TWI393875B - 基板檢測裝置之固持器及基板檢測裝置 - Google Patents

Description

基板檢測裝置之固持器及基板檢測裝置 發明領域

本發明係有關於一種利用目測檢測用以製造平板顯示器(FPD)之透明基板之宏觀檢測裝置及宏觀檢測裝置中所使用之基板固持器。

本發明係對2004年9月27日所申請之特願2004-279989號主張優先權，且在此援用其內容。

發明背景於各製造程序中所製造之透明基板包含有例如以目測檢測(宏觀檢測)主玻璃基板(以下僅稱作玻璃基板)之外觀之檢測程序，於該檢測程序中，係使用於將用以保持玻璃基板之固持器立起至預定角度之狀態下自上方照射宏觀照明光以檢測玻璃基板上之缺陷的宏觀檢測裝置。

此種宏觀檢測裝置係基板固持器具有矩形框狀之固持器本體，且構成為於固持器本體之上面吸附保持玻璃基板背面之周緣部，而該固持器本體係具有稍微小於矩形狀之玻璃基板之開口部。在此，於基板大時，若僅保持基板之周緣部，則由於基板之中央部分容易變形，因此，已知的是於開口部平行地架設複數細長棒狀之基板支持部，且於各基板支持部上設置抵接於玻璃基板背面之支持銷或吸附部，並以多數點來支持玻璃基板，藉此，可抑制基板之變形或撓曲(例如參照專利文獻1、專利文獻2)。另，由於基板支持部只要具有可防止玻璃基板之彎曲等之支持強度即以 足夠，因此，相較於固持器本體可製造為非常細且輕量。

然而，於此種基板固持器中，基板之重量主要係藉由固持器本體來支撐，且由於會朝預定角度旋動、搖動操作，因此，固持器本體必須製造為厚壁以提高強度，且隨著基板之大型化，基板固持器變得非常重。近年來出現大於2000mm之大型化玻璃基板，依此，若玻璃基板大型化，則支撐其周緣部之基板固持器不得不大型化、重量化。依此，為了使大型且重之基板固持器朝預定角度旋動以進行宏觀檢測，故必須構成大規模之驅動機構，因此會有檢測裝置全體大型化之問題。

又，若玻璃基板大型化，則基板支持部之長度會與基板尺寸成比例地增加，且因基板固持器之旋動或搖動動作，支持部本身容易朝上下方向振動，同時新產生因支持構件本身之自重而容易產生撓曲之問題。為了防止前述問題，若增加基板支持部之剛性，則基板固持器之重量會進一步增加且較不理想。

〔專利文獻1〕日本專利公開公報特開平9-189641號公報

〔專利文獻2〕特開2003-232742號公報

發明之揭示

本發明係有鑑於前述情形者，其目的在於使基板固持器小型化、輕量化，且進一步防止宏觀檢測裝置之大型化。

本發明第一方面係一種基板檢測裝置之基板固持器，其係安裝於驅動部之前端部，且於保持基板之狀態下使前述基板移動者，又，包含有：基體部，係與前述驅動部連結者；複數支持部，係自前述基體部呈梳齒狀平行地延伸設置者；及吸附部，係於前述支持部上吸附保持前述基板者，又，前述複數支持部係具有用以保持前述基板之強度。

本發明第二方面係如前述基板檢測裝置之基板固持器，其中前述支持部之高度係依據與安裝於前述基體部之部分之基端部間之距離而改變。

本發明第三方面係如前述基板檢測裝置之基板固持器，其中於前述支持部安裝於前述基體部之部分之前述基端部與前述支持部遠離前述基體部之部分之前端部上，分別設置有用以吸附保持前述基板之周緣部之固持框且使其與前述支持部正交。

本發明第四方面係如前述基板檢測裝置之基板固持器，其中用以支持前述基板之周緣部之樑係自前述複數支持部中設置於最外側之前述支持部之外側面延伸設置者。

本發明第5方面係一種基板檢測裝置，其係包含有：前述基板固持器；多關節機器人，係前述驅動部，並支持前述基板固持器且可自由搖動者；及光源，係發出預定可見光者，又，構成為使來自前述光源之可見光照射至前述基板上，且可進行前述基板之外觀檢測者。

依據本發明，由於具有用以支持基板之支持部且形成為梳齒狀，因此，相較於以矩形狀之固持器本體支持基板之周緣部者，可達成小型化、輕量化。又，藉此，可減少進行基板固持器之搖動或旋轉等之多關節機器人等之負荷，且可使基板檢測裝置小型化。

圖式簡單說明

第1圖係顯示具有本發明實施形態之基板固持器之基板檢測裝置之概略構造圖。

第2圖係基板固持器及搬送用機器人之平面圖。

第3圖係沿著第2圖之III-III線之截面圖。

第4圖係基板固持器之側視圖。

第5圖係基板固持器及搬送用機器人之平面圖。

第6圖係基板固持器之側視圖。

發明之較佳實施形態

以下參照圖式說明本發明之較佳實施例，然而，本發明並不限於以下各實施例，舉例言之，亦可適當地組合這些實施例之構成要素彼此間。

一面參照圖式一面詳細說明本發明之較佳實施形態。

第1圖係顯示基板檢測裝置之側視圖。

宏觀檢測裝置1係配置於無塵室內，且具有被上面與下面開放之側壁包圍之裝置本體2。於該裝置本體2之上面安裝有用以提高裝置本體內之清潔度之過濾器。又，於裝置本體2之上部設置有例如金屬鹵素燈或鈉燈等宏觀照明用 之光源3，及於自該光源3射出之照明光之光軸上設置有反射鏡4。於反射鏡4之下方配置有會聚來自光源3之照明光並導向基板W之夫瑞乃透鏡5。夫瑞乃透鏡5係用以將來自光源3之發散光構成會聚光者。於該夫瑞乃透鏡上更挨近配置有具有將來自光源之發散光變更為均一之面光源之散射機能的透射型液晶散射板。宏觀照明光學系統可總括地照明液晶顯示器或電漿顯示器等之透明基板之全體，亦可部分地照明且朝一維方向或二維方向掃描照明光。

基板W係由對照明光為透明之平行平板所構成之平板顯示器(FPD)用透明基板，且藉由基板搬送裝置搬入至如第1圖中以假想線所示般水平地配置之基板固持器6上。

如第2圖所示，基板固持器6係包含具有平坦之安裝面7a以安裝後述支持部之基體部7，且於與該基體部7之安裝面7a相對側之側面連結有至少朝宏觀觀察方向旋動之驅動部。驅動部可為於基體部7之長向具有旋轉軸且於該旋轉軸連結電動機者。於本實施形態中，驅動部係使用可朝多方向(圖式中箭頭A、B、C)自由驅動之檢測用多關節臂機器人(以下僅稱作檢測用機器人)8。基體部7係與該檢測用機器人8之多關節臂之前端臂9連結。

於基體部7之安裝面7a上，沿著其長向以充分間隔配置有複數支持部10，且全體構成為梳齒狀。如第3圖所示，各支持部10係由高度尺寸相對於寬度尺寸長之金屬製板材所構成，且上端與下端中至少於上端形成可使業已透過基板W之照明光於支持部10之上端面反射且朝觀察視野外反射 以免妨礙觀察之傾斜面10b、10d。

於支持部10之上端，沿著其長度方向以預定間隔配置有吸附部12。如第3圖所示，吸附部12係於立設自支持部10之杆13之前端安裝有抵接於基板W背面之吸附墊14者，且於吸附墊14及杆13上形成朝上下貫通之空氣流通孔(未圖示)，又，該空氣流通孔係與吸引泵連接。

為了使後述搬送用機器人20之手指23可插入支持部10之上端與基板W之間且可確保充分之空間以進行上下移動，杆13係如第4圖所示來調整杆13之高度。

在此，吸附部12係安裝於平坦地形成支持部10之上端側頂部之一部分的上面10a上。於支持部10之上端，朝下方開展之傾斜面10b係與兩側連接。傾斜面10b係具有於宏觀檢測時防止業已透過基板W之照射光朝觀察者反射之作用。又，傾斜面10b之下端係與相對於上面10a呈垂直之側面10c連接，且於側面10c之下端形成向下閉合之傾斜面10d，又，該傾斜面10d係於使基板固持器6反轉以進行基板W之背面之宏觀檢測時防止照射光朝觀察者反射。

如第4圖所示，支持部10之上面10a係相對於基板W呈水平，然而，支持部10之下端，即，下側之傾斜面10d所構成之脊線於將基體部7側作成支持部10之基端部11a時，會傾斜為自基體部7越朝前端部11b越減少支持部10之上下方向之高度。依此，藉由依據與基體部7間之距離改變支持部10之高度，可確保支持部10之支持強度並抑制基板W之重量且達成輕量化。

再者，如第2圖所示，於支持部10之基端部11a側之上面10a與前端部11b側，與支持部10正交地固定有用以吸附保持基板W之上下周緣部且由薄金屬製板材所構成之輕量化固持框15。固持框15係使其兩端部15a朝相互接近之方向垂直地彎曲。各固持框15之長度及配置間隔係設定為與利用假想線所示之基板W之橫向尺寸及縱向尺寸一致，且於各固持框15之上面以預定間隔配置有複數吸附墊16。又，吸附墊16係與吸引泵連接，且與吸附部12同時地吸附保持基板W。

再者，於各支持部10中位於最外側之支持部10之外側面10c上，以預定間隔配置有複數用以支撐支持銷18之樑17，且該支持銷18係用以支持基板W之兩側緣部者。如第3圖所示，樑17係相對於支持部10垂直地延伸設置，且於其前端部上面立設有支持銷18。於支持銷18之前端部設置有由鐵弗隆等硬度小於玻璃基板之耐磨損性優異之減磨材料所構成之球體。另，各支持銷18係配置為支持基板W之兩側緣部。本實施形態係於樑17上配置支持銷18，然而，亦可配置吸附部12而加以取代。

如第1及2圖所示，安裝有基板固持器6之基體部7之檢測用機器人8可藉由未圖示之控制裝置，舉例言之，使基板固持器6自第1圖中以假想線所示般姿勢保持為水平之位置朝箭頭A方向旋轉或搖動至第1圖中以實線所示之以預定傾斜角度立起之位置，或使基板固持器6環繞臂9之軸線朝箭頭C方向旋轉，或使基板固持器6朝箭頭B方向上下移動， 或使基板固持器6朝箭頭D方向左右移動。藉由使用該檢測用機器人8，於將基板固持器6立起至宏觀照明下適合於觀察之角度之狀態下，使基板固持器6上下、左右移動，藉此，可對基板W之全面掃描宏觀照明光。將宏觀照明光學系統設置為可朝XY方向移動時，檢測用機器人只要可朝箭頭A方向旋轉或搖動、朝箭頭C方向旋轉及朝箭頭B方向上下移動即可。

另，於立起基板固持器6時位於基板固持器6之前側之位置上，開口係形成於裝置本體2，且觀察者可藉由目測觀察呈立起狀態之基板W之外觀。

在此，第2圖係顯示將基板W搬入、搬出基板固持器6時所使用之搬送用機器人20。依此所使用之搬送用機器人20係例如為連結有複數臂21之多關節臂機器人，且於前端安裝有機械手22。機械手22係呈梳齒狀地配置有複數手指23。如第4圖所示，基板固持器6側之吸附部12係配置為不會干涉到手指23。再者，如第4圖所示，手指23之厚度遠比高度更薄，於此種手指23之上部配置有吸附部24，且構成為吸附保持以第2圖之假想線所示之基板W。

說明本實施形態之作用。

首先，如第1圖中以假想線所示，使基板固持器6在適合於基板W之搬入、搬出之水平位置上待機。搬送用機器人20係自匣中吸附保持一片基板W並取出，且將基板W移送至基板固持器6之上方，此時，如第2及4圖所示，搬送用機器人20之手指23係於水平狀態下自相對於基板固持器6 之各支持部10以平面看為正交之方向插入。若藉由搬送用機器人20使保持基板W之機械手22於維持水平姿勢之狀態下下降，則手指23會通過吸附部12、支持銷18與樑17之間且下降至第4圖中以假想線所示之位置，此時，吸附部12、支持銷18、吸附墊16係抵接於基板W之背面，且基板W支持於這些構件上，同時基板W自搬送用機器人20移載至基板固持器6上。若結束基板W之移載，則使搬送用機器人20之臂21後退，並自基板W與基板固持器6之間拔出手指23。

基板檢測裝置1係於藉由未圖示之排列機構將基板W排列至基板固持器6上之基準位置時藉由吸附部12及吸附墊16於該位置吸附保持基板W。再者，檢測用機器人8會使基板固持器6自水平位置立起，且如第1圖中以實線所示，會將基板W朝向觀察者，於該狀態下，一面藉由來自光源3之照明光自上方照射基板W，觀察者一面進行宏觀檢測，此時，亦可藉由檢測用機器人8使基板固持器6以微小角度朝上下方向或左右方向搖動，且一面改變照明光之入射角度一面對基板W進行宏觀檢測。又，進行基板W之背面之宏觀檢測時，亦可藉由檢測用機器人8使基板W反轉，且將基板W之背面朝向照明方向以進行宏觀檢測。再者，亦可設置未圖示之背面照明裝置，且一面自基板W之背面側照射一面進行觀察。

若結束宏觀檢測，於將基板固持器6回復至水平位置後，會解除利用吸附部12、吸附墊16之吸附保持。於搬出基板W時係藉由搬送用機器人20使機械手22呈水平地移動 並將手指23插入基板W與支持部10之間。再者，使機械手22上昇，且於將基板W移載至搬送用機器人20後，會使臂21後退並朝匣搬出基板W。

依據本實施形態，由於將宏觀檢測用之基板固持器6作成梳齒狀之框構造，且使相當於梳齒之各支持部10具有用以保持基板W之強度，因此，相較於習知具有矩形框之基板固持器，可使基板固持器6之外形小型化，且可使裝置全體小型化。再者，由於基板固持器6構成為比習知輕量，因此可迅速地進行基板固持器6之移動且可縮短檢測時間。又，由於基板固持器6為輕量化且沒有負載之分散，因此可減少慣性力矩，且可降低施加於作為檢測用機器人8使用之多關節臂機器人的負荷，故，可使用小型化之多關節臂機器人。再者，於使用背面照明進行透射照明檢測時，亦可將光之阻斷固定在最小限度。

又，於立起基板固持器6時，由於支持部10係配置為朝縱向，即，自上側至下側支持基板W之背面且吸附保持基板W之背面，因此，於宏觀觀察時可抑制基板W之撓曲或振動。藉由於配置成梳齒狀之支持部10之基端部11a與前端部11b設置固持框15且開放基板W之搬入方向，搬送用機器人20之手指23不會干涉到基板固持器6而可安全地進行基板W之搬出、搬入。又，由於未藉由支持部10支持之基板W之側方係構成為自配置於外側之支持部10伸出樑17來支持，因此，可確實地保持搬入、搬出側之基板W之周緣部，同時藉由省略兩側之固持框，可進一步達成輕量化。

其次，參照圖式說明本發明之第2實施形態。另，與第1實施形態相同之構成要素係附上相同標號，且省略重複之說明。

如第5及6圖所示，基板固持器30係具有安裝於檢測用機器人(檢測用多關節臂機器人)8之臂9之前端部的基體部7，且於基體部7之安裝面7a上，複數支持部10係相對於基體部7呈正交且以預定間隔平行地配置。基體部7係構成為與支持部10之基端部11a之高度尺寸大致相等之厚度尺寸，且形成為比第1實施形態之基體部薄且輕量。支持部10之上面係形成為平坦之面，且配置於比基體部7之上面更高之位置。基體部7與支持部10之各上面亦可構成同一平面，且藉由基體部7吸附保持基板W之一側緣部。又，於支持部10之上面係形成開口部，且於前述各開口部上以預定間隔配置業已嵌入吸附墊之吸附部31，又，該吸附部31係透過形成於支持部10之流通孔與吸引泵連接。於最外側之支持部10之外側面係配置有樑32，又，樑32係自支持部10垂直地延伸設置，且於其上面支持基板W之背面，又，舉例言之，亦可於樑32之上面安裝吸附部31。

說明本實施形態之作用。

首先，使基板固持器30在適合於基板W之搬入、搬出之水平位置上待機。搬送用機器人20係將基板W移送至基板固持器30之上方，此時，搬送用機器人20之手指23係相對於基板固持器30之各支持部10以平面看為平行地插入，使手指23配置於相鄰之二個支持部10之間，即，基板固持 器30之支持部10與搬送用機器人20之手指23咬合。若於解除對基板W之吸附後藉由搬送用機器人20使保持基板W之機械手22於維持水平姿勢之狀態下下降，則由於手指23會於支持部10之間下降，因此基板W之背面會分別抵接於支持部10、樑32，且基板W自搬送用機器人20移載至基板固持器30上。若結束基板W之移載，則使搬送用機器人20之臂21呈水平地後退，且自基板W與基板固持器之間拔出手指23。藉由檢測用機器人8將基板固持器30立起至預定角度且使其朝上下方向或左右方向搖動時，只要是不會干涉到該基板固持器30之位置，則亦可使機械手22於基板W之交接位置或使其下降至比該交接位置更下方之縮回位置上待機。

再者，若藉由未圖示之排列機構將基板W排列至基板固持器30上之基準位置，則會藉由吸附部31於該位置吸附保持基板W。再者，檢測用機器人8會使基板固持器30自水平位置立起且將基板W朝向觀察者，並自上方對基板W照射照明光以進行宏觀檢測。

若結束宏觀檢測，於將基板固持器30回復至水平位置後，會解除利用吸附部31之吸附保持。於將搬送用機器人20之手指23插入基板W與支持部10之間後使其上昇，且將基板W移載至搬送用機器人20上，並朝匣搬出基板W。

依據本實施形態，由於將基板固持器30作成梳齒狀之框構造且使其前端側開放，因此，可使搬送用機器人20平行地插入且與各支持部10之間咬合。藉由於依此咬合之狀 態下進行基板W之交接，可直接地於搬送用機器人20與基板固持器30之間交接基板W，因此，無需於基板固持器30側設置用以收受基板W之升降機構，且可簡化構造，同時可縮短基板W之交接時間。再者，藉由省略固持框，可使基板固持器30小型化、輕量化。基板固持器30之小型化、輕量化及伴隨於此之效果係與第1實施形態相同。

另，本發明並不限於前述實施形態而可廣泛地應用。

舉例言之，於如第2圖所示之基板固持器6中，亦可於支持部10設置抵接於基板W之背面之支持銷18，此時，可交互地於支持部10配置支持銷18及吸附部12，亦可於每個支持部10上配置支持銷18或吸附部12。

又，於如第5圖所示之基板固持器30中，亦可藉由板狀之長木條連結各支持部10之前端側，藉由以該木條連結支持部10之前端部11b，可抑制各支持部10之振動。為了使搬送用機器人20之手指23不會干涉到木條，可將該木條設置於支持部10之下面，或者於該木條上設置與手指之形狀一致之切口。

又，如第2圖所示，於基板固持器6中，亦可使固持框15與矩形狀之玻璃基板W之形狀一致，且形成為一側開放之字型，並自一側開放之側邊搬出、搬入基板W。又，亦可僅於支持部10之前端側設置第2圖所示之固持框15，且藉由基體部7吸附保持基板W之一側緣部。

產業上之可利用性

依據本發明，由於具有用以支持基板之支持部且形成 為梳齒狀，因此，相較於以矩形狀之固持器本體支持基板之周緣部者，可達成小型化、輕量化。又，藉此，可減少進行基板固持器之搖動或旋轉等之多關節機器人等之負荷，且可使基板檢測裝置小型化。

1‧‧‧宏觀檢測裝置(基板檢測裝置)

2‧‧‧裝置本體

3‧‧‧光源

4‧‧‧反射鏡

5‧‧‧夫瑞乃透鏡

6，30‧‧‧基板固持器

7‧‧‧基體部

7a‧‧‧安裝面

8‧‧‧檢測用多關節臂機器人

9‧‧‧前端臂

10‧‧‧支持部

10a‧‧‧上面

10b，10d‧‧‧傾斜面

10c‧‧‧側面

11a‧‧‧基端部

11b‧‧‧前端部

12，24，31‧‧‧吸附部

13‧‧‧杆

14，16‧‧‧吸附墊

15‧‧‧固持框

15a‧‧‧兩端部

17，32‧‧‧樑

18‧‧‧支持銷

20‧‧‧搬送用機器人

21‧‧‧臂

22‧‧‧機械手

23‧‧‧手指

W‧‧‧基板

第1圖係顯示具有本發明實施形態之基板固持器之基板檢測裝置之概略構造圖。

第2圖係基板固持器及搬送用機器人之平面圖。

第3圖係沿著第2圖之III-III線之截面圖。

第4圖係基板固持器之側視圖。

第5圖係基板固持器及搬送用機器人之平面圖。

第6圖係基板固持器之側視圖。

6‧‧‧基板固持器

7‧‧‧基體部

7a‧‧‧安裝面

8‧‧‧檢測用多關節臂機器人

9‧‧‧前端臂

10‧‧‧支持部

10b‧‧‧傾斜面

11a‧‧‧基端部

12，24‧‧‧吸附部

15‧‧‧固持框

15a‧‧‧兩端部

16‧‧‧吸附墊

17‧‧‧樑

20‧‧‧搬送用機器人

21‧‧‧臂

22‧‧‧機械手

23‧‧‧手指

W‧‧‧基板

Claims (10)

1. 一種基板固持器，係基板檢測裝置之基板固持器，其被安裝於可旋動之驅動部之前端部，且該基板檢測裝置係於保持以搬送用機器人之手指所搬送之基板之狀態下，將前述基板於照明光學系統之照明下立起至適合目測觀察之角度而進行檢測者；又，該基板固持器包含有：基體部，係與前述驅動部連結者；複數支持部，係自前述基體部平行地延伸設置，且於前述基體部隔著間隔複數配置，形成有與前述基板相對之水平上面，並且由截面形狀係高度尺寸相對於寬度尺寸較長的金屬製板材所形成者；及複數吸附部，係於前述複數支持部之上端立設有複數杆，該複數杆之前端安裝有與前述基板之背面抵接之吸附墊，並水平地保持前述基板；又，前述杆的高度係調整成使前述搬送用機器人之手指可呈水平狀態而水平地插入前述支持部之上端與前述基板之間且可確保足夠上下移動之空間。
2. 如申請專利範圍第1項之基板固持器，其中將吸附保持前述基板周緣部之固持框設在前述複數支持部之基端部側與前端部側，並使其與前述複數支持部正交。
3. 如申請專利範圍第2項之基板固持器，其中前述固持框係使前述搬送用機器人之手指自前述對向之固持框之一側端間插入、拔出。
4. 如申請專利範圍第2項之基板固持器，其中前述固持框 形成一側開放之字型，且使前述搬送用機器人之手指自前述一側開放之側插入、拔出。
5. 如申請專利範圍第2項之基板固持器，其中前述固持框係設置成與前述複數支持部之前端部正交，且於與前述固持框對向之前述基體部設置吸附保持前述基板的吸附部。
6. 如申請專利範圍第1項之基板固持器，其係使支撐可支持前述基板周緣部之支持銷或附著部的樑設置於前述複數支持部中最外側之前述支持部的外側面上並延伸出。
7. 如申請專利範圍第1項之基板固持器，其中於前述複數支持部之各個上端與下端中之至少上端形成傾斜面，俾使業已穿透前述基板之前述照明光朝觀察視野外反射。
8. 如申請專利範圍第1、6或7項之基板固持器，其中前述吸附部立設有在前述支持部或樑之上端形成有空氣流通孔之杆，並於該杆之前端安裝有吸附前述基板背面之吸附墊。
9. 一種基板檢測裝置，係將載置於搬送用機器人之手指上的基板移載至安裝於可旋動之驅動部之先端部的基板固持器，並將前述基板於照明光學系統之照明下立起至適合目測觀察之角度以進行檢測者，其特徵在於該基板固持部包含有：基體部，係與前述驅動部連結者；複數支持部，係自前述基體部平行地延伸設置，且 於前述基體部隔著間隔複數配置，形成有與前述基板相對之水平上面，並且由截面形狀係高度尺寸相對於寬度尺寸較長的金屬製板材所形成者；及複數吸附部，係於立設在前述複數支持部之上端且形成有空氣流通孔之複數杆的前端安裝有用以吸附前述基板之背面之吸附墊，並水平地保持前述基板；又，前述杆之高度係調整成使前述搬送用機器人之手指可呈水平狀態而水平地插入前述支持部之上端與前述基板之間，且可確保足夠上下移動之空間，又前述搬送用機器人係使前述手指呈水平並由前述基板固持器之上方下降而將載置於前述手指上之前述基板移載至前述吸附部後，使前述手指在下降至不與前述支持部之上端接觸之位置的狀態下朝水平方向後退，藉此將前述基板交接至控制為呈水平姿態之前述基板固持器。
10. 如申請專利範圍第9項之基板檢測裝置，其中前述基板固持器更於前述複數支持部之基端部側與前端部側設置保持前述基板之周緣部之固持框並使其與前述複數支持部正交，且，前述搬送用機器人於使保持有前述基板之手指自前述固持器之上方下降，並移載至前述固持框與立設於前述複數支持部之吸附部後，使前述搬送用機器人之手指自前述基板固持器縮回。