KR102058364B1 - 기판 본딩 접합장치 - Google Patents

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KR102058364B1
KR102058364B1 KR1020190131430A KR20190131430A KR102058364B1 KR 102058364 B1 KR102058364 B1 KR 102058364B1 KR 1020190131430 A KR1020190131430 A KR 1020190131430A KR 20190131430 A KR20190131430 A KR 20190131430A KR 102058364 B1 KR102058364 B1 KR 102058364B1
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유승석
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Abstract

본 발명은 기판구조물이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 상하이동시키도록 조립되는 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 전후진이동시키도록 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 기판구조물을 이송시키는 제1이송부 ; 상기 제2경성기판이 배치되는 수직안내대를 제4엑추에이터에 의해서 전후진이동시키도록 조립되는 한쌍의 제4이송대를 갖추어 상기 제2경성기판을 상기 하부 가압헤드 측으로 이송시키는 제2이송부 ; 상기 하부 가압헤드에 올려져 배치되는 한쌍의 연성기판의 각 단부를 영상으로 취득하는 한쌍의 비전카메라를 구비하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추며, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 각각 좌우이동시킬 수 있도록 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판의 위치를 확인하는 비전부 ; 및 한쌍의 본딩헤드를 하부단에 구비하는 한쌍의 상부 가압헤드를 상하이동시키는 한쌍의 제7엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제7이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제7이송대를 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 각각 수평이동시키도록 조립되는 제8이송대를제9엑추에이터에 의해서 상하이동시키도록 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 수직안내대에 배치된 제2경성기판과 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단을 본딩접합하는 본딩부를 포함한다.

Description

기판 본딩 접합장치{Substrate Bonding Apparatus}
본 발명은 기판들간을 본딩하여 접합하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 경성기판과 한쌍의 연성기판의 각 일단이 본딩 접합된 기판구조물을 구성하는 한쌍의 연성기판의 각 타단과 다른 경성기판을 서로 본딩 접합연결하는 본딩 접합공정을 자동화할 수 있는 기판 본딩장치에 관한 것이다.
근래 디스플레이패널을 포함하는 디스플레이장치는 점차 대형화 및 박형화되고 있으며, 발광방식도 플라즈마, LCD 방식에서 점차 유기EL 방식으로 변화되고 있는 추세에 있다.
이러한 디스플레이장치는 디스플레이패널과 이를 구동하기 위한 구동부를 포함하고, 상기 구동부에는 파워서플라이와 메인보드를 구비하고, 상기 구동부의 파워서플라이와 메인보드는 디스플레이패널과 기판구조물을 매개로 하여 연결된다.
이러한 기판구조물(P)은 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 파워서플라이와 메인보드를 포함하는 구동부(M)에 탑재되어 전기적으로 연결되어 티콘(T-CON)PCB 와 같은 제1경성기판(10)과, 상기 디스플레이패널(D)에 탑재되어 전기적으로 연결되는 도터 PCB 와 같은 제2경성기판(20) 및 상기 제1경성기판과 제2경성기판과의 사이를 전기적으로 연결하는 플렉서블 PCB 와 같은 한쌍의 연성기판(30)을 포함한다.
상기 제1경성기판(10)은 LCD 모니터, 노트북, TV 등 10인치 이상 대형 디스플레이 패널에 탑재되어 구동칩에 전송되는 데이터 양을 조절하고 화질을 개선해주는 디스플레이용 반도체인 타이밍 콘트롤러 피씨비(Timing Controller PCB)로 구비된다.
상기 제2경성기판(20)은 디스플레이패널에 구비되는 패널기판에 음성기능이나 비디오 특성을 향상시키는 새로운 기능을 추가하기 위해서 별도의 전자회로를 탑재하여 패널기판 위에 증설되는 도터 피씨비(daughter PCB)로 구비된다.
상기 연성기판(30)은 가요성 필름소재로 이루어져 상기 제1,2경성기판의 접합부위와 각각 탭(TAP : Tape Automated Bonding)공정에 의해서 전기적으로 접합연결되는 플렉서블 PCB로 구비된다.
이러한 기판구조물을 본딩접합하는 과정에서, 제1경성기판에 형성되는 단자패드와 한쌍의 연성기판의 각 일단에 형성되는 단자패드를 서로 일대일로 대응시켜 본딩접합하여 기판구조물을 제조한 다음, 기판구조물을 구성하는 한쌍의 단자패드와 다른 경성기판을 본딩접합하여 제1,2경성기판과 이들사이를 연결하는 한쌍의 연성기판으로 이루어지는 기판구조물을 제조완성하는 작업을 자동으로 정밀하게 수행하기 위한 본딩접합장치를 절실하게 요구되었다.
(특허문헌 1) KR10-1796930 B1
따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 경성기판과 한쌍의 연성기판의 각 일단이 서로 본딩 접합된 기판구조물에서 한쌍의 연성기판의 각 타단에 형성된 단자패드와 다른 경성기판에 형성된 단자패드를 서로 본딩접합하여 전기적으로 연결하는 본딩접합공정을 자동화할 수 있는 기판 본딩장치를 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서, 본 발명의 바람직한 실시예는, 제1경성기판에 한쌍의 연성기판의 일측단이 본딩 접합된 기판구조물을 구성하는 한쌍의 연성기판의 각 타측단과 제2경성기판의 단자패드를 본딩접합하는 장치에 있어서, 상기 기판구조물이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 기판구조물을 이송시키는 제1이송부 ; 상기 제2경성기판이 상부단에 올려져 배치되는 수직안내대를 갖추고, 상기 수직안내대를 제4엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 수직안내대의 하부단이 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제4이송대를 갖추어 상기 제2경성기판을 상기 하부 가압헤드 측으로 이송시키는 제2이송부 ; 상기 하부 가압헤드에 올려져 배치되는 한쌍의 연성기판의 각 단부를 영상으로 취득하는 한쌍의 비전카메라를 갖추고, 상기 한쌍의 비전카메라를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추며, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판의 위치를 확인하는 비전부 ; 및 상기 하부 가압헤드와 대응하는 한쌍의 본딩헤드를 하부단에 구비하는 한쌍의 상부 가압헤드를 z축방향으로 상하이동시키는 한쌍의 제7엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제7이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제7이송대를 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 수평이동시키도록 한쌍의 제7이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제8이송대를 갖추며, 상기 제8이송대를 제9엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제8이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 수직안내대에 배치된 제2경성기판과 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단을 본딩접합하는 본딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치를 제공한다.
바람직하게, 상기 제1이송대는 상기 기판구조물이 배치되는 하부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제1엑추에이터가 탑재되는 제1수평대와, 상기 제2이송대의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더를 갖추어 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대를 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 하부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 바닥면에 형성하여 상기 기판구조물의 제1경성기판이 흡착고정되는 배치홈을 구비하고, 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판이 흡착고정되도록 진공흡입라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 상부면에 형성하여 상기 하부 가압헤드의 전방 양측에 독립적으로 구비되는 한쌍의 받침블럭을 포함할 수 있다.
더욱 바람직하게, 상기 한쌍의 받침블럭은 하부 가압헤드의 하부에 구비되는 제1실린더에 의해서 전후진 작동되는 이동체에 고정설치될 수 있다.
더욱 바람직하게, 상기 하부 가압헤드의 양측에는 상기 한쌍의 받침블럭 상에 배치되는 한쌍의 연성기판과 나란한 방향으로 한쌍의 지지대를 전후진 왕복작동시키는 한쌍의 제2실린더를 포함하고, 상기 수직안내대의 상부면에는 한쌍의 지지대가 대응삽입되어 배치되도록 함몰형성되는 요홈을 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 제2이송대는 상기 제2엑추에이터가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대와, 상기 제1이송대의 수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일을 갖는 제2수직대를 탑재하는 제2수평대를 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 수직안내대는 진공흡입라인과 연결되어 제2경성기판이 흡착되는 복수개의 흡착홀을 형성하는 안착대와, 상기 안착대를 상부단에 구비하고 상기 한쌍의 제4이송대의 각 상부면에 구비되는 수평레일과 조립되는 한쌍의 슬라이더를 하부단에 구비하는 수직안내판을 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 수직안내대에 올려진 제2경성기판의 단자패드 및 정렬마크를 영상으로 감지하여 확인하는 기판확인용 비전부를 포함하고, 상기 기판확인 비전부는 상기 제2경성기판을 영상으로 확인하는 기판확인용 비전카메라가 고정설치되는 카메라블럭과 나사결합되는 수평스크류축을 회전구동시키는 제5엑추에이터와, 상기 수평스크류축과 나란하게 배치되는 수평레일에 활주이동가능하게 조립되는 수평슬라이더를 고정설치하는 고정판를 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 한쌍의 카메라블럭 중 하나의 카메라블럭은 상기 비전카메라가 상부단에 고정설치되는 상부블럭과, 상기 상부블럭이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭 및 상기 고정대의 상부면에 구비되는 안내레일에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 갖추고, 상기 제6엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭을 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 제8이송대는 한쌍의 상부 가압헤드를 구비하는 한쌍의 제7이송대를 제8엑추에이터의 회전구동력에 의해서 x축방향으로 각각 수평이동시키도록 상기 한쌍의 제7이송대의 각 상단에 구비되는 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 수평레일을 하부단에 구비할 수있다.
바람직하게, 상기 메인고정대는 상기 제8이송대의 후면에 구비되는 한쌍의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일을 전면에 일체로 구비하는 메인고정판과, 상기 메인고정판을 고정설치하며 상기 제9엑추에이터를 상부에 수직하게 고정설치하는 메인프레임을 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
티콘 기판과 같은 제1경성기판의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 각 일단이 서로 본딩 접합한 기판구조물에서 도터 기판과 같은 제2경성기판의 단자패드와 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단을 서로 본딩 접합하는 공정을 자동화함으로써 작업생산성을 높이고, 기판구조물을 대량으로 제품불량없이 정밀하게 제조할 수 있는 효과가 얻어진다.
도 1a, 도 1b 및 도 1c 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치를 도시한 전체 사시도이다.
도 2a 와 도 2b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제2이송부와 본딩부를 도시한 사시도이다.
도 2c 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 본딩부를 도시한 부분 확대도이다.
도 3a 와 도 3b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 본딩부와 비전부를 도시한 사시도이다.
도 4a 와 도 4b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제1이송부를 도시한 사시도이다.
도 5a 와 도 5b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제1이송부를 도시한 부분 확대도이다.
도 6a 와 도 6b 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에 구비되는 제2이송부를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 본딩접합장치에서 한쌍의 연성기판의 일측단을 제2경성기판에 본딩접합하는 공정을 도시한 개략도이다.
도 8은 일반적으로 제1경성기판과 제2경성기판과의 사이를 연성기판으로 접합연결한 최종 기판구조물을 도시한 개략도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 본딩접합장치(1000)는 도 1a, 도 1b 및 도 1c 에 도시한 바와 같이, 제1경성기판(10)의 단자패드와 한쌍의 연성기판(30)의 각 일단이 본딩접합되어 이루어진 기판구조물에서 한쌍의 연성기판의 각 타단과 제2경성기판(20)을 본딩접합할 수 있도록 제1이송부(100), 제2이송부(200), 비전부(300) 및 본딩부(400)를 포함한다.
상기 제1이송부(100)는 도 1a, 도 1b, 도 4a, 도 4b, 도 5a, 도 5b, 도 5c 및 도 5d 에 도시한 바와 같이, 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단과 제2경성기판(20)의 단자패드를 서로 본딩 접합할 수 있도록 상기 기판구조물을 배치하여 상기 본딩부 측으로 이송시키는 것으로, 이러한 제1이송부는 제1이송대(110), 제2이송대(120) 및 제3이송대(130)를 포함한다.
상기 제1이송대(110)는 상기 기판구조물이 올려져 배치되는 하부 가압헤드(112)를 수직한 z축을 기준으로 하여 일정각도 회전시키는 제1엑추에이터(111)가 상부면에 탑재되는 제1수평대(118)를 갖추고, 상기 제2이송대(120)의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일(127)과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더(117)를 갖추어 상기 제2이송대에 대하여 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대(119)를 포함한다.
상기 하부 가압헤드(112)는 진공흡인라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 바닥면에 형성하여 상기 기판구조물의 제1경성기판(10)이 흡착고정되도록 배치되는 배치홈(113)을 구비하고, 진공흡입라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 상부면에 형성하여 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판(30)이 각각 올려져 흡착고정되도록 배치되는 한쌍의 받침블럭(114a)을 구비한다.
상기 하부 가압헤드(112)의 전방 양측에 독립적으로 구비되는 한쌍의 받침블럭(114a)은 하부 가압헤드(112)의 하부에 구비되는 제1실린더(114)에 의해서 y축방향으로 전후진 작동되는 이동체(114b)의 상부면에 고정설치된다.
이러한 받침블럭(114a)에 연성기판이 올려져 배치되면, 흡착홀에 부여되는 진공흡입력에 의해서 연성기판이 흡착고정됨과 동시에 상기 제1실린더(114)의 전진작동시 상기 연성기판이 흡착된 받침블럭(114a)이 전진되면서 가요성 소재로 이루어지는 연성기판(30)의 선단이 하부로 처지는 것을 방지하면서 일직선상의 판상으로 편평하게 펼쳐줄 수 있기 때문에 후술하는 수직안내대(210)의 안착대에 올려지는 제2경성기판(20)과의 본딩접합공정을 보다 정확하게 수행할 수 있다.
그리고, 상기 하부 가압헤드(112)의 양측에는 상기 한쌍의 받침블럭(114a)상에 올려지는 한쌍의 연성기판의 각 외측테두리와 나란하도록 배치되어 본딩접합후 상기 한쌍의 연성기판(30)과 본딩접합된 제2경성기판(20)의 하부면을 지지하는 한쌍의 지지대(115a)를 전후진 왕복작동시키는 한쌍의 제2실린더(115)를 구비한다.
상기 제2실린더(115)에 의해서 전진작동되는 한쌍의 지지대(115a)는 후술하는 수직안내대(210)의 안착대(212)에 함몰형성되는 요홈(211)에 대응삽입되어 배치된다.
이러한 경우, 상기 하부 가압헤드(112)의 한쌍의 받침블럭에 올려진 한쌍의 연성기판의 각 일단과 상기 안착대(212)에 올려진 제2경성기판과의 본딩접합후 상기 제2경성기판의 하부면은 상기 요홈에 대응삽입되는 지지대에 받쳐져 지지되기 때문에 본딩접합공정후 제1,2경성기판사이에 연성기판이 본딩접합된 기판구조물을 하부 가압헤드에 의해서 후공정으로 이송하는 과정에 제2연성기판이 하부 가압헤드의 외부영역에서 자중에 의해 하부로 처지는 것을 방지할 수 있는 것이다.
상기 제2이송대(120)는 하부 가압헤드가 배치되는 제1이송대(110)를 제2엑추에이터(121)의 구동력에 의해서 z축방향으로 상하 왕복이동시키도록 상기 제1이송대(110)의 제1수직대와 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제2이송대(120)는 제2엑추에이터(121)가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대(129)를 갖추고, 상기 제1이송대(110)의 제1수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더(117)가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일(127)을 갖는 제2수직대(129)가 상부면에 탑재되는 제2수평대(128)를 포함한다.
상기 제2수직대(129)의 개방된 상부는 덮개프레임(129a)과 덮개판(129b)에 의해서 덮어져 밀폐된다.
상기 제2수직대의 내부공간에 구비되는 제2엑추에이터(121)는 구동축 선단에 구비되는 구동풀리(122)와 벨트부재(123)를 매개로 연결되는 피동풀리(124)를 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 피동풀리를 선단에 구비되는 수직스크류축과 나사결합되는 이동블럭(125)은 상기 제1이송대(110)의 제1수직대(119)와 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 제1이송대는 상기 제2엑추에이터의 회전구동시 상기 구동풀리,벨트부재 및 피동풀리를 통하여 상기 수직스크류축에 전달되는 정방향 또는 역방향의 회전구동력에 의해서 상기 수직스크류축과 나사결합되는 이동블럭을 상하방향으로 이동시킴으로써 상기 제2이송대에 대하여 제1이송대를 하부 가압헤드와 더불어 z축 방향으로 상하 왕복시킬 수 있다.
상기 제3이송대(130)는 상기 제2이송대(120)를 제3엑추에이터(131)의 구동력에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대(120)의 제2수평대(128)가 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 제3이송대(130)는 상기 제2이송대(120)의 제2수평대(128) 하부면에 형성되는 안내홈과 활주이동가능하게 조립되는 수평안내대(137)를 갖는 상부베이스(138)를 갖추고, 상기 제3엑추에이터(131)가 일단에 고정설치되는 상부베이스(138)를 상부면에 탑재하는 하부베이스(139)를 포함한다.
상기 제3엑추에이터(131)는 상기 제2이송대(120)의 제2수평대(128)에 구비되는 이동블럭의 암나사부와 나사결합되는 수평스크류축(132)을 회전구동시키는 모터부재로 구비된다.
이에 따라, 상기 제2이송대는 상기 제3엑추에이터의 회전구동시 상기 수평스크류축과 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 상부베이스의 수평안내대를 따라 y축 방향으로 전후진 왕복이동되는 것이다.
상기 제3이송대(130)의 하부베이스(139)는 x축방향으로 길게 구비되는 메인안내레일(109)상에 왕복이동가능하게 조립됨으로써 미도시된 구동원에 의해서 상기 메인안내레일(109)을 따라 왕복이동되는 것이다.
한편, 상기 제1엑추에이터(111)의 작동시 하부 가압헤드(112)의 회전이동을 감지할수 있도록 상기 하부 가압헤드에 구비되어 이와 더불어 회전되는 제1감지판(116)을 감지하는 제1감지센서(116a)를 상기 제1이송대(110)의 제1수직대(119)의 상단에 고정설치한다.
상기 제2엑추에이터(121)의 작동시 z축방향으로 상하이동되는 제1이송대(110)의 상하이동을 감지할 수 있도록 상기 제1이송대의 제1수직대의 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제2감지판(126)을 감지하는 제2감지센서(126a)를 제2이송대의 제2수직대(129)의 일측에 구비하고, 상기 제3엑추에이터(131)의 작동시 y축방향으로 전후진 이동되는 제2이송대(120)의 전후진이동을 감지할수 있도록 상기 제2이송대의 제2수평대(128)의 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제3감지판(136)을 감지하는 제3감지센서(136a)를 제3이송대의 상부베이스(138)에 구비한다.
여기서, 상기 제2감지센서 및 제3감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
상기 제2이송부(200)는 도 1a 내지 도 1c 및 도 6a, 도 6b 에 도시한 바와 같이, 전공정에서 선접합본딩되어 상기 하부 가압헤드에 올려져 배치된 기판구조물의 한쌍의 연성기판(30)과의 본딩접합공정을 수행할 수 있도록 상기 제2경성기판(20)을 하부 가압헤드 측으로 이송하는 것으로, 이러한 제2이송부(200)는 수직안내대(210)와 한쌍의 제4이송대(220)를 포함한다.
상기 수직안내대(210)의 상부단에는 제2경성기판(20)이 올려져 배치되어 흡착고정되고, 상기 수직안내대(210)의 하부단은 서로 나란하게 배치되는 한쌍의 제4이송대(220)에 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 수직안내대(210)는 진공흡입라인과 연결되어 제2경성기판이 흡착되는 복수개의 흡착홀(213)을 형성하는 안착대(212)를 갖추고, 상기 안착대(212)를 상부단에 구비하고 상기 한쌍의 제4이송대(220)의 각 상부면에 구비되는 수평레일(227)과 조립되는 한쌍의 슬라이더(217)를 하부단에 구비하는 수직안내판(215)을 포함한다.
상기 수직안내판(215)에는 y축방향으로 전후진 왕복이동시 공기저항을 최소화하면서 줄일 수 있도록 복수개의 관통공(216)을 형성하는 것이 바람직하다.
상기 한쌍의 제4이송대(220) 중 어느 하나의 이송대는 상기 수직안내대의 수직안내판 하부단에 구비되는 한쌍의 슬라이더(217)와 활주이동가능하게 조립되는 수평레일(227)을 상부면에 구비하고, 상기 수직안내대를 y축방향으로 전후진 왕복이동시키는 구동력을 제공하는 제4엑추에이터(221)를 일측단에 구비한다.
상기 제4엑추에이터(221)는 상기 제4이송대에 고정설치되는 전,후방 지지블럭(222)에 회전가능하게 지지되는 수평스크류축(224)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스크류축(224)에 나사결합되는 이동블록(225)은 상기 수직안내대(210)의 수직안내판(215)과 일체로 결합된다.
상기 한쌍의 제4이송대(220)는 하부프레임(229)에 상기 제4엑추에이터(221)의 수평스크류축(224)과 서로 나란하도록 고정설치된다.
그리고, 상기 수직안내대(210)의 후면에는 불량으로 처리되는 제2경성기판을 낙하시켜 수집하는 수집박스(219)를 구비하는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 수직안내대는 상기 제4엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 나사결합되는 이동블럭에 전달되는 회전구동력에 의해서 상기 이동블럭이 전후진이동됨으로써, 상기 안착대에 올려져 흡착고정된 제2경성기판을 본딩접합위치까지 이송하도록 하부 가압헤드 측으로 향하여 y축 방향으로 전후진 왕복이동되는 것이다.
상기 제4엑추에이터(221)의 작동시 y축방향으로 전후진 이동되는 수직안내대(210)의 전후진 이동을 감지할 수 있도록 상기 수직안내대의 하부단 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제4감지판(218)을 감지하는 제4감지센서(218a)를 일측 제4이송대의 일측에 구비한다.
여기서, 상기 제4감지센서는 센서이동용 안내레일에 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
그리고, 상기 수직안내대(210)에 올려져 배치된 제2경성기판(20)에 형성된 단자패드 및 정렬마크를 영상으로 감지하여 확인하는 기판확인용 비전부(230)를 포함하는바, 이러한 기판확인 비전부(230)는 상기 제2경성기판을 영상으로 확인하는 기판확인용 비전카메라(231)가 고정설치되는 카메라블럭(232)을 갖추고, 상기 카메라블럭과 나사결합되는 수평스크류축(234)을 회전구동시키는 제5엑추에이터(233)를 갖추며, 상기 수평스크류축과 나란하게 배치되는 수평레일(237)에 활주이동가능하게 조립되는 수평슬라이더(236)를 고정설치하는 고정판(239)을 포함한다.
상기 수평스크류축(234)은 상기 고정판(239)에 고정설치되는 전,후방지지블럭에 회전가능하게 지지되고, 상기 제5엑추에이터(233), 고정판(239)은 상기 본딩부(400)가 구비되는 메인프레임(439)에 구비되는 것이 바람직하다.
이에 따라, 상기 기판확인용 비전카메라는 상기 수직안내대가 y축방향으로 전후진 이동되는 진행방향에 대하여 직각으로 교차하는 x축방향으로 상기 제5엑추에이터의 구동력에 의해서 왕복이동되면서 상기 수직안내대의 상부단에 올려져 흡착고정된 제2경성기판에 형성된 단자패드 및 정렬마크의 위치를 영상으로 확인할 수 있다.
이때, 상기 수직안내대(210)는 상기 기판확인용 비전부(230)와 대응하는 위치에 일시적으로 정지되어 상기 기판확인용 비전카메라의 직상부에 위치된 상태에서 x축방향으로 이동되는 기판확인용 비전카메라(231)에 의해서 제2경성기판의 단자패드 및 정렬마크를 확인하고, 확인된 단자패드와 정렬마크에 대한 정보를 근거로 하여 기판구조물이 올려진 하부 가압헤드(112)의 위치를 조정하게 된다.
상기 제5엑추에이터(233)의 작동시 x축방향으로 수평이동되는 기판확인용 비전카메라(231)의 좌우이동을 감지할 수 있도록 상기 수평슬라이더(236)의 일측에 구비되어 이와 더불어 이동되는 제5감지판(238)을 감지하는 제5감지센서(238a)를 상기 고정판의 일측에 구비한다.
상기 비전부(300)는 도 1a, 도 1b 내지 도 3a, 도 3b 에 도시한 바와 같이, 상기 하부 가압헤드(112)에 올려진 기판구조물의 한쌍의 연성기판(30)의 각 타단에 형성된 단자패드의 위치를 확인할 수 있도록 한쌍의 비전카메라(311,312), 한쌍의 카메라블럭(320) 및 고정대(330)를 포함한다.
상기 한쌍의 비전카메라(311,312)는 상기 본딩부의 하부에 구비되어 검사용 빔을 직상부로 조사함으로써 상기 제2경성기판과 본딩접합하기 위해서 하부 가압헤드에 올려져 외측으로 돌출된 한쌍의 연성기판의 각 타단 및 이에 형성된 정렬마크(M3)를 영상으로 각각 취득하여 그 위치를 확인하는 것이다.
상기 한쌍의 카메라블럭(320)은 상기 한쌍의 비전카메라(311,312)를 각 선단에 구비하고, 이러한 한쌍의 카메라블럭(320)을 한쌍의 제6엑추에이터(331)에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 고정대(330)에 활주이동가능하게 조립된다.
상기 한쌍의 카메라블럭(320) 중 어느 하나의 카메라블럭은 상기 비전카메라가 상부단에 고정설치되는 상부블럭(321)을 갖추고, 상기 상부블럭(321)이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭(322)을 갖추며, 상기 고정대(330)의 상부면에 구비되는 안내레일(337)에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더(327)를 갖추고, 상기 제6엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭(323)을 포함한다.
상기 한쌍의 제6엑추에이터(331) 중 어느 하나의 엑추에이터는 상기 고정대에 고정설치되는 전방지지블럭(332)에 선단이 회전가능하게 지지되는 수평스크류축(335)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스류축과 나사결합되는 이동블럭을 상기 카메라블럭의 하부블럭에 일체로 구비한다.
이에 따라, 상기 카메라블럭은 상기 제6엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 카메라블럭의 하부블럭에 구비되는 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 고정대의 안내레일을 따라 x축 방향으로 상기 비전카메라와 더불어 좌우 왕복이동된다.
이러한 경우, 상기 제2경성기판을 영상으로 취득하여 확인되는 제2경성기판에 형성된 정렬마크에 의해서 서로 인접하는 한쌍의 단자패드들간의 간격중심을 확인하는 기판확인용 비전카메라의 정보값과, 상기 한쌍의 연성기판의 각 타단을 영상으로 취득하여 확인되는 한쌍의 연성기판의 정렬마크에 의해서 서로 인접하는 한쌍의 연성기판의 단자패드들간의 간격중심을 확인하는 한쌍의 비전카메라의 정보값을 서로 비교함으로써 상기 상부 가압헤드와 하부 가압헤드의 위치를 상기 제2경성기판의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 단자패드가 서로 일치되도록 조정하게 된다.
한편, 상기 제6엑추에이터(331)의 작동시 x축방향으로 좌우 이동되는 카메라블럭(320)의 좌우이동을 감지할 수 있도록 상기 제6엑추에이터의 수평스크류축(335)에 나사결합된 하부블럭(323)과 더불어 이동되는 제6감지판(326)을 감지하는 제6감지센서(326a)를 상기 고정대(330)의 일측에 구비한다.
여기서, 상기 제6감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
상기 본딩부(400)는 도 1a 도 1b, 도 2a, 도 2b, 도 2c, 도 3a 및 도 3b 에 도시한 바와 같이 상기 수직안내대에 배치된 제2경성기판(20)과 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판(30)의 각 타단을 본딩접합하도록 한쌍의 본딩헤드를 정렬하면서 승하강작동시키는 것으로, 이러한 본딩부(400)는 한쌍의 제7이송대(410), 제8이송대(420), 메인고정대(430)를 포함한다.
상기 한쌍의 제7이송대(410)중 어느 하나의 이송대는 한쌍의 연성기판의 각 일단에 형성된 단자패드와 상기 제2경성기판에 형성된 단자패드가 중첩된 부위를 가열압착하여 본딩접합하는 본딩헤드(413)를 하부단에 구비하는 상부 가압헤드(411)를 z축방향으로 상하이동시키는 제7엑추에이터(415)를 수직하게 고정설치한다.
이러한 제7엑추에이터(415)는 상기 한쌍의 제7이송대의 각 하부면에 상부단이 일체로 고정설치되고, 상기 상부 가압헤드(411)를 하부단인 로드선단에 장착하는 실린더부재로 구비된다.
이에 따라, 상기 제1경성기판과 한쌍의 연성기판이 본딩접합된 기판구조물이 올려진 하부 가압헤드가 제3엑추에이터의 작동에 의해서 y축방향으로 전진이동되면, 상기 하부 가압헤드의 배치홈에 올려져 배치된 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단이 상기 수직안내대에 올려져 배치된 제2경성기판의 상부에 중첩된다.
이러한 상태에서 한쌍의 상부 가압헤드를 구비하는 한쌍의 제7엑추에이터가 동시에 또는 선택적으로 하강작동되면, 상하 중첩되는 한쌍의 연성기판의 각 타단에 형성된 단자패드와 제2경성기판의 단자패드는 하강되는 상부 가압헤드의 본딩헤드와의 가열압착에 의해서 본딩접합하게 된다.
이때, 상기 플럭스가 도포된 제2경성기판의 단자패드와 한쌍의 연성기판의 각 단부에 형성된 단자패드와의 본딩접합을 위한 상부 가압헤드의 본딩헤드와 본딩접합부위간의 접촉시 발생하는 충격력은 실린더부재로 이루어지는 제7엑추에이터에 의해서 흡수되고, 직하부로 가압력을 일정시간동안 유지하여 본딩접합효율을 높일 수 있다.
상기 제8이송대(420)는 상기 상부 가압헤드(411)를 하부단에 구비하는 제7엑추에이터(415)와 결합되는 제7이송대(410)를 제8엑추에이터(421)의 회전구동력에 의해서 x축방향으로 수평이동시키도록 한쌍의 제7이송대(410)의 각 상단에 구비되는 슬라이더(418)와 활주이동가능하게 조립되는 수평레일(428)을 하부단에 구비한다.
상기 제8엑추에이터(421)는 상기 제8이송대(420)의 중앙영역에 돌출된 지지블럭에 선단이 회전가능하게 지지되는 수평스크류축(424)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수평스크류축(424)에 나사결합되는 이동블록(425)은 상기 안내공을 통하여 상부로 노출되는 제7이송대(410)의 상부단에 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 한쌍의 제7이송대는 상기 제8엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수평스크류축과 나사결합되는 이동블럭에 전달되는 회전구동력에 의해서 상기 수평스크류축과 나사결합되는 이동블럭이 수평방향으로 좌우이동됨으로써 상기 한쌍의 상부 가압헤드사이에 형성되는 간격을 벌리거나 좁혀서 상기 제2경성기판에 형성된 한쌍의 단자패드와의 간격과 서로 일치시키는 것이다.
상기 메인고정대(430)는 상기 제8이송대(420)를 제9엑추에이터(431)의 회전구동력에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제8이송대(420)가 활주이동가능하게 조립된다.
이러한 메인고정대(430)는 상기 제8이송대(420)의 후면에 구비되는 한쌍의 슬라이더(426)와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일(436)을 전면에 일체로 구비하는 메인고정판(438)을 갖추며, 상기 메인고정판을 고정설치하며 상기 제9엑추에이터를 상부에 수직하게 고정설치하는 메인프레임(439)을 포함한다.
상기 제9엑추에이터(431)는 상기 메인고정판(438)의 후면에 고정설치되는 전방지지블럭(432)에 회전가능하게 지지되는 수직스크류축(434)을 회전구동시키는 모터부재로 구비되고, 상기 수직스크류축(434)에 나사결합되는 이동블럭(435)은 상기 제8이송대(420) 후면에 일체로 결합된다.
이에 따라, 상기 제8이송대는 상기 제9엑추에이터의 회전구동시 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 수직스크류축과 이동블럭간의 나사결합에 의해서 상기 메인고정판의 수직레일을 따라 z축 방향으로 상기 상부 가압헤드를 갖는 제7이송대 및 제8이송대와 더불어 상하 왕복이동된다.
이러한 경우, 상기 제9엑추에이터의 하강작동에 의해서 상기 상부 가압헤드의 본딩헤드는 상기 수직안내대에 올려진 제2경성기판의 직상부에 일정간격을 두고 본딩접합 공정을 수행하도록 정지대기하게 된다.
그리고, 상기 제8엑추에이터(421)의 작동시 x축방향으로 좌우 수평이동되는 제7이송대(410)의 좌우이동을 감지할 수 있도록 상기 제8엑추에이터의 수평스크류축(424)에 나사결합된 이동블럭(425)과 더불어 이동되는 제8감지판(427)을 감지하는 제8감지센서(427a)를 상기 제8이송대(420)의 하부수평대에 설치한다.
상기 제9엑추에이터(431)의 작동시 z축방향으로 상하 이동되는 제8이송대(420)의 상하 이동을 감지할 수 있도록 상기 제8이송대(420)의 일측에 구비되는 제9감지판(437)을 감지하는 제9감지센서(437a)를 상기 메인고정대의 메인고정판(438)의 전면 일측에 설치한다.
여기서, 상기 제8감지센서 및 제9감지센서는 센서이동용 안내레일에 각각 위치이동이 가능하도록 조립되어 구비될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
10 : 제1경성기판
20 : 제2경성기판
30 : 연성기판
100 : 제1이송부
110,120,130 : 제1,2 및 3이송대
200 : 제2이송부
210 : 수직안내대
220 : 제4이송대
230 : 기판확인용 비전부
300 : 비전부
311,312 : 비전카메라
320 : 카메라블럭
330 : 고정대
400 : 본딩부
410 : 제7이송대
420 : 제8이송대
430 : 메인고정대

Claims (11)

  1. 제1경성기판에 한쌍의 연성기판의 일측단이 본딩 접합된 기판구조물을 구성하는 한쌍의 연성기판의 각 타측단과 제2경성기판의 단자패드를 본딩접합하는 장치에 있어서, 상기 기판구조물이 올려져 배치되는 하부 가압헤드를 갖추고, 상기 하부 가압헤드를 회전시키는 제1엑추에이터를 구비하는 제1이송대를 갖추고, 상기 제1이송대를 제2엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제1이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제2이송대를 갖추며, 상기 제2이송대를 제3엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 제2이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제3이송대를 갖추어 상기 기판구조물을 이송시키는 제1이송부 ;
    상기 제2경성기판이 상부단에 올려져 배치되는 수직안내대를 갖추고, 상기 수직안내대를 제4엑추에이터에 의해서 y축방향으로 전후진이동시키도록 상기 수직안내대의 하부단이 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 제4이송대를 갖추어 상기 제2경성기판을 상기 하부 가압헤드 측으로 이송시키는 제2이송부 ;
    상기 하부 가압헤드에 올려져 배치되는 한쌍의 연성기판의 각 단부를 영상으로 취득하는 한쌍의 비전카메라를 갖추고, 상기 한쌍의 비전카메라를 각 선단에 구비하는 한쌍의 카메라블럭을 갖추며, 상기 한쌍의 카메라블럭을 한쌍의 제6엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 좌우이동시킬 수 있도록 상기 한쌍의 카메라블럭이 활주이동가능하게 조립되는 고정대를 갖추어 상기 한쌍의 연성기판의 위치를 확인하는 비전부 ; 및
    상기 하부 가압헤드와 대응하는 한쌍의 본딩헤드를 하부단에 구비하는 한쌍의 상부 가압헤드를 z축방향으로 상하이동시키는 한쌍의 제7엑추에이터를 구비하는 한쌍의 제7이송대를 갖추고, 상기 한쌍의 제7이송대를 한쌍의 제8엑추에이터에 의해서 x축방향으로 각각 수평이동시키도록 한쌍의 제7이송대가 활주이동가능하게 조립되는 제8이송대를 갖추며, 상기 제8이송대를 제9엑추에이터에 의해서 z축방향으로 상하이동시키도록 상기 제8이송대가 활주이동가능하게 조립되는 메인고정대를 갖추어 상기 수직안내대에 배치된 제2경성기판과 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판의 각 타단을 본딩접합하는 본딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송대는 상기 기판구조물이 배치되는 하부 가압헤드를 z축에서 회전시키는 제1엑추에이터가 탑재되는 제1수평대와, 상기 제2이송대의 일측에 구비되는 한쌍의 수직레일과 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 슬라이더를 갖추어 z축방향으로 상하이동가능하게 조립되는 제1수직대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 하부 가압헤드는 진공흡인라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 바닥면에 형성하여 상기 기판구조물의 제1경성기판이 흡착고정되는 배치홈을 구비하고, 상기 기판구조물의 한쌍의 연성기판이 흡착고정되도록 진공흡입라인과 연통되는 복수개의 흡착홀을 상부면에 형성하여 상기 하부 가압헤드의 전방 양측에 독립적으로 구비되는 한쌍의 받침블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 한쌍의 받침블럭은 하부 가압헤드의 하부에 구비되는 제1실린더에 의해서 전후진 작동되는 이동체에 고정설치되는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하부 가압헤드의 양측에는 상기 한쌍의 받침블럭 상에 배치되는 한쌍의 연성기판과 나란한 방향으로 한쌍의 지지대를 전후진 왕복작동시키는 한쌍의 제2실린더를 포함하고, 상기 수직안내대의 상부면에는 한쌍의 지지대가 대응삽입되어 배치되도록 함몰형성되는 요홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2이송대는 상기 제2엑추에이터가 내부수용되는 내부공간을 갖는 제2수직대와, 상기 제1이송대의 수직대에 구비되는 한쌍의 슬라이더가 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일을 갖는 제2수직대를 탑재하는 제2수평대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 수직안내대는 진공흡입라인과 연결되어 제2경성기판이 흡착되는 복수개의 흡착홀을 형성하는 안착대와, 상기 안착대를 상부단에 구비하고 상기 한쌍의 제4이송대의 각 상부면에 구비되는 수평레일과 조립되는 한쌍의 슬라이더를 하부단에 구비하는 수직안내판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 수직안내대에 올려진 제2경성기판의 단자패드 및 정렬마크를 영상으로 감지하여 확인하는 기판확인용 비전부를 포함하고, 상기 기판확인 비전부는 상기 제2경성기판을 영상으로 확인하는 기판확인용 비전카메라가 고정설치되는 카메라블럭과 나사결합되는 수평스크류축을 회전구동시키는 제5엑추에이터와, 상기 수평스크류축과 나란하게 배치되는 수평레일에 활주이동가능하게 조립되는 수평슬라이더를 고정설치하는 고정판을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 한쌍의 카메라블럭 중 하나의 카메라블럭은 상기 비전카메라가 상부단에 고정설치되는 상부블럭과, 상기 상부블럭이 상하이동가능하게 조립되는 중간블럭 및 상기 고정대의 상부면에 구비되는 안내레일에 활주이동가능하게 조립되는 슬라이더를 갖추고, 상기 제6엑추에이터의 수평스크류축과 결합되는 하부블럭을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제8이송대는 한쌍의 상부 가압헤드를 구비하는 한쌍의 제7이송대를 제8엑추에이터의 회전구동력에 의해서 x축방향으로 각각 수평이동시키도록 상기 한쌍의 제7이송대의 각 상단에 구비되는 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 수평레일을 하부단에 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치..
  11. 제1항에 있어서,
    상기 메인고정대는 상기 제8이송대의 후면에 구비되는 한쌍의 슬라이더와 활주이동가능하게 조립되는 한쌍의 수직레일을 전면에 일체로 구비하는 메인고정판과, 상기 메인고정판을 고정설치하며 상기 제9엑추에이터를 상부에 수직하게 고정설치하는 메인프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 본딩접합장치.
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