JPH11322069A - 基板搬送用フィンガ組立体 - Google Patents
基板搬送用フィンガ組立体Info
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- JPH11322069A JPH11322069A JP12896098A JP12896098A JPH11322069A JP H11322069 A JPH11322069 A JP H11322069A JP 12896098 A JP12896098 A JP 12896098A JP 12896098 A JP12896098 A JP 12896098A JP H11322069 A JPH11322069 A JP H11322069A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィンガで把持して搬送するガラス基板の変
形を小さくするとともに、重量が軽く剛性が大でかつ受
け渡しピンを避けることが可能なフィンガ組立体を提供
する。 【解決手段】 フィンガ組立体１０は、搬送装置に取付
けるための固定部１０ａと、固定部に一端が固着された
平行な少なくとも３本の同一断面形状または同一断面２
次モーメントを有するフィンガ１２を具備するガラス基
板支持部１０ｂとで形成する。各フィンガには吸着パッ
ド３及び吸着用エアー回路を設ける。
形を小さくするとともに、重量が軽く剛性が大でかつ受
け渡しピンを避けることが可能なフィンガ組立体を提供
する。 【解決手段】 フィンガ組立体１０は、搬送装置に取付
けるための固定部１０ａと、固定部に一端が固着された
平行な少なくとも３本の同一断面形状または同一断面２
次モーメントを有するフィンガ１２を具備するガラス基
板支持部１０ｂとで形成する。各フィンガには吸着パッ
ド３及び吸着用エアー回路を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶用ガラス基板等
の基板を保持して搬送するための搬送用フィンガ組立体
に関するものである。
の基板を保持して搬送するための搬送用フィンガ組立体
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の基板搬送用フィンガ組立体
は、特開平７−２３７７６５号公報に開示されているよ
うに、図７の全体構成を示す平面図において、細長い板
状の本体部材（ハンド３１）上に吸着構造部３３を備
え、本体部材は２本のハンド３１から成り、それぞれの
本体部材はワーク（基板）１０３の両端支持部間の距離
に近い間隔Ｄを隔てて連結板３２に結合されている。
は、特開平７−２３７７６５号公報に開示されているよ
うに、図７の全体構成を示す平面図において、細長い板
状の本体部材（ハンド３１）上に吸着構造部３３を備
え、本体部材は２本のハンド３１から成り、それぞれの
本体部材はワーク（基板）１０３の両端支持部間の距離
に近い間隔Ｄを隔てて連結板３２に結合されている。
【０００３】あるいはまた、特開平８−１４３１４７号
公報に開示されているように、図８において、ガラス基
板Ｗより僅かに外形寸法の小さい一体に形成された本体
４２の上面に設けられた、複数の凹部４３内に吸着具４
７が設けられて、平板状のハンド４１を形成した吸着装
置Ｍ1 によって、薄板上のワークであるガラス基板Ｗ等
の移送に用いられている。
公報に開示されているように、図８において、ガラス基
板Ｗより僅かに外形寸法の小さい一体に形成された本体
４２の上面に設けられた、複数の凹部４３内に吸着具４
７が設けられて、平板状のハンド４１を形成した吸着装
置Ｍ1 によって、薄板上のワークであるガラス基板Ｗ等
の移送に用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の基板搬
送用フィンガ組立体（ハンド）は、２本の本体部材（ハ
ンド）で形成されているか、または１枚の平板状のハン
ドで形成されているため、搬送すべきガラス基板等が大
判化するに伴い、２本のハンドで基板を保持する場合に
は、支持部間の間隔が大きくなるためにガラス基板の自
重によるガラス基板のたわみが大きくなったり、ガラス
基板の重量による２本のハンド（本願ではフィンガと称
す）の変形が大きくなったために、ガラス基板を収納す
るためのカセットまたはマガジンに設けられる収納スペ
ースのピッチを大きくしなければならないという欠点が
あり、また搬送中の基板に与える振動が大となるという
欠点がある。
送用フィンガ組立体（ハンド）は、２本の本体部材（ハ
ンド）で形成されているか、または１枚の平板状のハン
ドで形成されているため、搬送すべきガラス基板等が大
判化するに伴い、２本のハンドで基板を保持する場合に
は、支持部間の間隔が大きくなるためにガラス基板の自
重によるガラス基板のたわみが大きくなったり、ガラス
基板の重量による２本のハンド（本願ではフィンガと称
す）の変形が大きくなったために、ガラス基板を収納す
るためのカセットまたはマガジンに設けられる収納スペ
ースのピッチを大きくしなければならないという欠点が
あり、また搬送中の基板に与える振動が大となるという
欠点がある。
【０００５】さらにまた、ガラス基板の表面には各種の
プロセスが施されているが、この表面に施されたプロセ
スを損傷させないため、ガラス基板の許容変形量が規定
されている。
プロセスが施されているが、この表面に施されたプロセ
スを損傷させないため、ガラス基板の許容変形量が規定
されている。
【０００６】上述の課題を解決するためには、フィンガ
の剛性を高めてフィンガで保持されたガラス基板の変形
量を小さく抑える必要がある。そのためには、ガラス基
板を保持するフィンガの形状を、できるだけガラス基板
の全面を受けるような形状としなければならぬが、その
ような形状のフィンガは、上述したような従来の形式で
はフィンガ自身の重量が過大となるともに、プロセス装
置内でガラス基板の受け渡しをする場合に使用される、
プロセス装置に設けられたピン等の部材が邪魔となっ
て、基板の受け渡しが困難となるという欠点がある。
の剛性を高めてフィンガで保持されたガラス基板の変形
量を小さく抑える必要がある。そのためには、ガラス基
板を保持するフィンガの形状を、できるだけガラス基板
の全面を受けるような形状としなければならぬが、その
ような形状のフィンガは、上述したような従来の形式で
はフィンガ自身の重量が過大となるともに、プロセス装
置内でガラス基板の受け渡しをする場合に使用される、
プロセス装置に設けられたピン等の部材が邪魔となっ
て、基板の受け渡しが困難となるという欠点がある。
【０００７】本発明の目的は、大判のガラス基板等の搬
送用フィンガ組立体において、把持されるガラス基板等
の変形をできるだけ小さくするとともに、フィンガ自身
の重量が軽く、剛性が大で変形量が小さく、かつプロセ
ス装置内の受け渡しのためのピン位置を避けることが可
能な基板搬送用フィンガ組立体を提供することにある。
送用フィンガ組立体において、把持されるガラス基板等
の変形をできるだけ小さくするとともに、フィンガ自身
の重量が軽く、剛性が大で変形量が小さく、かつプロセ
ス装置内の受け渡しのためのピン位置を避けることが可
能な基板搬送用フィンガ組立体を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送用フィ
ンガ組立体は、上面が同一平面に位置するように配設さ
れた複数の細長い板状のフィンガの上面に、薄板状の基
板を載置して搬送装置により基板を搬送するための基板
搬送用フィンガ組立体において、そのフィンガ組立体
を、搬送装置に取付けるための固定部と、その固定部に
一方の端部が固着され、かつ平行に配設された少なくと
も３本のフィンガを含む基板支持部とが設けられてい
る。
ンガ組立体は、上面が同一平面に位置するように配設さ
れた複数の細長い板状のフィンガの上面に、薄板状の基
板を載置して搬送装置により基板を搬送するための基板
搬送用フィンガ組立体において、そのフィンガ組立体
を、搬送装置に取付けるための固定部と、その固定部に
一方の端部が固着され、かつ平行に配設された少なくと
も３本のフィンガを含む基板支持部とが設けられてい
る。
【０００９】上述の各フィンガの形態は、長手方向に直
角な断面形状が、すべて同一であるか、または長手方向
に直角な断面における断面２次モーメントが等しいこと
が望ましい形態である。
角な断面形状が、すべて同一であるか、または長手方向
に直角な断面における断面２次モーメントが等しいこと
が望ましい形態である。
【００１０】さらに各フィンガの上面に、基板を吸着保
持するための吸着装置が設けられ、また各フィンガの内
部には吸着装置に吸気用エアーを送るためのエアー回路
が設けられる。
持するための吸着装置が設けられ、また各フィンガの内
部には吸着装置に吸気用エアーを送るためのエアー回路
が設けられる。
【００１１】上述したフィンガ組立体は、少なくとも３
本の同一断面形状を有する、軽量でかつ剛性のあるフィ
ンガで形成された基板支持部によって、基板の全面を把
持して基板を運搬するため、基板の変形が許容変形量以
下に少なくなり、運搬中に振動せず、かつフィンガ間の
間隔を適切にとることにより、プロセス装置上において
受け渡し用ピンを避けて授受を行うことができる。
本の同一断面形状を有する、軽量でかつ剛性のあるフィ
ンガで形成された基板支持部によって、基板の全面を把
持して基板を運搬するため、基板の変形が許容変形量以
下に少なくなり、運搬中に振動せず、かつフィンガ間の
間隔を適切にとることにより、プロセス装置上において
受け渡し用ピンを避けて授受を行うことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態について
図面を参照して説明する。図１は本発明の基板搬送用フ
ィンガ組立体の斜視略図である。
図面を参照して説明する。図１は本発明の基板搬送用フ
ィンガ組立体の斜視略図である。
【００１３】図１において、フィンガ組立体１０は、不
図示のロボット等の搬送装置に固定するための固定部１
０ａと、ガラス基板をその上に支持するためのフォーク
状のガラス基板支持部１０ｂとから形成される。固定部
１０ａには、フィンガ組立体１０をロボットのアームと
ボルトによって固定するための固定用ボルト孔５、及び
ガラス基板を吸着把持するために使用する吸着装置のた
めの真空回路導入部４を備えている。
図示のロボット等の搬送装置に固定するための固定部１
０ａと、ガラス基板をその上に支持するためのフォーク
状のガラス基板支持部１０ｂとから形成される。固定部
１０ａには、フィンガ組立体１０をロボットのアームと
ボルトによって固定するための固定用ボルト孔５、及び
ガラス基板を吸着把持するために使用する吸着装置のた
めの真空回路導入部４を備えている。
【００１４】ガラス基板支持部１０ｂは、固定部１０ａ
からフォーク状に延びる４本の細長い板状のフィンガ２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄによって形成され、各フィンガは
平行で上面が同一平面上に位置するように配設されてい
る。各フィンガの形状は、フォークの長さＬに亘って巾
ｌがすべて等しくｌ1 ＝ｌ2 ＝ｌ3 ＝ｌ4 であり、各フ
ィンガの厚さｔはすべて等しくなっている。
からフォーク状に延びる４本の細長い板状のフィンガ２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄによって形成され、各フィンガは
平行で上面が同一平面上に位置するように配設されてい
る。各フィンガの形状は、フォークの長さＬに亘って巾
ｌがすべて等しくｌ1 ＝ｌ2 ＝ｌ3 ＝ｌ4 であり、各フ
ィンガの厚さｔはすべて等しくなっている。
【００１５】したがって各フィンガ２ａ，２ｂ，２ｃ，
２ｄの長手方向に直角な断面における断面２次モーメン
ト、Ｉ＝１／１２ｌiｔ3・・・（ｉ＝１，２，３，４）
は、すべて等しくなる。よって各フィンガ２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄの剛性はすべて同一である。
２ｄの長手方向に直角な断面における断面２次モーメン
ト、Ｉ＝１／１２ｌiｔ3・・・（ｉ＝１，２，３，４）
は、すべて等しくなる。よって各フィンガ２ａ，２ｂ，
２ｃ，２ｄの剛性はすべて同一である。
【００１６】通常各フィンガ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄの
中心間隔ｘは等しく形成する。その場合にはガラス基板
支持部１０ｂのフォークの全巾は（３ｘ＋ｌ）となる。
その全巾（３ｘ＋ｌ）を有するガラス基板支持部１０ｂ
の上に、巾Ｗ＝４ｘを有するガラス基板１０３を載せた
とき、ガラス基板１０３の重量により各フィンガ２ａ，
２ｂ，２ｃ，２ｄの上にかかる荷重は完全に等しくな
る。したがって、ガラス基板１０３から受ける荷重によ
る各フィンガ２ａ〜２ｄの変形量を等しくすることがで
き、各フィンガ間において変形のバラツキがなくなるた
め、ガラス基板１０３が１ケ所だけ大きく撓むといった
変形が発生することはない。
中心間隔ｘは等しく形成する。その場合にはガラス基板
支持部１０ｂのフォークの全巾は（３ｘ＋ｌ）となる。
その全巾（３ｘ＋ｌ）を有するガラス基板支持部１０ｂ
の上に、巾Ｗ＝４ｘを有するガラス基板１０３を載せた
とき、ガラス基板１０３の重量により各フィンガ２ａ，
２ｂ，２ｃ，２ｄの上にかかる荷重は完全に等しくな
る。したがって、ガラス基板１０３から受ける荷重によ
る各フィンガ２ａ〜２ｄの変形量を等しくすることがで
き、各フィンガ間において変形のバラツキがなくなるた
め、ガラス基板１０３が１ケ所だけ大きく撓むといった
変形が発生することはない。
【００１７】各フィンガ２ａ〜２ｄの上には、ガラス基
板１０３を安定して吸着保持するための公知の構造を有
する吸着装置すなわち吸着パッド３を各フィンガにつき
少なくとも２個づつ合計１２個（３ａ〜３ｈ）設ける。
吸着パッド３は後述の真空回路に接続される。
板１０３を安定して吸着保持するための公知の構造を有
する吸着装置すなわち吸着パッド３を各フィンガにつき
少なくとも２個づつ合計１２個（３ａ〜３ｈ）設ける。
吸着パッド３は後述の真空回路に接続される。
【００１８】また上述の吸着パッド３の代わりに、ピン
状の支持ピンを設けることもできる。この場合には真空
回路は不要となる。
状の支持ピンを設けることもできる。この場合には真空
回路は不要となる。
【００１９】図２は、図１に示したフィンガ組立体１０
の吸着パッド３に接続する真空回路の図であって、図２
（Ａ）は、図１のフィンガ組立体１０を裏面から見た斜
視略図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ線断面の略図
である。
の吸着パッド３に接続する真空回路の図であって、図２
（Ａ）は、図１のフィンガ組立体１０を裏面から見た斜
視略図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ−Ａ線断面の略図
である。
【００２０】図２（Ａ）において、溝状の配管路７が、
固定部１０ａに設けられた真空回路導入部４を起点とし
てフィンガ組立体１０の内部に設けられ、各フィンガ２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを経由して吸着パッド３ａ〜３ｈ
と連通している。溝状の配管路７の加工は、まず、フィ
ンガ組立体１０の裏面に図示の経路で溝を切り、その後
図２（Ｂ）に示すように、配管路カバー６で覆って溝を
密封する。
固定部１０ａに設けられた真空回路導入部４を起点とし
てフィンガ組立体１０の内部に設けられ、各フィンガ２
ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄを経由して吸着パッド３ａ〜３ｈ
と連通している。溝状の配管路７の加工は、まず、フィ
ンガ組立体１０の裏面に図示の経路で溝を切り、その後
図２（Ｂ）に示すように、配管路カバー６で覆って溝を
密封する。
【００２１】図３は、図１において説明したフィンガ組
立体１０を、基板の搬送装置である不図示のロボットの
ロボットアーム１０１に固定し、その上にガラス基板１
０３を載せて吸着パッド３で吸着把持し、次の所定のプ
ロセスを行う装置１０２まで搬送し、装置１０２の上に
設けられた昇降ピン１０４の上にガラス基板１０３を載
置した図である。
立体１０を、基板の搬送装置である不図示のロボットの
ロボットアーム１０１に固定し、その上にガラス基板１
０３を載せて吸着パッド３で吸着把持し、次の所定のプ
ロセスを行う装置１０２まで搬送し、装置１０２の上に
設けられた昇降ピン１０４の上にガラス基板１０３を載
置した図である。
【００２２】昇降ピン１０４は、プロセスを行う装置１
０２の上面に設けられ、搬送されてきたガラス基板１０
３の授受を行うための装置であって、その１例を図４の
装置１０２を含む部分断面略図で示す。
０２の上面に設けられ、搬送されてきたガラス基板１０
３の授受を行うための装置であって、その１例を図４の
装置１０２を含む部分断面略図で示す。
【００２３】昇降ピン１０４の形状は、直径ｄを有する
細長い柱状で、プロセスを行う装置１０２の表面と直角
に、中心間隔ｙで配設され、不図示の駆動装置によって
上下に昇降可能である。この場合直径ｄの寸法は、フィ
ンガ２同志の間隔（ｘ−ｌ）より小であり、また昇降ピ
ン１０４の中心間隔ｙとフィンガ２の間隔ｘとは等しく
なっている。
細長い柱状で、プロセスを行う装置１０２の表面と直角
に、中心間隔ｙで配設され、不図示の駆動装置によって
上下に昇降可能である。この場合直径ｄの寸法は、フィ
ンガ２同志の間隔（ｘ−ｌ）より小であり、また昇降ピ
ン１０４の中心間隔ｙとフィンガ２の間隔ｘとは等しく
なっている。
【００２４】図３に示す位置において、フィンガ組立体
１０の上に把持されているガラス基板１０３を、プロセ
スを行う装置１０２上に載置する動作を図４を用いて説
明する。
１０の上に把持されているガラス基板１０３を、プロセ
スを行う装置１０２上に載置する動作を図４を用いて説
明する。
【００２５】あらかじめプロセスを行う装置１０２の上
面から、昇降ピン１０４の頂部を高さｈだけ上昇させて
おく。高さｈはフィンガ２の厚さｔより大きくとる。フ
ィンガ２に把持されたガラス基板１０３の吸着パッド３
による吸着を解除するとともに、ガラス基板１０３を図
３に示す位置から徐々に下降させて、隣り合うフィンガ
２が各昇降ピン１０４の間に来るように下降させ、ガラ
ス基板１０３が昇降ピン１０４の頂部に接触して支持さ
れたときフィンガ２の下降を停止すれば、図４に示す状
態となる。その後フィンガ２を退避させ、昇降ピンを降
下させればガラス基板１０３はプロセスを行う装置１０
２上に載置される。
面から、昇降ピン１０４の頂部を高さｈだけ上昇させて
おく。高さｈはフィンガ２の厚さｔより大きくとる。フ
ィンガ２に把持されたガラス基板１０３の吸着パッド３
による吸着を解除するとともに、ガラス基板１０３を図
３に示す位置から徐々に下降させて、隣り合うフィンガ
２が各昇降ピン１０４の間に来るように下降させ、ガラ
ス基板１０３が昇降ピン１０４の頂部に接触して支持さ
れたときフィンガ２の下降を停止すれば、図４に示す状
態となる。その後フィンガ２を退避させ、昇降ピンを降
下させればガラス基板１０３はプロセスを行う装置１０
２上に載置される。
【００２６】上述の動作は、装置１０２の上にガラス基
板１０３を載置する場合について説明したが、装置１０
２の上に置かれたガラス基板を次のプロセスを行う装置
へ搬送すれるためのガラス基板を取りあげる動作は、上
述の動作の順序を逆に行えばよい。さらにまた上述のガ
ラス基板の授受の動作の順序はその１例に過ぎず、この
他種々の順序が容易に考えられる。
板１０３を載置する場合について説明したが、装置１０
２の上に置かれたガラス基板を次のプロセスを行う装置
へ搬送すれるためのガラス基板を取りあげる動作は、上
述の動作の順序を逆に行えばよい。さらにまた上述のガ
ラス基板の授受の動作の順序はその１例に過ぎず、この
他種々の順序が容易に考えられる。
【００２７】図５および図６は、任意のプロセス装置１
０２の上の昇降ピン１０４が、ガラス基板支持部１１ｂ
の外側にも配置されている場合であって、かつ外側に配
置された昇降ピンの横方向間隔が狭く、そのためフィン
ガ１２ａと１２ｄの巾ｌ1 とｌ4 を、他のフィンガ１２
ｂ，１２ｃの巾ｌ2 ，ｌ3 より狭くしなければならぬ場
合の例を示している。
０２の上の昇降ピン１０４が、ガラス基板支持部１１ｂ
の外側にも配置されている場合であって、かつ外側に配
置された昇降ピンの横方向間隔が狭く、そのためフィン
ガ１２ａと１２ｄの巾ｌ1 とｌ4 を、他のフィンガ１２
ｂ，１２ｃの巾ｌ2 ，ｌ3 より狭くしなければならぬ場
合の例を示している。
【００２８】この場合には、巾ｌ1 ，ｌ4 を巾ｌ2 ，ｌ
3 より狭くするために、厚さｔ2 を厚さｔ1 より厚くし
て、４本のフィンガ１２ａ〜１２ｄが同一の剛性を保つ
ように、４本のフィンガの断面２次モーメントがすべて
同じ値になるようにする。したがってｘ’＜ｘとなり図
６に示すように、フィンガ１２ａ，１２ｄは外側に設け
られた昇降ピンを避けることができる。
3 より狭くするために、厚さｔ2 を厚さｔ1 より厚くし
て、４本のフィンガ１２ａ〜１２ｄが同一の剛性を保つ
ように、４本のフィンガの断面２次モーメントがすべて
同じ値になるようにする。したがってｘ’＜ｘとなり図
６に示すように、フィンガ１２ａ，１２ｄは外側に設け
られた昇降ピンを避けることができる。
【００２９】上述の説明においては、フィンガ組立体の
ロボットアームへの固定部とガラス基板支持部とを一体
の材料から形成する場合について述べたが、フィンガ組
立体をこのような一体構造に限定する必要はなく、フィ
ンガ部分と固定部とを別個の部材で形成し、ボルト等の
固定手段によって取外し可能とすることができる。また
この場合、フィンガの材質を変更することにより、同一
剛性でより軽量の、または重量を変えずにより剛性の強
いフィンガによってフィンガ組立体を形成することもで
きる。
ロボットアームへの固定部とガラス基板支持部とを一体
の材料から形成する場合について述べたが、フィンガ組
立体をこのような一体構造に限定する必要はなく、フィ
ンガ部分と固定部とを別個の部材で形成し、ボルト等の
固定手段によって取外し可能とすることができる。また
この場合、フィンガの材質を変更することにより、同一
剛性でより軽量の、または重量を変えずにより剛性の強
いフィンガによってフィンガ組立体を形成することもで
きる。
【００３０】さらにまた、本発明のフィンガ組立体によ
れば、プロセス側の装置のガラス基板支持位置が種々の
位置に配置されていても、フィンガの配置または形状
を、それらのガラス基板支持位置を避けて配設すること
が可能となる。
れば、プロセス側の装置のガラス基板支持位置が種々の
位置に配置されていても、フィンガの配置または形状
を、それらのガラス基板支持位置を避けて配設すること
が可能となる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ガラス基
板のような薄板状の基板を載置して搬送するためのフィ
ンガ組立体において、少なくとも３本のフィンガを有す
る基板支持部を設け、かつフィンガの長手方向の断面形
状をすべて同一とするか、またはフィンガの断面２次モ
ーメントを等しくしたため、大判の基板を搬送する場合
に、基板のたわみを少なくし、かつできるだけ平面に近
い状態で保持することができるとともに、各フィンガの
荷重による変形も小さくかつ一様となるため、基板表面
に施されたプロセスの損傷を防止することができるとと
もに、基板を収納するカセット等の収納スペースのピッ
チを小さくすることができるという効果がある。
板のような薄板状の基板を載置して搬送するためのフィ
ンガ組立体において、少なくとも３本のフィンガを有す
る基板支持部を設け、かつフィンガの長手方向の断面形
状をすべて同一とするか、またはフィンガの断面２次モ
ーメントを等しくしたため、大判の基板を搬送する場合
に、基板のたわみを少なくし、かつできるだけ平面に近
い状態で保持することができるとともに、各フィンガの
荷重による変形も小さくかつ一様となるため、基板表面
に施されたプロセスの損傷を防止することができるとと
もに、基板を収納するカセット等の収納スペースのピッ
チを小さくすることができるという効果がある。
【図１】本発明の基板搬送用フィンガ組立体の斜視略図
である。
である。
【図２】図１のフィンガ組立体に用いる真空配管路の図
であって、図２（Ａ）は斜視略図、図２（Ｂ）は図２
（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
であって、図２（Ａ）は斜視略図、図２（Ｂ）は図２
（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１のフィンガ組立体の使用状態の斜視略図で
ある。
ある。
【図４】図３における昇降ピンを含む部分断面略図であ
る。
る。
【図５】本発明の別の基板搬送用フィンガ組立体の斜視
略図である。
略図である。
【図６】図５のフィンガ組立体の使用状態の斜視略図で
ある。
ある。
【図７】従来の技術による基板搬送用フィンガ組立体の
平面図である。
平面図である。
【図８】図７と同様の斜視図である。
２，２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，１２，１２ａ，１２ｂ，
１２ｃ，１２ｄ フィンガ ３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３
ｈ，１３ 吸着パッド ４ 真空回路導入部 ５ 固定用ボルト孔 ６ 配管路カバー ７ 溝形の配管路 １０ フィンガ組立体 １０ａ，１１ａ 固定部 １０ｂ，１１ｂ ガラス基板支持部 ３１ ハンド ３２ 連結板 ３３ 吸着構造部 ４１ 平板状ハンド ４２ 本体 ４３ 凹部 ４７ 吸着具 １０１ ロボットアーム １０２ プロセスを行う装置 １０３ ガラス基板／ワーク １０４ 昇降ピン
１２ｃ，１２ｄ フィンガ ３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３
ｈ，１３ 吸着パッド ４ 真空回路導入部 ５ 固定用ボルト孔 ６ 配管路カバー ７ 溝形の配管路 １０ フィンガ組立体 １０ａ，１１ａ 固定部 １０ｂ，１１ｂ ガラス基板支持部 ３１ ハンド ３２ 連結板 ３３ 吸着構造部 ４１ 平板状ハンド ４２ 本体 ４３ 凹部 ４７ 吸着具 １０１ ロボットアーム １０２ プロセスを行う装置 １０３ ガラス基板／ワーク １０４ 昇降ピン
Claims (6)
- 【請求項１】 上面が同一平面に位置するように配設さ
れた複数の細長い板状のフィンガの上面に薄板状の基板
を載置して、搬送装置により該基板を搬送するための基
板搬送用フィンガ組立体において、 該フィンガ組立体を前記搬送装置に取付けるための固定
部と、 該固定部に一方の端部が固着され、かつ平行に配設され
た少なくとも３本の前記フィンガを含む基板支持部とを
有することを特徴とする、基板搬送用フィンガ組立体。 - 【請求項２】 前記細長い板状の各フィンガの長手方向
に直角な断面形状が、すべて同一形状をなす請求項１に
記載の基板搬送用フィンガ組立体。 - 【請求項３】 前記細長い板状の各フィンガの長手方向
に直角な断面における断面２次モーメントが等しい、請
求項１に記載の基板搬送用フィンガ組立体。 - 【請求項４】 前記細長い板状の各フィンガの上面に、
前記基板を吸着保持するための吸着装置を有する、請求
項１に記載の基板搬送用フィンガ組立体。 - 【請求項５】 前記基板を吸着保持するための吸着装置
に吸着エアーを送るために、前記フィンガの内部に設け
られたエアー回路を有する、請求項４に記載の基板搬送
用フィンガ組立体。 - 【請求項６】 前記フィンガ組立体が、ガラス基板を保
持して搬送するためのフィンガ組立体である、請求項１
ないし５に記載の基板搬送用フィンガ組立体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12896098A JPH11322069A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 基板搬送用フィンガ組立体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12896098A JPH11322069A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 基板搬送用フィンガ組立体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11322069A true JPH11322069A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=14997679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12896098A Pending JPH11322069A (ja) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | 基板搬送用フィンガ組立体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11322069A (ja) |
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-
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- 1998-05-12 JP JP12896098A patent/JPH11322069A/ja active Pending
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