JP2001209168A - フォトマスク基板等の搬送具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 重量のあるフォトマスク基板等の基板類を垂
直方向に支持して搬送するのに最適な搬送具を提供する
こと。 【解決手段】 棒状で長さ調整ができると共に可撓性を
有する支持枠１０の両端部に支持部材２０，３０を設
る。支持部材２０，３０は、一方が支持枠１０に固定さ
れた固定支持部材２０であり、他方が固定支持部材２０
に対し近づいたり遠ざかったりする可動支持部材３０で
ある。２つの支持部材２０，３０は基板類を挟持すると
きの距離を当該基板類の長さよりも若干短かく設定す
る。支持枠１０は固定支持部材２０を設けた部分に固定
レバー４０を設け、反対側に可動レバー５０を支点軸を
介して回動自在に設ける。可動レバー５０には固定支持
部材２０と対向する端部に可動支持部材３０を軸着して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フォトマスク基板
または素材ガラス基板等の搬送具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のフォトマスク基板は、角型の一辺
が１００〜２５０（ｍｍ）程度の大きさであったが、近
年の表示パネルの大型化に伴いフォトマスク基板や素材
基板が大型になり、特にフォトマスク基板においては８
００×９２０×８（ｍｍ）で重量が１０ｋｇを超えるも
のが増え、人が簡単に搬送できなくなってきている。フ
ォトマスク基板は、微細なフォトエッチングをするもの
であって基板表面あるいは端面であっても人が触れるこ
とは極度に嫌うものである。そこで、これら基板の搬
送、保管には充分な注意を払って取り扱っているが、搬
送時には仕方なく端面を手で押えておこなっているのが
現状である。

【０００３】本願発明者は、従来技術の問題点を解決す
るために特願平１１−３４８３６４号の発明を提案し
た。提案された発明は、大型で重量のある基板または重
量はないが大型のため自重で撓みやすい基板の搬送に適
している搬送具である。

【０００４】ところで、基板類はケースに収容されて保
管されている。この場合、重量のある基板類をケースか
ら取り出したり又は再び収容したりするには、基板類を
垂直方向に支持して搬送した方が取り扱いが容易であ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、本願発明者
が提案した上記出願の発明を改良したものであって、重
量のある基板類を垂直方向に支持して搬送するのに最適
な搬送具を提供することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】解決手段は、棒状で長さ
調整ができると共に可撓性を有する支持枠と、該支持枠
の両端部に設けた支持部材とからなり、支持部材は、一
方が上記支持枠に固定された固定支持部材であって、他
方が該固定支持部材に対し近づいたり遠ざかったりする
可動支持部材であり、これら２つの支持部材が基板類を
挟持するときの距離が当該基板類の長さよりも若干短か
く設定されたことを特徴とするものである。又、支持枠
は、中空の角柱体であって主支持枠の内部に挿入した副
支持枠が摺動自在であって、上記主支持枠に該主支持枠
と副支持枠を固定するための止めネジを設けたものであ
る。又、支持枠は、固定支持部材を設けた部分に固定レ
バーを設け、反対側に可動レバーを支点軸を介して回動
自在に設け、該可動レバーには上記固定支持部材と対向
する端部に上記可動支持部材を軸着し、上記可動レバー
の回動操作によって当該可動支持部材が上記固定支持部
材に対し近づいたり遠ざかったりするものである。さら
に又、固定支持部材及び可動支持部材は、平面視で各対
向面に基板類を嵌合するための支持溝を縦方向に形成し
たものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は本発明の搬送具を使用して
基板類を搬送する状態を示し、図２は搬送具の構造を示
す詳細図であり、図３は基板類を支持する作用を説明す
る図である。

【０００８】搬送具は、棒状で長さ調整ができると共に
可撓性を有する支持枠１０の両端部に基板類を支持する
支持部材２０，３０を設けたものであって、支持部材２
０，３０は、一方が固定支持部材２０であり、他方が支
持枠１０の長さ方向に移動できる可動支持部材３０であ
る。なお、支持枠１０の両端部には固定レバー４０並び
に可動レバー５０が設けられており、特に可動支持部材
３０は、可動レバー５０の回動操作によって固定支持部
材２０に向って近づけたり遠ざけたりすることができる
ようになっている。

【０００９】支持枠１０は中空の角柱体であって、主支
持枠１１の内部に挿入した副支持枠１２が摺動自在であ
って、支持枠１０の長さが調整できるものとなってい
て、止めネジ１３によって両者を固定している。実施例
では、支持枠１０は２本の資材が平行して設けられてい
て、両端部に継板１４，１５が連結されている。なお、
継板１４，１５は直角に折り曲げて形成され、折り曲げ
た部分が支持枠１０の両端部で互いに向い合う方向の側
部継板１４ａ，１５ａに形成されている。

【００１０】支持部材２０，３０は、何れも継板１４，
１５の内側に設けられたものであって、固定支持部材２
０は継板１４の側部継板１４ａに固定されている。上記
した固定レバー４０は該側部継板１４ａに連結固定され
ている。一方、可動支持部材３０は継板１５の側部継板
１５ａとは別個に設けられている。また上記可動レバー
５０が側部継板１５ａに支点軸５１を介して回動自在に
取り付けられていて、該可動レバー５０が当該側部継板
１５ａの窓孔１６を通って内側に突出する端部に上記可
動支持部材３０が連結軸５２によって連結されている。

【００１１】これにより、継板１５の外側に向って突出
する可動レバー５０を支点軸５１を中心に回動すると、
可動支持部材３０は対向する位置に設けた固定支持部材
２０に対して近づいたり遠ざかったりする。なお、支持
部材２０，３０には、図２Ｂに示すように平面視で対向
面に基板類６０を嵌合するための支持溝２１，３１が縦
方向に形成されている。

【００１２】実施例において、支持枠１０はアルミなど
による金属製であり、また支持部材２０，３０はテフロ
ンなどによる樹脂製である。

【００１３】本発明は上記の構成であって、可動レバー
５０が水平位置になったときに可動支持部材３０は最も
固定支持部材２０に近づく。今、実施例の搬送具で基板
類６０を垂直方向に支持するには、図２に示すように、
可動レバー５０を下げた状態にして固定支持部材２０と
可動支持部材３０の支持溝２１，３１を基板類６０の端
部に嵌合する。次いで図２Ａにおいて、可動レバー５０
を持ち上げる方向（時計方向）に回動すると、可動レバ
ー５０が水平位置のときに可動支持部材３０が最も内側
に寄って強い力で基板類６０を押え込み、さらに自動端
が支点軸５１を越えて同図で上方になるように傾斜させ
ると、この位置で可動レバー５０がロックされる。

【００１４】すなわち、可動レバー５０は水平位置のと
きに可動支持部材３０を最も強い力で基板類６０に押し
付けているが、可動レバー５０の先端が支点軸５１を通
過すると、該可動レバー５０は側部継板１５ａに穿けた
窓孔１６の上方部分に当接してこの位置で回動できなく
なり、同時に基板類６０を挟んでロックされる。

【００１５】可動レバー５０がロックするということ
は、支持枠１０が図３に示すように、可動レバー５０が
水平状態になって最も強い力で基板類６０を押し付ける
際に当該支持枠１０が図示したように弓状に反っている
からである。この時、支持枠１０には復元力が作用し、
これによって基板類６０を強い力で挟んでいると同時に
可動レバー５０が側部継板１５ａにロック状態で固定さ
れるのである。

【００１６】図２、図３に示すように、基板類６０が搬
送具にホールドされれば、固定レバー４０及び可動レバ
ー５０を持って基板類６０を任意の場所へ搬送すること
ができる。

【００１７】本発明で重要なことは、２つの支持部材２
０，３０の距離の設定である。すなわち、可動支持部材
３０を固定支持部材２０に近づけて基板類６０を強い力
で押し付けるときの両支持部材２０，３０の距離を支持
する基板類６０の長さよりも若干短かく設定する。こう
することにによって、可動支持部材３０を基板類６０に
押し付けたときに支持枠１０に対し弓状に反る力を与付
することができるのである。なお、支持枠１０の長さの
設定は止めネジ１３を緩め主支持枠１１から突出する副
支持枠１２の長さを変えて支持枠１０全体の長さを調整
する。

【００１８】

【発明の効果】本発明の搬送具は、大型で重量のあるフ
ォトのマスク基板等を手で触れることなく垂直に保持し
搬送することができるものである。又、基板類の支持部
分は上端近傍であるから、例えばケースに収容したり取
り出したりする作業が容易となる効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板類を支持して搬送する状態を示す斜視図。

【図２】搬送具の詳細構造を示しており、Ａは縦断面
図、Ｂは基板支持部の横断面図。

【図３】基板類の支持作用を説明するものであり、Ａは
支持部材に基板類をセットした状態を示す横断平面図、
Ｂは基板類を支持している状態を示す横断平面図。

【符号の説明】

１０ 支持枠 １１ 主支持枠 １２ 副支持枠 １３ 止めネジ １４ 継板 １４ａ 側部継板 １５ 継板 １５ａ 側部継板 １６ 窓孔 ２０ 固定支持部材 ２１ 支持溝 ３０ 可動支持部材 ３１ 支持溝 ４０ 固定レバー ５０ 可動レバー ５１ 支点軸 ５２ 連結軸 ６０ 基板類

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 棒状で長さ調整ができると共に可撓性を
   有する支持枠（１０）と、該支持枠（１０）の両端部に
   設けた支持部材（２０，３０）とからなり、支持部材
   （２０，３０）は、一方が上記支持枠（１０）に固定さ
   れた固定支持部材（２０）であって、他方が該固定支持
   部材（２０）に対し近づいたり遠ざかったりする可動支
   持部材（３０）であり、これら２つの支持部材（２０，
   ３０）が基板類を挟持するときの距離が当該基板類の長
   さよりも若干短かく設定されたことを特徴とするフォト
   マスク基板等の搬送具。
2. 【請求項２】 支持枠（１０）は、中空の角柱体であっ
   て主支持枠（１１）の内部に挿入した副支持枠（１２）
   が摺動自在であって、上記主支持枠（１１）に該主支持
   枠（１１）と副支持枠（１２）を固定するための止めネ
   ジ（１３）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の
   フォトマスク基板等の搬送具。
3. 【請求項３】 支持枠（１０）は、固定支持部材（２
   ０）を設けた部分に固定レバー（４０）を設け、反対側
   に可動レバー（５０）を支点軸（５１）を介して回動自
   在に設け、該可動レバー（５０）には上記固定支持部材
   （２０）と対向する端部に上記可動支持部材（３０）を
   軸着し、上記可動レバー（５０）の回動操作によって当
   該可動支持部材（３０）が上記固定支持部材（２０）に
   対し近づいたり遠ざかったりすることを特徴とする請求
   項１又は２に記載のフォトマスク基板等の搬送具。
4. 【請求項４】 固定支持部材（２０）及び可動支持部材
   （３０）は、平面視で各対向面に基板類を嵌合するため
   の支持溝（２１，３１）を縦方向に形成したことを特徴
   とする請求項１から３のいずれかに記載のフォトマスク
   基板等の搬送具。