JP5305604B2 - 粘着フィルムの剥離装置及び液晶パネルの製造方法 - Google Patents

粘着フィルムの剥離装置及び液晶パネルの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、粘着フィルムの剥離装置及び液晶パネルの製造方法に関し、特に、液晶パネルのガラス板に貼り付けられている粘着フィルムである偏光板を剥がす場合に使用される粘着フィルムの剥離装置及び粘着フィルムを被接着体から剥離する剥離工程を有する液晶パネルの製造方法に関する。
液晶パネルは、2枚のガラス板を貼り合わせ、2枚のガラス板の間に液晶を封止し、それぞれのガラス板の外側表面に偏光板を接着することにより構成されている。
液晶パネルの外観検査や点灯検査等により、偏光板に傷や汚れ等の不具合が発見された場合には、不具合が発見された偏光板をガラス板から剥がし、不具合のない新たな偏光板を再度ガラス板に貼り付けている。
液晶パネルのガラス板から偏光板を剥がすために使用される粘着フィルムの剥離装置としては、下記特許文献1に記載されたものが知られている。
下記特許文献1に記載された粘着フィルムの剥離装置を、図6及び図7に基づいて説明する。この剥離装置は、図6に示すように、複数の搬送ローラ100と、一対のガイドローラ101と、一つの巻取ローラ102とを備えている。これらのローラ100、101、102は、回転中心が平行となる向きに配置されている。一対のガイドローラ101は、隣合う位置に配置されている。巻取ローラ102には駆動手段である駆動モータ(図示せず)が連結され、搬送ローラ100とガイドローラ101とには駆動手段は連結されていない。
剥離装置による剥離作業の対象となる液晶パネル103は、2枚のガラス板104が貼り合わされ、2枚のガラス板104の間に液晶が封止され、ガラス板104の外側表面に偏光板105が接着されている。
ガラス板104に貼り付けられている偏光板105を剥離する場合には、液晶パネル103の一つの角部においてガラス板104から偏光板105を剥がし、角部を剥がした偏光板105を下向きにして液晶パネル103を搬送ローラ100の上に載置する。さらに、ガラス板104から剥がされた偏光板105の角部に粘着テープ(図示せず)の一端を貼り付け、粘着テープの他端を一対のガイドローラ101の間を通して巻取ローラ102側に伸ばし、巻取ローラ102に貼り付ける。
その後、駆動モータを駆動させて巻取ローラ102を矢印A方向に回転させる。巻取ローラ102が矢印A方向に回転することにより、偏光板105が矢印B方向に引っ張られてガラス板104から剥がされ、剥がされた偏光板105が巻取ローラ102に巻き取られる。偏光板105が矢印B方向に引っ張られてガラス板104から剥がされることに伴い、液晶パネル103は搬送ローラ100上を矢印C方向に移動する。
特開2006−299064号公報
しかしながら、上述した粘着フィルムの剥離装置においては、以下の点について配慮がなされていない。
偏光板105が矢印B方向に引っ張られてガラス板104から剥がされる場合、液晶パネル103は2つの接触点Dでガイドローラ101に接触している。2つの接触点Dの間隔Eは、ガイドローラ101の直径と略同じ寸法であり、この間隔Eを小さくするためにはガイドローラ101の直径を小さくしなければならない。しかし、ガイドローラ101の強度を維持しつつガイドローラ101の直径を小さくすることには限界がある。
液晶パネル103が2つの接触点Dでガイドローラ101に接触した状態で偏光板105を矢印B方向に引っ張ると、液晶パネル103は2つの接触点Dの間の部分が図7に示すように矢印B方向に向けて凸状となる向きに撓みを生じ、液晶パネル103には接触点Dを支点とする矢印B方向への曲げ応力が作用する。この曲げ応力は、2つの接触点Dの間の間隔Eが大きくなる程大きくなり、この曲げ応力がある一定値を超えるとガラス板104が壊れる。
近年では、液晶パネル103の薄型化が進んでおり、液晶パネル103に用いられているガラス板104の板厚も薄くなり、薄型化された液晶パネル103で使用されているガラス板104の板厚は0.2mm程度まで薄くなっている。このため、ガラス板104から偏光板105を剥がすために偏光板105を引っ張った場合に、ガラス板104が壊れ易い。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、その目的は、被接着体から粘着フィルムを剥がすために粘着フィルムを引っ張った場合に、被接着体に作用する曲げ応力を抑制し、過大な曲げ応力が作用して被接着体が壊れることを防止することができる粘着フィルムの剥離装置及び粘着フィルムの剥離工程を有する液晶パネルの製造方法を提供することである。
本発明の実施の形態に係る第1の特徴は、粘着フィルムの剥離装置において、粘着フィルムが貼り付けられた被接着体を吸着する吸着ステージと、前記吸着ステージに吸着された前記被接着体から角部を剥がされた前記粘着フィルムの前記角部を把持する把持体と、前記吸着ステージと前記把持体との少なくとも一方を前記被接着体から前記粘着フィルムを剥離する方向に移動させる移動手段と、を備え、前記把持体は前記粘着フィルムを把持する把持部と、前記吸着ステージの吸着面とで鋭角をなす面を有する基部を有し、前記把持部は、前記被接着体から剥がれている前記粘着フィルム部分と、前記被接着体に貼り付けられている前記粘着フィルム部分とが鋭角をなすように、前記粘着フィルムの前記角部を前記吸着ステージの吸着面と鋭角をなす面上で把持するように構成されていることである。
本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、液晶パネルの製造方法において、粘着フィルムが貼り付けられた被接着体を吸着ステージに吸着させるステップと、前記被接着体から剥がれている前記粘着フィルム部分と、前記被接着体に貼り付けられている前記粘着フィルム部分とが鋭角をなすように、前記被接着体から角部を剥がされた前記粘着フィルムの前記角部を、把持体の前記吸着ステージの吸着面と鋭角をなす面上で、把持するステップと、前記吸着ステージと前記把持体との少なくとも一方を移動させることにより、前記鋭角をなす状態を維持しつつ前記粘着フィルムを前記被接着体から剥がすステップと、を備える粘着フィルムの剥離工程を有することである。
本発明によれば、被接着体から粘着フィルムを剥がすために粘着フィルムを引っ張った場合に、被接着体に作用する曲げ応力を抑制し、過大な曲げ応力が作用して被接着体が壊れることを防止することができる。
以下、本発明の一実施の形態を図面を用いて説明する。
本発明の一実施の形態に係る粘着フィルムの剥離装置1は、2枚のガラス板2を貼り合わせ、2枚のガラス板2の間に液晶を封止し、ガラス板2の外側表面に偏光板3を接着した液晶パネル4において、被接着体であるガラス板2から粘着フィルムである偏光板3を剥がす装置である。
この剥離装置1は、図1に示すように、ベース5と、吸着ステージ6と、把持体であるクランパ7とを備えている。
ベース5は直方体形状に形成された部材であり、液晶パネル4から偏光板3を剥がす作業を行う作業場内に設置されている。
ベース5の上面には、一対の保持部8と、一対の支柱9とが立設されている。さらに、ベース5の上面には、一対のスライド溝10が形成されている。
一対の保持部8の間には、中心線回りに回転可能に移動手段であるボールネジ11が保持されている。ボールネジ11の一端にはこのボールネジ11を回転操作するハンドル12が連結され、ハンドル12を操作してボールネジ11を中心線回りに回転させることにより、吸着ステージ6をボールネジ11の中心線方向に移動させることができる。
一対の支柱9は、ボールネジ11と直交する向きに配置され、一対の支柱9の間に取付軸13が固定されている。
吸着ステージ6は、吸着ステージ6の下面をベース5の上面に対向させる位置に配置されている。吸着ステージ6の下面には、内周部に雌ネジが切られた1つのネジ体14と、複数の脚部15とが固定されている。ネジ体14には、ボールネジ11が螺合されている。脚部15は、スライド溝10にスライド可能に嵌合されている。
吸着ステージ6の上面には、吸着溝(図示せず)が5mmの間隔をもって格子状に形成されている。この吸着溝は、吸着ステージ6の内部に形成された連通路(図示せず)を介して吸引ポンプ16に接続されている。吸着溝が形成された範囲は、剥離作業の対象となる液晶パネル4のサイズより僅かに狭い範囲とされている。
吸着ステージ6の上面に液晶パネル4を載置し、吸引ポンプ16を駆動させることにより、液晶パネル4が吸着ステージ6上に吸着される。
クランパ7は、取付軸13に固定された基部17と、支軸18を支点として回動可能に基部17に取付けられた挟持レバー19とを有する。基部17には歯部20が形成され、挟持レバー19における歯部20に対向する位置には歯部21が形成されている。基部17における歯部20が形成された面は、吸着ステージ6の上面に対して鋭角となる角度α、例えば、45°の角度に形成されている。
このような構成において、液晶パネル4の偏光板3をガラス板2から剥がす場合の作業手順について説明する。
まず、作業対象となる液晶パネル4における偏光板3の一つの角部3aを剥がし、角部3aを剥がした偏光板3を上向きにして液晶パネル4を吸着ステージ6上に載置する。吸着ステージ6上への液晶パネル4の載置位置は、図3に示すように、液晶パネル4が格子状の吸着溝を覆う位置であって、剥がされた偏光板3の角部3aが、偏光板3を剥がす場合における吸着ステージ6の移動方向(矢印a方向)の先頭側となる位置とされる。
吸着ステージ6上における吸着溝を覆う位置に液晶パネル4を載置し、吸引ポンプ16を駆動させることにより、液晶パネル4が吸着ステージ6上に吸着される。
ついで、ガラス板2から剥がされた偏光板3の角部3aを基部17の歯部20と挟持レバー19の歯部21との間に挟み、ハンドル12を操作して吸着ステージ6を矢印a方向へスライドさせる。吸着ステージ6は、脚部15をスライド溝10に嵌合させ、ボールネジ11の中心線に沿ってスライドする。
角部3aをクランパ7により挟持された状態で吸着ステージ6が矢印a方向へスライドすることにより、図4に示すように、偏光板3はガラス板2から次第に剥がされる。吸着ステージ6が図4(c)に示す位置までスライドすることにより、ガラス板2から偏光板3を剥がす作業が終了する。
ガラス板2から偏光板3を剥がす場合、液晶パネル4が吸着ステージ6上に吸着されているため、偏光板3を剥がすために偏光板3を引っ張ってもガラス板2には撓みがほとんど発生せず、ガラス板2に作用する曲げ応力を抑制することができ、過大な曲げ応力が作用してガラス板2が壊れるということを防止することができる。
吸着ステージ6上に吸着された液晶パネル4とクランパ7との位置関係は、クランパ7と液晶パネル4とができるだけ接近する位置であることが好ましい。図5(a)はクランパ7と液晶パネル4との距離“H1”が小さい場合を示し、図5(b)はクランパ7と液晶パネル4との距離“H2”が大きい場合を示している。偏光板3を剥離方向に引っ張った場合において、液晶パネル4を吸着ステージ6から剥がす方向に作用する分力F1、F2は、図5(a)の場合の分力F1が、図5(b)の場合の分力F2に比べて小さくなり、図5(a)の場合のほうがガラス板2に作用する曲げ応力を小さくすることができる。
なお、本実施の形態では、ガラス板2から偏光板3を剥がす場合に、吸着ステージ6を矢印a方向にスライドさせる場合を例に挙げて説明したが、吸着ステージ6を位置固定とし、クランパ7を矢印a方向と逆方向へスライドさせてもよい。さらに、吸着ステージ6を矢印a方向へスライドさせるとともに、クランパ7を矢印a方向と逆方向へスライドさせてもよい。
また、本実施の形態では、液晶パネル4を吸着ステージ6に吸着するために、吸着ステージ6の上面に吸着溝を形成した場合を例に挙げて説明したが、吸着溝に代えて複数の吸着穴を形成してもよい。
さらに、本実施の形態では、一つのサイズの液晶パネル4にのみ対応できる吸着溝を例に挙げて説明したが、この吸着溝の構造を、複数のサイズの液晶パネル4に対応できる構造としてもよい。具体的には、吸着溝と吸引ポンプ16との間に、液晶パネル4のサイズに対応して開閉可能な電磁弁を設け、吸着する液晶パネル4のサイズの外側に位置する吸着溝には吸引ポンプ16の負圧が作用しないように電磁弁を閉止する。
本発明の一実施の形態の剥離装置を示す斜視図である。 その側面図である。 その平面図である。 偏光板の剥離工程を示す工程図である。 クランパと液晶パネルとの距離の違いによる液晶パネルを吸着ステージから剥がす方向に作用する力の変化を説明する説明図である。 従来例の剥離装置を示す側面図である。 その一部を拡大して示す側面図である。
符号の説明
2…被接着体、3…粘着フィルム、3a…角部、6…吸着ステージ、7…把持体、11…移動手段

Claims (6)

  1. 粘着フィルムが貼り付けられた被接着体を吸着する吸着ステージと、
    前記吸着ステージに吸着された前記被接着体から角部を剥がされた前記粘着フィルムの前記角部を把持する把持体と、
    前記吸着ステージと前記把持体との少なくとも一方を前記被接着体から前記粘着フィルムを剥離する方向に移動させる移動手段と、
    を備え、
    前記把持体は前記粘着フィルムを把持する把持部と、前記吸着ステージの吸着面とで鋭角をなす面を有する基部を有し、
    前記把持部は、前記被接着体から剥がれている前記粘着フィルム部分と、前記被接着体に貼り付けられている前記粘着フィルム部分とが鋭角をなすように、前記粘着フィルムの前記角部を前記吸着ステージの吸着面と鋭角をなす面上で把持するように構成されていることを特徴とする粘着フィルムの剥離装置。
  2. 前記被接着体がガラス板であることを特徴とする請求項1記載の粘着フィルムの剥離装置。
  3. 前記把持部は、前記粘着フィルムの角部を挟むようにして把持することを特徴とする請求項1または2に記載の粘着フィルムの剥離装置。
  4. 粘着フィルムが貼り付けられた被接着体を吸着ステージに吸着させるステップと、
    前記被接着体から剥がれている前記粘着フィルム部分と、前記被接着体に貼り付けられている前記粘着フィルム部分とが鋭角をなすように、前記被接着体から角部を剥がされた
    前記粘着フィルムの前記角部を、把持体の前記吸着ステージの吸着面と鋭角をなす面上で、把持するステップと、
    前記吸着ステージと前記把持体との少なくとも一方を移動させることにより、前記鋭角をなす状態を維持しつつ前記粘着フィルムを前記被接着体から剥がすステップと、
    を備える粘着フィルムの剥離工程を有することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
  5. 前記被接着体としてガラス板を用いることを特徴とする請求項3記載の液晶パネルの製造方法。
  6. 前記把持部は、前記粘着フィルムの角部を挟むようにして把持することを特徴とする請求項4または5に記載の液晶パネルの製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190006896A (ko) * 2017-07-11 2019-01-21 닛토덴코 가부시키가이샤 대전압 측정 장치 및 대전압 측정 방법

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2268489A1 (en) * 2008-04-11 2011-01-05 The Arizona Board Of Regents, A Body Corporate Of The State Of Arizona Acting For And On Behalf Of Arizona State University Method and apparatus for debonding a submounted substrate
CN101434141B (zh) * 2008-11-24 2011-06-29 友达光电(苏州)有限公司 分离薄膜与板体的装置及方法
DE102009018156A1 (de) * 2009-04-21 2010-11-18 Ev Group Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Trennen eines Substrats von einem Trägersubstrat
CN102514354B (zh) * 2011-11-29 2014-09-17 深圳市华星光电技术有限公司 一种液晶显示面板偏光板的自动撕除机、自动撕角装置与方法
CA2911282C (en) * 2012-05-03 2018-02-06 Vanrx Pharmaceuticals, Inc. Cover removal system for use in controlled environment enclosures
US20210371148A1 (en) * 2012-05-03 2021-12-02 Vanrx Pharmasystems Inc. Cover removal system for use in controlled environment enclosures
CN102756536B (zh) * 2012-07-13 2015-07-22 深圳市华星光电技术有限公司 偏光板撕除的方法和装置
ITFI20120233A1 (it) * 2012-10-29 2014-04-30 Esanastri S R L Dispositivo di micro-sfridatura di film plastici o in carta a uno o più strati autoadesivi, biadesivizzati o elettrostatici accoppiati con un liner di supporto antiaderente
JP6258736B2 (ja) * 2013-09-13 2018-01-10 日東電工株式会社 剥離用部材、剥離装置及び剥離方法
CN104512089A (zh) * 2013-10-08 2015-04-15 富鼎电子科技(嘉善)有限公司 撕膜方法及其采用的撕膜机构
CN103693257A (zh) * 2013-12-20 2014-04-02 江南大学 手机膜揭膜机构
JP6376587B2 (ja) * 2014-01-15 2018-08-22 日東電工株式会社 長尺状ガラスの製造方法
NL2012668B1 (en) * 2014-04-23 2016-07-04 Vmi Holland Bv Foil removal device and a method for removing a foil from a tire tread.
KR101546068B1 (ko) * 2014-08-14 2015-08-20 주식회사 엘지화학 패널로부터 편광 필름을 박리하기 위한 박리바, 이를 이용한 박리 장치 및 박리 방법
CN104503623A (zh) * 2015-01-06 2015-04-08 合肥鑫晟光电科技有限公司 触摸面板与显示模组的分离方法及系统
CN104808382B (zh) * 2015-05-14 2018-08-07 苏州市邦成电子科技有限公司 一种用于液晶显示面板的半自动偏光片剥离装置
CN104924733B (zh) 2015-05-15 2017-04-05 京东方科技集团股份有限公司 膜层剥离装置和膜层剥离方法
CN104932125B (zh) * 2015-06-12 2017-11-14 合肥京东方光电科技有限公司 一种液晶显示器拆解装置
CN108027540B (zh) * 2015-09-04 2021-08-10 夏普株式会社 显示面板的制造方法
CN105538881B (zh) * 2016-01-05 2017-11-28 京东方科技集团股份有限公司 撕膜机移动系统
CN106004002B (zh) * 2016-07-08 2019-01-01 深圳市福和达自动化有限公司 一种背光撕膜装置
IT201600078059A1 (it) * 2016-07-26 2018-01-26 I M A Industria Macch Automatiche S P A In Sigla Ima S P A Gruppo di apertura per confezioni
US10647102B2 (en) * 2017-07-06 2020-05-12 General Electric Company System and method for removal of a layer
KR102450112B1 (ko) * 2017-11-29 2022-10-05 삼성디스플레이 주식회사 보호필름 박리장치 및 보호필름 박리방법
CN109061917A (zh) * 2018-09-29 2018-12-21 武汉华星光电技术有限公司 夹持器及点灯治具
CN110154455B (zh) * 2019-04-30 2021-04-09 东莞市银泰玻璃有限公司 一种曲面玻璃粘合结构
CN111351718B (zh) * 2020-03-20 2022-10-14 河北交规院瑞志交通技术咨询有限公司 道路反光膜耐弯曲性能检测装置及检测方法
US11981473B2 (en) * 2020-09-27 2024-05-14 V Anrx Pharmasystems Inc. Cover removal system for use in controlled environment enclosures
DE102020129064B4 (de) 2020-11-04 2023-10-12 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Abziehverfahren und abziehwerkzeug
CN112684237A (zh) * 2020-12-21 2021-04-20 合肥维信诺科技有限公司 显示模组的检测装置

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3996127A (en) * 1973-10-17 1976-12-07 Outokumpu Oy Device for detaching an electrolytically precipitated metal sheet from a cathode
DE3532553C1 (de) * 1985-09-12 1987-03-12 Loehr & Herrmann Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Abziehen der Schutzfolie von einer mit belichtetem Fotoresist beschichteten Leiterplatte
JPH0522524Y2 (ja) * 1988-03-03 1993-06-10
JP2642317B2 (ja) * 1994-08-03 1997-08-20 ソマール株式会社 フィルム剥離方法及び装置
JP3465209B2 (ja) 1995-10-16 2003-11-10 日本電気エンジニアリング株式会社 薄板保護シートの剥離方法
JPH09309664A (ja) * 1996-05-20 1997-12-02 Sony Corp 保護シートの剥離方法及びそれに用いられる剥離装置
US6149758A (en) * 1997-06-20 2000-11-21 Lintec Corporation Sheet removing apparatus and method
KR100543024B1 (ko) * 1998-01-21 2006-05-25 삼성전자주식회사 액정표시장치의 편광판 제거장치
JP3813434B2 (ja) * 2000-10-31 2006-08-23 シャープ株式会社 基板剥離装置および基板剥離方法
KR100383265B1 (ko) * 2001-01-17 2003-05-09 삼성전자주식회사 웨이퍼 보호 테이프 제거용 반도체 제조장치
JP4590788B2 (ja) * 2001-06-28 2010-12-01 パナソニック株式会社 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JP2004163738A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Sharp Corp フィルム剥離装置およびフィルム剥離方法
DE10318101A1 (de) * 2003-04-22 2004-11-11 Mitsubishi Polyester Film Gmbh Coextrudierte, heißsiegelbare und peelfähige Polyesterfolie, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung
JP2005017444A (ja) * 2003-06-24 2005-01-20 Mitsubishi Electric Corp 保護シートの剥離方法および保護シート剥離装置
JP4564832B2 (ja) * 2004-11-30 2010-10-20 株式会社ディスコ 矩形基板の分割装置
JP2006299064A (ja) 2005-04-20 2006-11-02 Sharp Corp 粘着フィルム剥離方法及び装置
KR20070009865A (ko) * 2005-07-14 2007-01-19 삼성전자주식회사 보호시트 제거 장치 및 방법
JP4666514B2 (ja) * 2006-07-20 2011-04-06 リンテック株式会社 シート剥離装置及び剥離方法
KR20080072183A (ko) * 2007-02-01 2008-08-06 삼성전자주식회사 필름 박리장치 및 그 방법
KR20080089730A (ko) * 2007-04-02 2008-10-08 삼성전자주식회사 편광판의 제거 장치 및 그 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190006896A (ko) * 2017-07-11 2019-01-21 닛토덴코 가부시키가이샤 대전압 측정 장치 및 대전압 측정 방법
JP2019020445A (ja) * 2017-07-11 2019-02-07 日東電工株式会社 帯電圧測定装置及び帯電圧測定方法
KR102512305B1 (ko) * 2017-07-11 2023-03-22 닛토덴코 가부시키가이샤 대전압 측정 장치 및 대전압 측정 방법

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