JP2008066597A - シート貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWを支持するテーブル11と、前記半導体ウエハWに対してシートに押圧する押圧部材12とを備えてシート貼付装置10が構成されている。押圧部材12は、中央部が外周側に対して半導体ウエハWに接近する傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面21と、その外周側に連設された変形許容部23とからなる。この変形許容部23は、押圧部材12と上部ケース30との間に形成される第2の空間内を減圧差によって変形可能とされている。押圧面21は、変形許容部23の変形により面位置を下降するとともに、その押圧力の分布を中央部から外周側に向かって拡げてシートSに貼付圧力を付与する。
【選択図】図1
Description
更に、特許文献1に開示された押圧部材は、中央部肉厚が外周側肉厚よりも厚い断面形状となる弾性変形可能な素材で構成されているため、ウエハの全領域においてシートに押圧力が付与されたときに、ウエハ中央部に対する押圧力がウエハ外周側に対する押圧力に比べて強くなる。従って、ウエハ外周側のシート押圧力が相対的に弱くなることによって貼付不良を生じ易い、という不都合がある。この一方、ウエハ外周側に対するシート押圧力を十分に発揮させると、中央部の押圧力が過大になる傾向をもたらし、これによってウエハが割れ易くなる、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、装置自体の部品点数を減少させ、装置の小型化を図るとともに、板状部材に対して、空気の混入をなくして確実にシートを貼付することができ、且つ、板状部材の損傷等も回避することのできるシート貼付装置を提供することにある。
前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面の外周側に連設された変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記シートを板状部材に貼付する、という構成を採っている。
前記押圧部材は、前記板状部材に対して一端が他端に対して接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面に連設された変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、前記一端から他端に向かって前記シートを板状部材に貼付する、という構成を採ることができる。
前記上下のケース及び押圧部材により第1の空間を形成する一方、前記上部ケース及び押圧部材により第2の空間を形成し、
前記シートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するときに、前記第1及び第2の空間を減圧又は略真空状態に保つ一方、前記第2の空間を徐々に減圧又は略真空状態から開放することによって前記変形許容部を変形させる、という構成を採ることが好ましい。
前記上下のケース及び押圧部材により第1の空間を形成する一方、前記押圧部材により第2の空間を形成し、
前記シートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するときに、前記第1及び第2の空間を減圧又は略真空状態に保つ一方、前記第2の空間を徐々に減圧又は略真空状態から開放することによって前記変形許容部を変形させる、という構成を採ることもできる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 テーブル
12 押圧部材
16 下部ケース
21 押圧面
23 変形許容部
30 上部ケース
S シート
S1 第1の空間
S2 第2の空間
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (7)
- 板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材に沿って配置されたシートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材は、前記板状部材に対して中央部が外周側よりも接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面の外周側に連設された変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、中央から外周に向かって前記シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付装置。 - 板状部材を支持するテーブルと、前記板状部材に沿って配置されたシートに押圧力を付与する押圧部材とを備えたシート貼付装置において、
前記押圧部材は、前記板状部材に対して一端が他端に対して接近した傾斜面若しくは曲面形状に設けられた押圧面と、当該押圧面に連設された変形許容部とからなり、
前記変形許容部を初期形状に対して変形させることで、前記押圧面を前記シートに近接させるとともに、当該押圧面を前記板状部材に対して略平行となるように変形させることで、前記一端から他端に向かって前記シートを板状部材に貼付することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記押圧面は略円錐形状をなし、前記変形許容部は、押圧面の外周に連なる屈曲形状に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記テーブルを収容する上部開放型の下部ケースと、前記押圧部材を収容する下部開放型の上部ケースとを更に含み、
前記上下のケース及び押圧部材により第1の空間を形成する一方、前記上部ケース及び押圧部材により第2の空間を形成し、
前記シートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するときに、前記第1及び第2の空間を減圧又は略真空状態に保つ一方、前記第2の空間を徐々に減圧又は略真空状態から開放することによって前記変形許容部を変形させることを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート貼付装置。 - 前記テーブルを収容する上部開放型の下部ケースと、前記押圧部材を収容する下部開放型の上部ケースとを更に含み、
前記上下のケース及び押圧部材により第1の空間を形成する一方、前記押圧部材により第2の空間を形成し、
前記シートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するときに、前記第1及び第2の空間を減圧又は略真空状態に保つ一方、前記第2の空間を徐々に減圧又は略真空状態から開放することによって前記変形許容部を変形させることを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート貼付装置。 - 前記変形許容部はジグザグ領域を含み、前記第2の空間が徐々に減圧又は略真空状態から開放されるにつれて、前記変形許容部が角度変位若しくは伸び変形することを特徴とする請求項4又は5記載のシート貼付装置。
- 前記変形許容部は、前記押圧面よりも弾性変形が容易な材質により構成され、前記第2の空間が徐々に減圧又は略真空状態から開放されるにつれて、前記変形許容部が弾性変形することを特徴とする請求項4又は5記載のシート貼付装置。
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