JP2008063020A - 基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システム - Google Patents
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Abstract
【課題】基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システムにおいて、反りや捩れなどが発生した基板でも、基板表面の状態を良好に保ちつつ確実に吸着保持することができるようにする。
【解決手段】基板搬送装置および基板検査システムが、ガラス基板7を浮上させる基板浮上ステージ9と、基板浮上ステージ9に沿って移動可能に設けられるとともに、ガラス基板7のいずれかの側縁部の基板裏面7b側でガラス基板7を吸着して保持する吸着部16を有する搬送機構8と、吸着部16上に載置されたガラス基板7を基板表面7a側から吸着部16に押圧する押圧ローラ19と、押圧ローラ19をガラス基板7の搬送方向の側方から進退させるアクチュエータ30とを有する吸着アシスト部18とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】基板搬送装置および基板検査システムが、ガラス基板7を浮上させる基板浮上ステージ9と、基板浮上ステージ9に沿って移動可能に設けられるとともに、ガラス基板7のいずれかの側縁部の基板裏面7b側でガラス基板7を吸着して保持する吸着部16を有する搬送機構8と、吸着部16上に載置されたガラス基板7を基板表面7a側から吸着部16に押圧する押圧ローラ19と、押圧ローラ19をガラス基板7の搬送方向の側方から進退させるアクチュエータ30とを有する吸着アシスト部18とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システムに関する。例えば、液晶ディスプレイ(LCD)といったフラットパネルディスプレィ(FPD)等に用いられるガラス基板の搬送に用いられる基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システムに関する。
近年、LCDなどのFPDは、大型化する傾向にあり、これを製造する製造装置も大型化されている。FPD用の基板には、主にガラス基板が用いられており、複数の製造工程を経て、基板表面に多数の画素や、駆動回路等が形成されている。このような製造工程では、大型のガラス基板を保持して搬送する基板搬送装置が使用されている。また、そのような基板搬送装置で搬送されたガラス基板の外観を検査する基板検査システムが用いられている。
ガラス基板を位置決めして保持する際には、ガラス基板の裏面側から吸着パッドで吸着して保持することが知られている。ところが、製造前には平坦であったガラス基板も、成膜工程や、熱処理工程を経ることで、捩れや、反りが発生することがある。さらに、金属膜等がガラス基板の表面に形成されると、ガラス基板の熱膨張率と金属膜の熱膨張率との違いから応力が発生し、ガラス基板に捩れや、反りが発生することがある。このような捩れや、反りは、ガラス基板が大型化するにつれて発生しやすくなり、かつその捩れ量や、反り量(反り角度)も大きくなるため、吸着バッドによりガラス基板を吸着し難くなることがある。
このような場合に吸着エラーを防止するために、例えば、特許文献1には、基板の側縁部の下面側に設けられた吸着パッドに向かって、基板の上側から円形状の押さえ板や、基板の上面に点接触する棒状のリンクを用いて、基板を押圧することで、基板の反りを矯正して吸着パッドに吸着させる基板部材保持装置が記載されている。
また、特許文献2には、基板の一辺に沿って上側エアシリンダと、下側エアシリンダとを配列し、これらで基板を上下から把持して搬送するフラットパネル検査装置が記載されている。この場合、基板に反りなどがあれば、エアシリンダの把持位置にならって矯正されることになる。
特開平8−313816号公報
特開2000−9661号公報
このような場合に吸着エラーを防止するために、例えば、特許文献1には、基板の側縁部の下面側に設けられた吸着パッドに向かって、基板の上側から円形状の押さえ板や、基板の上面に点接触する棒状のリンクを用いて、基板を押圧することで、基板の反りを矯正して吸着パッドに吸着させる基板部材保持装置が記載されている。
また、特許文献2には、基板の一辺に沿って上側エアシリンダと、下側エアシリンダとを配列し、これらで基板を上下から把持して搬送するフラットパネル検査装置が記載されている。この場合、基板に反りなどがあれば、エアシリンダの把持位置にならって矯正されることになる。
しかしながら、上記のような従来の基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システムには、以下のような問題があった。
特許文献1、2に記載の技術では、基板を押さえ板や棒状のリンクで押さえたり、エアシリンダで基板を挟持して把持したりするので、基板の捩れや反りを矯正できるものの、保持される基板の一部に応力や衝撃力が集中的にかかってしまうという問題がある。
特に、LCD用のガラス基板は0.7mmと薄く、衝撃力には非常に弱く、割れやすいため、基板不良となる傷などが発生し易くなり、基板の品質や生産性を低下させる原因となるという問題がある。
特許文献1、2に記載の技術では、基板を押さえ板や棒状のリンクで押さえたり、エアシリンダで基板を挟持して把持したりするので、基板の捩れや反りを矯正できるものの、保持される基板の一部に応力や衝撃力が集中的にかかってしまうという問題がある。
特に、LCD用のガラス基板は0.7mmと薄く、衝撃力には非常に弱く、割れやすいため、基板不良となる傷などが発生し易くなり、基板の品質や生産性を低下させる原因となるという問題がある。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、反りや捩れなどが発生した基板でも、基板表面の状態を良好に保ちつつ確実に吸着保持することができる基板搬送装置およびそれを用いた基板検査システムを提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明の基板搬送装置は、基板を浮上させるステージと、該ステージに沿って移動可能に設けられるとともに、前記基板のいずれかの側縁部の裏面側で前記基板を吸着して保持する吸着部を有する搬送機構と、前記吸着部上に載置された前記基板を表面側から前記吸着部に押圧する押圧ローラと、該押圧ローラを前記基板の搬送方向の側方から進退させる押圧ローラ進退機構とを有する吸着補助部とを備えることを特徴とする。
また、本発明の基板検査システムは、本発明の基板搬送装置と、該基板搬送装置の搬送経路上で前記基板の外観を検査する検査装置とを備えることを特徴とする。
また、本発明の基板検査システムは、本発明の基板搬送装置と、該基板搬送装置の搬送経路上で前記基板の外観を検査する検査装置とを備えることを特徴とする。
本発明の基板搬送装置および基板検査システムによれば、押圧ローラ進退機構によって進退される押圧ローラを基板表面で転がすことで、基板を吸着部に徐々に押圧することができるため、反りや捩れなどが発生した基板でも、基板表面の状態を良好に保ちつつ確実に吸着保持することができるという効果を奏する。
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置について、それを用いた基板検査システムとともに説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置を備える基板検査システムの概略構成を示す平面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の主要部の構成を示す斜視図である。図3(a)、(b)、(c)は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の動作の様子を示す図2のB視の側面図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す図1のA視の模式的な側面図である。図5は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の制御ブロック図である。
本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置について、それを用いた基板検査システムとともに説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置を備える基板検査システムの概略構成を示す平面図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の主要部の構成を示す斜視図である。図3(a)、(b)、(c)は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の動作の様子を示す図2のB視の側面図である。図4は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の概略構成を示す図1のA視の模式的な側面図である。図5は、本発明の第1の実施形態に係る基板搬送装置の制御ブロック図である。
本実施形態の基板検査システムは、基板搬送装置により平面視略矩形状の薄板からなる基板の側縁部を吸着保持して水平方向に搬送し、その搬送経路上に設けられた検査装置により基板の検査、例えば、基板表面の欠陥やパターンを検査するものである。
本実施形態の基板検査システム1は、図1に示すように、基板搬送装置2と検査装置3とからなる。
基板として、液晶ディスプレイ用のガラス基板7の例で説明する。
ガラス基板7は、図2に示すように上面側の基板表面7aが、回路素子や、配線パターン等のパターンが形成される素子形成面であり、下面側の基板裏面7bが、パターンの形成されない非素子形成面となっている。
以下、基板浮上ステージ9の長手方向、つまりガラス基板7を搬送する方向をX方向とし、X方向と直交する幅方向をY方向、上下方向(鉛直方向)をZ方向とする。
基板として、液晶ディスプレイ用のガラス基板7の例で説明する。
ガラス基板7は、図2に示すように上面側の基板表面7aが、回路素子や、配線パターン等のパターンが形成される素子形成面であり、下面側の基板裏面7bが、パターンの形成されない非素子形成面となっている。
以下、基板浮上ステージ9の長手方向、つまりガラス基板7を搬送する方向をX方向とし、X方向と直交する幅方向をY方向、上下方向(鉛直方向)をZ方向とする。
基板搬送装置2は、床面に設置されるベース部2aを有し、ベース部2a上に細長の基板浮上ステージ9(ステージ)が固定されている。基板浮上ステージ9の短手方向の両側には、ガラス基板7を吸着保持して、基板浮上ステージ9の長手方向に沿って搬送する搬送機構8が設けられている。ベース部2aの長手方向の一端部側が基板搬入出部6となっており、そのベース部2aの一端部に隣接して、搬送アーム5aによって基板を搬入出する基板搬送ロボット5が設置されている。
基板搬入出部6には、ガラス基板7の移載時にガラス基板7を昇降させる複数のリフター11が配設されている。このリフター11は、不図示の昇降機構に支持されており、基板浮上ステージ9の上面に対して突没自在になっている。
基板搬入出部6には、ガラス基板7の移載時にガラス基板7を昇降させる複数のリフター11が配設されている。このリフター11は、不図示の昇降機構に支持されており、基板浮上ステージ9の上面に対して突没自在になっている。
なお、基板搬入出部6には、ガラス基板7を位置決めする位置決め機構を設けてもよい。位置決め機構としては、例えば、ガラス基板7の側面に当接して位置決めの基準となる固定式の基準ピンと、ガラス基板7の側面に当接してガラス基板7を基準ピンに向かって押圧する移動式の押し付けピンとを有するものがあげられる。
また、基板浮上ステージ9は、エアの代わりに窒素ガスや、アルゴンガス等を使用してもよいし、静電気や、超音波を利用してガラス基板7を浮上させてもよい。
また、基板浮上ステージ9は、エアの代わりに窒素ガスや、アルゴンガス等を使用してもよいし、静電気や、超音波を利用してガラス基板7を浮上させてもよい。
検査装置3は、検査の種類によって適宜の構成を採用することができるが、本実施形態では、ガラス基板7の表面の外観検査を行う構成を採用している。
すなわち、検査装置3は、基板表面7aを拡大観察するための顕微鏡3aと、顕微鏡3aをY方向、Z方向に移動して観察位置を変化させる移動ステージ3bとを備えている。
顕微鏡3aには、不図示のモニタが接続され、基板表面7a上の拡大画像をモニタ上に表示できるようになっている。
すなわち、検査装置3は、基板表面7aを拡大観察するための顕微鏡3aと、顕微鏡3aをY方向、Z方向に移動して観察位置を変化させる移動ステージ3bとを備えている。
顕微鏡3aには、不図示のモニタが接続され、基板表面7a上の拡大画像をモニタ上に表示できるようになっている。
次に、基板搬送装置2の詳細構成について説明する。
基板浮上ステージ9は、その上面に開口する複数の空気孔10が全面に亘って所定の間隔で配置されている。この基板浮上ステージ9は、不図示のエアーコンプレッサなどに接続されており、空気孔10から上向きに圧搾エアを吐出させるように構成されている。
なお、基板浮上ステージ9のX方向の長さは、ガラス基板7のX方向の長さよりも十分に長く、基板浮上ステージ9のY方向の幅は、ガラス基板7の幅よりも短い。
基板浮上ステージ9は、その上面に開口する複数の空気孔10が全面に亘って所定の間隔で配置されている。この基板浮上ステージ9は、不図示のエアーコンプレッサなどに接続されており、空気孔10から上向きに圧搾エアを吐出させるように構成されている。
なお、基板浮上ステージ9のX方向の長さは、ガラス基板7のX方向の長さよりも十分に長く、基板浮上ステージ9のY方向の幅は、ガラス基板7の幅よりも短い。
搬送機構8の概略構成は、ガイド12、13、スライダー14、15、吸着支持部17、吸着部16、吸着アシスト部18(吸着補助部、図2参照)および制御部23(図5参照)からなる。
ガイド12、13は、基板浮上ステージ9の短手方向の両側部にX方向に平行に設けられたリニアガイドである。
スライダー14、15は、不図示の駆動制御手段によって駆動制御され、それぞれガイド12、13に沿って、互いのX方向の位置を同期させた状態で往復移動する可動保持部材である。そして、その各上面には、複数の吸着支持部17がX方向に沿って適宜ピッチで配列されている。
ガイド12とスライダー14、およびガイド13とスライダー15は、それぞれ、適宜の1軸移動ステージ機構を採用することができる。
ただし、本実施形態では、後述する吸着部16をZ方向に昇降させるために、スライダー14、15は、Z方向の昇降機構も合わせて備える構成としている。
このようなZ方向の昇降機構は、後述する吸着支持部17、吸着部本体16bなどに設けてもよい。
スライダー14、15は、不図示の駆動制御手段によって駆動制御され、それぞれガイド12、13に沿って、互いのX方向の位置を同期させた状態で往復移動する可動保持部材である。そして、その各上面には、複数の吸着支持部17がX方向に沿って適宜ピッチで配列されている。
ガイド12とスライダー14、およびガイド13とスライダー15は、それぞれ、適宜の1軸移動ステージ機構を採用することができる。
ただし、本実施形態では、後述する吸着部16をZ方向に昇降させるために、スライダー14、15は、Z方向の昇降機構も合わせて備える構成としている。
このようなZ方向の昇降機構は、後述する吸着支持部17、吸着部本体16bなどに設けてもよい。
吸着支持部17は、スライダー14、15上の両端部、中間部の3箇所に配置されている。
なお後述するように、本実施形態の吸着支持部17は、吸着アシスト部18の保持部材も兼ねている(図3(a)参照)。
なお後述するように、本実施形態の吸着支持部17は、吸着アシスト部18の保持部材も兼ねている(図3(a)参照)。
吸着部16は、ガラス基板7をY方向側の側縁部で基板裏面7bから真空吸着するためのもので、吸着支持部17の上面に固定された円柱形状の吸着部本体16bの上部に、吸着パッド16aが上向きに突出するように設けられている。
吸着パッド16aは、その上面が円形状に窪んだ短い有底円筒形状をなし、窪みの中央には吸気孔が形成されている。吸着部本体16bは、中央部に吸着パッド16aの孔に連通する吸気管路16cが形成され、例えば吸気ポンプなどからなる吸引源24(図5参照)にエアーバルブ22を介して配管により接続されている。
また、図4、5に示すように、各吸着部16の配管には、制御部23の入力部に接続された圧力センサ4(吸着不良検知センサ)が設けられている。制御部23では、圧力センサ4の検出出力によって、各吸着部16にて吸着不良の有無を検知できるようになっている。
吸着パッド16aは、その上面が円形状に窪んだ短い有底円筒形状をなし、窪みの中央には吸気孔が形成されている。吸着部本体16bは、中央部に吸着パッド16aの孔に連通する吸気管路16cが形成され、例えば吸気ポンプなどからなる吸引源24(図5参照)にエアーバルブ22を介して配管により接続されている。
また、図4、5に示すように、各吸着部16の配管には、制御部23の入力部に接続された圧力センサ4(吸着不良検知センサ)が設けられている。制御部23では、圧力センサ4の検出出力によって、各吸着部16にて吸着不良の有無を検知できるようになっている。
吸着パッド16aは、耐摩耗性を有し、ガラス基板7を傷付けない程度の硬度を有する材料から製造されており、下端側を中心として、上端側が首振り自在に吸着部本体16bに支持されることが望ましい。
吸着部16の個数は、適宜設定することができるが、本実施形態では、図4に示すように、スライダー14、15の長手方向の端部側の各吸着支持部17にそれぞれ5個、中間部の吸着支持部17に3個が、それぞれX方向に沿って配列されている。すなわち、ガラス基板7の反りが発生しやすいX方向の両端部では、反りが比較的発生しにくいX方向の中間部に比べて多くの吸着部16を設けている。ただし、図1、2では、図を見やすくするため、各2個のみ図示している。
吸着部16の個数は、適宜設定することができるが、本実施形態では、図4に示すように、スライダー14、15の長手方向の端部側の各吸着支持部17にそれぞれ5個、中間部の吸着支持部17に3個が、それぞれX方向に沿って配列されている。すなわち、ガラス基板7の反りが発生しやすいX方向の両端部では、反りが比較的発生しにくいX方向の中間部に比べて多くの吸着部16を設けている。ただし、図1、2では、図を見やすくするため、各2個のみ図示している。
吸着アシスト部18は、図2、3に示すように、押圧ローラ19、押圧ローラ支持アーム25、アクチュエータ30(押圧ローラ進退機構)、およびアーム保持部27からなる。
押圧ローラ19は、吸着部16上に載置されたガラス基板7の基板表面7a上を押圧してガラス基板7の反りを矯正するもので、本実施形態では、押圧ローラ19は、各吸着部16に対して1個ずつ、X方向の位置を揃えた位置に配置されている。そして、各押圧ローラ19は、Y方向に沿って延ばされた2本の押圧ローラ支持アーム25の先端側で、軸方向がX方向に沿う方向に配置されたローラ支軸25aによって回転可能に支持されている。
押圧ローラ19は、ガラス基板7の反りを矯正できる程度の質量を備え、その表面は、ガラス基板7との接触時にガラス基板7を傷つけないような材質で被覆される。例えば、押圧ローラ19の芯を金属で形成し、その表面を適宜硬度の軟質プラスチック、合成ゴム、エラストマーなどで被覆した構成などを採用することができる。
押圧ローラ19は、吸着部16上に載置されたガラス基板7の基板表面7a上を押圧してガラス基板7の反りを矯正するもので、本実施形態では、押圧ローラ19は、各吸着部16に対して1個ずつ、X方向の位置を揃えた位置に配置されている。そして、各押圧ローラ19は、Y方向に沿って延ばされた2本の押圧ローラ支持アーム25の先端側で、軸方向がX方向に沿う方向に配置されたローラ支軸25aによって回転可能に支持されている。
押圧ローラ19は、ガラス基板7の反りを矯正できる程度の質量を備え、その表面は、ガラス基板7との接触時にガラス基板7を傷つけないような材質で被覆される。例えば、押圧ローラ19の芯を金属で形成し、その表面を適宜硬度の軟質プラスチック、合成ゴム、エラストマーなどで被覆した構成などを採用することができる。
押圧ローラ支持アーム25の基端部は、回動支点25bによってY方向に進退するアクチュエータ30に固定され、それにより、Y方向の進退と、回動支点25b回り、すなわちYZ平面内の回動とが可能となっている。
また、押圧ローラ支持アーム25の長手方向の中間部は、押圧ローラ支持アーム25の基端部とともにY方向に進退するアーム保持部27に固定された2つのばね26により上下方向(Z方向)から弾性支持されている。
それらばね26の弾性力は、押圧ローラ19および押圧ローラ支持アーム25の自重とのつり合いによって、押圧ローラ19のローラ表面の下端側の高さが、ガラス基板7の吸着位置よりわずかに低くなるように設定されている。
また、押圧ローラ支持アーム25の長手方向の中間部は、押圧ローラ支持アーム25の基端部とともにY方向に進退するアーム保持部27に固定された2つのばね26により上下方向(Z方向)から弾性支持されている。
それらばね26の弾性力は、押圧ローラ19および押圧ローラ支持アーム25の自重とのつり合いによって、押圧ローラ19のローラ表面の下端側の高さが、ガラス基板7の吸着位置よりわずかに低くなるように設定されている。
なお、ばね26は、図示ではコイルばねとしているが、上下方向に弾性復元力を発生させることができれば、どのような固体ばね、流体ばねでもよく、コイルばねに限定されるものではない。また、弾性復元力を発生させる弾性支持が可能であれば、適宜の支持方式を採用することができる。
アクチュエータ30は、Y方向に進退するアクチュエータ本体30aと、アクチュエータ本体30aを進退駆動するアクチュエータ駆動部30bとからなり、本実施形態では、各押圧ローラ19、各押圧ローラ支持アーム25の位置に対応して1つずつ設けられている。そして、各押圧ローラ19は、吸着部16が固定された吸着支持部17に固定されている。
アクチュエータ30の駆動方式は、適宜の方式、例えばソレノイドなどの電磁駆動などを採用することができるが、本実施形態では、エアシリンダを採用している。そして、図5に示すように、エアーコンプレッサ20からの駆動エアが、エアーバルブ21によって圧力が調整された状態でアクチュエータ30に供給されるようになっている。
アクチュエータ30の駆動方式は、適宜の方式、例えばソレノイドなどの電磁駆動などを採用することができるが、本実施形態では、エアシリンダを採用している。そして、図5に示すように、エアーコンプレッサ20からの駆動エアが、エアーバルブ21によって圧力が調整された状態でアクチュエータ30に供給されるようになっている。
制御部23は、各吸着部16および各吸着アシスト部18の動作を制御するものであり、図5に示すように、圧力センサ4、エアーバルブ21、22、吸引源24、およびエアーコンプレッサ20に接続されている。
制御部23は、吸引源24を動作させた状態で、エアーバルブ22を開閉し、吸着部16の吸着と吸着解除とを選択的に切り替える制御を行う。
また、圧力センサ4から送出される検出出力に基づいて、エアーバルブ21を制御し、各アクチュエータ30の進退動作を選択的に制御する。
制御部23は、吸引源24を動作させた状態で、エアーバルブ22を開閉し、吸着部16の吸着と吸着解除とを選択的に切り替える制御を行う。
また、圧力センサ4から送出される検出出力に基づいて、エアーバルブ21を制御し、各アクチュエータ30の進退動作を選択的に制御する。
次に、本実施形態の基板検査システム1の動作について、基板搬送装置2の動作を中心に説明する。
なお、スライダー14、15は、基板搬入出部6側に移動して待機し、各吸着部16の吸着パッド16aの上面が基板浮上ステージ9の上面よりも下側の位置になるように下降して待機しているものとする。
なお、スライダー14、15は、基板搬入出部6側に移動して待機し、各吸着部16の吸着パッド16aの上面が基板浮上ステージ9の上面よりも下側の位置になるように下降して待機しているものとする。
ガラス基板7の検査を行う際には、基板搬送ロボット5が、他の工程から搬出されたガラス基板7を搬送アーム5a上に受け取り、搬送アーム5aを基板搬送装置2の基板搬入出部6の上方に移動させる。
ここで、搬送アーム5aにおけるガラス基板7の吸着を解除し、基板搬入出部6から上昇してくるリフター11でガラス基板7を搬送アーム5a上から持ち上げる。この状態で搬送アーム5aを後退させると、ガラス基板7がリフター11に受け渡される。
その際、基板浮上ステージ9は、空気孔10からエアを噴き出しているので、リフター11を下げると、ガラス基板7がエアによって基板浮上ステージ9の上面よりもわずかに上方に浮上させられる。
ここで、搬送アーム5aにおけるガラス基板7の吸着を解除し、基板搬入出部6から上昇してくるリフター11でガラス基板7を搬送アーム5a上から持ち上げる。この状態で搬送アーム5aを後退させると、ガラス基板7がリフター11に受け渡される。
その際、基板浮上ステージ9は、空気孔10からエアを噴き出しているので、リフター11を下げると、ガラス基板7がエアによって基板浮上ステージ9の上面よりもわずかに上方に浮上させられる。
ガラス基板7を浮上させたら、位置決め機構によりガラス基板7を基準位置に位置決めした状態でスライダー14、15を上昇させ、各吸着パッド16aをガラス基板7の基板裏面7bの側縁部に下側から押し付ける。このとき、吸着部16とともに吸着支持部17に固定された吸着アシスト部18も上昇するため、押圧ローラ19は、吸着パッド16aとの相対的な位置関係を保った状態でガラス基板7の側方に上昇されている(図3(a)参照)。
そして、制御部23が吸引源24を運転させるとともに、各エアーバルブ22を開状態に切り換えて各吸着部16の吸着を開始させる。このとき、各吸着部16の吸気管路16cが負圧になるため、吸着パッド16aの上面にガラス基板7が吸着される。
各吸着部16の配管に接続された圧力センサ4は、それぞれの吸着パッド16aの圧力を検出し、制御部23に出力する。
ただし、図3(a)に示すように、基板端部7cが反っていると、吸着パッド16aと基板裏面7bとが密着しないため、吸気しても隙間から外気が流入し、ガラス基板7が吸着されない場合がある。このような吸着部16に設けられた圧力センサ4の検出出力は、正常に吸着された場合のように圧力が低下しないため、吸着不良を起こしている吸着部16を検知し、特定することができる。
そして、制御部23が吸引源24を運転させるとともに、各エアーバルブ22を開状態に切り換えて各吸着部16の吸着を開始させる。このとき、各吸着部16の吸気管路16cが負圧になるため、吸着パッド16aの上面にガラス基板7が吸着される。
各吸着部16の配管に接続された圧力センサ4は、それぞれの吸着パッド16aの圧力を検出し、制御部23に出力する。
ただし、図3(a)に示すように、基板端部7cが反っていると、吸着パッド16aと基板裏面7bとが密着しないため、吸気しても隙間から外気が流入し、ガラス基板7が吸着されない場合がある。このような吸着部16に設けられた圧力センサ4の検出出力は、正常に吸着された場合のように圧力が低下しないため、吸着不良を起こしている吸着部16を検知し、特定することができる。
さらに、制御部23は、圧力センサ4により吸着部16の吸着不良が検知されると、エアーコンプレッサ20を運転させ、ガラス基板7の側方位置に待機している各吸着アシスト部18を駆動する。すなわち、アクチュエータ駆動部30bとエアーコンプレッサ20との間に設けられているエアーバルブ21を開いて、アクチュエータ本体30aをガラス基板7側に進出させる。
そのため、アクチュエータ本体30aの先端部に固定されたアーム保持部27、押圧ローラ支持アーム25、および押圧ローラ支持アーム25のローラ支軸25aに支持された押圧ローラ19がY方向に平行移動される(図3(b)参照)。
そのため、アクチュエータ本体30aの先端部に固定されたアーム保持部27、押圧ローラ支持アーム25、および押圧ローラ支持アーム25のローラ支軸25aに支持された押圧ローラ19がY方向に平行移動される(図3(b)参照)。
そして、押圧ローラ19がガラス基板7の基板端部7cに当接する。押圧ローラ19の下端部は、ガラス基板7に反りがない場合でも、ガラス基板7の高さよりわずかに低く設定されているため、図3(c)に示すように、ローラ支軸25aを中心に回転しつつ、基板表面7a上に乗り上げた状態でY方向に移動する。
基板端部7cが図3(b)に示すように、上方に反っていると、押圧ローラ19は、基板端部7cから反力を受けて上昇するが、ばね26の弾性復元力が作用するため、ガラス基板7を下側に押し下げようとする押圧力がガラス基板7に作用する。
そのため、押圧ローラ19の進出が進み、基板表面7a上を転がって行くにつれ、ガラス基板7の反りが徐々に矯正されて行き、図3(c)に示すように、押圧ローラ19が、ガラス基板7を挟んで吸着パッド16aに対向する位置まで進出すると、基板裏面7bが吸着パッド16aの上面に密着され、ガラス基板7が吸着パッド16aにより吸着される。
基板端部7cが図3(b)に示すように、上方に反っていると、押圧ローラ19は、基板端部7cから反力を受けて上昇するが、ばね26の弾性復元力が作用するため、ガラス基板7を下側に押し下げようとする押圧力がガラス基板7に作用する。
そのため、押圧ローラ19の進出が進み、基板表面7a上を転がって行くにつれ、ガラス基板7の反りが徐々に矯正されて行き、図3(c)に示すように、押圧ローラ19が、ガラス基板7を挟んで吸着パッド16aに対向する位置まで進出すると、基板裏面7bが吸着パッド16aの上面に密着され、ガラス基板7が吸着パッド16aにより吸着される。
以上では、ガラス基板7が上向きに反っている場合で説明したが、下向きに反っている場合でも同様である。この場合、基板端部7cが下方側に位置するので、押圧ローラ19との当接時の反力は低下するが、ガラス基板7の内側は、反りのために吸着位置よりも突出して、吸着パッド16aより浮き上がっている。そのため、押圧ローラ19が吸着パッド16a上に到達するまでの間に、ガラス基板7からの反力が大きくなり、上記と同様にして、ガラス基板7が徐々に矯正されて吸着パッド16aにより吸着される。
吸着アシスト部18を駆動させた後に、いずれの圧力センサ4によっても吸着不良が検知されない場合、ガラス基板7は、吸着パッド16aに正常に吸着保持されているので、制御部23は、エアーバルブ21を制御して、アクチュエータ30を後退させ、押圧ローラ19をガラス基板7上から退避させる。
そして、ガラス基板7を吸着保持した状態で、スライダー14、15をX方向に同期して駆動し、ガラス基板7をベース部2aの他端部側に向かって移動させる。
このように、押圧ローラ19をガラス基板7上から側方に退避させた状態で、搬送機構8を移動することにより、ガラス基板7は、移動中に押圧ローラ19からの接触負荷を受けないため、ガラス基板7を良好な状態で搬送することができる。
そして、ガラス基板7を吸着保持した状態で、スライダー14、15をX方向に同期して駆動し、ガラス基板7をベース部2aの他端部側に向かって移動させる。
このように、押圧ローラ19をガラス基板7上から側方に退避させた状態で、搬送機構8を移動することにより、ガラス基板7は、移動中に押圧ローラ19からの接触負荷を受けないため、ガラス基板7を良好な状態で搬送することができる。
ガラス基板7上の各検査位置(各欠陥位置)が、顕微鏡3aの視野に入るようにガラス基板7を搬送機構8によりX方向に移動させるとともに、顕微鏡3aをY方向に移動させ、顕微鏡3aで検査位置の拡大像を取得して外観検査を行う。
このようにして搬送機構8と顕微鏡3aを駆動し、ガラス基板7と顕微鏡3aをXY方向に相対的に移動させて、すべての検査位置を検査するまでこれを繰り返す。
検査装置3の検査が終了したら、スライダー14、15を後退させ、ガラス基板7を基板搬入出部6に戻す。そして、吸着パッド16aによる吸着を解除し、リフター11でガラス基板7を持ち上げてから、基板搬送ロボット5でガラス基板7を搬出する。
このようにして搬送機構8と顕微鏡3aを駆動し、ガラス基板7と顕微鏡3aをXY方向に相対的に移動させて、すべての検査位置を検査するまでこれを繰り返す。
検査装置3の検査が終了したら、スライダー14、15を後退させ、ガラス基板7を基板搬入出部6に戻す。そして、吸着パッド16aによる吸着を解除し、リフター11でガラス基板7を持ち上げてから、基板搬送ロボット5でガラス基板7を搬出する。
以上に述べたように、本実施形態の基板搬送装置2によれば、ガラス基板7が捩れていたり、反っていたりして、基板裏面7bが一部の吸着パッド16aに対して浮き上がっていても、各押圧ローラ19によって基板表面7aを押圧することで、基板裏面7bをすべての吸着パッド16aに密着させる吸着補助動作を行うことができるから、ガラス基板7を確実に吸着して保持することができる。
また、本実施形態では、ガラス基板7を進退方向に回転可能に保持された押圧ローラ19で押圧するので、ガラス基板7に負荷をかける押圧ローラ19の進出時に基板表面7aを転がることで円滑な接触、押圧を行うことができる。しかもガラス基板7との接触は、押圧ローラ19の進退および押圧ローラ19の回転に伴って、接触位置を変えて徐々に行われるため、従来の場合に比べて、押圧によるガラス基板7の傷や割れの発生を格段に低減することができる。
また、押圧ローラ19は、ばね26、26によって上下方向の中立位置に保持されているので、ガラス基板7からの反力に応じてばね26の弾性復元力が発生して、ガラス基板7側に押し戻されるため、押圧ローラ19がガラス基板7上を飛び跳ねたりすることなく、安定した接触状態を保って押圧を行うことができる。
また、本実施形態では、ガラス基板7を進退方向に回転可能に保持された押圧ローラ19で押圧するので、ガラス基板7に負荷をかける押圧ローラ19の進出時に基板表面7aを転がることで円滑な接触、押圧を行うことができる。しかもガラス基板7との接触は、押圧ローラ19の進退および押圧ローラ19の回転に伴って、接触位置を変えて徐々に行われるため、従来の場合に比べて、押圧によるガラス基板7の傷や割れの発生を格段に低減することができる。
また、押圧ローラ19は、ばね26、26によって上下方向の中立位置に保持されているので、ガラス基板7からの反力に応じてばね26の弾性復元力が発生して、ガラス基板7側に押し戻されるため、押圧ローラ19がガラス基板7上を飛び跳ねたりすることなく、安定した接触状態を保って押圧を行うことができる。
また、本実施形態の基板検査システム1によれば、基板搬送装置2を用いることで、反りや捩れが生じたガラス基板7でも、反りや捩れを矯正して吸着パッド16aの整列面上に確実に吸着保持することができるので、ガラス基板7が浮き上がって検査精度が低下することを防止することができる。
また、ガラス基板7の基板表面7aを傷つけることなくガラス基板7の裏面で吸着保持することができるので、ガラス基板7の品質を損なうことなく検査を行うことができる。
また、ガラス基板7の基板表面7aを傷つけることなくガラス基板7の裏面で吸着保持することができるので、ガラス基板7の品質を損なうことなく検査を行うことができる。
次に、本実施形態の第1変形例について説明する。
図6は、本発明の第1の実施形態の第1変形例に係る基板搬送装置の動作を説明する模式的な平面図である。
本変形例の基板搬送装置2は、上記第1の実施形態と同様の構成を備えるが、上記第1の実施形態では、ガラス基板7の吸着動作時に、すべてのアクチュエータ30を進出させるのに対して、圧力センサ4の検出出力に応じてアクチュエータ30を選択的に進退させる点が異なる。以下では、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
図6は、本発明の第1の実施形態の第1変形例に係る基板搬送装置の動作を説明する模式的な平面図である。
本変形例の基板搬送装置2は、上記第1の実施形態と同様の構成を備えるが、上記第1の実施形態では、ガラス基板7の吸着動作時に、すべてのアクチュエータ30を進出させるのに対して、圧力センサ4の検出出力に応じてアクチュエータ30を選択的に進退させる点が異なる。以下では、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
本変形例では、ガラス基板7を吸着保持する際に、制御部23は、吸着不良を検知した圧力センサ4に対応するアクチュエータ30のみを、選択的に進退させる制御を行うようにする。
例えば、図6に示すように、吸着不良を検知した圧力センサ4が、X方向先端側の5つの吸着部16では圧力センサ4A、X方向の中間部の3つの吸着部16では圧力センサ4B、X方向の後端部の5つの吸着部16では、圧力センサ4C、4Dが、吸着不良を検視したとする。このとき、制御部23は、圧力センサ4A、4B、4C、4Dが設けられた吸着部16にそれぞれ対応する位置の、押圧ローラ19A、19B、19C、19Dを進出させ、それぞれの吸着部16の吸着補助を行う。
これらの進出動作により、各圧力センサ4の吸着不良が解消された場合、進出された各押圧ローラ19を後退させる制御を行う。
このようにすれば、吸着不良を起こしていない吸着部16上には、押圧ローラ19が進出しないので、上記第1の実施形態に比べて、ガラス基板7への接触負荷がより低減される。
例えば、図6に示すように、吸着不良を検知した圧力センサ4が、X方向先端側の5つの吸着部16では圧力センサ4A、X方向の中間部の3つの吸着部16では圧力センサ4B、X方向の後端部の5つの吸着部16では、圧力センサ4C、4Dが、吸着不良を検視したとする。このとき、制御部23は、圧力センサ4A、4B、4C、4Dが設けられた吸着部16にそれぞれ対応する位置の、押圧ローラ19A、19B、19C、19Dを進出させ、それぞれの吸着部16の吸着補助を行う。
これらの進出動作により、各圧力センサ4の吸着不良が解消された場合、進出された各押圧ローラ19を後退させる制御を行う。
このようにすれば、吸着不良を起こしていない吸着部16上には、押圧ローラ19が進出しないので、上記第1の実施形態に比べて、ガラス基板7への接触負荷がより低減される。
次に、本実施形態の第2変形例について説明する。
本変形例は、第1変形例の制御に変形を加えたもので、制御部23は、ガラス基板7を搬送する間、吸着解除状態以外では、常時、圧力センサ4の出力をモニタし、吸着不良を検知した場合には、直ちに対応する吸着部16へ向けて、押圧ローラ19を進出させる制御を行うようにする。
この場合、基板搬入出部6での吸着工程に限らず、搬送中も吸着不良を検知するたびに、対応する吸着部16の吸着補助を行うので、搬送中も確実にガラス基板7を吸着保持することができる。
なお、押圧ローラ19が、検査装置3の検査の妨げとならない場合には、検査工程でも同様の吸着補助動作を行うようにしてもよい。
本変形例は、第1変形例の制御に変形を加えたもので、制御部23は、ガラス基板7を搬送する間、吸着解除状態以外では、常時、圧力センサ4の出力をモニタし、吸着不良を検知した場合には、直ちに対応する吸着部16へ向けて、押圧ローラ19を進出させる制御を行うようにする。
この場合、基板搬入出部6での吸着工程に限らず、搬送中も吸着不良を検知するたびに、対応する吸着部16の吸着補助を行うので、搬送中も確実にガラス基板7を吸着保持することができる。
なお、押圧ローラ19が、検査装置3の検査の妨げとならない場合には、検査工程でも同様の吸着補助動作を行うようにしてもよい。
次に、本実施形態の第3変形例について説明する。
図7は、本発明の第1の実施形態の第3変形例に係る基板搬送装置の主要部の構成を示す斜視図である。図8(a)、(b)、(c)は、本発明の第1の実施形態の第3変形例に係る基板搬送装置の動作の様子を示す図7のC視の側面図である。
図7は、本発明の第1の実施形態の第3変形例に係る基板搬送装置の主要部の構成を示す斜視図である。図8(a)、(b)、(c)は、本発明の第1の実施形態の第3変形例に係る基板搬送装置の動作の様子を示す図7のC視の側面図である。
本変形例の基板搬送装置50は、図1に示すように、上記第1の実施形態の基板搬送装置2において、搬送機構8に代えて搬送機構60を備えたものである。
搬送機構60は、図7、8に示すように、上記第1の実施形態の吸着アシスト部18に代えて、吸着アシスト部61をスライダー14、15上にそれぞれ設けたものである。
吸着アシスト部61は、上記第1の実施形態の押圧ローラ支持アーム25に代えて、押圧ローラ支持アーム32を備え、上記第1の実施形態のアーム保持部27を削除し、アクチュエータ保持部31、乗り越え板29(位置規制手段)、乗り越えローラ28を追加したものである。以下では、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
搬送機構60は、図7、8に示すように、上記第1の実施形態の吸着アシスト部18に代えて、吸着アシスト部61をスライダー14、15上にそれぞれ設けたものである。
吸着アシスト部61は、上記第1の実施形態の押圧ローラ支持アーム25に代えて、押圧ローラ支持アーム32を備え、上記第1の実施形態のアーム保持部27を削除し、アクチュエータ保持部31、乗り越え板29(位置規制手段)、乗り越えローラ28を追加したものである。以下では、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
吸着アシスト部61のアクチュエータ本体30aの進退方向の先端部には、押圧ローラ支持アーム32の基端部が固定されている。
押圧ローラ支持アーム32は、図7に示すように、先端側に4本のアーム部を備え、その2本一組で、それぞれ押圧ローラ19を回転自在に保持している。各押圧ローラ19は、X方向に沿って同軸に整列され、吸着部16、ガラス基板7に対して上記第1の実施形態と同様の位置関係とされている。
押圧ローラ支持アーム32は、図7に示すように、先端側に4本のアーム部を備え、その2本一組で、それぞれ押圧ローラ19を回転自在に保持している。各押圧ローラ19は、X方向に沿って同軸に整列され、吸着部16、ガラス基板7に対して上記第1の実施形態と同様の位置関係とされている。
乗り越えローラ28は、アクチュエータ本体30aの進退方向の先端部の下面側に設けられ、押圧ローラ19のローラ支軸25aと平行な回転軸を中心として回転自在とされたものである。
アクチュエータ保持部31は、スライダー14、15のガラス基板7の側方側の上端部において、YZ面内で回動可能な回動支点31aにより回動支持されている。このアクチュエータ保持部31の上面に、アクチュエータ駆動部30bを下面が固定されている。そのため、アクチュエータ本体30aが回動支点31aを中心として、YZ面内で回転できるようになっている。
そして、アクチュエータ保持部31は、回動支点31aに対してガラス基板7よりの位置に、スライダー15(14)との間でZ方向の引張力を付勢するばね26が設けられている。
そして、アクチュエータ保持部31は、回動支点31aに対してガラス基板7よりの位置に、スライダー15(14)との間でZ方向の引張力を付勢するばね26が設けられている。
乗り越え板29は、アクチュエータ30の下方において、略Y方向に沿って延ばされた十分な剛性を有する板状部材であり、その上面に乗り越えローラ28が当接される。そのため、アクチュエータ本体30aの進退に際して、乗り越えローラ28が、乗り越え板29の上面の形状に沿って転がるので、乗り越え板29は、乗り越えローラ28の移動軌跡を規制するガイド部材となっている。
乗り越え板29のX方向視の形状は、本実施形態では、Y方向に沿って延びる平板の一部に、例えば曲げ加工などによって、上方に突出する山形の突部29aが設けられている。そして、アクチュエータ本体30aを進出させたとき、押圧ローラ19が、基板端部7cの近傍で上方に移動し、基板端部7c上で最大の高さとなり、基板端部7cを超えてから下降して基板表面7aに着地して、ガラス基板7を下方に押圧できるような形状とされている。突部29aの最大高さは、ガラス基板7に想定される反りの範囲で、基板端部7cと押圧ローラ19とが接触しない高さに設定する。
乗り越え板29のX方向視の形状は、本実施形態では、Y方向に沿って延びる平板の一部に、例えば曲げ加工などによって、上方に突出する山形の突部29aが設けられている。そして、アクチュエータ本体30aを進出させたとき、押圧ローラ19が、基板端部7cの近傍で上方に移動し、基板端部7c上で最大の高さとなり、基板端部7cを超えてから下降して基板表面7aに着地して、ガラス基板7を下方に押圧できるような形状とされている。突部29aの最大高さは、ガラス基板7に想定される反りの範囲で、基板端部7cと押圧ローラ19とが接触しない高さに設定する。
このような吸着アシスト部61によれば、ばね26により、乗り越えローラ28が、乗り越え板29に当接する状態で、Y方向に進退される。そして、アクチュエータ本体30aの後退時(図8(a)参照)には、押圧ローラ19が基板端部7cに略対向して、押圧ローラ19の下端部がガラス基板7の押圧位置より低い状態とされ、アクチュエータ本体30aの進出とともに、Y方向に水平に移動する。
そして、乗り越えローラ28が突部29aにさしかかると、図8(b)に示すように、突部29aの傾斜に沿って乗り越えローラ28が移動し、アクチュエータ本体30aおよびその先端の押圧ローラ支持アーム32が、回動支点31aを中心として図示時計回りに回動しつつY方向に進出される。
このため、乗り越えローラ28が突部29aに到達すると押圧ローラ19は、基板端部7cに対して十分高い位置に上昇されるので、ガラス基板7に反りが生じていても、押圧ローラ19と基板端部7cとの接触を回避することができる。
さらにアクチュエータ本体30aが進出すると、乗り越えローラ28が突部29aに沿って降下し、押圧ローラ19が基板表面7aに当接し、所定の押圧力でガラス基板7を押圧する状態となる。そのため、基板端部7cを越えた位置で、押圧ローラ19の押圧が始まり、吸着パッド16aに対向する位置に進出する間、徐々にガラス基板7を押圧していく(図8(c)参照)。
そして、乗り越えローラ28が突部29aにさしかかると、図8(b)に示すように、突部29aの傾斜に沿って乗り越えローラ28が移動し、アクチュエータ本体30aおよびその先端の押圧ローラ支持アーム32が、回動支点31aを中心として図示時計回りに回動しつつY方向に進出される。
このため、乗り越えローラ28が突部29aに到達すると押圧ローラ19は、基板端部7cに対して十分高い位置に上昇されるので、ガラス基板7に反りが生じていても、押圧ローラ19と基板端部7cとの接触を回避することができる。
さらにアクチュエータ本体30aが進出すると、乗り越えローラ28が突部29aに沿って降下し、押圧ローラ19が基板表面7aに当接し、所定の押圧力でガラス基板7を押圧する状態となる。そのため、基板端部7cを越えた位置で、押圧ローラ19の押圧が始まり、吸着パッド16aに対向する位置に進出する間、徐々にガラス基板7を押圧していく(図8(c)参照)。
このように、本変形例によれば、押圧ローラ19を進出させる際、基板端部7cに接触することなく上方に越えてから、基板表面7aを押圧するので、ガラス基板7が大きく反っている場合にも、押圧ローラ19が基板端部7cに衝突したり、引っかかったりすることを回避することができる。そのため、ガラス基板7にY方向の余計な押圧負荷をかけることなくZ方向に円滑に押圧することができる。
[第2の実施形態]
本発明の第2の実施形態に係る基板搬送装置について、それを用いた基板検査システムとともに説明する。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る基板搬送装置を備える基板検査システムの概略構成を示す平面図である。
本発明の第2の実施形態に係る基板搬送装置について、それを用いた基板検査システムとともに説明する。
図9は、本発明の第2の実施形態に係る基板搬送装置を備える基板検査システムの概略構成を示す平面図である。
本実施形態の基板検査システム100は、吸着補助部を搬送機構と別体とし、搬送機構を所定位置に移動した時に吸着補助部による吸着補助動作を行って、基板を吸着するようにしたものであり、図9に示すように、上記第1の実施形態の基板搬送装置2に代えて基板搬送装置70を備える。
本実施形態の基板搬送装置70は、上記第1の実施形態の搬送機構8に代えて搬送機構72を備え、基板浮上ステージ9上に搬入する位置である基板搬入出部6においてガラス基板7の載置位置のY方向の両側方に、それぞれ3個の吸着アシスト部71(吸着補助部)を設けたものである。
ここで、搬送機構72は、搬送機構8から、吸着アシスト部18を削除したものである。また、吸着アシスト部71は、上記第1の実施形態の吸着支持部17に固定された吸着アシスト部18と同様の構成を、吸着支持部17に代えてベース部2aに固定したものである。
本実施形態の基板搬送装置70は、上記第1の実施形態の搬送機構8に代えて搬送機構72を備え、基板浮上ステージ9上に搬入する位置である基板搬入出部6においてガラス基板7の載置位置のY方向の両側方に、それぞれ3個の吸着アシスト部71(吸着補助部)を設けたものである。
ここで、搬送機構72は、搬送機構8から、吸着アシスト部18を削除したものである。また、吸着アシスト部71は、上記第1の実施形態の吸着支持部17に固定された吸着アシスト部18と同様の構成を、吸着支持部17に代えてベース部2aに固定したものである。
各吸着アシスト部71は、本実施形態のスライダー14、15上の吸着支持部17にそれぞれ対応して設けられており、各吸着アシスト部71には、本実施形態の各吸着支持部17上の各吸着部16に対応した複数の押圧ローラ19が設けられている。
そして、各吸着アシスト部71の配置位置は、X方向の配列ピッチがスライダー14、15上の吸着部16の配置ピッチに合わされており、基板搬送ロボット5によって基板搬入出部6に移載されたガラス基板7を吸着する位置において、各吸着部16と各吸着アシスト部71とが、上記第1の実施形態と同様の位置関係に対向される設定となっている。
そして、各吸着アシスト部71の配置位置は、X方向の配列ピッチがスライダー14、15上の吸着部16の配置ピッチに合わされており、基板搬送ロボット5によって基板搬入出部6に移載されたガラス基板7を吸着する位置において、各吸着部16と各吸着アシスト部71とが、上記第1の実施形態と同様の位置関係に対向される設定となっている。
本実施形態の基板搬送装置70によれば、上記第1の実施形態と同様にして、ガラス基板7を基板搬入出部6に搬入し、基板浮上ステージ9上に浮上させ、ガラス基板7を吸着部16上に載置した状態で、上記第1の実施形態と同様にして、必要に応じて押圧ローラ19を進出させて基板表面7aを押圧し、進出先の吸着部16でのガラス基板7の吸着補助動作を行う。
各圧力センサ4により、すべての吸着部16で吸着保持が完了したことが検知されると、進出した押圧ローラ19を基板表面7a上から後退させる。
そして、スライダー14、15をX方向に移動して、ガラス基板7を搬送し、検査工程を行う。
各圧力センサ4により、すべての吸着部16で吸着保持が完了したことが検知されると、進出した押圧ローラ19を基板表面7a上から後退させる。
そして、スライダー14、15をX方向に移動して、ガラス基板7を搬送し、検査工程を行う。
本実施形態によれば、吸着アシスト部71を搬送機構72の外部に設けるので、搬送機構72の構成を簡素化することができる。
なお、上記の説明では、吸着部を有する搬送機構が搬送方向に直交する基板の両側縁部側に設けられ、基板を両側縁部で吸着保持する場合の例で説明したが、十分な保持力が得られる場合には、基板のいずれかの側縁部で吸着保持するようにしてもよい。
また、上記の第1の実施形態の説明では、押圧ローラ進退機構が押圧ローラを選択的に進退される構成の例で説明したが、選択的に進退する押圧ローラは必要に応じて適宜に設定することができる。例えば、第2の実施形態の構成のように、隣接した吸着部に対して複数の押圧ローラをともに進退させてもよい。また、例えば、圧力センサ4の検出出力によらず常にすべての押圧ローラを用いて吸着補助を行う場合には、1つの押圧ローラ進退機構で進退させてもよい。
また、上記に説明した各実施形態、各変形例の各構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施してもよい。
1、 100 基板検査システム
2、 50、70 基板搬送装置
2a ベース部
3 検査装置
3a 顕微鏡
4、4A、4B、4C、4D 圧力センサ(吸着不良検知センサ)
6 基板搬入出部
7 ガラス基板(基板)
7a 基板表面
7b 基板裏面
7c 基板端部
8、60、72 搬送機構
9 基板浮上ステージ(ステージ)
12、13 ガイド
14、15 スライダー
16 吸着部
16a 吸着パッド
16c 吸気管路
18、61、71 吸着アシスト部(吸着補助部)
19、19A、19B、19C、19D 押圧ローラ
23 制御部
25、32 押圧ローラ支持アーム
26 ばね
28 乗り越えローラ
29 乗り越え板(位置規制手段)
30 アクチュエータ(押圧ローラ進退機構)
2、 50、70 基板搬送装置
2a ベース部
3 検査装置
3a 顕微鏡
4、4A、4B、4C、4D 圧力センサ(吸着不良検知センサ)
6 基板搬入出部
7 ガラス基板(基板)
7a 基板表面
7b 基板裏面
7c 基板端部
8、60、72 搬送機構
9 基板浮上ステージ(ステージ)
12、13 ガイド
14、15 スライダー
16 吸着部
16a 吸着パッド
16c 吸気管路
18、61、71 吸着アシスト部(吸着補助部)
19、19A、19B、19C、19D 押圧ローラ
23 制御部
25、32 押圧ローラ支持アーム
26 ばね
28 乗り越えローラ
29 乗り越え板(位置規制手段)
30 アクチュエータ(押圧ローラ進退機構)
Claims (7)
- 基板を浮上させるステージと、
該ステージに沿って移動可能に設けられるとともに、前記基板のいずれかの側縁部の裏面側で前記基板を吸着して保持する吸着部を有する搬送機構と、
前記吸着部上に載置された前記基板を表面側から前記吸着部に押圧する押圧ローラと、該押圧ローラを前記基板の搬送方向の側方から進退させる押圧ローラ進退機構とを有する吸着補助部とを備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記吸着補助部が、前記基板を前記ステージ上に搬入する位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記吸着補助部が、前記搬送機構に一体に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記吸着部が、前記搬送方向に沿って複数設けられ、
前記押圧ローラを、前記複数の吸着部のいずれかの上方に選択的に進退させることができるようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 前記複数の吸着部が、吸着不良の有無を検知する吸着不良検知センサをそれぞれ備え、
該吸着不良検知センサの検知出力に応じて、前記押圧ローラを選択的に進出させるようにしたことを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。 - 前記押圧ローラ進退機構が、
前記押圧ローラの進出時に、前記基板の端部との接触を回避するために前記基板の表面に対する高さ方向の位置を規制する位置規制手段を備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板搬送装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の基板搬送装置と、
該基板搬送装置の搬送経路上で前記基板の外観を検査する検査装置とを備えることを特徴とする基板検査システム。
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