第二ワーク接触面２ａの全体に配置することや、吸着手段に代えて粘着手段や静電吸着手段を用いることや、吸着手段に加えて粘着手段や静電吸着手段を併用することなどの変更も可能である。
なお、必要に応じて第二保持部材２は、第二ワークＳを所定温度に加熱するためのヒーター（図示しない）が内蔵されてもよい。変形可能なシート状又はフィルム状の第二ワークＳを加熱した場合には、第二ワークＳが熱膨張して伸び易くなる。

さらに第二保持部材２は、第二保持部材２に保持された第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第一保持部材１の押圧部１２とＺ方向へ対向する外側部２２を有し、外側部２２が第二ワーク接触面２ａよりも外側に配置される。
第二保持部材２の外側部２２は、硬質材料やそれに類似する変形不能な材料か、又は合成樹脂やゴムなどの弾性変形可能な軟質材料やそれに類似する可撓性を有する材料で、額縁状（四角枠状）や環状（円環状）などに形成される。
これに加えて外側部２２は、第一保持部材１に保持された第一ワークＷと、第二保持部材２に保持された第二ワークＳとの相対的な接近移動に伴い、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第一保持部材１の押圧部１２が接して、押圧部１２の先端部位１２ａを第二ワーク接触面２ａの延長平面よりも奥側へ突出させるように構成される。これにより、第二ワークＳの全体がＸＹ方向へ引っ張られ、第二ワークＳに対してその中心側から外周側へ向かう張力が与えられる。

駆動部３は、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方か若しくは第一保持部材１及び第二保持部材２の両方を、昇降或いは反転により往復動させるアクチュエーターなどで構成され、後述する制御部６により作動制御している。
後述する制御部６による駆動部３の制御例としては、図１（ａ）などに示される第一ワークＷや第二ワークＳの搬入時と、図示しない貼合デバイスＡの搬出時には、第一保持部材１と第二保持部材２を相対的に離隔移動させる。それ以外は、図１（ｂ）（ｃ）（ｄ）などに示されるように、第一保持部材１と第二保持部材２を相対的に接近移動させる。特に必要がある場合には、第一保持部材１と第二保持部材２を更に接近移動させて第一ワークＷと第二ワークＳをＺ方向へ加圧して貼り合わせる。
詳しく説明すると、接離用の駆動部３によって、搬入時や搬出時には、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方を他方から相対的に離隔移動させるか、若しくは第一保持部材１及び第二保持部材２の両方を互いに相対的に離隔移動させている。それ以外は、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方を他方に向けて接近移動させるか、若しくは第一保持部材１及び第二保持部材２の両方を互いに接近移動させている。

接離用の駆動部３の具体例として、図１〜図７に示される例の場合には、第二保持部材２のみを駆動部３と連係することで、第一保持部材１に向けＺ方向へ昇降移動させている。
また、その他の例として図示しないが、第一保持部材１のみを昇降用の駆動部３と連係して、第二保持部材２に向けＺ方向へ昇降移動させることや、第一保持部材１及び第二保持部材２をそれぞれ昇降用の駆動部３と連係して、第一保持部材１と第二保持部材２を同時にＺ方向へ昇降移動させることなどの変更が可能である。なお、このような昇降移動に代え、駆動部３による水平な回転軸を中心とした反転移動で第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させるように変更することも可能である。
なお、駆動部３による第一保持部材１と第二保持部材２の接近移動は、第一ワーク接触面１ａに保持された第一ワークＷの表面Ｗ１と、第二ワーク接触面２ａに保持された第二ワークＳの内側面Ｓ１とがそれぞれ面全体を均一に当接させることが好ましい。このため、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方か若しくは第一保持部材１及び第二保持部材２の両方には、例えば図７に示されるように、弾性変形可能な材料からなる緩衝材７を第一ワーク接触面１ａや第二ワーク接触面２ａの背後に設けることも可能である。

貼り合わせ空間４１は、真空チャンバーなどからなる真空装置４の内部スペース４ａにおいて、第一ワーク接触面１ａに保持された第一ワークＷと、第二ワーク接触面２ａに保持された第二ワークＳとの間に形成される。
真空装置４は、真空ポンプなどの調圧部５を有し、調圧部５の作動で真空装置４の内部スペース４ａと、貼り合わせ空間４１（第一ワークＷ及び第二ワークＳの間）とから気体を排出（真空排気、真空引き）するように構成される。
調圧部５は、後述する制御部６により作動制御され、駆動部３による第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動中において、真空装置４の内部スペース４ａ及び貼り合わせ空間４１からの気体排出を開始させる。これにより、真空装置４の内部スペース４ａ及び貼り合わせ空間４１がそれぞれ大気雰囲気ＡＰから所定真空度の減圧雰囲気ＤＰまで変圧調整可能に制御される。
詳しく説明すると、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴って第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２に接触した後に、貼り合わせ空間４１から気体の排出を開始して減圧させることが好ましい。これにより、押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２に接触した状態で貼り合わせ空間４１（第一ワークＷ及び第二ワークＳの間）は、所定真空度の減圧雰囲気ＤＰまで変圧調整可能に制御される。
つまり、第一保持部材１の押圧部１２は、第二ワークＳの外周部Ｓ２と接触しても、第一ワークＷ及び第二ワークＳの間に形成される貼り合わせ空間４１と、真空装置４の内部スペース４ａとが連通状態に保たれる連通性を有する構造に構成することが好ましい。

さらに真空装置４は、真空装置４の内部スペース４ａに第一ワークＷ及び第二ワークＳを出し入れするためにその全体又は一部が開閉自在に構成される。真空装置４の内部スペース４ａと真空装置４の外部空間Ｏに亘って、例えば搬送ロボットなどの搬送機構（図示しない）を設けることで自動化が図れる。
詳しく説明すると、真空装置４の内部スペース４ａが大気雰囲気ＡＰである時に、搬送機構で外部空間Ｏから内部スペース４ａへ第一ワークＷと第二ワークＳをそれぞれ搬入して、第一保持部材１と第二保持部材２に受け渡す。この受け渡し後は、真空装置４の内部スペース４ａ及び貼り合わせ空間４１を所定真空度の減圧雰囲気ＤＰにしてから、第一ワークＷと第二ワークＳの重ね合わせが行われる。この重ね合わせ後は、真空装置４の内部スペース４ａを大気雰囲気ＡＰに戻してから、貼合デバイスＡが外部空間Ｏへ搬出される。
真空装置４の具体例として図１〜図７に示される例の場合には、駆動部３による第一保持部材１と第二保持部材２の相対的な昇降移動と連動して、真空装置４の全体がＺ方向へ開閉動するように構成されている。
また、その他の例として図示しないが、駆動部３による第一保持部材１と第二保持部材２の相対的な昇降移動と連動して真空装置４の一部をＺ方向へ開閉動させることや、駆動部３による第一保持部材１と第二保持部材２の相対的な反転移動と連動して真空装置４の全体を開閉動させるなどの変更が可能である。
なお、シート状又はフィルム状の第二ワークＳは、枚葉単独での搬送が困難である。そこで第二ワークＳの搬送機構としては、枚葉の第二ワークＳを仮止めする保持部が設けられたトレー状の搬送機構を用いることが好ましい。この場合には、トレー状の搬送機構で枚葉の第二ワークＳを仮止めしたまま搬入し、トレー状の搬送機構と第二保持部材２を合体させて一体化することも可能である。枚葉の第二ワークＳを仮止めする保持部としては、粘着手段で第二ワークＳの略中心部分のみを仮止めすることが望ましい。

制御部６は、接離用の駆動部３や調圧部５だけでなく、第一ワークＷや第二ワークＳの搬送機構，保持チャック１１の駆動源，位置決め部２１駆動源などにも電気的に接続するコントローラーである。
制御部６となるコントローラーは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。

そして、制御部６の制御回路に設定されたプログラムを、貼合デバイスＡを生産するための製造方法として説明する。
本発明の実施形態に係る貼合デバイスＡの製造方法は、第一保持部材１又は第二保持部材２のいずれか一方か若しくは両方を相対的に接近移動させて両者間に貼り合せ空間４１を形成する接近移動工程と、貼り合わせ空間４１を大気雰囲気ＡＰから所定真空度の減圧雰囲気ＤＰまで減圧させる減圧工程と、第一保持部材１と第二保持部材２の相対的な接近移動に伴って第一ワークＷと第二ワークＳを重ね合わせる重ね合わせ工程と、重ね合わされた第一ワークＷ及び第二ワークＳの周囲を大気雰囲気ＡＰに戻す大気開放工程と、を主要な工程として含んでいる。
さらに、接近移動工程の前には、第一ワークＷと第二ワークＳの搬入工程を含むことが好ましく、大気開放工程の後には、貼合デバイスＡの搬出工程を含むことが好ましい。

搬入工程では、図１（ａ）などに示されるように、真空装置４の内部スペース４ａにおいて第一保持部材１と第二保持部材２を相対的に離隔移動させ、大気雰囲気ＡＰで待機している。この大気状態で第一ワークＷが搬送機構により第一保持部材１の第一ワーク接触面１ａに向け搬入されて、第一ワークＷの裏面Ｗ２を保持チャック１１で第一ワーク接触面１ａの所定位置にセットする。
また第二ワークＳが搬送機構により第二保持部材２の第二ワーク接触面２ａに向け搬入されて、第二ワークＳの外側面Ｓ３を位置決め部２１で第二ワーク接触面２ａの所定位置にセットする。

接近移動工程では、図１（ｂ）（ｃ）や図１（ｄ）の実線などに示されるように、接離用の駆動部３により第一保持部材１（第一ワークＷ）と第二保持部材２（第二ワークＳ）とを相対的に接近移動させる。
これにより、第一ワークＷと第二ワークＳの間に形成される貼り合わせ空間４１が徐々に狭くなる。
駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動は、図１（ｂ）などに示されるように、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に突き当たり接触した時点で一時停止させることが好ましい。これに続いて、後述する減圧条件が満たされた後に、駆動部３による接近移動を再度始動させることが好ましい。

減圧工程では、図１（ｂ）（ｃ）や（ｄ）の実線などに示されるように、駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動中に、調圧部５で真空装置４の内部スペース４ａ及び貼り合わせ空間４１（第一ワークＷ及び第二ワークＳの間）の気体を外部空間Ｏへ排出して大気雰囲気ＡＰから所定真空度の減圧雰囲気ＤＰに減圧させている。
詳しくは、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接触した後に、調圧部５による気体排気を開始して貼り合わせ空間４１が所定真空度の減圧雰囲気ＤＰに減圧され、この減圧雰囲気ＤＰで駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動を再度始動することが好ましい。
なお、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接触すると、押圧部１２の内側空間となる貼り合わせ空間４１は、真空装置４の内部スペース４ａと遮断される可能性がある。しかし、押圧部１２を連通性がある構造に構成した場合には、押圧部１２の内側空間（貼り合わせ空間４１）と押圧部１２による貼り合わせ空間４１の内外に気圧差が生じない。

重ね合わせ工程は、図１（ｃ）などに示されるように、駆動部３による第一保持部材１と第二保持部材２の相対的な接近移動に伴って、第一保持部材１に保持された第一ワークＷの表面Ｗ１と、第二保持部材２に保持された第二ワークＳの内側面Ｓ１とを更に接近させる。
このような接近移動により、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二ワークＳの外周部Ｓ２に圧接し、押圧部１２で第二ワークＳの外周部Ｓ２がその中心側から外周側へ向け押し広げられて、第二ワークＳの全体がＸＹ方向へ引っ張られる。
このため、図１（ｄ）の実線などに示されるように、中心側から外周側に引っ張られた第二ワークＳの内側面Ｓ１に対して、第一ワークＷの表面Ｗ１が重ね合わされる。
また必要に応じて、第一ワークＷと第二ワークＳの重ね合わせ前の時点で、第一ワークＷと第二ワークＳの接近方向（Ｚ方向）と交差するＸＹθ方向へ相対的に位置合わすることも可能である。

大気開放工程では、図１（ｄ）の二点鎖線などに示されるように、第一保持部材１の保持チャック１１による第一ワークＷの保持を解除するか、又は第二保持部材２の位置決め部２１による第二ワークＳの保持を解除してから、調圧部５で真空装置４の内部スペース４ａを減圧雰囲気ＤＰから大気雰囲気ＡＰに戻す。図示例では、第一保持部材１に対して第一ワークＷの保持を解除しているが、第二保持部材２に対して第二ワークＳの保持を解除するように変更してよい。
これにより、大気圧による第二ワークＳの内側と外側の圧力差で第二ワークＳの内側面Ｓ１が第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って密着し、貼合デバイスＡが完成する。
搬出工程では、真空装置４が開口したところで、貼り合せが完了した貼合デバイスＡを搬送機構により真空装置４の内部スペース４ａから外部空間Ｏへ搬出する。

次に、本発明の第一実施形態〜第五実施形態について説明する。
本発明の第一実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ１では、図１（ａ）〜（ｄ）及び図２（ａ）（ｂ）に示されるように、第一保持部材１の押圧部１２と第二保持部材２の外側部２２がそれぞれ額縁状に形成され、押圧部１２が弾性変形可能な先端部位１２ａを有し、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、押圧部１２の先端部位１２ａを傾斜した外側部２２に沿ってＸＹ方向へ拡開変形させるように構成されている。
これにより、ＸＹ方向へ拡開変形した押圧部１２の先端部位１２ａで第二ワークＳの外周部Ｓ２をそれぞれ第二保持部材２の外側部２２（傾斜面２２ａ）に沿って押し広げ、第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。
図１（ａ）〜（ｄ）及び図２（ａ）に示される例では、第一保持部材１の押圧部１２が第一保持部材１の四辺に沿った断面略Ｕ字形の中実状に成形された突片であり、押圧部１２の先端部位１２ａが第二ワークＳの外周部Ｓ２に接触することにより、押圧部１２の先端部位１２ａにおいて額縁状の角部１２ｂが分離される構造に構成されている。このため、押圧部１２の先端部位１２ａには、角部１２ｂの分離によって貼り合わせ空間４１（第一ワークＷ及び第二ワークＳの間）と真空装置４の内部スペース４ａとを連通する通路１２ｐが形成される。
なお、その他の例として図示しないが、角部１２ｂの分離構造に代えて、角部１２ｂに相当する連結部位を伸張変形させて、先端部位１２ａが四角枠状の形態を第一保持部材１の四辺と略平行に保持しながらスムーズに拡開変形させる構造に変更することも可能である。この場合には、押圧部１２に貫通孔や溝などからなる通路１２ｐを部分的に形成して、貼り合わせ空間４１（第一ワークＷ及び第二ワークＳの間）と真空装置４の内部スペース４ａとを連通させることが好ましい。
第二保持部材２の外側部２２は、変形不能な材料で第二保持部材２の四辺に沿って成形された四角枠状部位であり、第二保持部材２の四辺に向かって第二ワーク接触面２ａの延長平面から徐々に離隔する傾斜面２２ａを有している。
図１（ａ）〜（ｄ）及び図２（ｂ）に示される例では、傾斜面２２ａが平面状に形成されている。なお、その他の例として図示しないが、傾斜面２２ａを曲面状に形成するなどの変更が可能である。

また押圧部１２の変形例を図３（ａ）〜（ｄ）に示す。
図３（ａ）に示される押圧部１２は、押圧部１２の外側に凹状部位１２ｃを部分的に形成している。これにより、第一保持部材１及び第二保持部材２の接近移動による押圧部１２の突出方向（Ｚ方向）の押圧力（圧縮荷重）に伴って、先端部位１２ａのみがＸＹ方向へスムーズに弾性変形する。
図３（ｂ）に示される押圧部１２は、押圧部１２において突出方向（Ｚ方向）の中間部位１２ｄを外側へ断面略くの字形に折曲形成している。これにより、第一保持部材１及び第二保持部材２の接近移動による押圧部１２の突出方向（Ｚ方向）の押圧力（圧縮荷重）に伴い、中間部位１２ｄが更に折れ曲って、先端部位１２ａをＸＹ方向へスムーズに弾性変形させる。
図３（ｃ）に示される押圧部１２は、押圧部１２において先端側部分１２ｅを外側へ断面略Ｃ字形外側に屈曲形成している。これにより、第一保持部材１及び第二保持部材２の接近移動による押圧部１２の突出方向（Ｚ方向）の押圧力（圧縮荷重）に伴い、先端側部分１２ｅが更に屈曲して、先端部位１２ａをＸＹ方向へスムーズに弾性変形させる。
図３（ｄ）に示される押圧部１２は、押圧部１２において外側に中空部位１２ｆを部分的に形成している。これにより、第一保持部材１及び第二保持部材２の接近移動による押圧部１２の突出方向（Ｚ方向）の押圧力（圧縮荷重）に伴って、先端部位１２ａのみがＸＹ方向へスムーズに弾性変形する。
なお、押圧部１２の他の変形例として図３（ｅ）（ｆ）に示すように、押圧部１２において先端部位１２ａのワーク当接面を凹凸状に形状変更することも可能である。
図３（ｅ）に示される押圧部１２は、押圧部１２において先端部位１２ａのワーク当接面にエンボス加工などで多数の細かい凹凸部位１２ｇを形成している。
図３（ｆ）に示される押圧部１２は、押圧部１２において先端部位１２ａのワーク当接面に複数の大きな凹凸部分１２ｈを形成している。
これにより、図３（ｅ）（ｆ）に示される押圧部１２は、第二ワークＳの外周部Ｓ２に対する先端部位１２ａの摩擦抵抗を高めると同時に、外周部Ｓ２との接触面積を減少させて、第一ワークＷと第二ワークＳの重ね合わせ後には第二ワークＳの外周部Ｓ２からの剥離性能を向上させることができる。
また図示しないが、図３（ａ）〜（ｆ）においても連通性を有する構造として、真空装置４の内部スペース４ａと連通する通路１２ｐを形成することが好ましい。

本発明の第二実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ２では、図４（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２の外側部２２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んだ第一保持部材１の押圧部１２の押し込みに伴って弾性変形する可撓部位２２ｂを有する構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。なお、図３（ｅ）（ｆ）に示すように、押圧部１２において先端部位１２ａのワーク当接面を凹凸状に形状変更することも可能である。
第二保持部材２の外側部２２には、押圧部１２よりも軟質で弾性変形可能な材料からなる可撓部位２２ｂが形成される。可撓部位２２ｂは、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んだ第一保持部材１の押圧部１２による押し込みで部分的に圧縮変形する。
これにより、押圧部１２の先端部位１２ａの当接及び押し込みで圧縮変形した第二保持部材２の可撓部位２２ｂと、可撓部位２２ｂに入り込んだ押圧部１２の先端部位１２ａとの間に、第二ワークＳの外周部Ｓ２が挟み込まれてそれぞれ折り曲げれる。この折り曲げに伴って第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。

本発明の第三実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ３では、図５（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２の外側部２２が第一保持部材１の押圧部１２と対向する凹溝２２ｃを有し、押圧部１２が駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動に伴って凹溝２２ｃに入り込む先端部位１２ａを有する構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。なお、図３（ｅ）（ｆ）に示すように、押圧部１２において先端部位１２ａのワーク当接面を凹凸状に形状変更することも可能である。
第二保持部材２の外側部２２には、窪みや凹状溝などからなる凹溝２２ｃが第一保持部材１の押圧部１２とＺ方向へ対向して額縁状に形成される。凹溝２２ｃには、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで押圧部１２の先端部位１２ａが嵌入するように構成されている。
これにより、第二保持部材２の外側部２２の凹溝２２ｃと、凹溝２２ｃに入り込んだ押圧部１２の先端部位１２ａとの間に、第二ワークＳの外周部Ｓ２が挟み込まれてそれぞれ折り曲げれる。この折り曲げに伴って第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。

本発明の第四実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ４では、図６（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第一保持部材１及び第二保持部材２が、第二ワークＳの外周部Ｓ２よりも外側の外縁部Ｓ４と対向する挟持部１３を有する構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
挟持部１３は、第一保持部材１と第二保持部材２に亘って、第二ワークＳの外縁部Ｓ４をＺ方向へ挟み込むようにそれぞれ形成される。挟持部１３のＺ方向への間隔は、図６（ａ）に示される初期状態において第一保持部材１の押圧部１２から第二ワークＳの外周部Ｓ２までの間隔と同じか、又はそれよりも短く設定されて、第一ワークＷと第二ワークＳの相対的な接近移動により、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接すると同時か、又はそれよりも前のタイミングで挟持部１３の間に第二ワークＳの外縁部Ｓ４を挟み込み、第二ワークＳの全体が移動不能に挟持さる。
挟持部１３の具体例として図６（ａ）〜（ｄ）に示される場合には、第一保持部材１に押圧部１２の周囲を囲むように形成された額縁状の突起部位１３ａと、第二保持部材２に外側部２２の周囲を囲むように形成された額縁状の平面部位１３ｂとからなる。また、その他の例として図示しないが、第一保持部材１に平面部位１３ｂを形成し且つ第二保持部材２に突起部位１３ａを形成することや、第一保持部材１及び第二保持部材２に突起部位１３ａを形成することなどの変更が可能である。
さらに図６（ａ）〜（ｄ）に示される例では、第二保持部材２の外側部２２に第三実施形態の凹溝２２ｃを形成している。また、その他の例として図示しないが、第三実施形態の凹溝２２ｃに代えて、第二保持部材２の外側部２２に第一実施形態の傾斜面２２ａを形成することや、第二保持部材２の外側部２２に第二実施形態の可撓部位２２ｂを形成することなどの変更が可能である。
これにより、第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動に伴って図６（ｂ）に示されるように、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２に接すると同時か、又は第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２に接する前のタイミングで、挟持部１３の間に第二ワークＳの外縁部Ｓ４を挟み込む。このため、第二ワークＳの全体がＸＹ方向へ移動不能に挟持される。その後も続く第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動により、第一保持部材１の押圧部１２で第二ワークＳの外周部Ｓ２をその中心側から外周側へ向け押し広げて、第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。

ところで、第一ワークＷは、その表面Ｗ１の形状が図１〜図６に示されるような平面状なものに限らず、表面Ｗ１の略全体や一部を凹凸状に形成したものなどのように多種類ある。
そこで、本発明の第五実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置Ｂ５では、図７（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２の第二ワーク接触面２ａが第一ワークＷの表面Ｗ１の形状と嵌り合う凹凸部２３を有する構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
凹凸部２３の形状は、第一ワークＷの表面Ｗ１の形状と対応して第二ワーク接触面２ａの略全体を凹凸状に形成したものや、第二ワーク接触面２ａの一部を凹凸状に形成したものなど多種類あり、これらの凹凸部２３を予め用意する必要がある。
凹凸部２３の具体例として図７（ａ）〜（ｄ）に示される場合には、第一ワークＷの表面Ｗ１がその略全体を曲面状に突出させた断面平凸形状であり、凹凸部２３の形状を断面平凹形状に形成している。
また、その他の例として図示しないが、第一ワークＷの表面Ｗ１がその略全体を曲面状に凹ませた断面平凹形状である場合には、凹凸部２３の形状を断面平凸形状に変更する。それ以外に第一ワークＷの表面Ｗ１の一部に凹凸が有る場合には、凹凸部２３の一部に凹凸を有する形状に変更する。
さらに図示例では、第二ワーク接触面２ａ及び凹凸部２３などが形成された別部材２４を第二保持部材２に取り付け固定している。このため、第一ワークＷの表面Ｗ１が形状変更した場合やサイズ変更した時には、別部材２４の部品交換で対応できて、作業性に優れ且つコストの低減化も図れる。
なお、図７（ａ）〜（ｄ）に示される例では、第二保持部材２の外側部２２に第一実施形態の傾斜面２２ａを形成している。また、その他の例として図示しないが、第一実施形態の傾斜面２２ａに代えて、第二保持部材２の外側部２２に第二実施形態の可撓部位２２ｂを形成することや、第二保持部材２の外側部２２に第三実施形態の凹溝２２ｃを形成することなどの変更が可能である。
これにより、第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動に伴って図７（ｄ）に示されるように、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、第一ワークＷの表面Ｗ１が第二ワークＳを挟んで、第二保持部材２の第二ワーク接触面２ａの嵌合凹凸部２３と嵌り合う。この嵌合により第一ワークＷの表面Ｗ１の形状に沿って第二ワークＳが隙間なく重ね合わされる。

このような本発明の実施形態に係る貼合デバイスＡの製造装置及び製造方法Ｂによると、駆動部３で第一保持部材１に保持された変形不能な第一ワークＷと、第二保持部材２に保持された変形可能な第二ワークＳを相対的に接近移動させることにより、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接する。
この頃には調圧部５で貼り合わせ空間４１が所定真空度の減圧雰囲気ＤＰに減圧される。
これに続く第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動により、第一保持部材１の押圧部１２で第二ワークＳの外周部Ｓ２がその中心側から外周側へ向け押し広げられて第二ワークＳの全体に張力を与える。
これにより、中心側から外周側に引っ張られた第二ワークＳの内側面Ｓ１が、所定真空度の減圧雰囲気ＤＰで第一ワークＷの表面Ｗ１と重ね合わされる。
この重ね合わせ後に第一ワークＷ及び第二ワークＳの周囲を大気雰囲気ＡＰに戻すと、大気圧による第二ワークＳの内側と外側の圧力差で第二ワークＳの内側面Ｓ１が第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って密着する。
したがって、第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って変形可能な第二ワークＳを無気泡で且つシワ無く均一に貼り合わせることができる。
その結果、ローラの移動による押圧で基板とドライフィルムレジストとの間に残った気泡を追い出して貼り合せる従来のものに比べ、第一ワークＷの表面Ｗ１に微細な凹凸面や曲面があったとしても、微細な凹凸面や曲面に第二ワークＳの内側面Ｓ１を完全に密着させることができる。
ところで、第一保持部材１や第二保持部材２に内蔵されたヒーターで、第一ワークＷや第二ワークＳを所定温度に加熱しながら貼り合せてる場合には、シート状又はフィルム状の第二ワークＳが熱膨張して伸びるため、シワが生じて気泡も残り易くなる。このように第二ワークＳが熱膨張して伸びても、第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って無気泡で且つシワ無く均一に貼り合わせることができる。
また、シート状又はフィルム状の第二ワークＳを加熱した場合には、第二ワークＳが熱膨張して伸び易くなるため、ローラの移動などによる押圧力だけでは潰れ難い凹凸面に生じる空隙が、重ね合わせ後の大気圧による第二ワークＳの内外圧力差で潰れ易くなり、第二ワークＳと第一ワークＷの密着密着性が向上して、より均一に貼り合わせることができる。
このため、高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

特に、図１（ｂ）（ｃ）などに示されるように、制御部６は、押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２と接触してから、調圧部５で貼り合わせ空間４１を減圧させるように制御することが好ましい。
この場合には、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接触することより、第二ワークＳに対して第二ワークＳの全体がＸＹ方向へ移動不能に仮止めされる。
この仮止め状態であれば、調圧部５により貼り合わせ空間４１の気体を外部空間Ｏへ排出しても、その気流や第二ワークＳと第二保持部材２の間に残留した空気の膨張に伴う浮上などで、第二ワークＳが不意に移動しない。
したがって、第一ワークＷの表面Ｗ１に対する第二ワークＳの位置ズレを防止することができる。
その結果、より高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

さらに、図１（ａ）〜（ｄ），図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第一保持部材１の押圧部１２が、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の傾斜した外側部２２（傾斜面２２ａ）との当接に伴って弾性的に拡開変形する先端部位１２ａを有することが好ましい。
この場合には、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、押圧部１２の先端部位１２ａで第二ワークＳの外周部Ｓ２をそれぞれ第二保持部材２の外側部２２（傾斜面２２ａ）に沿って押し広げ、第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。
したがって、簡単な構造で第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って変形可能な第二ワークＳを確実に貼り合わせることができる。
その結果、より高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

また、図４（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２の外側部２２が、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んだ第一保持部材１の押圧部１２の押し込みに伴って弾性的に圧縮変形する可撓部位２２ｂを有することが好ましい。
この場合には、第二保持部材２の可撓部位２２ｂが、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んだ第一保持部材１の押圧部１２との当接で圧縮変形する。
これにより、圧縮変形した可撓部位２２ｂと、可撓部位２２ｂに入り込んだ押圧部１２の先端部位１２ａとの間に、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟み込まれて折り曲げれる。このため、第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。
したがって、簡単な構造で第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って変形可能な第二ワークＳを確実に貼り合わせることができる。
その結果、より高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

また、図５（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２の外側部２２が、第一保持部材１の押圧部１２と対向する凹溝２２ｃを有し、押圧部１２が駆動部３による第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動に伴って凹溝２２ｃに入り込む先端部位１２ａを有することが好ましい。
この場合には、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで押圧部１２の先端部位１２ａが第二保持部材２の凹溝２２ｃに入り込む。 これにより、第二保持部材２の凹溝２２ｃと、凹溝２２ｃに入り込んだ押圧部１２の先端部位１２ａとの間に、第二ワークＳの外周部Ｓ２が挟み込まれて折り曲げれる。このため、第二ワークＳの全体が外側に引っ張られる。
したがって、簡単な構造で第一ワークＷの表面Ｗ１に沿って変形可能な第二ワークＳを確実に貼り合わせることができる。
その結果、より高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

さらに、図６（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第一保持部材１及び第二保持部材２が、第二ワークＳの外周部Ｓ２よりも外側の外縁部Ｓ４と対向する挟持部１３を有し、挟持部１３の間隔を、第一保持部材１の押圧部１２から第二保持部材２の外側部２２までの間隔と同じ又はそれよりも短く設定することが好ましい。
この場合には、第一保持部材１に保持された第一ワークＷと、第二保持部材２に保持された第二ワークＳの相対的な接近移動に伴い、第一保持部材１の押圧部１２が第二ワークＳの外周部Ｓ２を挟んで第二保持部材２の外側部２２に接触するのと同時か、又はそれよりも前の時点で挟持部１３の間に第二ワークＳの外縁部Ｓ４を挟み込み、第二ワークＳの全体が移動不能に挟持される。 これに続く第一ワークＷと第二ワークＳの接近移動により、第一保持部材１の押圧部１２で第二ワークＳの外周部Ｓ２がその中心側から外周側へ向け押し広げられて第二ワークＳの全体に張力を与える。
したがって、第一ワークＷの表面Ｗ１に対して変形可能な第二ワークＳを位置ズレせず確実に貼り合わせることができる。
その結果、より高精度な貼り合せが行えて品質の優れた貼合デバイスＡを提供できる。

また、図７（ａ）〜（ｄ）に示されるように、第二保持部材２が、第二ワークＳを挟んで第一ワークＷの表面Ｗ１と対向する第二ワーク接触面２ａを有し、第二ワーク接触面２ａが第一ワークＷの表面Ｗ１の形状と嵌り合う嵌合凹凸部２３を有することが好ましい。
この場合には、第一ワークＷ及び第二ワークＳの接近移動に伴い、第一ワークＷの表面Ｗ１が第二ワークＳを挟んで、第二保持部材２の第二ワーク接触面２ａの嵌合凹凸部２３と嵌り合う。 これにより、第一ワークＷの表面Ｗ１の形状に沿って第二ワークＳが隙間なく重ね合わされる。
したがって、第一ワークＷの表面Ｗ１の形状に対応して変形可能な第二ワークＳを重ね合わせることができる。
その結果、第一ワークＷの表面Ｗ１の形状が略全体や一部を凹凸状に形成したものなどであっても、変形可能な第二ワークＳを無気泡で且つシワ無く均一に貼り合わせることができる。

なお、前示の実施形態において図示例では、第一ワークＷ及び第二ワークＳが略矩形である場合を示したが、これに限定されず、第一ワークＷ及び第二ワークＳが円形や楕円形などであってもよい。
この場合には、第一保持部材１や第二保持部材２を第一ワークＷ及び第二ワークＳの形状に対応した円形や楕円形などに形成し、第一保持部材１の押圧部１２や第二保持部材２の外側部２２を環状（円環状）などに形成することで、対応可能となる。
この場合においても、前述した第一実施形態〜第五実施形態と同様な作用や利点が得られる。

Ｂ 貼合デバイスの製造装置 １ 第一保持部材
１２ 押圧部 １３ 挟持部
２ 第二保持部材 １２ａ 先端部位
２ａ 第二ワーク接触面 ２２ 外側部
２２ａ 傾斜した外側部（傾斜面） ２２ｂ 可撓部位
２２ｃ 凹溝 ２３ 凹凸部
３ 駆動部 ４１ 貼り合わせ空間
５ 調圧部 ６ 制御部
Ａ 貼合デバイス Ｗ 第一ワーク
Ｗ１ 表面 Ｓ 第二ワーク
Ｓ１ 内側面 Ｓ２ 外周部
Ｓ４ 外縁部 ＡＰ 大気雰囲気
ＤＰ 減圧雰囲気

Claims (8)

1. 変形不能な第一ワークを着脱自在に保持する第一保持部材と、
   変形可能な第二ワークを着脱自在に保持する第二保持部材と、
   前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させる駆動部と、
   前記第一保持部材に保持された前記第一ワークと前記第二保持部材に保持された前記第二ワークとの間に形成される貼り合わせ空間と、
   前記貼り合わせ空間を大気雰囲気から所定真空度の減圧雰囲気まで内圧調整する調圧部と、
   前記駆動部及び前記調圧部を作動制御する制御部と、を備え、
   前記第一保持部材は、前記第二保持部材に保持された前記第二ワークの外周部と対向する押圧部を有し、
   前記制御部は、前記駆動部による前記第一ワークと前記第二ワークの接近移動に伴い、前記押圧部が前記第二ワークの前記外周部を挟んで前記第二保持部材の外側部に接し、前記調圧部で前記貼り合わせ空間が減圧雰囲気に減圧され、その後の前記第一ワークと前記第二ワークの接近移動により、前記押圧部が前記第二ワークの前記外周部に対して前記第二ワークの中心側から外周側へ向かう張力を与えながら、前記第一ワークの表面と前記第二ワークの内側面が重ね合わされるように制御することを特徴とする貼合デバイスの製造装置。
2. 前記制御部は、前記押圧部が前記第二ワークの前記外周部を挟んで前記第二保持部材の前記外側部と接触してから、前記調圧部で前記貼り合わせ空間が減圧されるように制御することを特徴とする請求項１記載の貼合デバイスの製造装置。
3. 前記第一保持部材の前記押圧部が、前記第二ワークの前記外周部を挟んで前記第二保持部材の傾斜した外側部との当接に伴って弾性的に拡開変形する先端部位を有することを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
4. 前記第二保持部材の前記外側部が、前記第二ワークの前記外周部を挟んだ前記第一保持部材の前記押圧部の押し込みに伴って弾性的に圧縮変形する可撓部位を有することを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
5. 前記第二保持部材の前記外側部が、前記第一保持部材の前記押圧部と対向する凹溝を有し、前記押圧部が前記駆動部による前記第一ワークと前記第二ワークの接近移動に伴って前記凹溝に入り込む先端部位を有することを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
6. 前記第一保持部材及び前記第二保持部材が、前記第二ワークの前記外周部よりも外側の外縁部と対向する挟持部を有し、前記挟持部の間隔が、前記第一保持部材の前記押圧部から前記第二保持部材の前記外側部までの間隔と同じ又はそれよりも短く設定されることを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
7. 前記第二保持部材が、前記第二ワークを挟んで前記第一ワークの前記表面と対向する第二ワーク接触面を有し、前記第二ワーク接触面が前記第一ワークの前記表面の形状と嵌り合う嵌合凹凸部を有することを特徴とする請求項１又は２記載の貼合デバイスの製造装置。
8. 変形不能な第一ワークが着脱自在に保持された第一保持部材又は変形可能な第二ワークが着脱自在に保持された第二保持部材のいずれか一方若しくは両方を駆動部で相対的に接近移動させて両者間に貼り合せ空間を形成する接近移動工程と、
   前記貼り合わせ空間を調圧部で大気雰囲気から所定真空度の減圧雰囲気まで減圧させる減圧工程と、
   前記駆動部による前記第一保持部材と前記第二保持部材の相対的な接近移動に伴って前記第一ワーク及び前記第二ワークを重ね合わせる重ね合わせ工程と、
   重ね合わされた前記第一ワーク及び前記第二ワークの周囲を前記調圧部で前記大気雰囲気に戻す大気開放工程と、を含み、
   少なくとも前記重ね合わせ工程では、前記第一保持部材の押圧部が前記第二ワークの前記外周部に対して前記第二ワークの中心側から外周側へ向かう張力を与えながら、前記第一ワークの表面と前記第二ワークの内側面を重ね合わせることを特徴とする貼合デバイスの製造方法。

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