JP2011029359A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】外周側に環状の凸部11を設けて内側が凹部12とされた半導体ウエハWの凹部12に接着シートSを貼付するシート貼付装置10。同装置は、半導体ウエハWを支持するテーブル15と、凹部12に接着シートSを押圧する押圧手段16とを備えている。押圧手段16は、底蓋部23Aと筒状部23Bとからなる弾性シート23と、この筒状部23Bの外周側に配置された弾性リング24とを含み、加圧室Cを加圧することで底蓋部23Aが接着シートSを凹部12の底面に押し付ける一方、筒状部23Bと弾性リング24とによって凹部12の側面に接着シートSが押し付けられる。
【選択図】図1
Description
本発明は、凹部を備えた板状部材に接着シートを貼付するときに、未貼付領域を生ずることなく凹部内面の全域に接着シートを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、押圧手段が弾性シートと弾性リングとを含み、弾性シートの筒状部と弾性リングとによって側面貼付部材を構成した構成では、筒状部の弾性変形に伴う付勢力で弾性リングが拡径して変形することで凹部の側面に接着シートを確実に押し付けることができる。
更に、底蓋部と筒状部の硬度を相違させることで、1次、2次動力の供給によって弾性シートを膨張させる領域をコントロールすることができ、接着シートが凹部の底面に貼付された後に、コーナー領域と側面に接着シートが貼付されるといった段階的な貼付を実現し、接着シートと被着体との間の気体を逃がしながらの貼付が行える。
また、マスキング手段を含む構成では、凸部上面に接着シートが貼付されないので、コーナー領域に接着シートを貼付するときに、接着シートの局部的な引っ張りを緩和させることができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
この変形例は、押圧手段16の両側に位置するシート供給手段としてのシート供給部50と巻取部51とを設けたものである。シート供給部50は、ロール状に巻回された接着シートSを繰出可能に支持する支持ローラ55と、モータM1によって回転する駆動ローラ56と、当該駆動ローラ56との間に接着シートSを挟み込むピンチローラ57とにより構成されている。巻取部51は、巻取ローラ60と、モータM2の駆動によって回転する駆動ローラ62と、当該駆動ローラ62との間にシートSを挟み込むピンチローラ64とにより構成されている。そして、シート供給部50と巻取部51との間に繰り出された接着シート部分を押圧手段16で押圧することにより、接着シートSを凹部12に貼付した後に、ウエハWの外縁に沿って図示しないカッターで接着シートSを切り抜き、これによって生ずる外側部分を不要シートS1として巻取ローラ60で巻き取るようになっている。
また、1次動力、2次動力は、圧縮エアに限定されることはなく、液体であってもよい。更に、例えば、底面貼付部材と側面貼付部材とが適宜な支持体にそれぞれ支持されて当該支持体が第1、第2モータによって駆動される構成の場合、動力供給手段は電源供給装置であって、1次動力は支持体を移動させる第1モータに供給する電源であり、2次動力は支持体を移動させる第2モータに供給する電源となる。また、底面貼付部材と側面貼付部材とがそれぞれ支持体を介して第1、第2エアシリンダによって駆動される構成の場合、動力供給手段はエア供給装置であって、1次動力は第1エアシリンダに供給する圧縮エアであり、2次動力は第2エアシリンダに供給する圧縮エアとなる。
11 凸部
12 凹部
12A 底面
12B 側面
13 シート供給手段
16 押圧手段
17 コンプレッサ(動力供給手段)
18 マスキング手段
20 開口部
21 上蓋部材
23 弾性シート
23A 底蓋部(底面貼付部材)
23B 筒状部(側面貼付部材)
24 弾性リング(側面貼付部材)
C 加圧室
S 接着シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (6)
- 一方の面の外周側に環状の凸部を設けて当該凸部の内側が凹部とされた板状部材の前記凹部に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記板状部材の凹部が形成された面に対向するように前記接着シートを供給可能なシート供給手段と、
前記接着シートを凹部に押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段の段階的な動作を可能とする動力供給手段とを含み、
前記押圧手段は、前記動力供給手段による1次動力の供給によって前記凹部の底面に前記接着シートを貼付する底面貼付部材と、前記動力供給手段による2次動力の供給によって前記底面に連なる側面に前記接着シートを貼付する側面貼付部材とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記押圧手段は、開口部を備えた上蓋部材と、前記開口部を閉塞するとともに前記上蓋部材と相互に作用して加圧室を形成する筒状部と底蓋部とを含む弾性シートと、前記筒状部の外周側に配置された弾性リングとを含み、
前記底面貼付部材は、前記底蓋部により構成される一方、前記側面貼付部材は、前記筒状部と前記弾性リングとにより構成されることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。 - 前記弾性シートは、前記筒状部の硬度が前記底蓋部の硬度よりも大きい硬度とされた弾性部材により構成されていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 前記弾性リングは、前記加圧室が加圧されて前記筒状部が外側に膨張することで拡大変形することを特徴とする請求項2又は3記載のシート貼付装置。
- 前記凸部上面と前記接着シートとの間に介装されて当該接着シートの凸部上面への接着を防止するマスキング手段を更に含むことを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のシート貼付装置。
- 一方の面の外周側に環状の凸部を設けて当該凸部の内側が凹部とされた板状部材の前記凹部に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
前記板状部材の凹部が形成された面に対向するように前記接着シートを供給する工程と、
1次動力の供給によって前記凹部の底面に前記接着シートを貼付する工程と、
2次動力の供給によって前記底面に連なる側面に前記接着シートを貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2009172821A JP5368204B2 (ja) | 2009-07-24 | 2009-07-24 | シート貼付装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2011029359A true JP2011029359A (ja) | 2011-02-10 |
JP5368204B2 JP5368204B2 (ja) | 2013-12-18 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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