JP2012004143A - 電子部品の実装装置および実装方法 - Google Patents
電子部品の実装装置および実装方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012004143A JP2012004143A JP2010134622A JP2010134622A JP2012004143A JP 2012004143 A JP2012004143 A JP 2012004143A JP 2010134622 A JP2010134622 A JP 2010134622A JP 2010134622 A JP2010134622 A JP 2010134622A JP 2012004143 A JP2012004143 A JP 2012004143A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electronic component
- panel substrate
- crimping
- crimping tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】反りや垂れがなくなっている状態で、パネル基板などの基板とFPCなどの電子部品とを精度よく接続することができる電子部品の実装装置および実装方法を提供する。
【解決手段】パネル基板1の圧着部を保持するバックアップ台10にパネル基板1を反りや垂れがない状態で固定する基板固定機構を設けた。これにより、圧着ツール9による電子部品(FPC2)の圧着時に、パネル基板1の反りや垂れを矯正し、認識時と圧着時のパネル基板1の姿勢を同じにすることで、位置ずれなく電子部品の高精度の実装を可能にした。
【選択図】図4
【解決手段】パネル基板1の圧着部を保持するバックアップ台10にパネル基板1を反りや垂れがない状態で固定する基板固定機構を設けた。これにより、圧着ツール9による電子部品(FPC2)の圧着時に、パネル基板1の反りや垂れを矯正し、認識時と圧着時のパネル基板1の姿勢を同じにすることで、位置ずれなく電子部品の高精度の実装を可能にした。
【選択図】図4
Description
本発明は、電子部品の実装装置および実装方法に関するものであり、より詳細には、液晶表示装置や有機EL表示装置などの製造工程において、パネル基板などの基板上にフレキシブルプリント基板(以下、FPCと略す)などの電子部品を実装する電子部品の実装装置および実装方法に関するものである。
表示装置に用いられる機器として、液晶表示装置や有機EL表示装置がある。これらの液晶表示装置や有機EL表示装置に用いられるパネル基板は、ガラスなどの透明板から成り、パネル基板の外縁には外部接続用の多数の電極端子が形成されている。この電極端子上に、駆動用LSIが搭載されたFPCの電極端子を電気的に接続することで電源や信号の伝送を行う。
従来から、パネル基板の電極端子とFPCの電極端子とを接続する手段としてACF工法が知られている。ACF工法とは、パネル基板の外縁に配置されている接続端子部分に異方性導電フィルム(以下、ACFと略す)を貼り付けた後、パネル基板とFPCとの電極端子同士の位置合わせを行い、パネル基板の電極端子の上からFPCの電極端子を重ね合わせ(以下、仮圧着と呼ぶ)、熱圧着にて接合し(以下、本圧着と呼ぶ)、電気的に接続するものである。
ここで用いるACFとは、熱硬化性の樹脂材料に導電性粒子を混ぜ合わせたものをフィルム状にしたものであり、主にプリント基板上に電子部品を実装するために使用される。ACFを用いて接合する際、プリント基板の接合する電極端子部を覆うような形でACFを貼り付け、その上に電子部品を設置し、電極端子間にACFを挟み込んだ状態とする。そして、熱をかけたツールで、接合する電極端子部を加圧すると、電極端子の間に挟まれたACF内の金属粒子が電極端子に押込まれることで導電する経路を形成する。圧力がかからなかった場所は絶縁状態を保持するため、縦方向のみ導電性を持ち、横方向には絶縁性が保たれるといった特徴を持つ。これにより、短絡を起こさずに電子部品を実装することが可能であり、液晶表示装置や有機EL表示装置などのパネル基板上にFPCを実装する際によく用いられる。
ACFを用いて接続するFPC実装方法および実装装置は、あらかじめパネル基板の外縁に形成されている電極端子を覆う形でACFを貼り付けた後、パネル基板とFPCとのそれぞれに形成されている位置認識用マーク(アライメントマーク)をカメラで認識処理することでそれぞれの位置を検出し、パネル基板とFPCとの電極端子同士の位置合せを行った後に、熱をかけた圧着ツールで加圧・加熱することで接合を行う。
この時、パネル基板とFPCとのそれぞれの電極端子を正確に位置合わせすることが求められるが、図12に示すように、パネル基板1にいわゆる反りや垂れが発生している状態で仮圧着を行うと、FPCの電極端子がパネル基板1の電極端子に対して位置ずれを起こすことがあった。なお、図12における、5aはパネル基板1の位置認識用マークであり、反りや垂れが発生している状態でのパネル基板1を実線部で示し、反りや垂れが発生していない状態のパネル基板1を仮想線部(二点鎖線部)で示している。また、11は位置認識用マーク5aを認識するためのカメラである。
この位置ずれのメカニズムについて図13を用いて説明する。パネル基板1の電極端子とFPC2の電極端子とを接続する際は、まず、支持テーブルでパネル基板1を搬送し、圧着ツール9でFPC2をピックアップする。ここで、FPC2の位置認識用マーク5bをカメラ11の視野へと移動させ、FPC2の位置認識用マーク5bの認識を行う。次に、パネル基板1の位置認識用マーク5aをカメラ11の視野へと移動し、パネル基板1の位置認識用マーク5aの認識を行う。そして、それぞれの認識結果から、パネル基板1とFPC2との位置を計算し、それぞれの電極端子が重なるように位置決めを行い、仮圧着を行う。しかしこの時に、図13の実線部に示すように、パネル基板1において反りや垂れがある場合、パネル基板1が圧着される時に、パネル基板1の反りや垂れが、図外のバックアップ台や圧着ツール9により矯正されることから、パネル基板1の認識時と圧着時との姿勢が異なり、電極端子の位置ずれが発生する。
そこで、特許文献1に開示された電子部品の実装装置では、パネル基板の反りや垂れを矯正し、パネル基板の平面度を確保することが図られている。図14は特許文献1における実装装置を示す。図14において、圧着部分を受けるバックアップ台16とパネル基板1の支持テーブル8との間に、パネル基板1の反りや垂れを矯正するための吸着テーブル15を設け、パネル基板1の平面度が出た状態で、パネル基板1の下面を吸着テーブル15で吸着固定することで、パネル基板1の平面度を保ちながら圧着ツール9を用いて圧着を行っている。これにより、パネル基板1とFPC2との電極端子同士が正確に重なり、電気的な接続を得ることができるよう図られている。
ところで近年、放送業界、表示装置業界などを取り巻く環境の変化は大きく、より高性能な表示装置の開発が求められている。
放送業界では、アナログ放送からデジタル放送への移行が進み、これまでのSDと呼ばれる解像度が640×480の通常画質から、HDと呼ばれる解像度が1280×720や1920×1080の高精細画質が主流となりつつある。また、3D放送や次世代放送(約8000×約4000)など更に解像度の高い放送が予定されており、今後、更に高精細の表示装置が必要になることが考えられる。
放送業界では、アナログ放送からデジタル放送への移行が進み、これまでのSDと呼ばれる解像度が640×480の通常画質から、HDと呼ばれる解像度が1280×720や1920×1080の高精細画質が主流となりつつある。また、3D放送や次世代放送(約8000×約4000)など更に解像度の高い放送が予定されており、今後、更に高精細の表示装置が必要になることが考えられる。
表示装置業界でも、輝度や応答性、消費電力などの性能で優れる有機EL表示装置などの次世代表示装置の開発が進んでいる。液晶表示装置と有機EL表示装置とでは発光原理は異なることから、有機EL表示装置では輝度調整のための信号線が必要となることが知られており、より高密度な信号の伝送経路形成が必要になる。
このため、これまでと同様の電極端子ピッチのパネル基板やFPCを使用することはFPCや駆動用LSIなどの部品点数が増加することに繋がり、コストが増大することになるため、パネル基板の高精細化に合わせて、電極端子間のピッチを小さくし、高精度に実装する技術が必要となる。
そこで、パネル基板の反りや垂れによるずれを極めて高精度になくす必要があり、特許文献1に開示された実装装置を用いることが考えられる。しかしながら、特許文献1に開示された実装装置では、吸着テーブル15により、パネル基板1の外縁に配置されている電極端子よりもパネル基板1の中心部寄りの箇所を吸着し、パネル基板1における電極端子の箇所はバックアップ台16により下方から受けて支持する構造であるので、電極端子が設けられている箇所では、完全にパネル基板1の反りや垂れがなくなっていないおそれがある。
本発明は上記課題を解決するもので、パネル基板などの基板の電極端子などが設けられている箇所で完全に反りや垂れがなくなっている状態で、基板とFPCなどの電子部品との電極端子同士などを精度よく接続することができる電子部品の実装装置および実装方法を提供することを目的とするものである。
上記課題を解決するために本発明の電子部品の実装装置は、基板を支持する支持テーブルと、前記支持テーブルを移動させて位置決めする位置決めユニットと、保持した電子部品を前記基板に圧着する圧着ツールと、前記圧着ツールと対向する位置に配設されると共に前記基板の外縁を吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整可能なバックアップ台と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明の電子部品の実装方法は、支持テーブルに支持された基板と圧着ツールに保持された電子部品との相対位置を調整する移動工程と、前記圧着ツールと対向する位置で前記基板の外縁を吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整を行う矯正工程と、前記移動工程および前記矯正工程後に、前記圧着ツールにより前記基板と前記電子部品とを圧着させる圧着工程と、を有することを特徴とする。
以上のように、本発明によれば、基板の電極端子などをバックアップ台で固定し、圧着を行うことで、基板において反りや垂れをなくした状態で、パネル基板とFPCなどの電子部品との電極端子同士などを精度よく接続することができ、信頼性が向上する。
以下、本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置および実装方法について、図面を参照しながら説明する。なお、従来の実装装置や実装方法で説明したものと、同様な機能のものには同符号を付し、適宜説明を省略する。
<電子部品の実装装置などの構成>
まず、本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置としての、仮圧着工程で用いるFPC接合装置により、実装対象(接合対象)となるパネル基板(基板の1例)とFPC(電子部品の1例)との構成について説明する。ここで、図1は本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置であるFPC接合装置で実装対象(接合対象)となるパネル基板とFPCとを示す平面図、図2はパネル基板に設けられた電極端子を拡大した平面図、図3はFPCの拡大平面図である。
まず、本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置としての、仮圧着工程で用いるFPC接合装置により、実装対象(接合対象)となるパネル基板(基板の1例)とFPC(電子部品の1例)との構成について説明する。ここで、図1は本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置であるFPC接合装置で実装対象(接合対象)となるパネル基板とFPCとを示す平面図、図2はパネル基板に設けられた電極端子を拡大した平面図、図3はFPCの拡大平面図である。
図1〜図3に示すように、パネル基板1はガラスなどの透明板から成り、パネル基板1の表面には電源や信号伝送のための回路が形成されている。パネル基板1の外縁には外部接続用の多数の電極端子4aがパネル基板1の辺に対し垂直に延びるように配設されている。これらの電極端子4aは、数百本程度毎に1セットとなっており、この1セットの電極端子4a群に対して1個の駆動用LSI12に接続する必要がある。駆動用LSI12は、パネル基板1に実装される実装部品としてのFPC2の中央部に実装されており、FPC2の1辺に形成されている電極端子4bをパネル基板1の電極端子4aに接続することで、電源や信号の伝送を行う。また、パネル基板1の電極端子4a群の1セットに対応して位置認識用マーク(アライメントマーク)5aが形成されており、この位置認識用マーク5aを認識することで、パネル基板1上の電極端子4aの位置を正確に検出することができる。また、FPC2を実装する前準備として、パネル基板1の外縁に形成される電極端子4aを覆うようなかたちでACF3が貼り付けられている。
本来、パネル基板1は平面状態で供給されることが望ましいが、パネル基板1を製造する工程においてパネル基板1に反りや垂れが生じることがあり、また、パネル基板1が大型化するに従い自重によりパネル基板1の外縁に向かって垂れが発生することが考えられる。
同様に、図1,図3に示すように、FPC2の1辺にはパネル基板接続用の電極端子4bが形成されている。FPC2上の電極端子4bも、パネル基板1の電極端子4aと対になる形で、電極端子4bが配設され、位置認識用マーク(アライメントマーク)5bが配置されている。
次に、図4を用いて、本発明の実施形態に係る電子部品の実装装置(FPC接合装置)の構造を説明する。ここで、図4は実装装置の正面図である。
図4に示すように、実装装置は、真空吸着などによりパネル基板1を支持する支持テーブル8と、支持テーブル8を自由に移動して位置決めする位置決めユニット7と、電子部品としてのFPC2を保持し、FPC2をパネル基板1に圧着する圧着ツール9と、パネル基板1を固定するパネル基板固定機構の吸着部としての吸着孔14を有し、圧着ツール9と対向する位置に配設され、圧着ツール9による圧着時にパネル基板1を受けて、吸着孔14などによりパネル基板1を固定するバックアップ台10と、バックアップ台10に形成された孔部としてのスリット孔13を通して、パネル基板1の位置認識用マーク5aとFPC2の位置認識用マーク5bとを認識する認識ユニットとしてのカメラ11と、パネル基板1のバックアップ台10への固定を検出する制御機能などを有する図外の制御部などを備えている。
図4に示すように、実装装置は、真空吸着などによりパネル基板1を支持する支持テーブル8と、支持テーブル8を自由に移動して位置決めする位置決めユニット7と、電子部品としてのFPC2を保持し、FPC2をパネル基板1に圧着する圧着ツール9と、パネル基板1を固定するパネル基板固定機構の吸着部としての吸着孔14を有し、圧着ツール9と対向する位置に配設され、圧着ツール9による圧着時にパネル基板1を受けて、吸着孔14などによりパネル基板1を固定するバックアップ台10と、バックアップ台10に形成された孔部としてのスリット孔13を通して、パネル基板1の位置認識用マーク5aとFPC2の位置認識用マーク5bとを認識する認識ユニットとしてのカメラ11と、パネル基板1のバックアップ台10への固定を検出する制御機能などを有する図外の制御部などを備えている。
ここで、各構成要素について詳しく説明する。
図4において、基台6の上に位置決めユニット7が設置されている。位置決めユニット7には下段から順にX軸方向(図4において、紙面に直交する方向)、Y軸方向、Z軸方向、θz軸方向(図示せず)に自由に駆動可能なようにアクチュエータやガイドレールが組み込まれている。これにより、パネル基板1に形成されている位置認識用マーク5aが認識用のカメラ11の視野範囲となるようにパネル基板1を搬送したり、圧着されるパネル基板1の電極端子4aの部分が圧着ツール9の受けとなるバックアップ台10の上方となるようにパネル基板1を搬送したりすることが可能に構成されている。なお、これら各軸を駆動するためのアクチュエータには、各種モータや空圧シリンダ、伝達機構についてもボールねじやカムなど、駆動方式には色々と考えられるが、位置決めで用いられるため位置決め精度の高いアクチュエータや伝達機構を選定する必要がある。また、この実施形態では、基台6がX軸方向とY軸方向とに駆動可能とされている。
図4において、基台6の上に位置決めユニット7が設置されている。位置決めユニット7には下段から順にX軸方向(図4において、紙面に直交する方向)、Y軸方向、Z軸方向、θz軸方向(図示せず)に自由に駆動可能なようにアクチュエータやガイドレールが組み込まれている。これにより、パネル基板1に形成されている位置認識用マーク5aが認識用のカメラ11の視野範囲となるようにパネル基板1を搬送したり、圧着されるパネル基板1の電極端子4aの部分が圧着ツール9の受けとなるバックアップ台10の上方となるようにパネル基板1を搬送したりすることが可能に構成されている。なお、これら各軸を駆動するためのアクチュエータには、各種モータや空圧シリンダ、伝達機構についてもボールねじやカムなど、駆動方式には色々と考えられるが、位置決めで用いられるため位置決め精度の高いアクチュエータや伝達機構を選定する必要がある。また、この実施形態では、基台6がX軸方向とY軸方向とに駆動可能とされている。
位置決めユニット7の上には、パネル基板1を搬送する支持テーブル8が設置されており、支持テーブル8の上にパネル基板1を固定することが可能である。パネル基板1の固定方法は、真空吸着固定、クランプ固定などが考えられるが、パネル基板1の局所的なストレスを軽減するためにも、多数の小孔による真空吸着固定が望ましい。また、支持テーブル8の大きさ、形状については、パネル基板1の電極端子4aの部分を含むパネル基板1の外縁がはみ出る形でパネル基板1の中央部のみを支える形状とされている。これは、FPC2を圧着する際に、パネル基板1の電極端子4aの上下を挟み込む形としなければならないためであるが、パネル基板1の反りやはみ出た外縁の自重によるパネル外縁の垂れの影響ができるだけ小さくなるように、パネル基板1のできるだけ広い範囲を支えると共に支持テーブル8が圧着時に干渉しないような大きさ、形状にされている。
また、圧着ツール9はZ軸方向に駆動可能であり、圧着ツール9の受けとなるバックアップ台10によりパネル基板1を挟み込む形で圧着動作が可能なようにアクチュエータやガイドレールが組み込まれている。ここで用いるACF接合方法は、ACF3内に含まれる金属粒子を設定加重で潰すことでパネル基板1とFPC2との電極端子4a、4bの双方の電気的な接続を形成し、熱硬化性の樹脂材料を硬化する方法である。そのため、圧着動作時には圧力を制御する必要があり、サーボモータや空圧シリンダを用いて圧力を制御すると共に、圧着ツール9は熱硬化性樹脂を硬化させるだけの高温に制御する必要がある。さらに、圧着ツール9の下面は、パネル基板1を圧着する動作を行うことから、ACF3内の金属粒子が圧着範囲内で均一に潰れること、パネル基板1の割れや欠けのダメージを防ぐために高い平面度である必要があるが、高温加熱状態での平面度が要求されるため、高温研磨にて加工することが望ましい。
なお、本実施形態では、基台6がXY軸方向に駆動可能であるため、圧着ツール9と基台6とが相対的にXY平面上を駆動可能であるとしているが、基台6がXY軸方向に駆動可能に構成される代わりに、圧着ツール9をXY軸方向に駆動可能として、これを実現しても良い。ただし、圧着ツール9をXY軸方向に駆動可能とした場合は、圧着精度が低下する可能性があるので、これに対する対策が必要であると考えられる。
圧着ツール9の下方に設置されているバックアップ台10は、図5に示すように、パネル基板固定機構としての真空吸着機構を有すると共に、バックアップ台10の上面には真空吸着機構の吸着孔14が形成されており、パネル基板1を真空吸着により固定することが可能である。吸着孔14は、支持テーブル8と同様に、パネル基板1に局所的なストレスを与えないように、多数の小孔で形成されている。また、パネル基板1の圧着部周辺の平面度を出すために、バックアップ台10上に設けられる吸着孔14は、圧着ツール9に比べ十分に広い面積(範囲)に分布させている。さらに、図外の制御部により真空吸着のON/OFF、真空圧の監視が可能である。
さらに、図5に示すように、バックアップ台10には、スリット孔13が設けられており、バックアップ台10の内部に設置されたカメラ11で、スリット孔13を通してパネル基板1やFPC2の位置認識用マーク5a、5bを認識可能である。また、圧着時には、圧着ツール9の受けとなる部分のため剛性を保つことが必要で、受け部となる上面の厚みはできるだけ厚く、スリット孔13の大きさはなるべく小さい方が望ましい。さらに、バックアップ台10の上面は、圧着ツール9により圧着動作されることから、パネル基板1の割れや欠けを防ぐために高い平面度である必要がある。なお、スリット孔13には、透光性を有する板材などを配設してもよい。
図4などに示すように、バックアップ台10の内部には認識用のカメラ11が上向きに設置されている。バックアップ台10の圧着ツール9の受け部に設けられた認識用のスリット孔13からパネル基板1やFPC2の位置認識用マーク5a、5bを捉えることが可能であるが、カメラ11のZ方向の設置位置はバックアップ台10上面(パネル基板1下面)が焦点範囲となるように調整されている。
なお、支持テーブル8をバックアップ台10の高さに移動させ、支持テーブル8とバックアップ台10との両方でパネル基板1を真空吸着して固定した時に、パネル基板1にストレスがかかり、パネル基板1に割れ欠けなどのダメージが生じることがある。パネル基板1の割れ欠けなどのダメージを生じさせないためにも、バックアップ台10の上面の高さは正確に計測済みであることが望ましい。
次に、当該実装装置(FPC接合装置)によるFPC2(フレキシブルプリント基板:電子部品)の仮圧着工程の動作(実装方法)について説明する。
図6は、当該実装装置の仮圧着工程のフローチャートである。まずSTEP1では、支持テーブル8上にパネル基板1を供給し、圧着ツール9にFPC2を供給する(供給工程)。次に、STEP2では、図7に示すように、圧着ツール9を移動させる(電子部品移動工程)ことで、圧着ツール9で把持するなどして保持したFPC2の位置認識用マーク5bをカメラ11の視野へと移動させると共に認識を行う(電子部品マーク認識工程)。次に、STEP3では、図8に示すように、反りや垂れがあるパネル基板1を、図9に示すように、パネル基板1を載せた支持テーブル8を下方に移動させることで、パネル基板1の圧着部がバックアップ台10の上方となるように移動させる(基板移動工程)。そして、STEP4で、パネル基板1をバックアップ台10により真空吸着した後に上下動させることで、パネル基板1を反りや垂れがない状態に矯正する(矯正工程)。そして、STEP5では、カメラ11によりパネル基板1の位置認識用マーク5aの認識を行う(基板マーク認識工程)。次に、STEP6では、それぞれの認識結果から、パネル基板1とFPC2との各位置を計算し、図10に示すように、それぞれの位置認識用マーク5a、5bが重なるように、すなわち、それぞれの電極端子4a、4bが重なるように位置決めを行う(位置決め工程)。なお、パネル基板1を移動させる際には、必要に応じて、パネル基板1の真空吸着動作を一時的に解除してもよい。また、万一、パネル基板1の位置認識用マーク5aが、カメラ11の認識範囲外となった場合には、パネル基板1をX軸方向やY軸方向に移動させてもよい。次にSTEP7では、図11に示すように、FPC2を把持した圧着ツール9を下降させて仮圧着動作を行う(圧着工程)。
図6は、当該実装装置の仮圧着工程のフローチャートである。まずSTEP1では、支持テーブル8上にパネル基板1を供給し、圧着ツール9にFPC2を供給する(供給工程)。次に、STEP2では、図7に示すように、圧着ツール9を移動させる(電子部品移動工程)ことで、圧着ツール9で把持するなどして保持したFPC2の位置認識用マーク5bをカメラ11の視野へと移動させると共に認識を行う(電子部品マーク認識工程)。次に、STEP3では、図8に示すように、反りや垂れがあるパネル基板1を、図9に示すように、パネル基板1を載せた支持テーブル8を下方に移動させることで、パネル基板1の圧着部がバックアップ台10の上方となるように移動させる(基板移動工程)。そして、STEP4で、パネル基板1をバックアップ台10により真空吸着した後に上下動させることで、パネル基板1を反りや垂れがない状態に矯正する(矯正工程)。そして、STEP5では、カメラ11によりパネル基板1の位置認識用マーク5aの認識を行う(基板マーク認識工程)。次に、STEP6では、それぞれの認識結果から、パネル基板1とFPC2との各位置を計算し、図10に示すように、それぞれの位置認識用マーク5a、5bが重なるように、すなわち、それぞれの電極端子4a、4bが重なるように位置決めを行う(位置決め工程)。なお、パネル基板1を移動させる際には、必要に応じて、パネル基板1の真空吸着動作を一時的に解除してもよい。また、万一、パネル基板1の位置認識用マーク5aが、カメラ11の認識範囲外となった場合には、パネル基板1をX軸方向やY軸方向に移動させてもよい。次にSTEP7では、図11に示すように、FPC2を把持した圧着ツール9を下降させて仮圧着動作を行う(圧着工程)。
ここで、STEP3、4の詳細な動作を、パネル基板1に反りや垂れがある状態を用いて説明する。パネル基板1をバックアップ台10上に設置する際、バックアップ台10の上面の真空吸着動作をONにした状態で、パネル基板1の下面がバックアップ台10の上面に対して接触しない位置(パネル基板1の垂れを吸収できる十分な間隔を有する位置)に配置する。そして、パネル基板1の垂れを吸収できる十分な間隔を有する位置から徐々に間隔を減少させ、パネル基板1を吸着する高さ(位置)をサーチする。その後、反りや垂れが生じているパネル基板1の外縁を吸着し、真空を検出すると直ちに支持テーブル8の下降動作を停止する。この時、パネル基板1は反りや垂れがある状態でバックアップ台10に真空吸着固定されていることになるが、パネル基板1の圧着部に対し、バックアップ台10の上面の十分に広い範囲に真空吸着用の吸着孔14が配置されている。そのため、パネル基板1の圧着部周辺は反りや垂れに関係なくバックアップ台10上面の平面状態に倣う。そして、本来ならば平面なパネル基板1がバックアップ台10に設置される高さに支持テーブル8を上下動させることで、パネル基板1の反りや垂れが矯正された状態になるように、支持テーブル8とバックアップ台10の高さ(位置)を調整する。よって、支持テーブル8とバックアップ台10とに真空吸着固定されているパネル基板1の全面において、反りや垂れが矯正された完全な平面となる。
これにより、パネル基板1の位置認識用マーク5aの認識を行う時のパネル基板1の姿勢は、図9に示すように平面状態となり、また、圧着時のパネル基板1の姿勢は図11に示すように平面状態かつ位置認識用マーク5a、5b同士がXY平面上で一致した姿勢となる。
<作用>
以上のような真空吸着機構(パネル基板固定機構)にてパネル基板1の電極端子4aが設けられている箇所(位置認識用マーク5aが形成されている箇所)を固定しながら、実装(接合)する方式により、すべてのパネル基板1の反りや垂れを1枚ずつ計測するような作業なく、反りや垂れのどちらかがランダムに生じているような状態においても、バックアップ台10の真空吸着機構と同様な機構および方法を用いることにより、パネル基板1の反りや垂れを矯正し、パネル基板1の平面度が出た状態で圧着動作を行うことができる。
以上のような真空吸着機構(パネル基板固定機構)にてパネル基板1の電極端子4aが設けられている箇所(位置認識用マーク5aが形成されている箇所)を固定しながら、実装(接合)する方式により、すべてのパネル基板1の反りや垂れを1枚ずつ計測するような作業なく、反りや垂れのどちらかがランダムに生じているような状態においても、バックアップ台10の真空吸着機構と同様な機構および方法を用いることにより、パネル基板1の反りや垂れを矯正し、パネル基板1の平面度が出た状態で圧着動作を行うことができる。
<効果>
そのため、パネル基板1の平面度が出た状態で、パネル基板1の位置認識用マーク5aを認識して圧着時の姿勢とすることができ、パネル基板1とFPC2との電極端子4a、4b同士の位置ずれがなく、高精度に位置合わせした状態でパネル基板1にFPC2を実装することが可能である。
そのため、パネル基板1の平面度が出た状態で、パネル基板1の位置認識用マーク5aを認識して圧着時の姿勢とすることができ、パネル基板1とFPC2との電極端子4a、4b同士の位置ずれがなく、高精度に位置合わせした状態でパネル基板1にFPC2を実装することが可能である。
なお、上記実施形態では、バックアップ台10によるパネル基板1の固定方法として、真空吸着により固定する場合を述べたが、これに限るものではなく、低圧で吸引して固定するようにしてもよく、正確に位置決めできた状態で固定できる手段をパネル基板固定機構として用いるとよい。
本発明の電子部品の実装装置および実装方法は、板状で反りや垂れが発生するワークに対して、高い精度で電子部品を実装することが可能なため、FPC接合装置以外の、例えばプリント基板などのパネル基板(パネル状の基板)への電子部品を実装する用途にも適用できる。
1 パネル基板
2 FPC
3 ACF
4a、4b 電極端子
5a、5b 位置認識用マーク
6 基台
7 位置決めユニット
8 支持テーブル
9 圧着ツール
10、16 バックアップ台
11 カメラ
12 駆動用LSI
13 スリット
14 吸着孔
15 吸着テーブル
2 FPC
3 ACF
4a、4b 電極端子
5a、5b 位置認識用マーク
6 基台
7 位置決めユニット
8 支持テーブル
9 圧着ツール
10、16 バックアップ台
11 カメラ
12 駆動用LSI
13 スリット
14 吸着孔
15 吸着テーブル
Claims (6)
- 基板を支持する支持テーブルと、
前記支持テーブルを移動させて位置決めする位置決めユニットと、
保持した電子部品を前記基板に圧着する圧着ツールと、
前記圧着ツールと対向する位置に配設されると共に前記基板の外縁を吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整可能なバックアップ台と、を備えたこと
を特徴とする電子部品の実装装置。 - 前記バックアップ台は、前記基板の外縁を真空吸着する多数の吸着孔を有すること
を特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。 - 前記基板の電極端子に対応して位置認識用マークが形成され、前記電子部品の電極端子に対応して位置認識用マークが形成され、前記バックアップ台に孔部または透光部が形成され、
前記バックアップ台の孔部または透光部を通して、前記基板の位置認識用マークと前記電子部品の位置認識用マークとを認識する認識ユニットを備えた
ことを特徴とする請求項1または2に記載の電子部品の実装装置。 - 支持テーブルに支持された基板と圧着ツールに保持された電子部品との相対位置を調整する移動工程と、
前記圧着ツールと対向する位置で前記基板の外縁を吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整を行う矯正工程と、
前記移動工程および前記矯正工程後に、前記圧着ツールにより前記基板と前記電子部品とを圧着させる圧着工程と、を有する
ことを特徴とする電子部品の実装方法。 - 前記矯正工程は、
前記圧着ツールと対向する位置で多数の吸着孔により前記基板の外縁を真空吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整を行う工程であること
を特徴とする請求項4に記載の電子部品の実装方法。 - 前記移動工程は、前記電子部品の認識用マークが認識できる位置まで前記圧着ツールを移動させる工程であり、
前記電子部品の認識用マークを認識させる電子部品マーク認識工程と、
前記圧着ツールと対向する位置で前記基板の外縁を吸着し、前記圧着ツールの圧着方向に高さ調整を行う矯正工程と、
前記基板の位置認識用マークの認識を行う基板マーク認識工程と、
前記基板の位置認識用マークと前記電子部品の認識用マークとが重なるように前記支持テーブルを移動させて位置決めを行う位置決め工程と、
前記移動工程および前記矯正工程後に、前記圧着ツールにより前記基板と前記電子部品とを圧着させる圧着工程と、を有する
ことを特徴とする請求項4または5に記載の電子部品の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010134622A JP2012004143A (ja) | 2010-06-14 | 2010-06-14 | 電子部品の実装装置および実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010134622A JP2012004143A (ja) | 2010-06-14 | 2010-06-14 | 電子部品の実装装置および実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012004143A true JP2012004143A (ja) | 2012-01-05 |
Family
ID=45535863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010134622A Pending JP2012004143A (ja) | 2010-06-14 | 2010-06-14 | 電子部品の実装装置および実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012004143A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103345086A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于向面板贴附覆晶膜的装置及其使用方法 |
JP2016171234A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置および部品実装方法 |
TWI567012B (zh) * | 2016-06-15 | 2017-01-21 | All Ring Tech Co Ltd | The component transfer mechanism of the fitting process |
KR20190037103A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
CN109741681A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-05-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 贴合承载平台、贴合设备及显示模组的贴合方法 |
KR20190120738A (ko) * | 2017-02-13 | 2019-10-24 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
JP2020120127A (ja) * | 2017-09-28 | 2020-08-06 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
CN111868901A (zh) * | 2018-03-28 | 2020-10-30 | 东丽工程株式会社 | 工具高度调整装置以及具有该装置的芯片部件转印装置 |
JP2022027809A (ja) * | 2017-09-28 | 2022-02-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
-
2010
- 2010-06-14 JP JP2010134622A patent/JP2012004143A/ja active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103345086A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-09 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于向面板贴附覆晶膜的装置及其使用方法 |
JP2016171234A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品実装装置および部品実装方法 |
TWI567012B (zh) * | 2016-06-15 | 2017-01-21 | All Ring Tech Co Ltd | The component transfer mechanism of the fitting process |
KR20190120738A (ko) * | 2017-02-13 | 2019-10-24 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
KR102194570B1 (ko) * | 2017-02-13 | 2020-12-23 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
JP2020120127A (ja) * | 2017-09-28 | 2020-08-06 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
JP2019062149A (ja) * | 2017-09-28 | 2019-04-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
CN109587969A (zh) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 芝浦机械电子株式会社 | 电子零件的安装装置和显示用部件的制造方法 |
KR20190037103A (ko) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
KR20210048469A (ko) * | 2017-09-28 | 2021-05-03 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
KR102285037B1 (ko) * | 2017-09-28 | 2021-08-04 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
CN114007341A (zh) * | 2017-09-28 | 2022-02-01 | 芝浦机械电子株式会社 | 电子零件的安装装置和显示用部件的制造方法 |
JP2022027809A (ja) * | 2017-09-28 | 2022-02-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
KR102401706B1 (ko) * | 2017-09-28 | 2022-05-26 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 전자 부품의 실장 장치와 표시용 부재의 제조 방법 |
JP7285303B2 (ja) | 2017-09-28 | 2023-06-01 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置と表示用部材の製造方法 |
CN111868901A (zh) * | 2018-03-28 | 2020-10-30 | 东丽工程株式会社 | 工具高度调整装置以及具有该装置的芯片部件转印装置 |
CN109741681A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-05-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 贴合承载平台、贴合设备及显示模组的贴合方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012004143A (ja) | 電子部品の実装装置および実装方法 | |
JP4664366B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
KR101948428B1 (ko) | 압착 장치 | |
JP5062204B2 (ja) | 部品実装基板の検査方法と装置及び部品実装装置 | |
JP2018029171A (ja) | 電子部品実装装置 | |
KR100722452B1 (ko) | 구동용 회로기판 본딩장치 및 그 방법 | |
JP4654829B2 (ja) | 部品実装状態検査装置及び方法 | |
KR20110119574A (ko) | 표시 패널 모듈 조립 장치 | |
JP5371590B2 (ja) | 実装処理作業装置及び表示基板モジュール組立ライン | |
KR20080020730A (ko) | 구동용 회로기판의 본딩장치 및 그 방법 | |
KR100558564B1 (ko) | 회로기판 본딩장치 | |
JP2012103305A (ja) | Fpdモジュールの組立装置 | |
JPH11242236A (ja) | 液晶パネルのpcb圧着装置 | |
JP5159259B2 (ja) | 圧着装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置 | |
JPWO2013141388A1 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
JP2010283093A (ja) | 電子部品の実装方法、電子部品の実装装置、電子部品および電子機器 | |
JP4829813B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
KR102220338B1 (ko) | 칩 본딩 장치 및 방법 | |
JP2009099775A (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
JP2009010123A (ja) | 電子部品の実装装置及び電子部品の製造方法 | |
JP2011097095A (ja) | 圧着装置及びフラットパネルディスプレイの製造装置 | |
KR102266189B1 (ko) | 디스플레이 패널의 본딩 장치 | |
KR20120079900A (ko) | 기판 검사방법 및 장치 | |
JP4383255B2 (ja) | 電子部品実装方法および装置 | |
JP4579658B2 (ja) | 被実装部材の実装装置及び実装方法 |