JP2013122958A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部FRaを有するリングフレームFRを保持する保持手段12と、接着シートASを繰り出すシート供給手段14と、接着シートASに押圧力を付与して接着シートASをリングフレームFRに当接させる押圧手段16と、押圧手段と保持手段とを相対移動させる移動手段18と、接着シートASをリングフレームFRに貼付するときに、当該リングフレームFRに変形力を付与する変形力付与手段20とを含み、接着シートASの貼付後、変形力の付与を解除することで、接着シートASを剥離する際の張力に起因した皺等の発生が回避される。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、開口部を有する第1被着体の開口部をまたぐ位置に接着シートを貼付した際に、当該接着シートの面内に皺や弛みを発生することなく接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記第1被着体を保持する保持手段と、接着シートを繰り出すシート供給手段と、当該接着シートに押圧力を付与して接着シートを第1被着体に当接させる押圧手段と、前記押圧手段と保持手段とを相対移動させて接着シートを第1被着体に貼付する移動手段とを備え、前記保持手段は、前記第1被着体に変形力を付与する変形力付与手段を更に含む、という構成を採っている。
また、第1被着体の開口部に第2被着体を配置してこれらを一体化させる構成においては、前述したように皺や弛みの発生を回避できる結果、各被着体の相対位置が常に一定の位置になる。従って、例えば、第1被着体がリングフレームで第2被着体がウエハであって、当該ウエハをダイシングするような場合、ダイシングラインからずれてダイシングされ適切なダイシングができなくなるような不都合は生じない。
更に、前記相対移動方向に直交する方向から第1被着体に圧縮力を付与することで、前記直交方向におけるリングフレームの開口部の寸法が一時的に小さくできるため、変形力付与手段による変形力の付与を解除してリングフレームが元の寸法に復帰したときに、皺や弛みを吸収するように作用する。つまり、張力が付与された接着シートを貼付した際に生じる皺の発生を予め見込んで被着体側を変形させておき、その変形を解除することで相殺させることができる。この関係は、変形力付与手段が、前記保持手段の相対移動方向に沿う両側から前記第1被着体の開口部の外側に向けて引張力を付与したり、前記第1被着体の移動方向に沿う両側を保持手段側に固定し、移動方向に直交する両側に対して接着シートの貼付面に直交する方向への力を付与したりした場合も同様の効果を得る。
これにより、リングフレームFRは、図3(B)に示されるように、移動方向DRに直交する方向に沿う開口部FRaの内径寸法が変形前内径DW1より小さい変形後内径DW2となるように変形する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
このような変形例によれば、リングフレームFRは、図4(A)、(B)に示されるように、直交方向DSに沿う内径DW1より小さい内径DW3となるように変形する。そして、上述と同様にリングフレームRFに接着シートASを貼付した後、変形力の付与を解除して変形前内径DW1に戻したときに、これに相殺されて皺の発生が回避可能となる。
更に、リングフレームFRにおける直交方向DSの両側から変形力を付与しつつ、移動方向DRの両側から引張力を付与する構成としてもよい。
また、移動方向DRの両側から引張力を付与しつつ、リフト手段51によりリングフレームFRに変形力を付与する構成としてもよい。
12 保持手段
14 シート供給手段
16 押圧手段
18 移動手段
20 変形力付与手段
AS 接着シート
FR リングフレーム(第1被着体)
FRa 開口部
WF 半導体ウエハ(第2被着体)
Claims (6)
- 内側に開口部を有する弾性変形可能な第1被着体に当該開口部をまたいで接着シートを貼付する貼付装置であって、
前記第1被着体を保持する保持手段と、接着シートを繰り出すシート供給手段と、当該接着シートに押圧力を付与して接着シートを第1被着体に当接させる押圧手段と、前記押圧手段と保持手段とを相対移動させて接着シートを第1被着体に貼付する移動手段とを備え、
前記保持手段は、前記第1被着体に変形力を付与する変形力付与手段を更に含むことを特徴とするシート貼付装置。 - 前記保持手段は、前記第1被着体の開口部に第2被着体を保持可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に直交する両側から前記第1被着体の開口部の内側に向けて圧縮力を付与することを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記変形力付与手段は、前記保持手段の相対移動方向に沿う両側から前記第1被着体の開口部の外側に向けて引張力を付与することを特徴とする請求項1ないし3記載のシート貼付装置。
- 前記変形力付与手段は、前記第1被着体の移動方向に沿う両側を保持手段側に固定し、移動方向に直交する両側に対して接着シートの貼付面に直交する方向への力を付与することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 内側に開口部を有する第1被着体に接着シート貼付するシート貼付方法において、
前記被着体を保持手段で保持する工程と、
前記保持手段で保持した状態の当該第1被着体に変形力を付与して変形させる工程と、
前記接着シートを繰り出して当該接着シートを変形した第1被着体に押圧手段で当接させ押圧力を付与する工程と、
前記被着体を保持する保持手段と接着シートに押圧力を付与する押圧手段とを相対移動させて前記接着シートを被着体に貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。
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