JP4365603B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
基板検査装置及び基板検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4365603B2 JP4365603B2 JP2003079757A JP2003079757A JP4365603B2 JP 4365603 B2 JP4365603 B2 JP 4365603B2 JP 2003079757 A JP2003079757 A JP 2003079757A JP 2003079757 A JP2003079757 A JP 2003079757A JP 4365603 B2 JP4365603 B2 JP 4365603B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- holder
- macro
- illumination light
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板の表面又は裏面に照明光を照射してガラス基板上の欠陥部を検査する基板検査装置及び基板検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶デイスプレイに用いられるガラス基板に対する欠陥検査は、ガラス基板に対して照明光を照射し、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者の目視により観察してガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部を検出する。
【０００３】
このようなガラス基板の基板検査装置は、例えば特許文献１に記載されている。この特許文献１は、ベースの傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられたホルダ上にガラス基板を保持し、マクロ観察系により検出されたガラス基板上の欠陥部をミクロ観察系の対物レンズの観察範囲に移動することによってミクロ観察することを記載する。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１１１２５３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶ディスプレイのガラス基板は、表面上に例えばライン状や長方形状の細長いパターン、例えば長方形状のＴＦＴ（thin film trasistor）のパターンを規則的に形成する。このような配列方向に規則性を有するパターンや方向性を有する欠陥に対して照明光の入射角度と入射方向とを変化させると、パターンや基板表面上の欠陥が良好の見える。
【０００６】
しかしながら、特許文献１は、ベースの傾斜面に対して照明光の入射角度が固定され、ホルダが上下の一方向にしか移動できないため、ガラス基板に対する照明光の入射角度と入射方向とを変えることができない。
【０００７】
ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の裏面側からも照明光を照射してガラス基板を検査する要求がある。しかしながら、特許文献１は、ベースに開口部が無いために、ガラス基板の裏面側から照明光を照射することができない。
【０００８】
液晶ディスプレイのガラス基板は、技術の進歩に伴なって年々大型化し１０００ｍｍに達するものが出現している。大型のガラス基板を特許文献１に記載されているベース上のホルダに保持すると、ガラス基板の２倍以上の長さのベースが必要になり、検査装置が大型化かるばかりか、ガラス基板の上部の高さ位置が高くなる。このため、ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の上部と観察者との距離が遠く離れ、ガラス基板上部の欠陥が目視により観察することができなくなり、ガラス基板上の欠陥部の検出精度が著しく低下してしまう。
【０００９】
そこで本発明は、大型のガラス基板を保持するホルダの天地を反転してガラス基板の全面を検査可能とし、更にホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、矩形のガラス基板を保持するホルダと、前記ガラス基板に目視観察用のマクロ照明光を照射するマクロ照明光源と、装置本体の観察者側の正面に対して水平に設けられた第１の回転軸と、前記第１の回転軸に一端側が設けられ、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光源からの前記マクロ照明光が観察に適した入射角に設定されるように前記第１の回転軸を中心にして起上がり方向とその反対の傾斜方向との所定の角度に回転可能な一対の支持アームと、前記一対の支持アームの他端側に設けられ、前記ホルダを観察者側に向けて所定の角度に回転させる第２の回転軸と、前記ホルダを天側と地側に反転させるように回転させる第３の回転軸とを備え、前記マクロ照明光源は、前記一対の支持アームにより前記所定の角度に回転された前記ホルダに保持された前記ガラス基板の下方部分の照射領域に前記マクロ照明光を照射し、前記第３の回転軸により前記ホルダの天地を反転させることにより前記照明領域で前記ガラス基板の天地を反転させて目視観察させる基板検査装置である。
また、本発明は、ホルダに保持されたガラス基板の上方からマクロ照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を目視で検査する基板検査方法において、前記ホルダを支持する一対の支持アームの回転により観察者の存在する正面側に対して前後方向に回動させて、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光がマクロ観察に適した入射角に設定し、前記ホルダの天地を反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の天側と地側とを交互に反転させながら前記マクロ照明光により前記ガラス基板の全面を目視観察させる基板検査方法である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１乃至図３は基板検査装置の構成図であって、図１正面図、図２は側面図、図３は裏面図である。装置本体１の下方の正面に対して水平方向に第１の回転軸２が設けられ、この第１の回転軸２の左右両端部にそれぞれ各支持アーム３、４が互いに平行に設けられている。第１の回転軸２の一端部にモータ５が接続されている。モータ５の駆動により第１の回転軸２が回転すると、各支持アーム３、４は、図２に示すように観察者Ｑの存在する正面側に対して前後方向（矢印ｄ１方向）に回動する。
【００１３】
各支持アーム３、４の各先端部の間に第２の回転軸６が第１の回転軸２に対して水平方向に設けられている。この第２の回転軸６の一端部にモータ７が接続されている。第２の回転軸６は、中間部が切れており、支持部８を介して連結されている。この支持部８は、モータ７の駆動による第２の回転軸６の回転と共に矢印ｄ２方向に回転する。この矢印ｄ２方向への回転角度は、略１８０°である。
【００１４】
この支持部８にモータ１０が組み込まれており、このモータ１０の回転軸（第３の回転軸）１０ａにベース９が固定されている。ベース９は、モータ１０の駆動により第３の回転軸１０ａを中心に矢印ｄ３方向に回転する。このベース９の矢印ｄ３方向への回転角度は、正面側から見て左回り及び右回り共に１８０°又は３６０°に回転可能である。このベース９は、長方形状の枠９ａと、この枠９ａ内に対角線上に設けられた２本の梁９ｂ、９ｃとからなる。これら梁９ｂ、９ｃの交わる部分に第３の回転軸１０ａが設けられている。従って、ベース９は、第２の回転軸６を中心にして前後方向に所定の角度範囲内で揺動すると共に、正面側から見て当該ベース９の表側と裏側とを反転させる反転し、さらに第３の回転軸１０ａを中心に平面内で３６０°に回転する。
【００１５】
ベース９における長方形状の枠９ａの各短辺上には、ホルダ枠１１が矢印ｄ４方向にスライド可能に設けられている。このホルダ枠１１は、四辺形状の開口を有する枠状に形成されている。このホルダ枠１１の全周に沿って、例えば液晶ディスプレイのガラス基板１２の裏面を吸着保持する複数の吸引孔が設けられている。なお、ホルダ枠１１の枠内には、ガラス基板１２を水平状態に保持するために複数の桟を設け、これら桟上にはガラス基板１２の裏面を点で支持する複数の支持ピンを設けている。
【００１６】
ホルダ枠１１のベース９上でのスライドの構造は、例えばベース９上の各短辺上に各ガイドレールを設け、これらガイドレール上にホルダ枠１１に設けられた各ガイド溝を嵌合する。
【００１７】
このような構成であれば、ホルダ枠１１は、ベース９における長方形状の枠９ａの各短辺上を矢印ｄ４方向にスライド移動する。なお、スライド構造は、上記構造に限らず、如何なる構造であってもよい。
【００１８】
ベース９の短辺は、スライド方向ｄ４のガラス基板１２（ホルダ枠１１）の長さの約３分１から２分の１、図示例では約２分の１に形成されている。これにより、ホルダ枠１１をガイドに沿って図示上下方向に移動することにより、ホルダ枠１１とベース９との間に各開口部１３ａ、１３ｂが形成される。図１はホルダ枠１１内における上下方向の中心位置にベース９が位置している基準位置を示する。これら開口部１３ａ、１３ｂのサイズは、ホルダ枠１１のベース９上のスライドにより可変する。例えば、ホルダ枠１１がベース９上を下方にスライドすると、下方の開口部１３ｂのサイズが大きくなり、上方の開口部１３ａのサイズが小さくなる。ホルダ枠１１が最下位置までスライドすると、ホルダ枠１１の約２分の１の長さの開口部１３ｂが形成される。
【００１９】
装置本体１の正面側の上方には、ホルダ枠１１に吸着保持されたガラス基板１２を所定の照射角度で照明するマクロ照明光源１４が設けられている。このマクロ照明光源１４は、観察者が目視観察しやすい高さ、例えば図２に示す状態であれば、ホルダ枠１１とベース９とにより形成される下方の開口部１３ｂに対応する領域ｅ１にマクロ照明光を照射する。この場合、ホルダ枠１１を基準位置から最下位置までスライドすることにより、照明領域ｅ１を通過するガラス基板１２の下半分を目視観察することができる。
【００２０】
なお、照明領域ｅ１がベース９の一部にかかり、ガラス基板１２上の欠陥がベース９の枠９ａに重なって見えにくい場合には、欠陥が枠９ａから外れるようにホルダ枠１１を上下方向に移動させることも可能である。
【００２１】
裏面側におけるホルダ枠１１の斜め下方の後方側には、透過照明光源１５が設けられている。この透過照明光源１５は、ホルダ枠１１を基準位置から最下位置までスライドすることにより、下方の開口部１３ｂを通してガラス基板１２の裏面側から透過照明光を照射する。なお、透過照明光源１５は、例えばホルダ枠１１を最下位置にスライドさせたときに形成される下方の開口部１３ｂの最も大きなサイズと略同一サイズのマクロ観察領域に透過照明光を照射する。
【００２２】
この透過照明光源１５は、ベース９を第２の回転軸６を中心にして矢印ｄ２方向に回転してホルダ枠１１を揺動及び反転するとき、ベース９及びホルダ枠１１との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印ｄ５方向に退避する。又、透過照明光源１５は、ベース９及びホルダ枠１１との干渉しないホルダ枠１１の左側又は右側に退避してもよい。
【００２３】
ホルダ枠１１を基準位置に戻してモータ１０を駆動してホルダ枠１１を１８０°回転することによりガラス基板１２の天地が反転する。
【００２４】
この状態で上記同様に未検査のガラス基板１２の半分をマクロ照明又は透過照明により観察できる。さらに、モータ７を駆動してベース９とホルダ枠１１とを第２の回転軸６を中心にして１８０°回転させ、これによりガラス基板１２の表面から裏面に反転する。これにより、ガラス基板１２の裏面に対してマクロ照明又は透過照明による目視観察ができる。
【００２５】
操作制御装置２０は、支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作、ベース９の前後方向の揺動、反転動作及び平面内の回転動作、ホルダ枠１１のスライド移動を制御する。ジョイステック２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、操作方向と操作量とに応じた操作信号を発生する。なお、ジョイステック２１に限らず、他の操作端部を用いてもよい。
【００２６】
パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１ａ、２１ｂ、２１ｃで発生した操作信号を入力し、ジョイステック２１ａの操作信号から支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作、ジョイステック２１ｃの操作信号からベース９の前後方向の回動・反転動作及び回転動作、ジョイステック２１ｃの操作信号からホルダ枠１１のスライド移動の各動作を分離し、これら動作別にそれぞれ各動作指令を発する。
【００２７】
コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられた各動作指令を受け、このうち支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作指令によってモータ５を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース９の揺動・反転の動作指令によってモータ７を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース９の回転動作指令によってモータ１０を駆動する駆動制御信号を送出し、ホルダ枠１１のスライド移動の動作指令によって図示しないスライド機構のモータを駆動する駆動制御信号を送出する。
【００２８】
ドライバ２４は、コントローラ２３から送出された各駆動制御信号を入力して該当する各駆動モータ５、７、１０又はスライド機構のモータを駆動する。
【００２９】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００３０】
ホルダ枠１１は、図４に示すように水平方向に設定され、かつホルダ枠１１の高さ位置が例えばガラス基板１２の図示しない搬送系の高さ位置と同一に設定される。なお、搬送系は、ガラス基板１２を水平状態にして搬送する。
【００３１】
搬送系により水平状態に搬送されたガラス基板１２は、例えば受渡しロボットによりホルダ枠１１の面上に載置される。ホルダ枠１１は、ガラス基板１２を例えばエアーの吸引作用により吸着保持する。
【００３２】
観察者Ｑは、ガラス基板１２がホルダ枠１１に保持された後、ジョイステック２１ａを観察者Ｑ側に傾動操作すると、パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１ａの傾きに応じた動作指令を発し、コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられた各動作指令を受け、ドライバ２４にモータ５を駆動する駆動制御信号を送出する。ドライバ２４は、コントローラ２３から送出された駆動制御信号を入力して該当する駆動モータ５を駆動する。
【００３３】
このモータ５が駆動すると、第１の回転軸２に連結された支持アーム３、４が図４に示す水平状態から図２に示すように矢印ｄ１方向に回動して起き上がる。この起き上がった状態で、ジョイステック２１ｃを前後方向に揺動操作すると、この操作量に応じた動作指令がパーソナルコンピータ２２から発せられ、コントローラ２３、ドライバ２４を介してモータ７が駆動する。このモータ７が回転すると、第２の回転軸６に固定されたベース９と共にホルダ枠１１が図６(a)(b)に示すように矢印ｄ２方向に揺動する。
【００３４】
このとき、ジョイステック２１ａの傾き角度を調整することにより、支持アーム３、４の起き上がり角度を任意に調整してマクロ照明光源１４から放射されたマクロ照明光をガラス基板１２に対してマクロ観察に最適な入射角度に設定することができる。
【００３５】
又、ジョイステック２１ｂを観察者Ｑ側に傾動操作することにより、スライド機構のモータが駆動し、ベース９上のガイドレールに沿ってホルダ枠１１が下方に移動する。ホルダ枠１１を最下位まで移動させれば、ガラス基板１２の下半分をマクロ照明又は透過照明により照射する。
【００３６】
観察者Ｑは、ガラス基板１２の観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視により観察する。ジョイステック２１ｂの傾き角度を調整すれば、ホルダ枠１１を任意の位置に設定したり、所定のピッチ又は連続して移動させることも可能である。
【００３７】
次に、ガラス基板１２の表面にマクロ照明光を照射した状態で、ジョイステック２１ｃを左回り又は右回りに回転操作し、モータ１０を駆動すると、ベース９及びホルダ枠１１は、図１に示す矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転する。この回転によりホルダ枠１１上に保持されているガラス基板１２も矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転する。このとき、ホルダ枠１１の回転半径を小さくするために、ホレダ枠１１の回転中心が第３の回転軸１０に一致するようにベース９上のガイドレールに沿ってホルタ枠１１を移動させることが好ましい。
【００３８】
このベース９及びホルダ枠１１を１８０°回転させ、ガラス基板１２の天地を反転させることにより、上記同様に他方のガラス基板１２の半分を目視観察することができる。
【００３９】
このようにベース９及びホルダ枠１１を１８０°回転させることにより、ガラス基板１２の上半分し下半分を観察者Ｑの観察しやすい位置で、かつ観察者Ｑとの距離が短くなることからガラス基板１２の欠陥部の検出精度が向上する。
【００４０】
一方、ベース９及びホルダ枠１１の回転は、例えば図５(a)〜(c)に示すように例えば左回りで９０度、１８０度回転する毎に停止し、最終的に３６０度回転する。なお、同図(a)はベース９及びホルダ枠１１の回転前の通常状態を示し、同図(b)は左回りに９０度回転した状態を示し、同図(c)は左回りに１８０度回転した状態を示す。なお、同図(a)〜(c)に付した記号「Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ」は、ベース９及びホルダ枠１１の回転を分かり易くするために付した。又、ベース９及びホルダ枠１１の回転は、連続して３６０度所定の回転速度で回転してもよい。
【００４１】
ベース９及びホルダ枠１１の回転によりマクロ観察領域ｅ１に配置されるガラス基板１２の部分は、変更される。例えば、ベース９及びホルダ枠１１の回転前のマクロ観察領域ｅ１は、図５(a)に示すガラス基板１２の面上の「Ｃ、Ｄ」の部分であり、ホルダ枠１１を下方に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｃ，Ｄ）を観察できる。ホルダ枠１１を９０度回転したときのマクロ観察領域ｅ１は、同図(b)に示すガラス基板１２の面上の「Ｄ、Ｂ」の部分であり、ホルダ枠１１を左右に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｂ，Ｄ）を観察できる。ガラス基板１２を１８０度回転したときのマクロ観察領域ｅ１は、同図(c)に示すガラス基板１２の面上の「Ｂ、Ａ」部分であり、ホルダ枠１１を下方に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｂ，Ａ）を観察できる。観察者Ｑは、回転したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００４２】
次に、ガラス基板１２の表面にマクロ照明光を照射した状態で、モータ７の正転と逆転とを繰り返すと、ベース９及びホルダ枠１１は、図６(a)(b)に示すように矢印ｄ２方向である前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Ｑは、前後方向に揺動したガラス基板１２からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００４３】
又、上記の通りベース９及びホルダ枠１１は、図５(a)〜(c)に示すように矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転するので、例えば任意の角度（例えば９０度、１８０度、２７０度）だけ回転させて停止し、この状態で図６(a)(b)に示すようにベース９及びホルダ枠１１を前後方向に揺動してもよい。
【００４４】
さらに、モータ５を駆動することによって第１の回転軸２を回転し、装置本体１の矢印ｄ１方向への傾倒角度を変更した状態で、ベース９及びホルダ枠１１を図５(a)〜(c)に示すように矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転させたり、前後方向に揺動してもよい。
【００４５】
以上のようにガラス基板１２を回転、前後揺動することによりガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させたときに、観察者Ｑによってガラス基板１２からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。このマクロ観察によって液晶ディスプレイのガラス基板１２の表面上に形成されているライン状や長方形状の細長いパターン、例えば規則的に形成された長方形状のＴＦＴのパターン上の欠陥部の検出の確度を高めることができる。
【００４６】
次に、透過照明光源１５から透過照明が放射されると、この透過照明光は、下方の開口部１３ｂを通してガラス基板１２の裏面より観察領域ｅ１に照射される。観察者Ｑは、ガラス基板１２からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００４７】
この透過照明光をガラス基板１２に照射したときのマクロ観察においても、上記同様に、ガラス基板１２を回転、前後揺動することにより、観察者Ｑがガラス基板１２をマクロ観察する方向を変化させることができる。
【００４８】
次に、ホルダ枠１１は、図７(a)(b)に示すようにベース９に対して下方にスライド移動する。なお、同図(a)は正面図、同図(b)は側面図である。ホルダ枠１１が下方にスライド移動すると、ホルダ枠１１とベース９により形成される下方の開口部１３ｂのサイズが大きくなり、これにより、マクロ観察領域ｅ１のサイズも大きくなる。なお、マクロ観察領域ｅ１は、例えば「Ｃ、Ｄ」部分とする。ホルダ枠１１は、ベース９に対するスライド方向の長さをベースの長さよりも略２倍に形成されているので、マクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）は、ガラス基板１２の面の略半分にできる。
【００４９】
この状態で、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１に透過照明光源１５から放射された透過照明が照射されると、観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５０】
次に、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライド移動した状態で、ベース９及びホルダ枠１１は、図８に示すように１８０度回転して停止する。続いてホルダ枠１１は、ベース９に対して最も下方までスライド移動する。これにより、マクロ観察領域ｅ１は、例えば「Ｂ、Ａ」部分になる。このマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）もガラス基板１２の面の略半分になる。
【００５１】
この状態で、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）に透過照明光源１５から放射された透過照明が照射されると、観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５２】
この結果、ガラス基板１２の回転前のマクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）と回転後のマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）とに対する各マクロ観察によりガラス基板１２の表面全面に対するマクロ観察ができる。
【００５３】
次に、モータ７が駆動すると、第２の回転軸６が回転する。この第２の回転軸６の回転によりベース９及びホルダ枠１１は、図９に示すように矢印ｄ２方向に回転してガラス基板１２の表裏面を反転する。
【００５４】
このときガラス基板１２は、ホルダ枠１１に吸着保持されているので、ホルダ枠１１から落下することはない。又、透過照明光源１５は、ベース９を第２の回転軸６を中心に回転してホルダ枠１１を反転するとき、ベース９及びホルダ枠１１との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印ｄ５方向に退避する。ホルダ枠１１の反転動作が終了すると、透過照明光源１５は、元の位置に戻る。
【００５５】
この状態で、マクロ照明光源１４からマクロ照明光が放射されると、このマクロ照明光は、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１に入射する。観察者Ｑは、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００５６】
又、透過照明光源１５から透過照明が放射されると、この透過照明は、マクロ観察領域ｅ１におけるガラス基板１２の裏面に照射される。観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５７】
ガラス基板１２を裏面側に反転した状態で、モータ７の正転と逆転とを繰り返すと、ベース９及びホルダ枠１１は、前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板１２の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Ｑは、前後方向に揺動したガラス基板１２の裏面からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００５８】
ガラス基板１２を反転した状態で、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライド移動すれば、上記の通りガラス基板１２の裏面に対するマクロ観察領域ｅ１は、ガラス基板１２の面の略半分にできる。
【００５９】
さらに、ベース９及びホルダ枠１１を矢印ｄ３方向の例えば左回りで１８０度回転し、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライドすれば、ガラス基板１２の裏面に対するマクロ観察領域ｅ１は、先にマクロ観察できなかったガラス基板１２の面の略半分に設定できる。
【００６０】
この結果、ガラス基板１２の回転前のマクロ観察領域ｅ１と回転後のマクロ観察領域ｅ１とに対する各マクロ観察によりガラス基板１２の裏面全面に対するマクロ観察ができる。
【００６１】
又、図１０(a)(b)に示すようにベース９及びホルダ枠１１を矢印ｄ３方向に９０度回転した後、この状態で、ホルダ枠１１をベース９に対して左右方向にスライド移動する。観察者Ｑは、左右にスライド移動したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。又、観察者Ｑは、左右にスライド移動したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してマクロ観察する。
【００６２】
なお、ホルダ枠１１を左右方向にスライド移動した状態で、ホルダ枠１１を前後方向に揺動させたり、回転させたり、さらに表裏面を反転させてガラス基板１２のマクロ観察を行うこともできる。
【００６３】
ガラス基板１２に対するマクロ観察が終了すると、装置本体１は、モータ５の駆動により図４に示すように矢印ｄ１方向に傾倒し、これと共にモータ７の駆動により第２の回転軸６が矢印ｄ２方向に回転することにより、ホルダ枠１１は水平方向に設定される。ホルダ枠１１上に保持されているカラス基板１２は、例えば受渡しロボットにより搬送系に渡される。
【００６４】
このように上記一実施の形態においては、装置本体１に設けられた矢印ｄ２方向に回転可能な第２の回転軸６に対して支持部８を固定し、この支持部８に対してベース９を回転軸９ａを中心に矢印ｄ３方向に回転可能に設け、さらにベース９上にホルダ枠１１をスライド可能に設けた。
【００６５】
これにより、ホルダ枠１１上に保持されているガラス基板１２は、正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転できる。これら前後方向の揺動及び回転によりガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度と入射方向とを変化させることができる。観察者Ｑは、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察できる。
【００６６】
このマクロ観察領域ｅ１は、ホルダ枠１１とベース９とにより形成される下方の開口部１３ｂに対応した位置である。これにより、観察者Ｑは、ガラス基板１２の間近で、マクロ照明光の入射角度を変化させたときのガラス基板１２からの反射光の光学的変化を観察できる。この結果、ガラス基板１２上の欠陥部の検出の精度を高めることができる。
【００６７】
ホルダ枠１１を図７(a)(b)に示す状態から１８０度回転し、この後、図８に示すようにホルダ枠１１を下方にスライド移動させる。これにより、ガラス基板１２の回転前にマクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）に対するマクロ観察を行う。回転後にマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）に対するマクロ観察を行う。これらマクロ観察によりガラス基板１２が大型であっても、このガラス基板１２の表面全面に対するマクロ観察がガラス基板１２の間近でできる。
【００６８】
ベース９及びホルダ枠１１は、第２の回転軸６を中心にして回転してガラス基板１２の表裏面を反転するので、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２の裏面をマクロ観察できる。
【００６９】
又、ガラス基板１２を反転した状態で、ガラス基板１２を前後方向に揺動させたり、回転させることができる。これにより、ガラス基板１２の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させて、ガラス基板１２の裏面もマクロ観察できる。
【００７０】
ホルダ枠１１は、水平方向でその高さ位置をガラス基板１２の搬送系の高さ位置と同一に設定できるので、ホルダ枠１１と搬送系との間のガラス基板１２の受渡しは、ガラス基板１２を水平状態に保ったまま容易にできる。
【００７１】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００７２】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００７３】
例えば、ガラス基板１２を正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転させたり、さらに反転させて各マクロ観察しているが、これらマクロ観察の順序は、上記一実施の形態で説明した順序に限らず、観察者Ｑにより任意に決定してもよい。
【００７４】
【発明の効果】
以上詳述したように本願発明によれば、ホルダを支持する一対の支持アームの回転によりホルダを起上がり方向とその反対の傾斜方向との所定の角度に回転させてガラス基板に対してマクロ照明光がマクロ観察に適した入射角に設定でき、さらに大型のガラス基板を保持する保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す正面構成図。
【図２】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す側面構成図。
【図３】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す裏面構成図。
【図４】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠上へのガラス基板の受渡しを示す図。
【図５】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるベース及びホルダ枠の回転を示す図。
【図６】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるガラス基板を前後方向に揺動させたときのマクロ観察を示す図。
【図７】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を下方にスライド移動したときの図。
【図８】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を回転した後に下方にスライド移動したときの図。
【図９】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を反転したときの図。
【図１０】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠の左右スライド移動を示す図。
【符号の説明】
１：装置本体、２：第１の回転軸、３，４：支持アーム、５，７，１０：モータ、６：第２の回転軸、８：支持部、９：ベース、９ａ：回転軸、９ｂ，９ｃ：梁、１１：ホルダ枠、１２：ガラス基板、１３ａ，１３ｂ：開口部、１４：マクロ照明光源、１５：透過照明光源、２０：操作制御装置、２１：ジョイステック、２２：パーソナルコンピータ、２３：コントローラ、２４：ドライバ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板の表面又は裏面に照明光を照射してガラス基板上の欠陥部を検査する基板検査装置及び基板検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば液晶デイスプレイに用いられるガラス基板に対する欠陥検査は、ガラス基板に対して照明光を照射し、ガラス基板からの反射光の光学的変化を観察者の目視により観察してガラス基板表面上に存在する傷、欠け、汚れ、ダストの付着などの欠陥部を検出する。
【０００３】
このようなガラス基板の基板検査装置は、例えば特許文献１に記載されている。この特許文献１は、ベースの傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられたホルダ上にガラス基板を保持し、マクロ観察系により検出されたガラス基板上の欠陥部をミクロ観察系の対物レンズの観察範囲に移動することによってミクロ観察することを記載する。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１０−１１１２５３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶ディスプレイのガラス基板は、表面上に例えばライン状や長方形状の細長いパターン、例えば長方形状のＴＦＴ（thin film trasistor）のパターンを規則的に形成する。このような配列方向に規則性を有するパターンや方向性を有する欠陥に対して照明光の入射角度と入射方向とを変化させると、パターンや基板表面上の欠陥が良好の見える。
【０００６】
しかしながら、特許文献１は、ベースの傾斜面に対して照明光の入射角度が固定され、ホルダが上下の一方向にしか移動できないため、ガラス基板に対する照明光の入射角度と入射方向とを変えることができない。
【０００７】
ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の裏面側からも照明光を照射してガラス基板を検査する要求がある。しかしながら、特許文献１は、ベースに開口部が無いために、ガラス基板の裏面側から照明光を照射することができない。
【０００８】
液晶ディスプレイのガラス基板は、技術の進歩に伴なって年々大型化し１０００ｍｍに達するものが出現している。大型のガラス基板を特許文献１に記載されているベース上のホルダに保持すると、ガラス基板の２倍以上の長さのベースが必要になり、検査装置が大型化かるばかりか、ガラス基板の上部の高さ位置が高くなる。このため、ガラス基板をマクロ観察する場合、ガラス基板の上部と観察者との距離が遠く離れ、ガラス基板上部の欠陥が目視により観察することができなくなり、ガラス基板上の欠陥部の検出精度が著しく低下してしまう。
【０００９】
そこで本発明は、大型のガラス基板を保持するホルダの天地を反転してガラス基板の全面を検査可能とし、更にホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、矩形のガラス基板を保持するホルダと、前記ガラス基板に目視観察用のマクロ照明光を照射するマクロ照明光源と、装置本体の観察者側の正面に対して水平に設けられた第１の回転軸と、前記第１の回転軸に一端側が設けられ、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光源からの前記マクロ照明光が観察に適した入射角に設定されるように前記第１の回転軸を中心にして起上がり方向とその反対の傾斜方向との所定の角度に回転可能な一対の支持アームと、前記一対の支持アームの他端側に設けられ、前記ホルダを観察者側に向けて所定の角度に回転させる第２の回転軸と、前記ホルダを天側と地側に反転させるように回転させる第３の回転軸とを備え、前記マクロ照明光源は、前記一対の支持アームにより前記所定の角度に回転された前記ホルダに保持された前記ガラス基板の下方部分の照射領域に前記マクロ照明光を照射し、前記第３の回転軸により前記ホルダの天地を反転させることにより前記照明領域で前記ガラス基板の天地を反転させて目視観察させる基板検査装置である。
また、本発明は、ホルダに保持されたガラス基板の上方からマクロ照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を目視で検査する基板検査方法において、前記ホルダを支持する一対の支持アームの回転により観察者の存在する正面側に対して前後方向に回動させて、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光がマクロ観察に適した入射角に設定し、前記ホルダの天地を反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の天側と地側とを交互に反転させながら前記マクロ照明光により前記ガラス基板の全面を目視観察させる基板検査方法である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図１乃至図３は基板検査装置の構成図であって、図１正面図、図２は側面図、図３は裏面図である。装置本体１の下方の正面に対して水平方向に第１の回転軸２が設けられ、この第１の回転軸２の左右両端部にそれぞれ各支持アーム３、４が互いに平行に設けられている。第１の回転軸２の一端部にモータ５が接続されている。モータ５の駆動により第１の回転軸２が回転すると、各支持アーム３、４は、図２に示すように観察者Ｑの存在する正面側に対して前後方向（矢印ｄ１方向）に回動する。
【００１３】
各支持アーム３、４の各先端部の間に第２の回転軸６が第１の回転軸２に対して水平方向に設けられている。この第２の回転軸６の一端部にモータ７が接続されている。第２の回転軸６は、中間部が切れており、支持部８を介して連結されている。この支持部８は、モータ７の駆動による第２の回転軸６の回転と共に矢印ｄ２方向に回転する。この矢印ｄ２方向への回転角度は、略１８０°である。
【００１４】
この支持部８にモータ１０が組み込まれており、このモータ１０の回転軸（第３の回転軸）１０ａにベース９が固定されている。ベース９は、モータ１０の駆動により第３の回転軸１０ａを中心に矢印ｄ３方向に回転する。このベース９の矢印ｄ３方向への回転角度は、正面側から見て左回り及び右回り共に１８０°又は３６０°に回転可能である。このベース９は、長方形状の枠９ａと、この枠９ａ内に対角線上に設けられた２本の梁９ｂ、９ｃとからなる。これら梁９ｂ、９ｃの交わる部分に第３の回転軸１０ａが設けられている。従って、ベース９は、第２の回転軸６を中心にして前後方向に所定の角度範囲内で揺動すると共に、正面側から見て当該ベース９の表側と裏側とを反転させる反転し、さらに第３の回転軸１０ａを中心に平面内で３６０°に回転する。
【００１５】
ベース９における長方形状の枠９ａの各短辺上には、ホルダ枠１１が矢印ｄ４方向にスライド可能に設けられている。このホルダ枠１１は、四辺形状の開口を有する枠状に形成されている。このホルダ枠１１の全周に沿って、例えば液晶ディスプレイのガラス基板１２の裏面を吸着保持する複数の吸引孔が設けられている。なお、ホルダ枠１１の枠内には、ガラス基板１２を水平状態に保持するために複数の桟を設け、これら桟上にはガラス基板１２の裏面を点で支持する複数の支持ピンを設けている。
【００１６】
ホルダ枠１１のベース９上でのスライドの構造は、例えばベース９上の各短辺上に各ガイドレールを設け、これらガイドレール上にホルダ枠１１に設けられた各ガイド溝を嵌合する。
【００１７】
このような構成であれば、ホルダ枠１１は、ベース９における長方形状の枠９ａの各短辺上を矢印ｄ４方向にスライド移動する。なお、スライド構造は、上記構造に限らず、如何なる構造であってもよい。
【００１８】
ベース９の短辺は、スライド方向ｄ４のガラス基板１２（ホルダ枠１１）の長さの約３分１から２分の１、図示例では約２分の１に形成されている。これにより、ホルダ枠１１をガイドに沿って図示上下方向に移動することにより、ホルダ枠１１とベース９との間に各開口部１３ａ、１３ｂが形成される。図１はホルダ枠１１内における上下方向の中心位置にベース９が位置している基準位置を示する。これら開口部１３ａ、１３ｂのサイズは、ホルダ枠１１のベース９上のスライドにより可変する。例えば、ホルダ枠１１がベース９上を下方にスライドすると、下方の開口部１３ｂのサイズが大きくなり、上方の開口部１３ａのサイズが小さくなる。ホルダ枠１１が最下位置までスライドすると、ホルダ枠１１の約２分の１の長さの開口部１３ｂが形成される。
【００１９】
装置本体１の正面側の上方には、ホルダ枠１１に吸着保持されたガラス基板１２を所定の照射角度で照明するマクロ照明光源１４が設けられている。このマクロ照明光源１４は、観察者が目視観察しやすい高さ、例えば図２に示す状態であれば、ホルダ枠１１とベース９とにより形成される下方の開口部１３ｂに対応する領域ｅ１にマクロ照明光を照射する。この場合、ホルダ枠１１を基準位置から最下位置までスライドすることにより、照明領域ｅ１を通過するガラス基板１２の下半分を目視観察することができる。
【００２０】
なお、照明領域ｅ１がベース９の一部にかかり、ガラス基板１２上の欠陥がベース９の枠９ａに重なって見えにくい場合には、欠陥が枠９ａから外れるようにホルダ枠１１を上下方向に移動させることも可能である。
【００２１】
裏面側におけるホルダ枠１１の斜め下方の後方側には、透過照明光源１５が設けられている。この透過照明光源１５は、ホルダ枠１１を基準位置から最下位置までスライドすることにより、下方の開口部１３ｂを通してガラス基板１２の裏面側から透過照明光を照射する。なお、透過照明光源１５は、例えばホルダ枠１１を最下位置にスライドさせたときに形成される下方の開口部１３ｂの最も大きなサイズと略同一サイズのマクロ観察領域に透過照明光を照射する。
【００２２】
この透過照明光源１５は、ベース９を第２の回転軸６を中心にして矢印ｄ２方向に回転してホルダ枠１１を揺動及び反転するとき、ベース９及びホルダ枠１１との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印ｄ５方向に退避する。又、透過照明光源１５は、ベース９及びホルダ枠１１との干渉しないホルダ枠１１の左側又は右側に退避してもよい。
【００２３】
ホルダ枠１１を基準位置に戻してモータ１０を駆動してホルダ枠１１を１８０°回転することによりガラス基板１２の天地が反転する。
【００２４】
この状態で上記同様に未検査のガラス基板１２の半分をマクロ照明又は透過照明により観察できる。さらに、モータ７を駆動してベース９とホルダ枠１１とを第２の回転軸６を中心にして１８０°回転させ、これによりガラス基板１２の表面から裏面に反転する。これにより、ガラス基板１２の裏面に対してマクロ照明又は透過照明による目視観察ができる。
【００２５】
操作制御装置２０は、支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作、ベース９の前後方向の揺動、反転動作及び平面内の回転動作、ホルダ枠１１のスライド移動を制御する。ジョイステック２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、操作方向と操作量とに応じた操作信号を発生する。なお、ジョイステック２１に限らず、他の操作端部を用いてもよい。
【００２６】
パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１ａ、２１ｂ、２１ｃで発生した操作信号を入力し、ジョイステック２１ａの操作信号から支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作、ジョイステック２１ｃの操作信号からベース９の前後方向の回動・反転動作及び回転動作、ジョイステック２１ｃの操作信号からホルダ枠１１のスライド移動の各動作を分離し、これら動作別にそれぞれ各動作指令を発する。
【００２７】
コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられた各動作指令を受け、このうち支持アーム３、４の起き上がりと傾倒の動作指令によってモータ５を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース９の揺動・反転の動作指令によってモータ７を駆動する駆動制御信号を送出し、ベース９の回転動作指令によってモータ１０を駆動する駆動制御信号を送出し、ホルダ枠１１のスライド移動の動作指令によって図示しないスライド機構のモータを駆動する駆動制御信号を送出する。
【００２８】
ドライバ２４は、コントローラ２３から送出された各駆動制御信号を入力して該当する各駆動モータ５、７、１０又はスライド機構のモータを駆動する。
【００２９】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００３０】
ホルダ枠１１は、図４に示すように水平方向に設定され、かつホルダ枠１１の高さ位置が例えばガラス基板１２の図示しない搬送系の高さ位置と同一に設定される。なお、搬送系は、ガラス基板１２を水平状態にして搬送する。
【００３１】
搬送系により水平状態に搬送されたガラス基板１２は、例えば受渡しロボットによりホルダ枠１１の面上に載置される。ホルダ枠１１は、ガラス基板１２を例えばエアーの吸引作用により吸着保持する。
【００３２】
観察者Ｑは、ガラス基板１２がホルダ枠１１に保持された後、ジョイステック２１ａを観察者Ｑ側に傾動操作すると、パーソナルコンピータ２２は、ジョイステック２１ａの傾きに応じた動作指令を発し、コントローラ２３は、パーソナルコンピータ２２から発せられた各動作指令を受け、ドライバ２４にモータ５を駆動する駆動制御信号を送出する。ドライバ２４は、コントローラ２３から送出された駆動制御信号を入力して該当する駆動モータ５を駆動する。
【００３３】
このモータ５が駆動すると、第１の回転軸２に連結された支持アーム３、４が図４に示す水平状態から図２に示すように矢印ｄ１方向に回動して起き上がる。この起き上がった状態で、ジョイステック２１ｃを前後方向に揺動操作すると、この操作量に応じた動作指令がパーソナルコンピータ２２から発せられ、コントローラ２３、ドライバ２４を介してモータ７が駆動する。このモータ７が回転すると、第２の回転軸６に固定されたベース９と共にホルダ枠１１が図６(a)(b)に示すように矢印ｄ２方向に揺動する。
【００３４】
このとき、ジョイステック２１ａの傾き角度を調整することにより、支持アーム３、４の起き上がり角度を任意に調整してマクロ照明光源１４から放射されたマクロ照明光をガラス基板１２に対してマクロ観察に最適な入射角度に設定することができる。
【００３５】
又、ジョイステック２１ｂを観察者Ｑ側に傾動操作することにより、スライド機構のモータが駆動し、ベース９上のガイドレールに沿ってホルダ枠１１が下方に移動する。ホルダ枠１１を最下位まで移動させれば、ガラス基板１２の下半分をマクロ照明又は透過照明により照射する。
【００３６】
観察者Ｑは、ガラス基板１２の観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視により観察する。ジョイステック２１ｂの傾き角度を調整すれば、ホルダ枠１１を任意の位置に設定したり、所定のピッチ又は連続して移動させることも可能である。
【００３７】
次に、ガラス基板１２の表面にマクロ照明光を照射した状態で、ジョイステック２１ｃを左回り又は右回りに回転操作し、モータ１０を駆動すると、ベース９及びホルダ枠１１は、図１に示す矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転する。この回転によりホルダ枠１１上に保持されているガラス基板１２も矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転する。このとき、ホルダ枠１１の回転半径を小さくするために、ホレダ枠１１の回転中心が第３の回転軸１０に一致するようにベース９上のガイドレールに沿ってホルタ枠１１を移動させることが好ましい。
【００３８】
このベース９及びホルダ枠１１を１８０°回転させ、ガラス基板１２の天地を反転させることにより、上記同様に他方のガラス基板１２の半分を目視観察することができる。
【００３９】
このようにベース９及びホルダ枠１１を１８０°回転させることにより、ガラス基板１２の上半分し下半分を観察者Ｑの観察しやすい位置で、かつ観察者Ｑとの距離が短くなることからガラス基板１２の欠陥部の検出精度が向上する。
【００４０】
一方、ベース９及びホルダ枠１１の回転は、例えば図５(a)〜(c)に示すように例えば左回りで９０度、１８０度回転する毎に停止し、最終的に３６０度回転する。なお、同図(a)はベース９及びホルダ枠１１の回転前の通常状態を示し、同図(b)は左回りに９０度回転した状態を示し、同図(c)は左回りに１８０度回転した状態を示す。なお、同図(a)〜(c)に付した記号「Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ」は、ベース９及びホルダ枠１１の回転を分かり易くするために付した。又、ベース９及びホルダ枠１１の回転は、連続して３６０度所定の回転速度で回転してもよい。
【００４１】
ベース９及びホルダ枠１１の回転によりマクロ観察領域ｅ１に配置されるガラス基板１２の部分は、変更される。例えば、ベース９及びホルダ枠１１の回転前のマクロ観察領域ｅ１は、図５(a)に示すガラス基板１２の面上の「Ｃ、Ｄ」の部分であり、ホルダ枠１１を下方に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｃ，Ｄ）を観察できる。ホルダ枠１１を９０度回転したときのマクロ観察領域ｅ１は、同図(b)に示すガラス基板１２の面上の「Ｄ、Ｂ」の部分であり、ホルダ枠１１を左右に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｂ，Ｄ）を観察できる。ガラス基板１２を１８０度回転したときのマクロ観察領域ｅ１は、同図(c)に示すガラス基板１２の面上の「Ｂ、Ａ」部分であり、ホルダ枠１１を下方に移動させることによりガラス基板１２の半分（Ｂ，Ａ）を観察できる。観察者Ｑは、回転したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００４２】
次に、ガラス基板１２の表面にマクロ照明光を照射した状態で、モータ７の正転と逆転とを繰り返すと、ベース９及びホルダ枠１１は、図６(a)(b)に示すように矢印ｄ２方向である前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Ｑは、前後方向に揺動したガラス基板１２からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００４３】
又、上記の通りベース９及びホルダ枠１１は、図５(a)〜(c)に示すように矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転するので、例えば任意の角度（例えば９０度、１８０度、２７０度）だけ回転させて停止し、この状態で図６(a)(b)に示すようにベース９及びホルダ枠１１を前後方向に揺動してもよい。
【００４４】
さらに、モータ５を駆動することによって第１の回転軸２を回転し、装置本体１の矢印ｄ１方向への傾倒角度を変更した状態で、ベース９及びホルダ枠１１を図５(a)〜(c)に示すように矢印ｄ３方向の左回り又は右回りで回転させたり、前後方向に揺動してもよい。
【００４５】
以上のようにガラス基板１２を回転、前後揺動することによりガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させたときに、観察者Ｑによってガラス基板１２からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。このマクロ観察によって液晶ディスプレイのガラス基板１２の表面上に形成されているライン状や長方形状の細長いパターン、例えば規則的に形成された長方形状のＴＦＴのパターン上の欠陥部の検出の確度を高めることができる。
【００４６】
次に、透過照明光源１５から透過照明が放射されると、この透過照明光は、下方の開口部１３ｂを通してガラス基板１２の裏面より観察領域ｅ１に照射される。観察者Ｑは、ガラス基板１２からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００４７】
この透過照明光をガラス基板１２に照射したときのマクロ観察においても、上記同様に、ガラス基板１２を回転、前後揺動することにより、観察者Ｑがガラス基板１２をマクロ観察する方向を変化させることができる。
【００４８】
次に、ホルダ枠１１は、図７(a)(b)に示すようにベース９に対して下方にスライド移動する。なお、同図(a)は正面図、同図(b)は側面図である。ホルダ枠１１が下方にスライド移動すると、ホルダ枠１１とベース９により形成される下方の開口部１３ｂのサイズが大きくなり、これにより、マクロ観察領域ｅ１のサイズも大きくなる。なお、マクロ観察領域ｅ１は、例えば「Ｃ、Ｄ」部分とする。ホルダ枠１１は、ベース９に対するスライド方向の長さをベースの長さよりも略２倍に形成されているので、マクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）は、ガラス基板１２の面の略半分にできる。
【００４９】
この状態で、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１に透過照明光源１５から放射された透過照明が照射されると、観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５０】
次に、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライド移動した状態で、ベース９及びホルダ枠１１は、図８に示すように１８０度回転して停止する。続いてホルダ枠１１は、ベース９に対して最も下方までスライド移動する。これにより、マクロ観察領域ｅ１は、例えば「Ｂ、Ａ」部分になる。このマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）もガラス基板１２の面の略半分になる。
【００５１】
この状態で、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）に透過照明光源１５から放射された透過照明が照射されると、観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１からの透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５２】
この結果、ガラス基板１２の回転前のマクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）と回転後のマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）とに対する各マクロ観察によりガラス基板１２の表面全面に対するマクロ観察ができる。
【００５３】
次に、モータ７が駆動すると、第２の回転軸６が回転する。この第２の回転軸６の回転によりベース９及びホルダ枠１１は、図９に示すように矢印ｄ２方向に回転してガラス基板１２の表裏面を反転する。
【００５４】
このときガラス基板１２は、ホルダ枠１１に吸着保持されているので、ホルダ枠１１から落下することはない。又、透過照明光源１５は、ベース９を第２の回転軸６を中心に回転してホルダ枠１１を反転するとき、ベース９及びホルダ枠１１との干渉を避けるために例えば裏面側の矢印ｄ５方向に退避する。ホルダ枠１１の反転動作が終了すると、透過照明光源１５は、元の位置に戻る。
【００５５】
この状態で、マクロ照明光源１４からマクロ照明光が放射されると、このマクロ照明光は、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１に入射する。観察者Ｑは、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００５６】
又、透過照明光源１５から透過照明が放射されると、この透過照明は、マクロ観察領域ｅ１におけるガラス基板１２の裏面に照射される。観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察する。
【００５７】
ガラス基板１２を裏面側に反転した状態で、モータ７の正転と逆転とを繰り返すと、ベース９及びホルダ枠１１は、前後方向に揺動する。この前後方向の揺動によってもガラス基板１２の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度が変化する。観察者Ｑは、前後方向に揺動したガラス基板１２の裏面からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。
【００５８】
ガラス基板１２を反転した状態で、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライド移動すれば、上記の通りガラス基板１２の裏面に対するマクロ観察領域ｅ１は、ガラス基板１２の面の略半分にできる。
【００５９】
さらに、ベース９及びホルダ枠１１を矢印ｄ３方向の例えば左回りで１８０度回転し、ホルダ枠１１をベース９に対して下方にスライドすれば、ガラス基板１２の裏面に対するマクロ観察領域ｅ１は、先にマクロ観察できなかったガラス基板１２の面の略半分に設定できる。
【００６０】
この結果、ガラス基板１２の回転前のマクロ観察領域ｅ１と回転後のマクロ観察領域ｅ１とに対する各マクロ観察によりガラス基板１２の裏面全面に対するマクロ観察ができる。
【００６１】
又、図１０(a)(b)に示すようにベース９及びホルダ枠１１を矢印ｄ３方向に９０度回転した後、この状態で、ホルダ枠１１をベース９に対して左右方向にスライド移動する。観察者Ｑは、左右にスライド移動したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察する。又、観察者Ｑは、左右にスライド移動したガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してマクロ観察する。
【００６２】
なお、ホルダ枠１１を左右方向にスライド移動した状態で、ホルダ枠１１を前後方向に揺動させたり、回転させたり、さらに表裏面を反転させてガラス基板１２のマクロ観察を行うこともできる。
【００６３】
ガラス基板１２に対するマクロ観察が終了すると、装置本体１は、モータ５の駆動により図４に示すように矢印ｄ１方向に傾倒し、これと共にモータ７の駆動により第２の回転軸６が矢印ｄ２方向に回転することにより、ホルダ枠１１は水平方向に設定される。ホルダ枠１１上に保持されているカラス基板１２は、例えば受渡しロボットにより搬送系に渡される。
【００６４】
このように上記一実施の形態においては、装置本体１に設けられた矢印ｄ２方向に回転可能な第２の回転軸６に対して支持部８を固定し、この支持部８に対してベース９を回転軸９ａを中心に矢印ｄ３方向に回転可能に設け、さらにベース９上にホルダ枠１１をスライド可能に設けた。
【００６５】
これにより、ホルダ枠１１上に保持されているガラス基板１２は、正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転できる。これら前後方向の揺動及び回転によりガラス基板１２の表面に入射するマクロ照明光の入射角度と入射方向とを変化させることができる。観察者Ｑは、ガラス基板１２のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２をマクロ観察できる。
【００６６】
このマクロ観察領域ｅ１は、ホルダ枠１１とベース９とにより形成される下方の開口部１３ｂに対応した位置である。これにより、観察者Ｑは、ガラス基板１２の間近で、マクロ照明光の入射角度を変化させたときのガラス基板１２からの反射光の光学的変化を観察できる。この結果、ガラス基板１２上の欠陥部の検出の精度を高めることができる。
【００６７】
ホルダ枠１１を図７(a)(b)に示す状態から１８０度回転し、この後、図８に示すようにホルダ枠１１を下方にスライド移動させる。これにより、ガラス基板１２の回転前にマクロ観察領域ｅ１（「Ｃ、Ｄ」部分）に対するマクロ観察を行う。回転後にマクロ観察領域ｅ１（「Ｂ、Ａ」部分）に対するマクロ観察を行う。これらマクロ観察によりガラス基板１２が大型であっても、このガラス基板１２の表面全面に対するマクロ観察がガラス基板１２の間近でできる。
【００６８】
ベース９及びホルダ枠１１は、第２の回転軸６を中心にして回転してガラス基板１２の表裏面を反転するので、ガラス基板１２の裏面のマクロ観察領域ｅ１からの反射光の光学的変化を目視によりマクロ観察できる。又、マクロ照明光から透過照明光に切り換えることにより観察者Ｑは、マクロ観察領域ｅ１の透過光を目視してガラス基板１２の裏面をマクロ観察できる。
【００６９】
又、ガラス基板１２を反転した状態で、ガラス基板１２を前後方向に揺動させたり、回転させることができる。これにより、ガラス基板１２の裏面に入射するマクロ照明光の入射角度を変化させて、ガラス基板１２の裏面もマクロ観察できる。
【００７０】
ホルダ枠１１は、水平方向でその高さ位置をガラス基板１２の搬送系の高さ位置と同一に設定できるので、ホルダ枠１１と搬送系との間のガラス基板１２の受渡しは、ガラス基板１２を水平状態に保ったまま容易にできる。
【００７１】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００７２】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００７３】
例えば、ガラス基板１２を正面から見て前後方向に揺動させたり、任意の角度だけ回転させたり、さらに反転させて各マクロ観察しているが、これらマクロ観察の順序は、上記一実施の形態で説明した順序に限らず、観察者Ｑにより任意に決定してもよい。
【００７４】
【発明の効果】
以上詳述したように本願発明によれば、ホルダを支持する一対の支持アームの回転によりホルダを起上がり方向とその反対の傾斜方向との所定の角度に回転させてガラス基板に対してマクロ照明光がマクロ観察に適した入射角に設定でき、さらに大型のガラス基板を保持する保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度又は入射方向とを変更可能とし、更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能な基板検査装置及び基板検査方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す正面構成図。
【図２】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す側面構成図。
【図３】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を示す裏面構成図。
【図４】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠上へのガラス基板の受渡しを示す図。
【図５】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるベース及びホルダ枠の回転を示す図。
【図６】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるガラス基板を前後方向に揺動させたときのマクロ観察を示す図。
【図７】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を下方にスライド移動したときの図。
【図８】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を回転した後に下方にスライド移動したときの図。
【図９】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠を反転したときの図。
【図１０】 本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態におけるホルダ枠の左右スライド移動を示す図。
【符号の説明】
１：装置本体、２：第１の回転軸、３，４：支持アーム、５，７，１０：モータ、６：第２の回転軸、８：支持部、９：ベース、９ａ：回転軸、９ｂ，９ｃ：梁、１１：ホルダ枠、１２：ガラス基板、１３ａ，１３ｂ：開口部、１４：マクロ照明光源、１５：透過照明光源、２０：操作制御装置、２１：ジョイステック、２２：パーソナルコンピータ、２３：コントローラ、２４：ドライバ。
Claims (14)
- 矩形のガラス基板を保持するホルダと、
前記ガラス基板に目視観察用のマクロ照明光を照射するマクロ照明光源と、
装置本体の観察者側の正面に対して水平に設けられた第１の回転軸と、
前記第１の回転軸に一端側が設けられ、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光源からの前記マクロ照明光が観察に適した入射角に設定されるように前記第１の回転軸を中心にして起上がり方向とその反対の傾斜方向との所定の角度に回転可能な一対の支持アームと、
前記一対の支持アームの他端側に設けられ、前記ホルダを観察者側に向けて所定の角度に回転させる第２の回転軸と、
前記ホルダを天側と地側に反転させるように回転させる第３の回転軸と、
を備え、
前記マクロ照明光源は、前記一対の支持アームにより前記所定の角度に回転された前記ホルダに保持された前記ガラス基板の下方部分の照射領域に前記マクロ照明光を照射し、
前記第３の回転軸により前記ホルダの天地を反転させることにより前記照明領域で前記ガラス基板の天地を反転させて目視観察させる、
ことを特徴とする基板検査装置。 - 前記第２の回転軸と前記第３の回転軸とは、互いに直交し、前記第２の回転軸による回転により前記ホルダの表裏の反転を行い、前記第３の回転軸による回転により前記ホルダの天地の反転を行なうことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- 前記一対の支持アームは、前記第１の回転軸の両端部に平行に設けられ、
前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸と反対側に位置する端部に設けられる、
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。 - 前記第３の回転軸は、前記第２の回転軸に取り付けられることを特徴とする請求項２又は３記載の基板検査装置。
- 前記第２の回転軸の中間部に支持部が設けられ、
前記支持部には、前記ホルダを平面内で前記天側と前記地側とに反転させる前記第３の回転軸が設けられ、
前記第３の回転軸には、長方形状に形成したベースを介して前記ホルダが連結される、
ことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。 - 前記ホルダは、前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する四角形状の開口を有する枠状に形成され、
前記ベースは、前記長方形状の短辺の長さが前記ホルダの長さの１／３〜１／２に形成される、
ことを特徴とする請求項５記載の基板検査装置。 - 前記ホルダは、前記ベースに沿って上下方向に移動可能に設けられ、前記ホルダを下方に移動させたときに前記ホルダの枠と前記ベースとの間を前記ガラス基板の検査領域とすることを特徴とする請求項６記載の基板検査装置。
- 前記ホルダは、前記ガラス基板の周縁部を吸着保持する四角形状の開口を有する枠状に形成され、このホルダ枠内に前記ガラス基板を水平に保持する複数の桟が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査装置。
- 前記第３の回転軸は、前記ホルダに保持された規則的なパターンを有する前記ガラス基板に対する前記マクロ照明光の入射方向が可変するように前記ホルダを平面内で回転させることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
- ホルダに保持されたガラス基板の上方からマクロ照明光を照射して前記ガラス基板上の欠陥を目視で検査する基板検査方法において、
前記ホルダを支持する一対の支持アームの回転により前記ホルダを観察者の存在する正面側に対して前後方向に回動させて、前記ガラス基板に対して前記マクロ照明光がマクロ観察に適した入射角に設定し、
前記ホルダの天地を反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の天側と地側を交互に反転させながら前記マクロ照明光により前記ガラス基板の全面を目視観察させる、
ことを特徴とする基板検査方法。 - 前記ホルダは、四角形状の枠に形成され、このホルダを裏側に反転させて、前記ホルダに保持された前記ガラス基板の裏面を前記マクロ照明光により目視観察することを特徴とする請求項１０記載の基板検査方法。
- 前記ホルダは、四角形状の枠に形成され、このホルダの裏面側から透過照明光を照射して前記ガラス基板を目視観察することを特徴とする請求項１０記載の基板検査方法。
- 前記ホルダを上下方向に移動させて、前記ガラス基板の半分を目視観察することを特徴とする請求項１０又は１１記載の基板検査方法。
- 前記ホルダを平面内で回転させて、前記ガラス基板に形成された規則的なパターンに対する前記マクロ照明光の入射方向を変えて前記ガラス基板上の欠陥を目視観察することを特徴とする請求項１０記載の基板検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003079757A JP4365603B2 (ja) | 2003-03-24 | 2003-03-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003079757A JP4365603B2 (ja) | 2003-03-24 | 2003-03-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004286621A JP2004286621A (ja) | 2004-10-14 |
| JP2004286621A5 JP2004286621A5 (ja) | 2006-05-11 |
| JP4365603B2 true JP4365603B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=33293792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003079757A Expired - Fee Related JP4365603B2 (ja) | 2003-03-24 | 2003-03-24 | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4365603B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100335431C (zh) * | 2005-01-28 | 2007-09-05 | 广辉电子股份有限公司 | 基板传送装置 |
| JP4700365B2 (ja) * | 2005-02-09 | 2011-06-15 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
| JP2006258697A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| JP2007093411A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| KR101300098B1 (ko) * | 2006-08-09 | 2013-08-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 기판 검사 장치 및 방법 |
| JP2011141127A (ja) * | 2010-01-05 | 2011-07-21 | Avanstrate Taiwan Inc | ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び目視検査装置 |
| CN107505737B (zh) * | 2017-07-24 | 2020-04-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种用于热处理制程的支撑装置 |
-
2003
- 2003-03-24 JP JP2003079757A patent/JP4365603B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004286621A (ja) | 2004-10-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4166340B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| TWI393875B (zh) | 基板檢測裝置之固持器及基板檢測裝置 | |
| JP4700365B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| TW200909798A (en) | Appearance inspecting device for substrate | |
| CN1808055A (zh) | 坐标检测装置及被检测体检查装置 | |
| JP2007248292A (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2000028538A (ja) | ウェーハ検査装置 | |
| JP4365603B2 (ja) | 基板検査装置及び基板検査方法 | |
| JP2003270155A (ja) | 基板保持装置及び検査装置 | |
| JP3931111B2 (ja) | 基板保持装置及び基板検査装置 | |
| JP2008175548A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
| JP4256974B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP4755673B2 (ja) | 基板検査装置 | |
| JP4383047B2 (ja) | 外観検査用投光装置及び外観検査装置 | |
| KR100380809B1 (ko) | 기판검사장치 | |
| KR20030078650A (ko) | 피검사기판의 검사장치 | |
| JP6852735B2 (ja) | ガラス基板歪測定方法及びガラス基板歪測定装置 | |
| JP2008170153A (ja) | マクロ検査装置 | |
| JP2011141127A (ja) | ガラス板の欠陥部分の目視検査方法及び目視検査装置 | |
| JP4882139B2 (ja) | ホログラム評価装置 | |
| JP5006024B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
| JP2006258697A (ja) | 基板検査装置 | |
| WO2006080760A1 (en) | An apparatus for macro inspection for flat panel display | |
| JP2007107887A (ja) | 目視検査用装置 | |
| KR20090044024A (ko) | 웨이퍼 검사용 듀얼 검사장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060316 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060316 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080926 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090407 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090604 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090728 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090821 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120828 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130828 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |