JP2010212394A - 部品実装基板の検査方法と装置及び部品実装装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品11が実装された基板10の側縁部の近傍位置を側縁部の長手方向に移動可能な反り矯正部20にて側縁部の実質的な全長にわたって吸着保持し、反り矯正部20にて基板10の側縁部の近傍位置を吸着保持したまま、反り矯正部20とともに基板10を側縁部の長手方向に移動させて、各部品11が実装された基板10の実装位置を所定の検査位置40に順次位置決めし、所定の検査位置40にて検査可能に固定設置した赤外光カメラ21と可視光カメラ22で、その検査位置40に位置決めされた部品11の実装位置を画像認識し、基板10に実装された各部品11の実装位置ずれを検査するようにした。
【選択図】図2
Description
また、その一方で近年は基板の薄型化・大型化が進行しているために基板を基板保持部で保持した状態では基板の側縁部に反りが発生し、そのため分解能が高く焦点深度の浅い認識カメラでは安定して画像認識できず、信頼性の高い検査が困難であるという問題がある。
ため、固定設置した高精度の認識カメラにて、基板の側縁部に実装された複数の部品の実装状態を、基板を順次移動させて検査する検査装置に効率的に適用することは困難である。
御部12は各装置2〜9の稼動状況に関する各種データの管理が行われている。さらに、本実施形態の制御部12では、検査装置8による検査データが検査データ格納部13に格納されるとともに、そのデータが検査結果解析部14で分析されてエラー発生傾向が認められると未然にその要因の解析が行われ、その解析結果に基づいてフィードバック制御データ作成部15で関係する装置に対する補正データを作成して当該装置にフィードバックするように構成されている。
イド37が配設され、このスライドガイド37によってY方向に移動自在に支持されたガイドレール38がL字連結杆39の水平杆部39aの側面に固定され、L字連結杆39の垂直杆部39bの上端側が吸着固定部材33に連結固定されている。
1aと基板10の実装部位10cに設けられた位置マーク10aを画像認識して、部品11の実装位置ずれを検査する(ステップS5)。次に、全ての部品11の検査が終了したか否かの判断を行い(ステップS6)、未検査の部品11がある場合には、図10(c)にX方向の白抜矢印で示すように、基板10の側縁部近傍を反り矯正部20で保持したまま、次の部品11を検査位置40に位置決めし(ステップS7)、部品11の実装位置ずれを検査する(ステップS5)という動作を繰り返す(ステップS5〜S7)。
ーブルの可動部をY方向にスライド自在に連結する連結手段36にて連結しているので、反り矯正部20の長手方向と平行なX方向に、X軸テーブル26を移動させることにより、連結手段36にてX軸テーブル26の移動とともに反り矯正部20を基板保持部19のX方向の移動に連動して移動させることができ、基板10のX方向の移動に完全に同期して基板の側縁部の近傍を反り矯正部20で吸着保持した状態で基板10の側縁部をX方向に移動・位置決めすることができ、簡単な構成にて効率的にかつ精度良く位置ずれ検査を行うことができる。また、反り矯正部20はX方向の1軸方向にのみ移動するだけであるので、2軸方向に移動可能な構成に比して、移動中及び移動前後の位置精度及び平面度を高い精度で保持することができる。
4 ACF貼付装置(異方性導電材貼付装置)
5 仮圧着装置
7a、7b 本圧着装置
8 検査装置
10 基板
10a 位置マーク
10c 実装部位
11 部品
11a 位置マーク
11c 実装面
12 制御部
13 検査データ格納部
14 検査結果解析部
15 フィードバックデータ作成部
18 移動手段
19 基板保持部
20 反り矯正部
21 第1の認識手段(赤外光カメラ、画像認識手段)
22 第2の認識手段(可視光カメラ、画像認識手段)
26 X軸テーブル
27 Y軸テーブル
28 可動部
33 吸着固定部材
36 連結手段
40 検査位置
100 部品実装基板
Claims (7)
- 基板の側縁部に設けられた複数の実装部位に実装された各部品の実装位置ずれを検査する検査方法であって、
部品が実装された基板の側縁部の近傍位置を側縁部の長手方向に移動可能な反り矯正部にて側縁部の実質的な全長にわたって吸着保持する反り矯正工程と、
反り矯正部にて基板の側縁部の近傍位置を吸着保持したまま、反り矯正部とともに基板を側縁部の長手方向に移動させて、各部品の実装位置を順次所定の検査位置に位置決めする移動・位置決め工程と、
所定の検査位置にて検査可能に固定して設置された画像認識手段で、その検査位置に位置決めされた部品の実装位置を画像認識し、基板に実装された各部品の実装位置ずれを検査する検査工程と、を
有することを特徴とする部品実装基板の検査方法。 - 検査工程は、基板の実装部位に設けられた位置マークを、基板を透過する第1の検査光を照射して画像認識する基板マーク認識工程と、実装された部品の実装面に設けられた位置マークを、部品を透過する第2の検査光を照射して画像認識する部品マーク認識工程とを有することを特徴とする請求項1記載の部品実装基板の検査方法。
- 基板の側縁部に設けられた複数の実装部位に実装された各部品の実装位置ずれを検査する検査装置であって、
固定した位置の所定の検査位置にて基板に実装された部品の実装位置を画像認識する画像認識手段と、
基板を保持して各実装部位を順次所定の検査位置に移動させ位置決めする移動手段と、
基板の実装部位が設けられた側縁部の近傍を吸着保持し、側縁部の長手方向に沿った一方向にのみ移動自在な反り矯正部と、
基板の側縁部の長手方向に沿う方向の移動に連動するように、移動手段と反り矯正部とを連結する連結手段とを
備えたことを特徴とする部品実装基板の検査装置。 - 画像認識手段は、基板の実装部位に設けられた位置マークを、基板を透過する第1の検査光を照射して画像認識する第1の認識手段と、実装された部品の実装面に設けられた認識マークを、部品を透過する第2の検査光を照射して画像認識する第2の認識手段から成ることを特徴とする請求項3記載の部品実装基板の検査装置。
- 移動手段は、基板搬送方向及び反り矯正部の長手方向と平行なX方向に移動するX軸テーブルと、X軸テーブルの可動部上に配設されX方向と直交するY方向に移動するY軸テーブルと、Y軸テーブルの可動部上にX−Y平面に対して垂直なZ方向に昇降及び垂直軸心回りのθ方向に回転可能に配設され基板の実質的な中央部を保持可能な基板保持部とを備え、Y方向の移動が固定された反り矯正部とY軸テーブルの可動部との間を連結したままで、Y軸テーブルの可動部をY方向にスライド自在に連結する連結手段を設け、反り矯正部の長手方向と平行なX方向に、X軸テーブルを移動させることにより、X軸テーブルの移動とともに反り矯正部を移動させることを特徴とする請求項3又は4記載の部品実装基板の検査装置。
- 請求項3〜5の何れか1つに記載の部品実装基板の検査装置を、
基板の実装部位に異方性導電材を貼付ける異方性導電材貼付装置と、実装部位に貼付けられた異方性導電材を介して部品を基板の実装部位に仮圧着する仮圧着装置と、仮圧着された部品を本圧着する本圧着装置とを配設した実装ラインにおいて、実装ライン内の本圧着装置の後段側の実装ライン下流側に配設した
ことを特徴とする部品実装装置。 - 検査装置による検査結果データを分析して位置ずれエラーの発生原因を解析し、位置ずれエラーの原因となった装置に補正データをフィードバックする制御部を設けた
ことを特徴とする請求項6記載の部品実装装置。
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