JP2018075804A - 真空貼合装置 - Google Patents

Abstract

【課題】凹面を有するワークに貼付体を押し付ける部材を簡単な構造としつつ、凹面に沿って密着するように粘着剤を貼り付けることが可能な真空貼合装置を提供する。
【解決手段】真空中で、ワークＷ１の凹面ＣＳを含む貼付面ＢＳに、剥離シートＰに粘着剤ＡＤが貼り付けられた粘着シートＷ２を貼り付ける真空貼合装置であって、弾性体によって形成され、貼付面ＢＳに沿う形状の押付面４１を有する押付部材４０と、剥離シートＷ２が押付面４１に密着する張力を与える張力付与部６０と、ワークＷ１を保持し、押付部材４０に対する相対移動により、粘着シートＷ２を介して、貼付面ＢＳに押付面４１を押し付ける保持部７０とを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、真空貼合装置に関する。

一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置、いわゆるフラットパネルディスプレイは、表示パネルとその他のワークが筐体に組み込まれて構成されている。その他のワークとしては、操作用のタッチパネル、表面を保護するカバーパネル、バックライト、バックライトの導光板等がある。

これらのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で筐体に組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。

また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、複数積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。

このような表示装置用部材を使用した電子機器において、筐体側面部分には、機器操作用の機械的なスイッチである物理ボタンが設けられていることが多い。しかし、近年では、柔軟性の高い表示装置用部材を使用して、筐体の表面だけでなく、筐体の側面にも表示領域を延設し、側面部分においても、タッチパネルに触れることによる操作を可能とする製品が存在している。この場合、表示装置用部材の表面から側面にかけては、曲面形状となっている。このため、かかる表示装置用部材の製造においては、曲面形状のワークを貼り合わせる作業が必要となる。

特許第５８５２２４４号公報

一般的な平板状のワークに対する貼り付け作業は、まず、ワークの一方の面に粘着剤を付着させて、この粘着剤を介して、他のワークを貼り付けることにより行われる。粘着剤を付着させる方法としては、例えば、剥離シートに粘着剤が貼り付けられた粘着シートを用いる方法がある。この方法は、ワークの貼合面に、平板状のプレートによって粘着シートの粘着剤を押し付けて、剥離シートを剥離することにより行われる。

但し、この方法によって曲面形状のワークに、粘着剤を貼り付ける場合、曲面の内側の凹面において粘着剤が密着せず、ワークとの間に隙間が生じる。これに対処するため、ワークに粘着シートを押し当てた後、特別な治具を用いて、凹面部分に粘着剤が貼り合わされるように押し均すことが考えられる（特許文献１参照）。しかし、ワークの内側の狭い領域であって、ワークを押し当てる部分に、複雑な機構を設ける必要があり、一般的な貼合装置とは異なる特別な装置として構成する必要がある。これは、例えば、ワークに粘着剤を貼り付けた後、他のワークを曲面形状に沿って貼り付ける場合にも同様である。以下、曲面形状のワークに貼り付ける粘着剤、粘着剤を介して貼り付けられる他のワークを、貼付部材と呼ぶ。また、剥離シートに貼付部材が貼り付けられた部材を貼付体と呼ぶ。

本発明の目的は、凹面を有するワークに貼付体を押し付ける部材を簡単な構造としつつ、凹面に沿って密着するように貼付体を貼り付けることが可能な真空貼合装置を提供することにある。

上記の目的を達成するために、本発明は、真空中で、ワークの凹面を含む貼付面に、剥離シートに貼付部材が貼り付けられた貼付体を貼り付ける真空貼合装置であって、弾性体によって形成され、前記貼付面に沿う形状の押付面を有する押付部材と、前記剥離シートが前記押付面に密着する張力を与える張力付与部と、前記ワークを保持し、前記押付部材に対する相対移動により、前記貼付体を介して、前記貼付面に前記押付面を押し付ける保持部と、を有する。

前記押付部材により前記貼付面に押し付けられる前記貼付体の前記貼付部材が、前記凹面の縁部以外の部分から前記貼付面に接するように、前記凹面の縁部に対して、前記押付面の縁部が、押し付け方向に交差する方向にずれてもよい。

前記張力付与部は、前記押付面と反対側へ向かう方向に、前記剥離シートの縁部を引っ張る引張治具を有していてもよい。

前記引張治具は、前記剥離シートの縁部が巻き付けられるローラを有していてもよい。

前記押付部材の押付面の中央が、前記ワークの貼付面に向かって隆起していてもよい。前記保持部は、前記ワークを前記押付面に向かって隆起するように湾曲させる押圧部を有していてもよい。前記貼付部材は、粘着剤であってもよい。

真空中で、前記押付部材によって前記貼付部材が前記貼付面に押し付けられている状態で、前記張力付与部による張力を解除する解除機構を有していてもよい。

本発明によれば、凹面を有するワークに貼付体を押し付ける部材を簡単な構造としつつ、凹面に沿って密着するように粘着剤を貼り付けることが可能となる。

実施形態の粘着剤の貼り付け対象となるワークの斜視図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。 実施形態の粘着シートを示す平面図である。 実施形態の真空貼合装置の概略断面図である。 押付部材を示す斜視図である。 押付部材とワークとの位置関係を示す説明図である。 押付部材の形成方法を示す説明図である。 張力付与部を示す斜視図である。 張力付与部による張力の付与を示す説明図である。 真空貼合装置のワーク及び粘着シートの装着時を示す概略断面図である。 真空貼合装置の真空引き時を示す概略断面図である。 真空貼合装置の貼り合せ時を示す概略断面図である。 真空貼合装置の大気開放時を示す概略断面図である。 他の実施形態の張力付与部を示す斜視図である。 他の実施形態の粘着シートを示す平面図である。 他の実施形態の真空貼合装置の概略断面図である。 他の実施形態の押付部材を示す断面図である。 他の実施形態の真空貼合装置の概略断面図である。 実施形態に適用可能なワークの例を示す断面図である。

本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明
する。なお、各構成部の位置及び大きさ等は、構造を分かり易くするための便宜的な表現に過ぎない。

［構成］
［ワーク］
ワークＷ１は、図１（Ａ）に示すように、凹面ＣＳを含む貼付面ＢＳを有する部材である。貼付面ＢＳは、図１（Ｂ）に示すように、粘着剤ＡＤが貼り付けられる面である。凹面ＣＳは、ワークＷ１の一部を湾曲又は屈曲することにより伸張した面と反対側の面である。例えば、ワークＷ１は方形の板状であり、凹面ＣＳは、ワークＷ１の対向する一対の側辺部ＳＥが湾曲又は屈曲されることにより形成されている。貼付面ＢＳの凹面ＣＳ以外の領域は、平坦面ＦＳである。このため、図１の例では、凹面ＣＳと平坦面ＦＳによって貼付面ＢＳが構成されている。

本実施形態では、ワークＷ１として、表示装置のカバーパネルを用いる。カバーパネルは、表示装置の外装を構成する透光性の基板である。カバーパネルの材質は、例えば、ガラスやアクリルである。カバーパネルの貼付面ＢＳには、遮光性の材料による印刷枠Ｂが形成されている。図１（Ａ）における黒塗りの領域は、印刷枠Ｂの領域である。但し、印刷は、図１（Ｂ）に示すように、貼付面ＢＳ側になされている。

印刷枠Ｂの内縁に囲まれた透光性のある領域は、表示装置の表示部分を外部から視認可能な表示領域Ｄを形成している。表示領域Ｄは、例えば、矩形である。但し、表示領域Ｄは、平坦面ＦＳから凹面ＣＳに及ぶ領域まで形成されている。表示領域Ｄに粘着剤ＡＤの縁部が存在すると、この縁部が視認性を阻害する。このため、粘着剤ＡＤは少なくとも表示領域Ｄを覆う領域に貼り付けられる必要がある。つまり、表示領域Ｄは、粘着剤ＡＤが貼り付けられるべき最低限の領域となる。

［粘着シート］
上記のようなワークＷ１に対して、剥離シートに貼付部材が貼り付けられた貼付体が貼り付けられる。剥離シートは、貼付部材に対して密着するとともに、剥離性を持たせたシートである。本実施形態においては、貼付体は、図２に示すように、剥離シートＰに貼付部材としての粘着剤ＡＤが貼り付けられた粘着シートＷ２である。例えば、粘着シートＷ２としては、粘着剤ＡＤが剥離シートＰに貼り付けられたＯＣＡ（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｃｌｅａｒ Ａｄｈｅｓｉｖｅ）を用いる。粘着剤ＡＤは、例えば、アクリル系、シリコン系、ウレタン系の合成樹脂である。剥離シートＰは、シリコーン、その他の樹脂を用いて、粘着剤ＡＤに剥離性を持たせたフィルムである。

粘着シートＷ２は、矩形の剥離シートＰの表面に、これよりも小さな矩形の粘着剤ＡＤが貼付されている。粘着剤ＡＤの周囲には、剥離シートＰが露出した枠状のマージンＭを有している。また、上記の理由から、粘着剤ＡＤは、少なくとも表示領域Ｄよりも大きな外形を有していることが好ましい。

［真空貼合装置］
本実施形態の真空貼合装置を、図３〜図７を参照して説明する。真空貼合装置は、真空中で、ワークＷ１の凹面ＣＳを含む貼付面ＢＳに、粘着シートＷ２の粘着剤ＡＤを貼り付ける装置である。真空貼合装置は、図３に示すように、ステージ１０、真空チャンバ２０、減圧部３０、押付部材４０、支持部５０、張力付与部６０、保持部７０を有する。

ステージ１０は、水平な平坦面を有する台である。真空チャンバ２０は、ステージ１０の平坦面を覆うことにより、内部に真空室を形成する容器である。真空チャンバ２０は、貼り合わされるワークＷ１、粘着シートＷ２の周囲を覆い、ステージ１０との間を密閉することにより真空室を構成する。つまり、本実施形態は、真空中で、ワークＷ１に粘着シートＷ２の粘着剤ＡＤを貼り付けるための真空室を有する。なお、真空チャンバ２０は、図示しない駆動機構によって、ステージ１０に対して接触して真空室を形成する密閉位置と、ステージ１０から離れて内部を開放する開放位置との間を移動可能に設けられている。

減圧部３０は、真空チャンバ２０に接続され、真空室を減圧することにより真空とする装置である。減圧部３０は、配管３１、真空ポンプ３２及びバルブ３３を有する。配管３１は一端が真空室に連通し、他端が真空ポンプ３２に接続されている。真空ポンプ３２は、真空室内から排気する排気装置である。

押付部材４０は、図４に示すように、弾性体によって形成され、貼付面ＢＳに沿う形状の押付面４１を有する部材である。貼付面ＢＳに沿う形状とは、貼付面ＢＳに押し付けられることにより貼付面ＢＳに合致する形状と、押し付けられていない状態で貼付面ＢＳに一致している形状を含む。貼付面ＢＳに合致するとは、粘着シートＷ２の粘着剤ＡＤの全体を貼付面ＢＳに密着させるように変形することをいう。後述するように、押付面４１が、粘着シートＷ２に張力を与えると縮小し、貼付面ＢＳに押し付けられると貼付面ＢＳに合致する場合も含む。貼付面ＢＳに一致している形状とは、貼付面ＢＳに収まる略同一形であることをいう。押付部材４０は略直方体形状であり、その天面に押付面４１が形成されている。押付面４１と反対側の面は、平坦な固定面４２となっている。

押付部材４０を構成する弾性体は、弾性力を有する材料により形成されている。例えば、シリコーンゴム等の合成樹脂を用いることができる。弾性体は、後述の第２のプレート７１による押圧により容易に押し潰すことができ、なおかつ、第２のプレート７１による押圧によって潰れ切ってしまうことなく、粘着剤ＡＤを貼付面ＢＳに密着させるだけの反発力を有する。また、弾性体は、後述する剥離シートＰが張り付けられる力によって、容易に変形ができる程度の弾性力を有する。

押付面４１は、天面の一対の側辺に肩部４１ａを有する。肩部４１ａは、ワークＷ１の貼付面ＢＳに押し付けられると、凹面ＣＳに沿う曲面を有している。つまり、本実施形態の押付部材４０は、貼付面ＢＳに押し付けられることにより貼付面ＢＳに合致する形状を有する。但し、図５（Ａ）に示すように、肩部４１ａの断面の曲率半径Ｒ´は、凹面ＣＳの断面の曲率半径Ｒよりも小さい。押付面４１の肩部４１ａ以外の領域は、平坦面ＦＳに沿う平面部４１ｂである。この場合、肩部４１ａと平面部４１ｂによって押付面４１が構成されている。

支持部５０は、図３に示すように、押付部材４０を支持する構成部である。支持部５０は、第１のプレート５１、駆動機構５２を有する。第１のプレート５１は、押付部材４０の固定面４２が固定される平板状の部材である。例えば、図示しない接着剤又は両面テープを介して、押付部材４０の固定面４２が第１のプレート５１に接着により固定されている。第１のプレート５１は、駆動機構５２を介して、ステージ１０上に水平方向に設置されている。駆動機構５２は、第１のプレート５１をＸ方向、Ｙ方向及びθ方向に駆動する。なお、Ｘ方向は水平な一方向であり、Ｙ方向はＸ方向に直交する水平な一方向であり、θ方向は垂直方向を軸とする回転方向である。

押付部材４０は、図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、貼付面ＢＳに押し付けられる粘着シートＷ２の粘着剤ＡＤが、凹面ＣＳの縁部Ｅ以外の部分から貼付面ＢＳに接するように、凹面ＣＳの縁部Ｅに対して、押付部材４０の押付面４１の縁部Ｅ′が、押し付け方向に交差する方向にずれている。凹面ＣＳの縁部Ｅは、貼付面ＢＳの最外辺である。押付面４１の縁部Ｅ´は、凹面ＣＳの縁部Ｅに対応する押付面４１の最外縁である。図５（Ａ）〜（Ｃ）では、押付方向を白塗りの矢印でしめす。また、押し付け方向に交差する方向を黒塗りの矢印で示す。さらに、ずれ量をαで示す。

本実施形態では、ワークＷ１の一対の側辺部ＳＥの内側に、凹面ＣＳの縁部Ｅが設けられているため、押付面４１の縁部Ｅ´は、凹面ＣＳの縁部Ｅよりも内側にずれている。このようなワークＷ１に対する押付部材４０の配置は、後述する保持部７０によるワークＷ１の保持位置、押付部材４０のサイズ、押付部材４０の固定位置、駆動機構５２による押付部材４０の位置決めによって決定される。なお、実際の粘着剤ＡＤの厚み、剥離シートＰの厚み、ずれ量α、押付部材４０の変形量等は僅かであるが、図５（Ａ）〜（Ｃ）では、理解し易くするために、誇張して表現している。

押付部材４０の形成には、例えば、図６に示すように、ワークＷ１の貼付面ＢＳと同様の形状を有する型Ｙ１と、押付部材４０の固定面４２側を形成する型Ｙ２を用いる。この型Ｙ１、Ｙ２を合わせて形成された内部のキャビティに、材料を流し込んで固めることにより、ワークＷ１の貼付面ＢＳを象った押付面４１を有する押付部材４０を形成できる。但し、上記のように、肩部４１ａの断面の曲率半径Ｒ´、押付面４１の縁部Ｅ´を設定するために、型Ｙ１の押付面４１を形成する部分は、ワークＷ１の貼付面ＢＳよりも小さな形状とすることが考えられる。

張力付与部６０は、剥離シートＰが押付面４１に密着する張力を与える構成部である。押付面４１へ密着とは、剥離シートＰの粘着剤ＡＤと反対側の面が押付面４１に密着することをいい、密着により押付面４１が変形又は縮小する場合も、変形又は縮小しない場合も含む。張力付与部６０は、引張治具６１を有する。引張治具６１は、図７に示すように、押付面４１と反対側へ向かう方向に、剥離シートＰの縁部を引っ張る治具である。押付面４１と反対側に向かう方向とは、押付部材４０が固定された側に向かういずれかの方向をいい、図８の白塗りの矢印で示す鉛直下方のみならず、鉛直方向に対して傾斜した方向を含む。

引張治具６１は、ローラ６２、軸受６３を有する。ローラ６２は、剥離シートＰの対向する一対の縁部のマージンＭが巻き付けられる円筒形状の部材である。一対のローラ６２は、押付部材４０の肩部４１ａが設けられた一対の側辺に平行に設けられている。軸受６３は、第１のプレート５１上に固定され、ローラ６２の両端を軸支する部材である。軸受け６３は、略Ｌ字形状のブロックであり、ローラ６２に剥離シートＰの縁部を巻いた状態で、所望の回動位置にて保持される摩擦力が働くようにローラ６２を支持する。ローラ６２の少なくとも一方の端部は、軸受６３を貫通して突出し、ローラ６２よりも拡径した円柱形状のノブ６２ａが取り付けられている。作業者はノブ６２ａを持って回動させることにより、ローラ６２の回動量を調節できる。なお、図３、図９〜図１２等では、ローラ６２を見やすくするため、軸受６３は点線で示している。

また、軸受６３は、図７に示すように、ローラ６２の軸に直交する方向に長い長穴６３ａを有する。この長穴６３ａに挿入されるボルト６３ｂの軸を、第１のプレート５１上に形成された図示しないねじ穴に合わせてねじ込むことにより、軸受け６３は、第１のプレート５１に固定されている。ボルト６３ｂを弛めて長穴６３ａに沿って軸受６３を移動させ、ボルト６３ｂを絞め直すことにより、ローラ６２を所望の位置とすることができる。これにより、ワークＷ１及び押付部材４０のサイズの変更に合わせて、ローラ６２の位置を調節できる。

保持部７０は、図３に示すように、ワークＷ１を保持し、押付部材４０に対する相対移動により、粘着シートＷ２を介して、ワークＷ１の貼付面ＢＳに押付面４１を押し付ける構成部である。保持部７０は、第２のプレート７１、保持部材７２を有する。第２のプレート７１は、支持部５０に対向する平板状の部材である。第２のプレート７１は、真空チャンバ２０内に配置されている。保持部材７２は、第２のプレート７１に設けられ、押付部材４０に支持された粘着シートＷ２に対向する位置にワークＷ１を保持する部材である。保持部材７２としては、粘着チャックを用いる。なお、メカチャック等、他の保持手段も適用可能である。複数の種類のチャックを併用することも可能である。なお、保持部材７２は、伸縮可能に又は第２のプレート７１に進退可能に設けられている。図３では、保持部材７２は、第２のプレート７１の下面から突出して示されているが、粘着シートＷ２を押し付けると、第２のプレート７１の下面と同一平面となる位置まで収縮又は引っ込む（図１１参照）。

駆動機構７３は、第２のプレート７１をワークＷ１が粘着シートＷ２に接離する方向に駆動する機構である。駆動機構７３は、第２のプレート７１を支持するアーム７３ａと、このアーム７３ａを昇降させる図示しないシリンダを有する。第２のプレート７１は、駆動機構７３によって、押付部材４０に接離する方向に駆動される。なお、駆動機構７３による第２のプレート７１の移動は、真空チャンバ２０とは独立している。

［動作］
以上のような構成を有する真空貼合装置の動作例を、図１〜図８に加え、図９〜図１２を参照して説明する。

まず、ワークＷ１は、不図示の搬送手段により搬送され、ピックアップ手段によって真空貼合装置に搬入される。これにより、図９に示すように、ワークＷ１は、第２のプレート７１の保持部材７２に保持される。

また、作業者は、図７に示すように、シートＷ２を、その粘着剤ＡＤ側を上にして、押付部材４０の押付面４１に載せる。そして、剥離シートＰの対向する縁部のマージンＭを、それぞれ図示しない粘着テープ等でローラ６２に貼り付けて、ノブ６２ａを回動させることにより巻き付ける。これにより、剥離シートＰが押付面４１に沿う形状となる張力が与えられる。

つまり、押付面４１と反対側に向かう方向に、剥離シートＰの縁部が引っ張られる。従って、図８に示すように、押付面４１の肩部４１ａの曲面及び平面４１ｂに密着するように、粘着シートＷ２が張り付けられる。

さらに、図示しない検出装置によって検出されたワークＷ１、粘着シートＷ２のずれを修正するように、駆動機構５２が第１のプレート５１を駆動する。例えば、粘着剤ＡＤの外縁内に、表示領域Ｄが収まるように、押付部材４０の位置を調整する。

次に、図１０に示すように、真空チャンバ２０が移動してステージ１０に接することにより、ワークＷ１及び粘着シートＷ２の周囲が密閉された真空室を形成する。そして、真空ポンプ３２が作動してバルブ３３が開き、真空室内の排気による減圧が開始する。

真空引き完了後は、図１１に示すように、第２のプレート７１が下降し、第２のプレート７１の保持部材７２に保持されているワークＷ１を、押付部材４０上に張り付けられている粘着シートＷ２に押し付ける。すると、押付部材４０の押付面４１が貼付面ＢＳに沿うように変形して、粘着シートＷ２が貼付面ＢＳに圧着される。

このとき、図５（Ｂ）に示すように、凹面ＣＳの縁部Ｅに対して、押付部材４０の縁部Ｅ´が、ずれ量αだけ内側にずれていることにより、粘着剤ＡＤは、凹面ＣＳの縁部Ｅ以外の部分である中央から先に貼付面ＢＳに接する。そして、図５（Ｃ）に示すように、粘着剤ＡＤの貼付面ＢＳへの接触面が徐々に外側へ広がって行き、凹面ＣＳに達する。押付部材４０は、変形の前後で体積変化しない非圧縮性を有するので、厚み方向に押し潰された分だけ、これに直交する方向に広がるためである。このため、粘着剤ＡＤと貼付面ＢＳとの間に隙間が残存することがなく、真空泡の残留がない。なお、押付面４１の肩部４１ａの断面の曲率半径Ｒ´は、凹面ＣＳの断面の曲率半径Ｒよりも小さいので、押付部材４０が弾性変形して肩部４１ａの曲面が伸びた場合にも凹面ＣＳに沿うように押し付けることができる。

その後、バルブ３３を閉じて真空ポンプ３２を停止し、第２のプレート７１が上昇する。このとき、保持部材７２が第２のプレート７１に入って保持が解除され、粘着シートＷ２が貼り付けられたワークＷ１は、押付部材４０の上に残る。そして、排気路の開放等により真空破壊が行われた後、図１２に示すように、真空チャンバ２０が上昇することにより、真空室が大気開放される。大気開放後、ノブ６２ａを回して剥離シートＰをローラ６２から外し、ワークＷ１を剥離シートＰとともに取り出す。このようにワークＷ１に貼り付けられた粘着剤ＡＤには、剥離シートＰを剥離してから、後の工程で他の部材が貼り付けられる。

［作用効果］
（１）本実施形態は、真空中で、ワークＷ１の凹面ＣＳを含む貼付面ＢＳに、剥離シートＰに粘着剤ＡＤが貼り付けられた粘着シートＷ２を貼り付ける真空貼合装置であって、弾性体によって形成され、貼付面ＢＳに沿う形状の押付面４１を有する押付部材４０と、剥離シートＷ２が押付面４１に密着する張力を与える張力付与部６０と、ワークＷ１を保持し、押付部材４０に対する相対移動により、粘着シートＷ２を介して、貼付面ＢＳに押付面４１を押し付ける保持部７０とを有する。

このように剥離シートＰに与えられている張力によって、弾性体である押付部材４０の押付面４１に密着している粘着剤ＡＤを、凹面ＣＳを含む貼付面ＢＳに押し付けるので、簡単な構造の押付部材４０によって、凹面ＣＳに沿って隙間なく粘着剤ＡＤを貼り付けることができる。

（２）押付部材４０により貼付面ＢＳに押し付けられる粘着シートＷ２の粘着剤ＡＤが、凹面ＣＳの縁部Ｅ以外の部分から貼付面ＢＳに接するように、凹面ＣＳの縁部Ｅに対して、押付面４１の縁部Ｅ´が、押し付け方向に交差する方向にずれている。

このため、粘着剤ＡＤが凹面ＣＳの縁部Ｅに当たってそれ以上押し付けられなくなることが防止される。特に、粘着剤ＡＤの粘着部分が縁部Ｅに接触することによる粘着剤ＡＤの変形や、粘着剤ＡＤの縁部Ｅへの付着を防止できる。

（３）張力付与部６０は、押付面４１と反対側へ向かう方向に、剥離シートＰの縁部を引っ張る引張治具６１を有する。

このため、押付部材４０とともに、剥離シートＰの縁部を引っ張る引張治具６１を追加するだけで、既存の真空貼合装置にも適用可能となる。また、引張治具６１は、押付部材４０の近傍に設けられているので、ワークＷ１の内側の狭いスペースに複雑な機構を設ける必要がない。

（４）引張治具６１は、剥離シートＰの縁部が巻き付けられるローラ６２を有する。

このように、剥離シートＰの縁部をローラ６２に巻き込んで張力を与えることにより、全体を均一に引っ張ることができて、歪みのない貼り付けを行うことができる。

［他の実施形態］
本発明は、上記のような実施形態に限定されるものではない。
（１）押付部材４０の押付面４１は、貼付面ＢＳに押し付けられていない状態でも、貼付面ＢＳに一致している形状であってもよい。例えば、剥離シートＰに張力を付与して押付面４１に押し付けることで、押付面４１が凹面よりも縮小するように変形させ、この状態で押し付けを行ない、張力を解除して粘着シートＷ２を貼付面ＢＳに密着させることもできる。この場合、押付面４１にシートＷ２を張り付けることで、押付面４１の縁部が貼付面ＢＳの縁部よりも内側にずれるように変形させることにより、縁部が当たることを防止することが好ましい。

さらに、剥離シートＰが密着するように張力を与えられても、押付面４１が変形又は縮小しなくてもよい。例えば、押付面４１が貼付面ＢＳと一致している形状を維持したままで、粘着シートＷ２を押付面４１に貼り付けて、粘着剤ＡＤを貼付面ＢＳに密着させてもよい。

（２）張力付与部６０は、剥離シートＰに張力を与えることができればよい。例えば、上記の態様では、ローラ６２が所望の回動位置にて保持される摩擦力が働くように支持されていた。つまり、粘着シートＷ２に張力が掛った状態でも、ローラ６２が引っ張られて回転しない程度に周り難くなっている。但し、ローラ６２の回動をロックするロック機構を設けて、ノブ６２ａを回すときはロックを解除し、張力を掛けたら回動をロックする構成としてもよい。

ロック機構としては、例えば、軸受６３にローラ６２に向かうねじ穴を設け、このねじ穴にねじを締め付け、ねじの先端をローラ６２に押し付けてローラ６２の回転を阻止する、いわゆる止めねじによる構成とすることが考えられる。また、軸受６３にローラ６２に向かう穴を設け、この穴に挿入されてローラ６２に接離するピンを設け、このピンの先端がローラ６２に接して押圧すると回転が阻止され、離れると回転が許容されるようにロック機構を構成してもよい。さらに、ローラ６２と同軸の円盤形又はドラム形の部材の周囲に、複数のラッチ歯を形成して、このラッチ歯に爪が噛合うことにより回転が阻止され、爪が外れることにより回転が許容されるようにロック機構を構成してもよい。その他、回転軸をロックする現在又は将来において利用可能なロック機構を用いることができる。ロック機構は、ロックの解除が容易にできる構成とすれば、迅速に作業を行うことができるので、生産性を向上させることができる。

さらに、ロックの解除による張力の解除を、人手を使わずに自動で行えたり、真空室の外部から行える解除機構を備えると、チャンバ２０内が減圧された状態で、粘着シートＷ２に対するワークＷ１の押し付けが完了した段階で、粘着シートＷ２の張り付け状態を解除できる。例えば、真空中、つまり、真空室内が減圧されている雰囲気下において、押付部材４０によって貼付部材が貼付面ＢＳに押し付けられている状態で、張力付与部６０による張力を解除する解除機構を設ける。これにより、保持部７０による押し付けが解除された場合に、押付部材４０の形状が戻ることによる隙間の発生の可能性がある場合でも、それを防止できる。より具体的には、上記のロック機構における止めねじ、ピン、爪を、ローラ６２の回転を許容する方向に移動させる駆動機構を解除機構とすることができる。この場合、解除機構の駆動源としての、モータ、シリンダ等を、真空室の外部に設けられたスイッチ、タッチパネル等の入力装置によって動作させることが考えられる。

また、例えば、図１３、図１４（Ａ）に示すように、ローラ６２に突出部材６４を設けてもよい。突出部材６４は、ローラ６２の側面の軸方向に沿って、複数形成する。一方、図１４（Ｂ）に示すように、剥離シートＰのマージンＭには、突出部材６４が挿入されて引っ掛かる複数の穴ＰＨを、あらかじめ形成しておく。

作業者は、図１３に示すように、粘着シートＷ２を、粘着剤ＡＤ側を上にして、押付部材４０の押付面４１に載せる。そして、剥離シートＰの穴ＰＨに突出部材６４を挿入し、ローラ６２を回動させることにより、上記と同様に剥離シートＰに均一に張力を与えることができる。これにより、剥離シートＰをローラ６２に粘着テープで貼り付ける手間が省ける。また、剥離シートＰの縁部を挟んで昇降する機構によって、張力付与部６０を構成してもよい。つまり、対向する一対の縁部が支持された剥離シートＰを下降させることにより、その粘着剤ＡＤと反対側の面に押付部材４０の押付面４１が押し付けられる構成としてもよい。これと逆に、対向する一対の縁部が支持された剥離シートＰに対して、その粘着剤ＡＤと反対側の面に押付部材４０が押し付けられるように、押付部材４０を上昇させる構成としてもよい。なお、上記の態様では、剥離シートＰの対向する縁部を引っ張って張力を付与していたが、一方の縁部を固定して、他方の縁部を引っ張る機構であってもよい。

（３）図１５に示すように、押付部材４０の押付面４１の中央を平面４１ｂとせずに、ワークＷ１の貼付面ＢＳに向かって隆起した形状としてもよい。この押付部材４０の形成方法としては、例えば、図１６に示すように、押付部材４０の押付面４１を形成する際に、型Ｙ１の両端を近づける方向に押圧して湾曲させておくことが考えられる。これにより、粘着剤ＡＤを、確実に凹面ＣＳの縁部Ｅ以外の部分から貼付面ＢＳに接触させることができる。

（４）図１７に示すように、保持部７０が、ワークＷ１を押付面４１に向かって隆起するように湾曲させる押圧部７４を有していてもよい。押圧部７４は、第２のプレート７１とワークＷ１との間に設けられ、ワークＷ１の側辺部ＳＥの間から下方に突出して、ワークＷ１の中央部を押圧する。押圧部７４は、弾性部材によって進退可能に又は弾性体により形成されることによって伸縮可能に設けられ、押付部材４０の押付面４１によって押圧されると、後退又は収縮することにより、ワークＷ１の湾曲が平坦化する。これにより、粘着剤ＡＤを、確実に凹面ＣＳの縁部Ｅ以外の部分から貼付面ＢＳに接触させることができる。

（５）上記の態様では、押付部材４０を、粘着シートＷ２を介してワークＷ１の貼付面ＢＳに押し付けるために、保持部７０が移動していたが、押付部材４０が移動しても、双方が移動してもよい。例えば、ステージ１０を昇降させる駆動機構を設け、ステージ１０を上昇させることにより、押付部材４０をワークＷ１に押し付けてもよい。また、上記の実施形態では、保持部７０が上方、押付部材４０が下方に配置されていたが、押付部材４０が上方、保持部７０が下方であってもよい。

（６）ワークＷ１の形状は、上記の態様には限定されない。側辺部ＳＥが連続して湾曲することにより、全体的に凹面ＣＳを形成していてもよい。さらに、凹面ＣＳは湾曲面には限定されず、平面が異なる角度で接する屈曲面であってもよい。また、上記の態様では、対向する一対の側辺部ＳＥが立ち上がることにより凹面ＣＳが形成されていたが、いずれか一つの側辺部ＳＥが立ち上がっていてもよいし、三方の側辺部ＳＥが立ち上がっていてもよい。中心を四方から囲むように対向する２組の側辺部ＳＥがそれぞれ立ち上がっていてもよい。なお、凹面ＣＳと反対側となる背面は、凹面ＣＳと同様の形状である必要はなく、凹面ＣＳと異なる形状であってもよい。

具体的には、図１８（Ａ）に示すように、ワークＷ１は、断面が略円弧形であってもよい。また、図１８（Ｂ）に示すように、ワークＷ１は、側辺部ＳＥが直角に立ち上がった屈曲面を有する略コの字形であってもよい。屈曲面の角度は、図１８（Ｃ）に示すように、直角でなくてもよい。図１８（Ｄ）に示すように、凹面ＣＳが湾曲面であるのに対して、背面が屈曲面であってもよいし、図１８（Ｅ）に示すように、凹面ＣＳが屈曲面であるのに対して、背面が湾曲面であってもよい。

一方、ワークＷ１の貼付面ＢＳの形状に応じて、押付部材４０の押付面４１の形状も変更される。例えば、押付面４１の断面が全体的に略円弧形状となっていてもよいし、肩部４１ａが平面が異なる角度で接する角面となっていてもよい。

ワークＷ１としては、表示装置用部材を用いることができる。表示装置用部材には、表示パネルとカバーパネルを積層した部材のように表示機能を備えた部材も、カバーパネルとタッチパネルを積層した部材のようにその部材だけでは表示機能を備えていない部材も含まれる。すなわち、真空貼合装置による粘着シートの貼り付け対象となるワークは、表示パネル、タッチパネル、カバーパネル、バックライトやその導光板等の様々なものがあり、いずれを組み合わせても良い。但し、ワークＷ１は、表示装置用部材には限定されない。

（７）貼付部材は、粘着剤には限定されない。薄板状の部材を貼付部材としてもよい。つまり、本発明の貼り付け対象となる貼付体は、貼付部材として薄板状の部材を貼り付けた部材であってもよい。例えば、上記のワークＷ１として例示した偏光フィルムやタッチパネル等、粘着性の無いフィルム状の部材も、貼付部材として用いることができる。この場合、上記のように、ワークＷ１の貼付面ＢＳに粘着剤ＡＤを貼り付けた後、さらに、剥離シートに貼り付けられた貼付部材を、上記と同様に、粘着剤ＡＤを介してワークＷ１に貼り付けることができる。つまり、「ワークＷ１の貼付面ＢＳに貼り付ける」とは、貼付面ＢＳに直接貼り付ける場合も、粘着剤ＡＤ等を介して間接的に貼り付ける場合も含む。ここで、粘着剤ＡＤには、接着剤と呼ばれるものも含まれる。

例えば、上記の実施形態と同様の真空貼合装置を２台用意する。まず、１台目の真空貼合装置で、上記と同様に粘着剤ＡＤをワークＷ１の貼付面ＢＳに貼り付ける。次に、２台目の真空貼合装置で、粘着剤ＡＤを介して、さらに貼付部材を貼り付ける。より具体的には、偏光フィルムやタッチパネル等の貼付部材が、上記の粘着剤ＡＤと同様に、マージンＭを持たせて剥離シートＰに保持されている。そして、張力付与部６０によって剥離シートＰが押付面４１に密着する張力を与えつつ、貼付部材を、粘着剤ＡＤが貼り付けられた貼付面ＢＳに押し付ける。なお、このような作業を、１台の真空貼合装置で行ってもよい。

以上、本発明の実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

Ｗ１ ワーク
Ｗ２ 粘着シート
ＡＤ 粘着剤
Ｂ 印刷枠
ＢＳ 貼付面
ＣＳ 凹面
Ｄ 表示領域
ＦＳ 平坦面
Ｐ 剥離シート
ＳＥ 側辺部
ＰＨ 穴
１０ ステージ
２０ 真空チャンバ
３０ 減圧部
３１ 配管
３２ 真空ポンプ
３３ バルブ
４０ 押付部材
４１ 押付面
４１ａ 肩部
４２ 固定面
５０ 支持部
５１ 第１のプレート
５２ 駆動機構
６０ 張力付与部
６１ 引張治具
６２ ローラ
６２ａ ノブ
６３ 軸受
６３ａ 長穴
６３ｂ ボルト
６４ 突出部材
７０ 保持部
７１ 第２のプレート
７２ 保持部材
７３ 駆動機構
７３ａ アーム
７４ 押圧部

Claims (8)

1. 真空中で、ワークの凹面を含む貼付面に、剥離シートに貼付部材が貼り付けられた貼付体を貼り付ける真空貼合装置であって、
   弾性体によって形成され、前記貼付面に沿う形状の押付面を有する押付部材と、
   前記剥離シートが前記押付面に密着する張力を与える張力付与部と、
   前記ワークを保持し、前記押付部材に対する相対移動により、前記貼付体を介して、前記貼付面に前記押付面を押し付ける保持部と、
   を有することを特徴とする真空貼合装置。
2. 前記押付部材により前記貼付面に押し付けられる前記貼付体の前記貼付部材が、前記凹面の縁部以外の部分から前記貼付面に接するように、前記凹面の縁部に対して、前記押付面の縁部が、押し付け方向に交差する方向にずれていることを特徴とする請求項１記載の真空貼合装置。
3. 前記張力付与部は、前記押付面と反対側へ向かう方向に、前記剥離シートの縁部を引っ張る引張治具を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の真空貼合装置。
4. 前記引張治具は、前記剥離シートの縁部が巻き付けられるローラを有することを特徴とする請求項３記載の真空貼合装置。
5. 前記押付部材の押付面の中央が、前記ワークの貼付面に向かって隆起していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の真空貼合装置。
6. 前記保持部は、前記ワークを前記押付面に向かって隆起するように湾曲させる押圧部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空貼合装置。
7. 前記貼付部材は、粘着剤であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の真空貼合装置。
8. 真空中で、前記押付部材によって前記貼付部材が前記貼付面に押し付けられている状態で、前記張力付与部による張力を解除する解除機構を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の真空貼合装置。

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