JP3248894B2 - フォトマスク基板等の搬送具 - Google Patents
フォトマスク基板等の搬送具Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
またはＢＭ用ガラス基板となる基板素材の搬送具に関す
るものである。
が１００〜２５０（ｍｍ）程度の角型であったが、近年
の表示パネルの大型化に伴い８００×９２０×８（ｍ
ｍ）などで重量が１０ｋｇを超えるものが増え人が簡単
に搬送できなくなってきている。又、ＢＭ用ガラス基板
においても大型化と軽量化が進み、６２０×７５０×
０．８（ｍｍ）など、重量はないが水平に支持したとき
は自重で撓んでしまい、基板の取り扱いが困難になると
いった問題が生じている。
面に触れずに搬送できる搬送具を開発し実公平１−２６
１０７号によって提案した。図７は、本願発明者によっ
て提案された従来例であり、正面視コ字状の枠体１と取
手金具２が軸３によって連結されており、枠体１が取手
金具２に対して内側に向って付勢され、又、枠体１およ
び取手金具２の内側にガラス基板Ａを支持する支持輪４
が設けられているものである。ガラス基板Ａを搬送する
には、基板の周縁に枠体１と取手金具２の支持輪４を当
接して取手金具２により搬送する。
が限定されており、大型で重量のあるもの又は重量はな
いが大型のため自重で撓みやすいものは搬送できなかっ
た。
マスク基板またはＢＭ用ガラス基板となる基板素材を垂
直あるいは水平のいずれの方向でも保持して搬送できる
搬送具を提供することを目的としている。
に並列させた２本の固定枠を人の肩幅相当の長さを有す
る２本の連結杆によって連結し、前記各固定枠は、中空
体の主固定枠を有し該主固定枠の一端から内部に挿入し
た副固定枠を摺動自在に突出すると共に、他端に連結ピ
ンにより回動自在に可動枠を連結し、前記固定枠及び前
記可動枠の各先端部に下向きに延びる保持板を設け、該
保持板の各対向面に縦・横方向に滑り止め効果がある軟
質チューブを備えた基板支持部材を設け、上記固定枠と
可動枠の枢着部である連結ピンの近傍となる可動枠に上
記固定枠に向って延びる二又状のハンドルを固定し、上
記連結ピンに設けたコイルばねを上記固定枠と該ハンド
ルの上方部分を構成する取外しレバーとの間に装着して
該固定枠及び可動枠の各基板支持部材を互いに近づく方
向に付勢させたことを特徴とするものである。解決手段
の第２は、上記手段において、平行に並列させた２本の
固定枠を人の肩幅相当の長さを有する２本の連結杆によ
って連結し、上記固定枠の長手方向に対して直交する方
向に伸縮自在な摺動補助枠と回動自在に軸着された可動
補助枠を設け、上記摺動補助枠及び可動補助枠の各先端
部に基板支持部材が設けられていることを特徴とするも
のである。
図、図２は正面図と断面図、図３は部品図、図４はハン
ドル部の断面図、図５は基板支持部材の斜視図である。
図において、搬送具は棒状で伸縮自在な固定枠１０と可
動枠２０とが連結ピン３０によって回動自在に連結した
ものを２本使用して連結杆５０で固定し、固定枠１０と
可動枠２０の各端部に基板素材を支持する基板支持部材
４０を設けたものである。
定枠１１の内部に挿入された副固定枠１２が先端部から
摺動自在に突出しており、該副固定枠１２が前後進する
ことによって固定枠１０全体の長さを伸縮可能に調整で
きるものとなっている。１３は主固定枠１１と副固定枠
１２を固定するため当該主固定枠１１に設けた止めねじ
である。又、可動枠２０には固定枠１０を連結した連結
部近傍に固定枠１０に向って延びるハンドル２１が設け
られている。ハンドル２１は二又状に形成されていて、
固定枠１０の上方および下方にそれぞれ位置させてお
り、上方部分を取外しレバー２２に、下方部分を締付け
レバー２３としている。なお実施例では、締付けレバー
２３を取外しレバー２２よりも長く形成している。
ン３０には、コイルばね３１が装着されており、図４を
参照して、該コイルばね３１は固定枠１０に対して可動
枠２０を反時計方向に回動する付勢力を与えている。
又、基板支持部材４０は、固定枠１０と可動枠２０の各
先端部に設けた保持板１４，２４内に設けられており、
基板素材を水平方向で支持するときの横方向溝４１と、
垂直方向で支持するときの縦方向溝４２が形成されてい
る。また、横方向溝４１及び縦方向溝４２の各谷部には
滑り止め効果がある軟質チューブ４３が設けられてい
る。
はアルミなどによる金属製、また基板支持部材４０はテ
フロン（商標）、軟質チューブ４３はフッ素ゴムなどに
よる樹脂製である。
固定枠１０の可動枠２０との連結部近傍ならびに副固定
枠１２が出入する主固定枠１１の先端部近傍の２箇所を
人の肩幅相当の長さを有する２本の連結杆５０によって
連結したものである。第１実施例は、基板素材が大型で
重量のある場合の搬送に適している。
素材Ｍはケースなどに収容されており、例えば、これを
洗浄ホルダーにセットする場合に移動する。まず、基板
素材Ｍの大きさに合わせて主固定枠１１から突出する副
固定枠１２の長さを調整して固定枠１０の長さを規定
し、止めねじ１３によって両者を固定する。次いで固定
枠１０を手に持ちハンドル２１の取外しレバー２２をコ
イルばね３１に抗して押し付け、可動枠２０を図１にお
いて連結ピン３０を中心に時計方向に回動する。続いて
固定枠１０及び可動枠２０の基板支持部材４０の溝４１
（４２）に基板素材Ｍを規定の位置まで差し込まれる。
と可動枠２０は上記とは逆に反時計方向に回動し、当該
可動枠２０及び上記固定枠１０の各基板支持部材４０に
よって基板素材Ｍが支持される。これにより固定枠１０
と締付けレバー２３の両者を図２Ｂに示すように、共に
手で握ることで基板素材Ｍが搬送具に保持され搬送可能
な状態になる。
材が軽量であるが厚みが薄いために水平にしたときに自
重で大きく撓んでしまう場合の搬送に適している。なお
図６に付した符号は、第１実施例と同じ部材には当該部
材に付した符号に「２００」を付加して使用した。
うしを第１実施例と同じ位置において連結杆２５０によ
って連結したものであるが、固定枠２１０の長手方向に
対して直交する方向に摺動補助枠２６０及び可動補助枠
２７０を設けたものである。なお、摺動補助枠２６０並
びに可動補助枠２７０は固定枠２１０と可動枠２２０の
連結部近傍に設けられる。
枠２２０の連結部近傍の固定枠２１０に当該固定枠２１
０の長手方向に対して直交する方向に突設した莢体２６
１内に摺動自在に挿入したものであって、第１実施例で
説明した固定枠１０の構造と同じ構造を有しており、該
莢体２６１から突出長さが調整できるようになっている
と共に、先端部に基板支持部材２４０が設けられてい
る。２６２は摺動補助枠２６０と莢体２６１とを固定す
るための止めねじである。
設けた反対側の固定枠２１０に当該摺動補助枠２６０と
同一線上に設けられており、固定枠２１０に突設した取
付板２７１に連結ピン２７２によって回動自在に設けら
れたものである。該可動補助枠２７０は第１実施例の可
動枠２０（第２実施例の可動枠２２０）と同じ構造であ
って、先端部に基板支持部材２４０が設けられている。
１との連結部近傍に回動レバー２７３が設けられてお
り、該回動レバー２７３の先端はハンドル２２１の取外
しレバー２２２の下方に延びている。また上記した取付
板２７１と可動補助枠２７０を連結している連結ピン２
７２には、図示しないが第１実施例の連結ピン３０の場
合と同様のコイルばねが装着されていて、当該可動補助
枠２７０の先端部に対して下向きに回動する付勢力を与
えている。
であり、ハンドル２２１の取外しレバー２２２を押して
可動枠２２０及び可動補助枠２７０を回動して全ての基
板支持部材２４０の横方向溝に基板素材Ｍを収容し、次
いで締付けレバー２２３を固定枠２１０と共に持って基
板素材Ｍを搬送する。
ク基板あるいは重量はないが大型のため自重で撓みやす
いＢＭ用ガラス基板となる基板素材を垂直又は水平のい
ずれの方向でも搬送することができるものである。
Claims (2)
- 【請求項１】 平行に並列させた２本の固定枠（１０）
を人の肩幅相当の長さを有する２本の連結杆（５０）に
よって連結し、前記各固定枠（１０）は、中空体の主固
定枠（１１）を有し該主固定枠（１１）の一端から内部
に挿入した副固定枠（１２）を摺動自在に突出すると共
に、他端に連結ピン（３０）により回動自在に可動枠
（２０）を連結し、前記固定枠（１０）及び前記可動枠
（２０）の各先端部に下向きに延びる保持板（１４，２
４）を設け、該保持板（１４，２４）の各対向面に縦・
横方向に滑り止め効果がある軟質チューブを備えた基板
支持部材（４０）を設け、上記固定枠（１０）と可動枠
（２０）の枢着部である連結ピン（３０）の近傍となる
可動枠（２０）に上記固定枠（１０）に向って延びる二
又状のハンドル（２１）を固定し、上記連結ピン（３
０）に設けたコイルばね（３１）を上記固定枠（１０）
と該ハンドル（２１）の上方部分を構成する取外しレバ
ー（２２）との間に装着して該固定枠（１０）及び可動
枠（２０）の各基板支持部材（４０）を互いに近づく方
向に付勢させたことを特徴とするフォトマスク基板等の
搬送具。 - 【請求項２】 平行に並列させた２本の固定枠（２１
０）を人の肩幅相当の長さを有する２本の連結杆（２５
０）によって連結し、上記固定枠（２１０）の長手方向
に対して直交する方向に伸縮自在な摺動補助枠（２６
０）と回動自在に軸着された可動補助枠（２７０）を設
け、上記摺動補助枠（２６０）および可動補助枠（２７
０）の各先端部に基板支持部材（２４０）が設けられて
いることを特徴とする請求項１に記載のフォトマスク基
板等の搬送具。
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| JP34836499A JP3248894B2 (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | フォトマスク基板等の搬送具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34836499A JP3248894B2 (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | フォトマスク基板等の搬送具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP3248894B2 true JP3248894B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=18396539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP34836499A Expired - Fee Related JP3248894B2 (ja) | 1999-12-08 | 1999-12-08 | フォトマスク基板等の搬送具 |
Country Status (1)
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1999
- 1999-12-08 JP JP34836499A patent/JP3248894B2/ja not_active Expired - Fee Related
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