JP2015053377A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート貼付装置10は、所定の貼付空間SP1でウエハWFの被着面に接着シートASの接着面を対向配置させ、ウエハWF及び接着シートASに相対接近する方向の押圧力を付与することで、被着面に接着シートASを貼付する。変形可能な変形部材21を備え、変形部材21を間に挟んで貼付空間SP1の反対側に位置する密閉空間SP2を貼付空間SP1よりも高圧にすることで、変形部材21を変形させて被着面に接着シートASを押圧する押圧手段20と、環状の押圧面31Aを備え、押圧手段20とは別に、接着シートAS及びウエハWFが重なった重なり領域AWの外縁領域を押圧する再押圧手段30とを備えている。
【選択図】図1
Description
例えば、変形部材21は、弾性変形可能な部材であってもよいし、完全に又は部分的に元の形状に戻ることのない部材であってもよい。
また、変形部材21の材質や、形状、厚さ、大きさは適宜に選択することができる。
更に、変形部材21やテーブル42は、吸引、接着、メカチャック等によって接着シートASやウエハWFを保持する構成であってもよい。
また、押圧手段は、接着シートAS全体を同時にウエハWFに押圧する構成、或いは、接着シートASの右から左又は左から右、前から後ろ又は後ろから前に徐々に押圧する構成であってもよい。
更に、押圧手段が押圧する側は、接着シートAS側でもよいし、ウエハWF側でもよいし、それら両方でもよい。
また、減圧手段24、44に代えて液体やジェル等の空気以外の流体によって密閉空間SP1及び貼付空間SP2を加減圧する構成のものを採用してもよい。
更に、押圧手段20は、被着体支持手段40とで第2空間SP2を形成することのない構成であってもよい。
この場合、変形部材21で接着シートAS全体を被着面WF1に押圧した後、再押圧手段30Aが圧力検知手段35の検知結果を基に、減圧手段34を駆動し、環状変形部材33を変形させてその下面である押圧面33Aで重なり領域AWの外縁領域を押圧する。なお、環状変形部材33が変形する間は、押圧手段20が減圧手段24を駆動し、圧力検知手段25の検知結果に基づいて密閉空間SP2の圧力を第2圧力で維持するように制御する。また、変形部材21が損傷することを防止するために、変形部材21が上壁22Aの底面に接している状態で当該変形部材21の面がフラットに維持されるように、環状変形部材33の厚みを上壁22Aの下面に形成された凹溝22Eの深さと略同一寸法に設定するとよい。
更に、再押圧部材を構成する材料は、金属、樹脂、ゴム、木材、陶器等、特に限定されることはない。
また、再押圧部材の押圧面を変形可能な部材で構成し、内周縁側が先に変形部材21に当接し、押圧力が増すにつれて外周縁側が変形部材21に当接する断面視テーパー型とし、再押圧部材によっても、接着シートASと被着面WF1との間の空気が外方に追い出されながら貼付できるように構成してもよい。
更に、再押圧部材の押圧面は、曲面であってもよく、この場合も、押圧面は変形可能な部材を採用することが好ましい。
また、貼付空間SP2を減圧することなく、密閉空間SP1にのみに空気等を送り、ウエハWF及び接着シートASに所定の押圧力を付与する構成としてもよいし、貼付空間SP1を大気圧状態や大気圧よりも高圧にした状態で、密閉空間SP2を貼付空間SP1よりも更に高圧にしてウエハWF及び接着シートASに所定の押圧力を付与する構成としてもよい。
更に、第1圧力、第2圧力は、変形部材21を変形させて接着シートASをウエハWFに押圧して貼付できれば、任意に設定することができるし、第3圧力も任意に設定することができる。
また、接着シートASは、上下ケース22、43の外側まで連続した帯状のシートであってもよく、左右方向に繰出されることで上下ケース22、43間にセットされるとともに、接着シートASが貼付されたウエハWFを次の工程に送る構成であってもよいし、ウエハWFに貼付された帯状のシートを所定形状に切断する適宜な切断手段を採用してもよい。
また、保持対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の保持対象物に貼付することができる。
AS 接着シート
AW 重なり領域
SP1 貼付空間
SP2 密閉空間
WF ウエハ
WF1 被着面
20 押圧手段
21 変形部材
30,30A,30B 再押圧手段
31 再押圧部材
31A 押圧面
Claims (3)
- 所定の貼付空間で被着体の被着面に接着シートの接着面を対向配置させ、当該被着体及び接着シートに相対接近する方向の押圧力を付与することで、前記被着面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
変形可能な変形部材を備え、当該変形部材を間に挟んで前記貼付空間の反対側に位置する密閉空間を当該貼付空間よりも高圧にすることで、当該変形部材を変形させて前記被着面に接着シートを押圧する押圧手段と、
環状の押圧面を備え、前記押圧手段とは別に、前記接着シート及び被着体が重なった重なり領域の外縁領域を押圧する再押圧手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。 - 前記再押圧手段は、前記変形部を介して前記重なり領域の外縁領域を押圧することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 所定の貼付空間で被着体の被着面に接着シートの接着面を対向配置させ、当該被着体及び接着シートに相対接近する方向の押圧力を付与することで、前記被着面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
変形可能な変形部材を間に挟んで前記貼付空間の反対側に位置する密閉空間を当該貼付空間よりも高圧にすることで、当該変形部材を変形させて前記被着面に接着シートを押圧する工程と、
前記変形部材を変形させる押圧工程とは別に、前記接着シート及び被着体が重なった重なり領域の外縁領域を環状の押圧面を備えた再押圧手段で押圧する工程と、を有することを特徴とするシート貼付方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018064013A (ja) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2020004988A (ja) * | 2019-08-23 | 2020-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板保持ステージ |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152424A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Lintec Corp | シート貼付装置 |
JP2010135436A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Takatori Corp | 基板への接着テープ貼り付け装置 |
JP2011029360A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Lintec Corp | 押圧装置 |
JP2011210854A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2013016571A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Nec Engineering Ltd | テープ貼付装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009152424A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Lintec Corp | シート貼付装置 |
JP2010135436A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Takatori Corp | 基板への接着テープ貼り付け装置 |
JP2011029360A (ja) * | 2009-07-24 | 2011-02-10 | Lintec Corp | 押圧装置 |
JP2011210854A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2013016571A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Nec Engineering Ltd | テープ貼付装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018064013A (ja) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2020004988A (ja) * | 2019-08-23 | 2020-01-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板保持ステージ |
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