JP4311992B2 - 基板搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型基板、例えば、液晶ディスプレイ(LCD)又はプラズマディスプレイパネル(PDP)等のディスプレイ用基板の搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、従来からの表示装置であるブラウン管等に代わって、小型軽量化や省消費電力を実現するLCDやPDP等のフラットパネルディスプレイ(以下、単にディスプレイと称する)が普及しつつある。
【0003】
これらのディスプレイは、テレビジョンやパーソナルコンピュータ等の表示部に多用されており、テレビジョンにおいては、大画面化が強く望まれている。この要望に伴い、ディスプレイ基板のサイズが大型化され、製造装置においても、そのサイズに沿って大型化されている。
【0004】
ディスプレイ用の基板は主としてガラス基板が用いられており、複数の製造工程を経て、そのガラス基板上に多数の画素や駆動回路等が形成されている。これらの製造工程において、ガラス基板を空気浮上させて搬送する技術が提案されている。例えば、特許文献1においては、検査装置内において、液晶基板などの薄板の前端部を把持し、エアスライダとエアベアリングとを用いて、薄板を空気浮上させて定盤上を移送する技術が開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−181714号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献1では、液晶基板等の薄板を把持して移送を行っている。一般的に液晶基板としては、ガラス基板が用いられている。前述したように、ガラス基板は大型化されると共に、厚さが薄くなっている。このため、機械的な部位により把持されているガラス基板は、その把持した箇所へ応力が集中的に掛かり、割れて破損する虞がある。
【0007】
また、製造前には平坦なガラス基板であっても、CVD等による成膜時に伴う熱やアニール処理等の熱処理が加わると、ガラス基板に大きな影響を与えて、少なからず捻れや反りを発生させている。さらには、金属膜等がガラス基板に成膜された場合には、室温であってもガラスと金属膜との熱膨張率の違いから応力が働き、ガラス基板に捻れや反りを発生させている。これは、ガラス基板が大型化されるほど、反りが発生しやすくなり、且つその反り量(反り角度)も大きくなっている。特に、ガラス基板の端部ほど反りが大きくなるため、ガラス基板の端部を確実に把持することが難しくなるばかりか、把持部がガラス基板の先端に衝突して破損する虞がある。このため、反りが生じているガラス基板を機械的な部位で把持するためには破損防止の対策が必要である。
【0008】
さらに、ガラス基板の上面には、回路素子やパターンが形成されているため、基板上面を把持することは好ましくはない。
【0009】
これに対して、本願出願人は例えば、特願2002−116581号において、ガラス基板の裏面端部を複数の吸着パッドで吸引して、ガラス基板を保持する技術を提案している。しかし、この吸着により保持する技術であっても、大きな反りが生じた場合には、隙間が吸着パッドとの間に存在するとガラス基板が吸着されず、搬送準備ができないものとして、搬送エラーとなる。
【0010】
そこで本発明は、端部に反りや捻れが発生している基板を確実に吸着して保持し搬送エラーの発生を防止する基板搬送装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、ガラス基板を浮上状態で載置する浮上ステージと、
上記浮上ステージ上の上記ガラス基板を吸着保持する基板保持部と、上記基板保持部と上記ガラス基板を挟んで対向して配置され、該基板保持部により該ガラス基板を吸着保持する際に、気体を吐出して、該基板保持部へ該ガラス基板を押し付ける気体吐出部と、上記基板保持部を搬送方向に移動させて上記ガラス基板を搬送する基板搬送部と、を備える基板搬送装置を提供する。
【0013】
以上のような構成の基板搬送装置は、反り又は捻れが生じている基板を搬送のために基板保持部へ吸着保持させる際に、その受け渡し位置に設けられた基板保持部に基板を挟み対向して、気体吐出部を配置して、吸着保持の際に、気体吐出部から気体を基板の反り部分に吐出して、基板保持部に吸着させて、搬送エラーの発生を回避させる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明による基板搬送装置を基板検査装置に搭載する一実施形態について説明する。図1は、一実施形態に係る基板検査装置の外観構成例を示す図である。以下の実施形態の説明において、ディスプレイ用のガラス基板7で、回路素子や配線パターン等が形成された面を素子形成面7a(図2では上面となる)と称し、反対にそれらが形成されていない非素子形成面を保持面7b(図2では下面となる)と称する。
【0015】
この基板検査装置は、大別して、基板搬入部1、装置本体(基板搬送部)2、検査部3、基板搬出部4及び基板搬送ロボット5,6とで構成される。
【0016】
基板搬入部1は、基板搬送ロボット5の搬送アーム8に吸着保持されているガラス基板7を基板ステージ9で受け取る。基板ステージ9の上面(基板載置面)には多数の空気孔10と、搬送アーム8が受け渡し時に入り込むための溝11が設けられている。また、基板ステージ9の搬送方向側の両端には、ガラス基板7の保持面7bを吸着して保持する基板保持部として機能する吸着パッド部12,13がそれぞれ設けられている。
【0017】
この基板搬入部1は、吸着パッド部12,13でガラス基板7の保持面7bの端部を吸着しつつ、基板ステージ9上の空気孔10から圧搾空気を吐出してガラス基板7を浮上させた状態で保持し、次の装置本体2へ搬送する。
【0018】
上記基板ステージ9の前方の両端には、装置本体の両サイドに設けられたスライダ14,15に沿って移動可能な支持部17a,17bが設けられている。また、基板搬出部4は、基板搬入部1と同様な構成であり、基板搬送ロボット6は、基板搬送ロボット5と同様な構成である。
【0019】
さらに、装置本体2の両サイドには、前述したスライダ14,15が基板搬出部4までかかるように設けられ、その内側には移動基板ステージ19を移動させるための2本のレール16が設けられる。この移動基板ステージ19は、前述した基板ステージ9と同様に、複数の空気孔10が設けられており、これらの空気孔10から圧搾空気を吐出して、ガラス基板7を浮上させた状態で保持する。さらにら、装置本体2上には、検査部3が設けられている。
【0020】
また、基板搬送ロボット5から基板ステージ9へガラス基板7を受け渡す際に支持部17aが配置される受け渡し位置Aと、基板ステージ9から移動基板ステージ19へガラス基板7を受け渡す際に支持部17bが配置される受け渡し位置Bとには、それぞれ後述する気体吐出部として機能するブローノズル18が設けられている。
【0021】
図2は、基板搬送装置における基板7を保持する保持機構の外観構成を示す図であり、図3は、保持機構のブロック構成を示す図である。
【0022】
図2に示すように、吸着パッド部13(12)は、ガラス基板7の保持面7bを吸着する複数の吸着パッド13a、13b、13c(12a、12b、12c)が支持部17a,17b上に配列されて構成される。これらの吸着パッドは、基板ステージ9の両側に1つ以上設けられればよく、特にその数量は限定されるものではない。本実施形態では、それぞれ3個の吸着パッドを設けた例である。
【0023】
これらの吸着パッド部12、13の全吸着パッドは、バルブ22を介して、排気ポンプ等からなる吸引源24に接続される。また、ブローノズル18は、基板7の素子形成面7aの上方で吸着パッド13b(13a)とほぼ対向する位置に設けられる。このブローノズル18は、バルブ21を介してコンプレッサ20に接続されている。このコンプレッサ20は、気体例えば、圧搾された空気をブローノズル18に供給する。この実施形態では、ガラス基板に吹き付ける気体として空気を用いた例で説明するが、これに限定されるものではなく、例えば、不活性ガスである窒素ガス、アルゴンガス等を用いてもよい。
【0024】
また吸着パッド部12、13の近傍には、搬送されるガラス基板7の反りや捻れを検出するセンサ25が設けられている。このセンサ25は、例えば、ガラス基板7との距離をレーザ光等で検出し、その距離によりガラス基板7の反りの有無を検出する。尚、このセンサ25を吸着パッド13aよりも搬送方向で手前に設けて、搬送アーム8により基板ステージ9に近接させつつ移動するガラス基板7を連続的に検出すれば、反りの状態(反り具合や反り量)を検出することもできる。この場合には、ガラス基板7が基板ステージ9と接触しないように、空気孔10から圧搾空気を吐出する。また全ガラス基板対して、後述する吸着のための押し付け処理を行うのであれば、センサ25を設けなくてもよい。
これらのセンサ25、コンプレッサ20及びバルブ21,22は、制御部23によりそれぞれ制御されている。
【0025】
このように構成された保持機構の作用について説明する。
まず、基板搬送ロボット5に載置されたガラス基板7は、搬送アーム8によって、基板搬入部1の基板ステージ9へ受け渡される。この際に、空気孔10から圧搾空気を吐出して、基板ステージ9へガラス基板7に接触しないようにガラス基板7を浮上させた状態で受け取ってもよい。また、支持部17a,17bは、受け渡し位置Aに移動させ、移動基板ステージ19は、基板搬入部1の基板ステージ9に当接させておく。
【0026】
その後、センサ25によりガラス基板7に反りの有無を検出する。反りが生じていたと制御部23が判断した場合には、制御部23は、バルブ21とバルブ22を開けて、ブローノズル18による空気の吹きつ付け(吐出)と、吸着パッド部12,13による吸引をそれぞれ行う。
【0027】
この空気の吹き付けにより、ガラス基板7の反り部分は、吸着パッド部12,13により近づくように押し付けられる。ガラス基板7は、押し付けにより反り部分が戻され、吸着パッド部12,13に吸着される。この吸着は、吸着パッド部12,13とバルブ22との間に図示しない圧力センサを設けて検出する。ここでは、圧力センサで検出される圧力が下がれば吸着したものと判定している。
【0028】
また、センサ25を設けていない場合には、反りの有無が判定できないため、基板ステージ9の載置面へガラス基板7が載置される度に、ブローノズル18による空気の吹きつ付けを行いつつ、吸着パッド部12,13による吸引を行う。
【0029】
そしてガラス基板7が吸着パッド部12,13に吸着された後、支持部17aを移動基板ステージ19への受け渡し位置Bまで移動させる。この移動に伴い、吸着パッド部12,13に吸着されるガラス基板7が移動基板ステージ19上へ搬送される。
【0030】
この受け渡し位置Bにおいて、支持部17aは吸着を解除して、受け渡し位置Aに戻り、次のガラス基板7の搬入に待機する。支持部17bは受け渡し位置Bまで移動して、ブローノズル18による空気の吹きつ付けを行いつつ、吸着パッド部12,13による吸引を行う。吸着が完了すると、支持部17aと移動基板ステージ19は、一体的に移動して検査部3へ移動する。
【0031】
以上のように本実施形態は、反りや捻れが生じているガラス基板であっても搬送装置に保持される際に、気体(空気)を吹き付けて、反りや捻れ部分を吸着パッド部に押し付けることにより、吸着を短時間で確実に吸着させて、搬送エラーを回避することができる。
【0032】
また、センサにより反り状態を検出して、その反り状態に好適するように吹き付ける吐出圧や吐出量を調整することにより、さらに確実に且つ適正に吸着させることができる。これを実現する場合には、バルブ21をガス流量が調整可能な可変バルブを用いればよい。
【0033】
また、本実施形態では、両側に1個ずつのブローノズル18を配置したが、これに限定されるものではなく、例えば、2個ずつを吸着パッド部の配列に従って配置して用いてもよい。
【0034】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、端部に反りや捻れが発生している基板を確実に吸着して保持し搬送エラーの発生を防止する基板搬送装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板検査装置の外観構成例を示す図である。
【図2】基板搬送装置における基板を保持する保持機構の外観構成を示す図である。
【図3】保持機構のブロック構成を示す図である。
【符号の説明】
1…基板搬入部、2…装置本体(基板搬送部)、3…検査部、4…基板搬出部、5,6…基板搬送ロボット、7…ガラス基板、8…搬送アーム、9…基板ステージ、10…空気孔、11…溝、12,13…吸着パッド、14,15…スライダ、16…レール、17a,17b…支持部、18…ブローノズル、19…移動基板ステージ、20…プロセッサ、21,22…バルブ、23…制御部、24…吸引源、25…センサ。
Claims (3)
- ガラス基板を浮上状態で載置する浮上ステージと、
上記浮上ステージ上の上記ガラス基板を吸着保持する基板保持部と、
上記基板保持部と上記ガラス基板を挟んで対向して配置され、該基板保持部により該ガラス基板を吸着保持する際に、気体を吐出して、該基板保持部へ該ガラス基板を押し付ける気体吐出部と、
上記基板保持部を搬送方向に移動させて上記ガラス基板を搬送する基板搬送部と、
を具備することを特徴とする基板搬送装置。 - 上記基板搬送装置において、さらに、
上記基板保持部に設けられ、搬送される上記ガラス基板の反り量を検出するセンサ部を具備し、
上記ガラス基板の反り量に応じて上記気体吐出部の気体の流量を調整することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 上記センサ部は、上記ガラス基板の反り方向を検出し、反り方向が上向きと判断されたときには、上記気体吐出部より上記ガラス基板に気体を吐出し、上記反り方向が下向きと判断されたときには、上記気体吐出部からの気体の吐出を停止させることを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。
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