JP2011151230A - 支持フレーム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着シートSをウェハWの裏面WBに貼付する際に、板状部材3が移動して接着シートSの張力を吸収することで、接着シートSの残留応力を低減することができる。従って、ダイシング工程でウェハWを切断した際のチップの移動を最小限に抑えることができるとともに、個片化したチップをピックアップする際の各チップの位置ずれに伴うピックアップ不良が防止でき、製造効率を向上させることができる。
【選択図】図4
Description
また、本発明の支持フレームでは、前記支持部は、前記フレーム本体の径方向に延びる複数のレール部材と、これらのレール部材に各々スライド自在に支持されるスライド部材とを有して構成され、前記被貼付部は、前記フレーム本体の周方向に並設されるとともに前記スライド部材に連結された複数の板状部材で構成されていることが好ましい。
さらに、フレーム本体に設けたレール部材にスライド部材をスライド自在に支持するとともに、被貼付部を複数の板状部材から構成してスライド部材に連結することで、各板状部材をフレーム本体の径方向へ円滑に移動させることができる。さらに、複数の板状部材の枚数を増やして各板状部材を細分化することで、径方向への移動時における周方向の伸縮に伴う板状部材間での相対変位量を小さくすることができ、接着シートに皺が寄ることを防止することができる。
本実施形態の支持フレーム1は、マウント用シート等の接着シートSを介して被着体としてのウェハWと一体化されることで当該ウェハWを支持するリングフレームであって、図4に一部を示すシート貼付装置M1等によって、接着シートSがウェハWの裏面WBに貼付されるようになっている。支持フレーム1は、ウェハWの外周を囲んで配置可能なフレーム本体2と、このフレーム本体2に取り付けられて接着シートSが貼付される被貼付部としての複数の板状部材3と、板状部材3をフレーム本体2に対して移動自在に支持する支持部4と、板状部材3をフレーム本体2の径方向外側に付勢する付勢手段としてのCリング5とを備えて構成されている。
先ず、支持フレーム1における各板状部材3の貼付面31に渡って接着シートSを貼付しておくとともに、図4(A)に示すように、表面WAに保護シートHSが貼付されたウェハWを保護シートHSの側からシート貼付装置M1のテーブルT1に載置しておく。そして、開口21でウェハWを囲むようにしてフレーム本体2の裏面25側から支持フレーム1をテーブルT1の所定位置に載置し、図示しないテーブルT1の吸着手段によってウェハWおよび支持フレーム1を吸着保持する。次に、シート貼付装置M1の弾性変形可能な押圧ローラRで接着シートSを下方に押し下げ、この接着シートSをウェハWの裏面WBに押圧して貼付する。このとき、下方に押し下げられた接着シートSの張力によって板状部材3が径方向内側に引っ張られることで、Cリング5の付勢力に抗して板状部材3が移動し、接着シートSの張力を吸収するようになっている。この際、Cリング5の付勢力が接着シートSの張力よりも十分に小さい、すなわち、板状部材3の移動量が接着シートSの伸び変形量よりも大きくなるようにCリング5の付勢力が設定されていることで、接着シートSの径方向の伸びが抑制され、接着シートSの残留応力を低減してウェハWを支持フレーム1に支持させることができるようになっている。
すなわち、シート貼付装置M1で接着シートSをウェハWの裏面WBに貼付する際に、板状部材3が移動して接着シートSの張力を吸収することで、接着シートSの残留応力が低減でき、ダイシング工程でウェハWを切断した際のチップCの移動を最小限に抑えることができる。従って、個片化したチップCをピックアップする場合において、各チップCの位置ずれに伴うピックアップ不良を防止して製造効率を向上させることができる。
また、前記実施形態では、8個の板状部材3で被貼付部を構成したが、板状部材3の数は特に限定されるものではなく、任意にその数を増減可能である。さらに、被貼付部としては、複数の板状部材で構成されるものに限らず、環状に連続した1つの環状部材で構成されてもよく、この場合には、環状部材がその周方向に伸縮自在でかつフレーム本体の径方向に移動自在に支持されていればよい。
さらに、支持部4としては、フレーム本体2に設けられたレール部材41と板状部材3に固定されたスライド部材42とで構成されるものに限らず、板状部材3の側にレール部材が形成され、フレーム本体2の側に案内溝が形成されたものであってもよい。
2 フレーム本体
3 板状部材(被貼付部)
4 支持部
5 Cリング(付勢手段)
41 レール部材
42 スライド部材
S 接着シート
W ウェハ(被着体)
Claims (3)
- 接着シートを介して被着体を支持する支持フレームであって、
前記被着体の外周と離隔し当該外周を囲んで配置可能なフレーム本体と、
前記接着シートが貼付される被貼付部と、
前記被貼付部を前記フレーム本体に対して移動自在に支持する支持部とを備え、
前記接着シートからの張力によって前記被貼付部が前記フレーム本体の径方向に移動可能に構成されていることを特徴とする支持フレーム。 - 前記被貼付部を前記フレーム本体の径方向外側に付勢する付勢手段を備え、
前記付勢手段の付勢力は、前記接着シートからの張力に対する前記被貼付部の移動量が当該接着シートの伸び変形量よりも大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項1に記載の支持フレーム。 - 前記支持部は、前記フレーム本体の径方向に延びる複数のレール部材と、これらのレール部材に各々スライド自在に支持されるスライド部材とを有して構成され、
前記被貼付部は、前記フレーム本体の周方向に並設されるとともに前記スライド部材に連結された複数の板状部材で構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の支持フレーム。
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