CN217194366U

CN217194366U - 一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

Info

Publication number: CN217194366U
Application number: CN202123206271.7U
Authority: CN
Inventors: 李有群; 章磊; 贺贤汉; 陈辉; 孙大方
Original assignee: Shanghai Shenhe Investment Co ltd
Current assignee: Shanghai Shenhe Investment Co ltd
Priority date: 2021-12-20
Filing date: 2021-12-20
Publication date: 2022-08-16
Anticipated expiration: 2031-12-20

Abstract

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座，还包括提升转运机构、拼接机构、缓冲机构、折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，所述提升转运机构固定安装在底座底部两侧，所述拼接机构固定安装在底座外壁两侧，本实用新型通过设置有折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，将陶瓷盘放置在置物板顶部，陶瓷盘两侧与两个夹板相抵触，使夹板带动伸缩板向内移动，从而使第二伸缩弹簧向内收缩，产生回弹力，使夹板将陶瓷盘两侧夹紧固定，更好的对陶瓷盘进行夹持限位，防止在转运过程中陶瓷盘在置物板内侧来回移动，导致晶片的掉落，影响后续的使用，同时夹板一侧的防滑垫可以更加便捷的对陶瓷盘连个进行防滑。

Description

一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

背景技术

碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，碳化硅晶片在加工过程中需要进行抛光，在抛光段需要将盛放有碳化硅晶片的陶瓷盘转运到抛光机上进行抛光，一次抛光完成后需要转运进入下一个阶段，在整个抛光工序中贴有晶片的陶瓷盘需要在不同的车间进行转运。

目前使用的转运装置在使用过程中无法很好的对晶片进行防护，在转运过程中外界空气中的灰尘或颗粒会对晶片造成污染，影响晶片后续的抛光，降低了装置的使用效果。

因此，现在亟需设计一种能解决上述一个或者多个问题的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本实用新型提供了一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置。

本实用新型为达到上述目的所采用的技术方案是：一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座，还包括提升转运机构、拼接机构、缓冲机构、折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，所述提升转运机构固定安装在底座底部两侧，所述拼接机构固定安装在底座外壁两侧，所述缓冲机构固定安装在底座一侧，所述折叠机构固定安装在底座顶部，所述折叠机构包括四个分别固定安装在底座顶部两侧的电动推杆、固定安装在四个电动推杆的伸缩端的顶板、四个分别固定安装在顶板底部两侧的安装块、四个分别固定安装在四个安装块底部的第一销轴、四个分别通过第一销轴与安装块铰接的折叠杆、固定连接在四个折叠杆底部的置物板、四个分别开设在置物板顶部两侧的安装槽和四个分别固定安装在四个安装槽内侧的第二销轴，四个所述折叠杆的底部固定连接在四个第二销轴顶部，所述夹持限位机构固定安装在置物板内壁两侧，所述防尘机构固定安装在顶板外壁两侧。

优选的，所述提升转运机构包括四个分别固定安装在底座底部两侧的地脚、四个分别固定安装在四个地脚内部的电动升降套杆和四个分别固定安装在四个电动升降套杆的底端的滚轮。

优选的，所述拼接机构包括两个分别固定安装在底座外壁两侧的合页、两个分别固定安装在两个合页一侧的支撑板、两个分别配合安装在两个支撑板内侧的延长板、两个分别固定安装在两个延长板一侧的第一固定螺栓、多个分别开设在两个延长板一侧的限位孔和两个分别配合安装在多个限位孔内侧的限位杆。

优选的，所述缓冲机构包括三个分别固定安装在底座一侧的连接块、三个分别固定安装在三个连接块一侧的第一伸缩套、三个分别固定安装在三个第一伸缩套内部的第一固定块和三个分别配合安装在三个第一伸缩套内侧的伸缩杆，每个所述第一固定块与伸缩杆之间均连接有一个第一伸缩弹簧。

优选的，所述夹持限位机构包括两个分别固定安装在置物板内壁两侧的安装板、两个分别固定安装在两个安装板一侧的第二伸缩套、多个分别固定安装在两个第二伸缩套内部的第二固定块、两个分别配合安装在两个第二伸缩套内侧的伸缩板、两个分别固定安装在两个伸缩板一侧的夹板、两个分别固定安装在两个夹板一侧的防滑垫，每个所述第二固定块与伸缩板之间均连接有一个第二伸缩弹簧。

优选的，所述防尘机构包括多个分别固定安装在顶板顶部两侧的固定板、多个分别固定安装在多个固定板一侧的第二固定螺栓和四个分别固定安装在多个第二固定螺栓一侧的防尘板。

本实用新型的有益效果是：

其一：本实用新型通过设置有折叠机构、夹持限位机构和防尘机构，将陶瓷盘放置在置物板顶部，陶瓷盘两侧与两个夹板相抵触，使夹板带动伸缩板向内移动，从而使第二伸缩弹簧向内收缩，从而产生回弹力，使夹板将陶瓷盘两侧夹紧固定，更好的对陶瓷盘进行夹持限位，防止在转运过程中陶瓷盘在置物板内侧来回移动，导致晶片的掉落，影响后续的使用，同时夹板一侧的防滑垫可以更加便捷的对陶瓷盘连个进行防滑，夹持更加的稳定，再将防尘板通过固定板和第二固定螺栓固定连接在顶板两侧，再打开电动推杆使电动推杆带动顶板向下移动，使最底部的置物板与底座相接触，持续下降，使置物板之间的折叠杆通过第一销轴和第二销轴进行旋转，从而使折叠杆向内折叠，直至置物板之间收缩至最小间距，可以更加便捷的对置物板之间进行收缩，使晶片可以得到更好的防护，防止在转运过程中空气中的灰尘对晶片表面进行污染，影响晶片后续的使用，同时降低装置的高度可以使装置更加的稳定，从而使顶板与底座之间的高度收缩至最低，从而使防尘板对置物板之间的缝隙进行遮挡，更加有效的对晶片进行防尘防护，装置的转运效果更佳。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的夹持限位机构结构示意图；

图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型的图2中B处放大结构示意图。

附图标记说明：1、底座；2、提升转运机构；21、地脚；22、电动升降套杆；23、滚轮；3、拼接机构；31、合页；32、支撑板；33、延长板；34、第一固定螺栓；35、限位孔；36、限位杆；4、缓冲机构；41、连接块；42、第一伸缩套；43、第一固定块；44、第一伸缩弹簧；45、伸缩杆；5、折叠机构；51、电动推杆；52、顶板；53、安装块；54、第一销轴；55、折叠杆；56、置物板；57、安装槽；58、第二销轴；6、夹持限位机构；61、安装板；62、第二伸缩套；63、第二固定块；64、第二伸缩弹簧；65、伸缩板；66、夹板；67、防滑垫；68、陶瓷盘；7、防尘机构；71、固定板；72、第二固定螺栓；73、防尘板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1至4所示，本实用新型提供了一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座1，还包括提升转运机构2、拼接机构3、缓冲机构4、折叠机构5、夹持限位机构6和防尘机构7，提升转运机构2固定安装在底座1底部两侧，拼接机构3固定安装在底座1外壁两侧，缓冲机构4固定安装在底座1一侧，折叠机构5固定安装在底座1顶部，折叠机构5包括四个分别固定安装在底座1顶部两侧的电动推杆51、固定安装在四个电动推杆51的伸缩端的顶板52、四个分别固定安装在顶板52底部两侧的安装块53、四个分别固定安装在四个安装块53底部的第一销轴54、四个分别通过第一销轴54与安装块53铰接的折叠杆55、固定连接在四个折叠杆55底部的置物板56、四个分别开设在置物板56顶部两侧的安装槽57和四个分别固定安装在四个安装槽57内侧的第二销轴58，四个折叠杆55的底部固定连接在四个第二销轴58顶部，夹持限位机构6固定安装在置物板56内壁两侧，防尘机构7固定安装在顶板52外壁两侧。

上述具体实施方案：打开电动推杆51使电动推杆51带动顶板52向下移动，使最底部的置物板56与底座1相接触，持续下降，使置物板56之间的折叠杆55通过第一销轴54和第二销轴58进行旋转，从而使折叠杆55向内折叠，直至置物板56之间收缩至最小间距，可以更加便捷的对置物板56之间进行收缩，使晶片可以得到更好的防护，防止在转运过程中空气中的灰尘对晶片表面进行污染，影响晶片后续的使用，同时降低装置的高度可以使装置更加的稳定。

具体的，提升转运机构2包括四个分别固定安装在底座1底部两侧的地脚21、四个分别固定安装在四个地脚21内部的电动升降套杆22和四个分别固定安装在四个电动升降套杆22的底端的滚轮23，通过设置有地脚21、电动升降套杆22和滚轮23，可以更加便捷的根据使用的需求对底座1进行移动和固定，当装置停止使用时可以便捷快速的对装置进行固定，防止装置装置发生移位。

具体的，拼接机构3包括两个分别固定安装在底座1外壁两侧的合页31、两个分别固定安装在两个合页31一侧的支撑板32、两个分别配合安装在两个支撑板32内侧的延长板33、两个分别固定安装在两个延长板33一侧的第一固定螺栓34、多个分别开设在两个延长板33一侧的限位孔35和两个分别配合安装在多个限位孔35内侧的限位杆36，通过设置有合页31、支撑板32、延长板33、第一固定螺栓34、限位孔35和限位杆36,可以更加便捷的对两个装置之间进行拼接固定，有效提升了装置的使用效率。

具体的，缓冲机构4包括三个分别固定安装在底座1一侧的连接块41、三个分别固定安装在三个连接块41一侧的第一伸缩套42、三个分别固定安装在三个第一伸缩套42内部的第一固定块43和三个分别配合安装在三个第一伸缩套42内侧的伸缩杆45，每个第一固定块43与伸缩杆45之间均连接有一个第一伸缩弹簧44，通过设置有连接块41、第一伸缩套42、第一固定块43、第一伸缩弹簧44和伸缩杆45，可以更好的对两个装置之间进行缓冲减震，防止由于惯性两个装置之间产生撞击和晃动，影响稳定性。

具体的，夹持限位机构6包括两个分别固定安装在置物板56内壁两侧的安装板61、两个分别固定安装在两个安装板61一侧的第二伸缩套62、多个分别固定安装在两个第二伸缩套62内部的第二固定块63、两个分别配合安装在两个第二伸缩套62内侧的伸缩板65、两个分别固定安装在两个伸缩板65一侧的夹板66、两个分别固定安装在两个夹板66一侧的防滑垫67，每个第二固定块63与伸缩板65之间均连接有一个第二伸缩弹簧64，通过设置有安装板61、第二伸缩套62、第二固定块63、第二伸缩弹簧64、伸缩板65、夹板66和防滑垫67，可以更好的对陶瓷盘68进行夹持限位，防止在转运过程中陶瓷盘68在置物板56内侧来回移动，导致晶片的掉落，影响后续的使用，同时夹板66一侧的防滑垫67可以更加便捷的对陶瓷盘68连个进行防滑，夹持更加的稳定。

具体的，防尘机构7包括多个分别固定安装在顶板52顶部两侧的固定板71、多个分别固定安装在多个固定板71一侧的第二固定螺栓72和四个分别固定安装在多个第二固定螺栓72一侧的防尘板73，通过设置有固定板71、第二固定螺栓72和防尘板73，使防尘板73对置物板56之间的缝隙进行遮挡，更加有效的对晶片进行防尘防护，装置的转运效果更佳。

综上，本实用新型包括：首先接通外部电源，将陶瓷盘68放置在置物板56顶部，陶瓷盘68两侧与两个夹板66相抵触，使夹板66带动伸缩板65向内移动，从而使第二伸缩弹簧64向内收缩，从而产生回弹力，使夹板66将陶瓷盘68两侧夹紧固定，再将防尘板73通过固定板71和第二固定螺栓72固定连接在顶板52两侧，然后打开电动推杆51使电动推杆51带动顶板52向下移动，使最底部的置物板56与底座1相接触，持续下降，使置物板56之间的折叠杆55通过第一销轴54和第二销轴58进行旋转，从而使折叠杆55向内折叠，直至置物板56之间收缩至最小间距，再拉动支撑板32使支撑板32带动合页31旋转向内，再拉动延长板33使延长板33在支撑板32内侧移动抽出，再将限位杆36插入限位孔35内部，对延长板33进行固定，再将第一固定螺栓34拧紧固定，从而对两个底座1固定连接，其次打开电动升降套杆22使电动升降套杆22带动滚轮23向下移动，直至滚轮23延伸出地脚21外部，再嘴装置进行转运，最后当装置之间产生压力，后方的底座1带动伸缩杆45在第一伸缩套42内侧移动，从而带动第一伸缩弹簧44进行收缩，从而对两个装置之间进行缓冲减震，其中电动升降套杆22的型号为：XYDHA24-800，电动推杆51的型号为：YS-NZ100-12A。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或者多种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，包括底座（1），其特征在于：还包括提升转运机构（2）、拼接机构（3）、缓冲机构（4）、折叠机构（5）、夹持限位机构（6）和防尘机构（7），所述提升转运机构（2）固定安装在底座（1）底部两侧，所述拼接机构（3）固定安装在底座（1）外壁两侧，所述缓冲机构（4）固定安装在底座（1）一侧，所述折叠机构（5）固定安装在底座（1）顶部，所述折叠机构（5）包括四个分别固定安装在底座（1）顶部两侧的电动推杆（51）、固定安装在四个电动推杆（51）的伸缩端的顶板（52）、四个分别固定安装在顶板（52）底部两侧的安装块（53）、四个分别固定安装在四个安装块（53）底部的第一销轴（54）、四个分别通过第一销轴（54）与安装块（53）铰接的折叠杆（55）、固定连接在四个折叠杆（55）底部的置物板（56）、四个分别开设在置物板（56）顶部两侧的安装槽（57）和四个分别固定安装在四个安装槽（57）内侧的第二销轴（58），四个所述折叠杆（55）的底部固定连接在四个第二销轴（58）顶部，所述夹持限位机构（6）固定安装在置物板（56）内壁两侧，所述防尘机构（7）固定安装在顶板（52）外壁两侧。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述提升转运机构（2）包括四个分别固定安装在底座（1）底部两侧的地脚（21）、四个分别固定安装在四个地脚（21）内部的电动升降套杆（22）和四个分别固定安装在四个电动升降套杆（22）的底端的滚轮（23）。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述拼接机构（3）包括两个分别固定安装在底座（1）外壁两侧的合页（31）、两个分别固定安装在两个合页（31）一侧的支撑板（32）、两个分别配合安装在两个支撑板（32）内侧的延长板（33）、两个分别固定安装在两个延长板（33）一侧的第一固定螺栓（34）、多个分别开设在两个延长板（33）一侧的限位孔（35）和两个分别配合安装在多个限位孔（35）内侧的限位杆（36）。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述缓冲机构（4）包括三个分别固定安装在底座（1）一侧的连接块（41）、三个分别固定安装在三个连接块（41）一侧的第一伸缩套（42）、三个分别固定安装在三个第一伸缩套（42）内部的第一固定块（43）和三个分别配合安装在三个第一伸缩套（42）内侧的伸缩杆（45），每个所述第一固定块（43）与伸缩杆（45）之间均连接有一个第一伸缩弹簧（44）。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述夹持限位机构（6）包括两个分别固定安装在置物板（56）内壁两侧的安装板（61）、两个分别固定安装在两个安装板（61）一侧的第二伸缩套（62）、多个分别固定安装在两个第二伸缩套（62）内部的第二固定块（63）、两个分别配合安装在两个第二伸缩套（62）内侧的伸缩板（65）、两个分别固定安装在两个伸缩板（65）一侧的夹板（66）、两个分别固定安装在两个夹板（66）一侧的防滑垫（67），每个所述第二固定块（63）与伸缩板（65）之间均连接有一个第二伸缩弹簧（64）。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光工艺转运用装置，其特征在于：所述防尘机构（7）包括多个分别固定安装在顶板（52）顶部两侧的固定板（71）、多个分别固定安装在多个固定板（71）一侧的第二固定螺栓（72）和四个分别固定安装在多个第二固定螺栓（72）一侧的防尘板（73）。